CN219253310U - 一种检测装置 - Google Patents

Abstract

一种检测装置，包括移载机构、支承机构、检测机构和下料机构；其中，移载机构用于承载和带动被检工件沿第一方向移动，支承机构与移载机构能够可控地沿第一方向发生相对移动；检测机构以能够可控地沿第二方向和第三方向相对支承机构移动，用于检测被检工件；下料机构与移载机构沿第一方向依次排布，下料机构用于可控地将被测工件输送至预设的第一区域和第二区域。利用支承机构与移载机构、检测机构之间的可相对运动关系，可使得检测工件在较小的运动行程内完成对工件的全面检测；同时，利用下料机构可根据检测结果对被检工件进行自动分类输出处理；不但可以减少人工干预、提高检测效率、保证工件的良品率，又可以为装置的小型化应用创造有利条件。

Description

一种检测装置

技术领域

本实用新型涉及检测技术领域，具体涉及一种检测装置。

背景技术

以目前被广泛应用于各类电子产品的显示面板为例，在显示面板的生产制造过程中，受生产工艺的影响，显示面板常常会出现不同程度的缺陷，通过将这些缺陷检测出来并加以控制，可防止具有缺陷的显示面板进入下一道处理工序而产生更多的缺陷。现有技术中，一般是根据检测结果对显示面板进行人工分类筛选的，导致显示面板的检测及分类效率低下、成本偏高。

实用新型内容

本实用新型主要解决的技术问题是提供一种检测装置，以达到提高效率、降低成本的目的。

一种实施例中提供一种检测装置，包括：

移载机构，用于承载被检工件和带动被检工件沿第一方向移动；

支承机构，与所述移载机构配合设置，所述支承机构与所述移载机构能够可控地沿所述第一方向发生相对移动；

检测机构，用于检测被检工件；所述检测机构设置于所述支承机构，并位于所述移载机构在第二方向上的一侧；以及

下料机构，与所述移载机构沿所述第一方向依次排布；所述下料机构用于接收所述移载机构输出的被检工件，和用于可控地将被检工件输送至预设的第一区域或第二区域；

所述第一方向与所述第二方向相互垂直。

一个实施例中，所述下料机构包括旋转组件和下料输送组件；所述下料输送组件装设于所述旋转组件，用以接收和输送所述移载机构输出的被检工件；

所述旋转组件具有沿所述第二方向设置的转动轴线，且所述旋转组件被配置为：可控地带动所述下料输送组件绕所述转动轴线在所述第一区域与所述第二区域之间切换转动，以使得所述下料输送组件能够将被检工件输送至所述第一区域或所述第二区域。

一个实施例中，所述支承机构包括：

支承横梁，沿第三方向横跨所述移载机构布置，所述检测机构均装设于所述支承横梁；以及

第一驱动组件，布置于所述移载机构在所述第三方向上的一侧或两个相对侧；所述第一驱动组件的动力端耦合至所述支承横梁，以能够驱使所述支承横梁带动所述检测机构沿第一方向相对所述移载机构移动；

所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向相互垂直。

一个实施例中，所述第一驱动组件包括：

第一直线导轨，沿所述第一方向延伸设置，所述支承横梁可滑动地连接于所述第一直线导轨；

第一直线电机，用于驱使所述支承横梁沿所述第一直线导轨移动，所述第一直线电机的动力端耦合至所述支承横梁；以及

第一位置检测件，与所述支承横梁配合设置，所述第一位置检测件用于检测所述支承横梁在所述第一直线导轨上的位置。

一个实施例中，所述移载机构包括：

支撑组件；

承载组件，装设于所述支撑组件上；所述承载组件用于承载被检工件，且所述承载组件被设置成能够吸附固定和释放其所承载的被检工件；以及

第二驱动组件，用于驱使所述支撑组件带动所述承载组件沿第一方向在预设行程内相对所述支承机构移动；所述第二驱动组件的动力端耦合至所述支撑组件。

一个实施例中，所述第二驱动组件包括：

第二直线导轨，沿所述第一方向延伸设置，所述支撑组件可滑动地连接于所述第二直线导轨；

第二直线电机，用于驱使所述支撑组件沿所述第二直线导轨移动，所述第二直线电机的动力端耦合至所述支撑组件；以及

第二位置检测件，与所述支撑组件配合设置，所述第二位置检测件用于检测所述支撑组件在所述第二直线导轨上的位置。

一个实施例中，所述移载机构还包括装设于所述支撑组件上的上料输送组件和接驳输送组件，所述上料输送组件、所述承载组件和接驳输送组件沿所述第一方向依次布置；其中：

所述上料输送组件用于接收被检工件和用于将被检工件输送至所述承载组件；所述接驳输送组件用于将所述承载组件释放的被检工件，沿所述第一方向输出至所述下料机构。

一个实施例中，所述检测机构包括检测模组和复检模组；所述检测模组与所述复检模组分别以能够可控地沿所述第二方向和第三方向，相对所述支承机构移动的方式装设于所述支承机构；其中：

所述检测模组用于对被检工件的预设特征进行检测，所述复检模组用于对预设特征的检测结果进行复检；所述下料机构用于根据预设特征的复检结果，将被检工件输送至所述第一区域或所述第二区域；

所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向相互垂直。

一个实施例中，所述检测模组位于所述支承机构在所述第一方向上的一侧，所述复检模组位于所述支承机构在所述第一方向上的另一侧；沿所述支承机构的移动轨迹定义有第一位置和第二位置，所述移载机构被配置成：

当所述支承机构移动至所述第一位置时，或当所述支承机构自所述第二位置朝向所述第一位置移动时，所述移载机构能够带动被检工件朝所述第二位置所在侧移动；

当所述支承机构移动至所述第二位置，或当所述支承机构自所述第一位置朝向所述第二位置移动时，所述移载机构能够带动被检工件朝所述第二位置所在侧移动。

一个实施例中，所述检测模组和所述复检模组均包括成像检测件、第三驱动组件和第四驱动组件；其中：

所述第四驱动组件的动力端耦合至所述成像检测件，以能够驱使所述成像检测件沿所述第二方向相对所述支承机构移动；

所述第三驱动组件的本体装设于所述支承机构，所述第三驱动组件的动力端耦合至所述第四驱动组件的本体；所述第三驱动组件驱使所述第四驱动组件带动所述成像检测件沿所述第三方向相对所述支承机构移动。

一个实施例中，所述复检模组的成像检测件的图像放大倍率被设置为大于所述检测模组的成像检测件的图像放大倍率。

一个实施例中，所述检测模组的所述成像检测件的数量设置为多个，所述检测模组的多个所述成像检测件沿所述第三方向按预设间距并排布置；

所述检测模组的每个所述成像检测件均一一对应有一个所述第四驱动组件，或所述检测模组的多个所述成像检测件共同对应有一个所述第四驱动组件。

一个实施例中，所述第四驱动组件采用丝杆驱动装置；和/或所述第三驱动组件包括：

第三直线导轨，沿所述第三方向延伸并设置于所述支承机构，所述第四驱动组件的本体可滑动地装设于所述第三直线导轨；

第三直线电机，用于驱使所述第四驱动组件带动所述成像检测件沿所述第三直线导轨移动；以及

第三位置检测件，与所述第四驱动组件配合设置，所述第三位置检测件用于检测所述第四驱动组件在所述第三直线导轨上的位置。

依据上述实施例的检测装置，包括移载机构、支承机构、检测机构和下料机构；其中，移载机构用于承载和带动被检工件沿第一方向移动，支承机构与移载机构能够可控地沿第一方向发生相对移动；检测机构以能够可控地沿第二方向和第三方向相对支承机构移动，用于检测被检工件；下料机构与移载机构沿第一方向依次排布，下料机构用于可控地将被测工件输送至预设的第一区域和第二区域。利用支承机构与移载机构、检测机构之间的可相对运动关系，可使得检测工件在较小的运动行程内完成对工件的全面检测；同时，利用下料机构可根据检测结果对被检工件进行自动分类输出处理；不但可以减少人工干预、提高检测效率、保证工件的良品率，又可以为装置的小型化应用创造有利条件，使得装置能够适用于生产环境空间不足的场景中。

附图说明

图1为一种实施例的检测装置的立体结构示意图。

图2为一种实施例的检测装置的左视平面结构示意图。

图3为一种实施例的检测装置省略下料机构后的正视平面结构示意图。

图4为一种实施例的检测装置中下料机构部分的正视平面结构示意图。

图5为一种实施例的检测装置在检测过程中各机构间的位置关系图（一）。

图6为一种实施例的检测装置在检测过程中各机构间的位置关系图（二）。

图7为一种实施例的检测装置在下料过程中各机构间的位置关系图（一）。

图8为一种实施例的检测装置在下料过程中各机构间的位置关系图（二）。

图中：

10、移载机构；11、支撑组件；12、承载组件；13、第二驱动组件；14、上料输送组件；15、接驳输送组件；

20、支承机构；21、支承横梁；22、第一驱动组件；

30、检测机构；30a、成像检测件；30b、第三驱动组件；30c、第四驱动组件；31、检测模组；32、复检模组；

40、下料机构；41、旋转组件；42、下料输送组件；42a、升降模组；42b、输送模组；42c、吸附模组；43、下料平移组件；

50、第一机台；51、支撑底座；52、大理石平台；60、第二机台；A、面板；B、第一区域；C、第二区域；L1、转动轴线。

具体实施方式

下面通过具体实施方式结合附图对本实用新型作进一步详细说明。其中不同实施方式中类似元件采用了相关联的类似的元件标号。在以下的实施方式中，很多细节描述是为了使得本申请能被更好的理解。然而，本领域技术人员可以毫不费力的认识到，其中部分特征在不同情况下是可以省略的，或者可以由其他元件、材料、方法所替代。在某些情况下，本申请相关的一些操作并没有在说明书中显示或者描述，这是为了避免本申请的核心部分被过多的描述所淹没，而对于本领域技术人员而言，详细描述这些相关操作并不是必要的，他们根据说明书中的描述以及本领域的一般技术知识即可完整了解相关操作。

另外，说明书中所描述的特点、操作或者特征可以以任意适当的方式结合形成各种实施方式。同时，方法描述中的各步骤或者动作也可以按照本领域技术人员所能显而易见的方式进行顺序调换或调整。因此，说明书和附图中的各种顺序只是为了清楚描述某一个实施例，并不意味着是必须的顺序，除非另有说明其中某个顺序是必须遵循的。

本文中为部件所编序号本身，例如“第一”、“第二”等，仅用于区分所描述的对象，不具有任何顺序或技术含义。而本申请所说“连接”、“联接”，如无特别说明，均包括直接和间接连接（联接）。

本文中所用术语“第一方向”、“第二方向”和“第三方向”是基于检测装置整体的结构构造，所自定义的相互正交的三个方向；在该检测装置处于一般应用场景中时，例如图1所示，“第一方向”可以指代左右方向或者X轴方向，“第二方向”可以指代上下方向或者Z轴方向；相适应地，“第三方向”则指代前后方向或者Y轴方向。

请参阅图1至图8，一种实施例提供的一种检测装置，可用于产品/工件的表面缺陷检测，并能够根据检测结果对OK产品和NG产品（即：合格产品与不合格产品）进行自动分类输出处理；该检测装置包括移载机构10、支承机构20、检测机构30、下料机构40、第一机台50、第二机台60以及因应需要而存在的其他功能构件（例如控制***等）。

为更清楚详细地描述该检测装置，下面主要以显示面板（简称面板A）为被检工件对该检测装置的结构构造以及检测原理等进行说明；但需要指出的是，面板A仅是该检测装置的一种检测对象；该检测装置还可用于对其他产品/工件进行检测，例如光学镜片、电池板等板状类产品。

请参阅图1至图3，移载机构10装设于第一机台50上，主要用于承载固定面板A以及沿第一方向传输输送面板A；具体来说，检测过程中，可利用移载机构10带动面板A沿第一方向向左或向右移动，从而配合检测机构30完成对面板A的检测；检测完成后，则可将面板A传送至下料机构40，以实现面板A的下料输出。其中，第一机台50可以由支撑底座51和大理石平台52组合搭建而成，以利用大理石平台52为移载机构10等提供稳定的结构支撑。

一个实施例中，请参阅图1和图2，移载机构包括支撑组件11、承载组件12、第二驱动组件13、上料输送组件14和接驳输送组件15；其中，上料输送组件14、承载组件12和接驳输送组件15沿第一方向装设于支撑组件11上，第二驱动组件13和支撑组件11均装设于第一机台50上，并且第二驱动组件13的动力端耦合至支撑组件11。

上料输送组件14负责接收上游设备输出的面板A，并将面板A输送至承载组件12；接驳输送组件15与下料机构40配合，负责将面板A自承载组件12传送至下料机构40。具体实施时，上料输送组件14和接驳输送组件15均可可以由动力模组（例如由电机、传动器件组合而成的动力机构）、沿第一方向并排排布的多排滚轮组合搭建而成；以在能够实现传送面板A的同时，减少与面板A的接触面积，从而避免传送过程中对面板A造成损坏。

承载组件12负责接收上料输送组件14输出的面板A，并至少在检测过程中对面板A起到稳定承载和固定的过程中，以避免面板A因翘曲变形或者相对位置发生偏移而影响检测作业；具体实施时，承载组件12可以由多个真空吸附平台、可升降地设置于真空吸附平台在第二方向的下方侧的输送滚轮、能够沿第一方向在真空吸附平台之间左右移动和/或沿第三方向在真空吸附平台之间前后移动的限位滚轮等组合搭建而成；利用多个真空吸附平台以及限位滚轮的相互配合，相当于对承载组件12进行了多个吸附区域的划分，可使承载组件12能够对不同尺寸的面板A进行吸附固定；而在真空吸附平台为产生吸附作用的情况下，则可利用输送滚轮在承载组件12与上料输送组件14和接驳输送组件15之间建立对接传输关系，使得面板A能够顺畅地移入承载组件12或者自承载组件12移出。

第二驱动组件13负责驱使支撑组件11在第一机台50上沿第一方向左右移动，以通过支撑组件11同步带动上料输送组件14、承载组件12和接驳输送组件15移动；一方面，调整面板A与检测机构30之间的相对位置，以便检测机构30能够对面板A的表面（正表面或背表面）进行全面检测；另一方面，调整接驳输送组件15与下料机构40在第一方向上的相对位置，以便将完成检测的面板A传送至下料机构40；具体实施时，第二驱动组件14可根据需要采用可以根据需要采用丝杆驱动装置、气缸驱动装置、传动带驱动装置或者其他合适的驱动形式，要点在于：能够驱使支撑组件11带动上料输送组件14、承载组件12和接驳输送组件15同步移动。

其他实施例中，移载机构10也可采用其他结构形式，例如省略上料输送组件14、接驳输送组件15，仅利用承载组件12作为面板A的接收、承载、固定、传送等功能载体使用；再如，上料输送组件14和接驳输送组件15等也可参考现有的输送带进行结构配置；凡此种种，在此不作赘述。

请参阅图1至图3，支承机构20以可沿第一方向移动的方式装设于第一机台50上，主要作为检测机构30的安装载体以及运动载体使用；具体来说，检测机构30装设于支承机构20上，并且沿第二方向布置于移载机构10的上方侧；检测过程中，通过移载机构10与支承机构20的相互配合，使得检测机构30与固定于移载机构10（具体为承载组件12）上的面板A沿第一方向发生相对移动，从而使得检测机构30能够完成对面板A表面的全面检测；其中，检测机构30与面板A相对移动的形式，包括两者沿第一方向发生同步反向运动的形式，也包括两者中的一者静止于某一预设空间位置，且另一者沿第一方向运动的形式。

具体实施时，支承机构20在第一机台50上的移动行程可设置为与承载组件12在第一方向上的长度大致适配，这样有利于减小第一机台50或者整个检测装置在第一方向上的尺寸链长度，从而缩减检测装置对应用空间的占用，使其能够适用于生产空间不足场景中；为便于描述，将支承机构20的移动轨迹的左极限位置定义为第一位置、右极限位置定义为第二位置。

一个实施例中，请参阅图1和图2，支承机构20包括支承横梁21和第一驱动组件22；其中，支承横梁21采用龙门结构，其沿第三方向横跨移载机构10（具体如移载机构10的移动轨迹）布置；第一驱动组件22装设于第一机台50上，并位于移载机构10在第三方向上的前后两侧；第一驱动组件22的动力端分别与支承横梁21前后两端的立柱部分耦合连接，而检测机构30则装设在支承横梁21的横梁部分，形成以近似于悬置在移载机构10上方的方式布置。利用第一驱动组件22驱使支承横梁21带动检测机构30沿第一方向移动，即可适时调整检测机构30与面板A之间的相对位置，实现对面板A表面的全面检测。

其他实施例中，第一驱动组件22也可仅耦合连接支承横梁21的前端立柱部分，而支承横梁21的后端立柱部分则可借助直线模组连接于第一机台50上；亦或者，支承横梁21采用近似于L形的架体结构，第二驱动组件22的动力端耦合连接支承横梁21的立柱部分，而检测机构30则装设在支承横梁21的横梁上。

一个实施例中，请参阅图1至图3，检测机构30包括检测模组31和复检模组32；其中，检测模组31设置在支承机构20（具体如支承横梁21）在第一方向上的一侧（例如右侧），主要用于对面板A的预设特征（例如黑点、脏污、划痕、电路短路或断路）进行检测；复检模组32设置在支承机构20（具体如支承横梁21）在第一方向上的另一侧（例如左侧），主要用于对预设特征的检测结果进行复检，从而避免发生误检，提高检测结果的准确性。

具体实施时，检测模组31和复检模组32分别以能够可控地沿第二方向和第三方向相对支承机构20移动的方式装设于支承机构20上；利用检测模组31和复检模组32可相对支承机构20沿第三方向移动以及能够跟随支承机构20沿第一方向移动的特点，不但便于检测模组31能够按照行列形式对面板A进行扫描检测，而且便于复检模组32根据预设特征的检测结果，有针对性地对面板A上的缺陷部位进行复核检测；而利用检测模组31和复检模组32可相对支承机构20沿第二方向移动的特点，则可分别对检测模组31和复检模组32的焦距、扫描范围等进行调节，以保证检测效果。

其他实施例中，基于检测项目或者检测精度要求的不同，也可省略复检模组32；在此不作赘述。

请参阅图1和图4，下料机构40装设于第二机台60上，并沿第一方向布置于移载机构10的一端，具体如接驳输送组件15所在的一端；该下料机构40主要负责接收移载机构10输出且已完成检测的面板A，并且能够根据面板A的检测结果（具体如复检模组32获得的检测结果），将该面板A输送至不同的区域位置，以实现面板A的自动分类输出或传送处理。

一个实施例中，请参阅图1、图4至图8，下料机构40包括旋转组件41和下料输送组件42；其中，下料输送组件42装设于旋转组件41上，主要用于接收和输送移载机构10输出的面板A；旋转组件41具有沿第二方向呈上下延伸分布的转动轴线L1，借助旋转组件41可驱使下料输送组件42带动面板A绕转动轴线L1在预设角度范围内往复转动或者循环转动，从而将面板A朝不同方向输送至不同的区域位置。更为具体地，请参阅图5至图8，沿下料输送组件42的转动轨迹定义有第一区域B和第二区域C；其中，第一区域B沿第一方向设置于下料机构40远离移载机构10的一端，以作为NG产品的收集区域或接收区域；第二区域C沿第二方向布置于下料机构40的一侧，以作为OK产品的存放区域或者接收区域。

通过对检测装置具体功能的配置，当检测装置（例如控制***）判定已完成检测的面板A为NG产品时，下料输送组件42可将接收到的面板A直接沿第一方向输送至第一区域B；反之，当已完成检测的面板A为OK产品时，下料输送组件42在接收到该面板A后，利用旋转组件41驱使下料输送组件42带动面板A旋转90°后，下料输送组件42再将面板A传送至第二区域C。

其他实施例中，下料机构40也可采用其他结构形式，例如省略旋转组件41，将下料输送组件42与机器人***配合设置，利用下料输送组件42将NG产品输送至第一区域B，利用机器人***将OK产品自下料输送组件42转移至第二区域C；亦可实现对OK产品与NG产品的自动分类。

就检测装置整体而言，在一个示意性实施例中，请参阅图5至图8，可遵循或采用如下方法实现对面板A进行检测作业以及分类输出处理。

1、请参阅图5，上游设备将面板A输送至上料输送组件14，藉由上料输送组件14将面板A传送至承载组件12上；而后承载组件12对面板A进行吸附固定；第一驱动组件22驱使支承横梁21带动检测机构30沿第一方向向右移动至第二位置；第二驱动组件13驱使支撑组件11带动承载组件12等沿第一方向向左移动，使得面板A处于第一位置。

2、请参阅图6，支承机构20带动检测机构30自第二位置向第一位置移动，以使得检测模组31对面板A进行扫描检测；由于支承机构20移动至第一位置时，检测模组31将无法对面板A的左侧边部分进行扫描检测；故，借助第二驱动组件13驱使支撑组件11带动承载组件12等沿第一方向向右移动，以使得固定于承载组件12上的面板A同步向右移动，从而形成检测模组31与面板A同步反向运动的形式，进而保证检测模组31能够完成对面板A的左侧边部分的扫描检测；由此，直至支承机构20移动至第一位置，移载机构20亦带动面板A停留在相适应的位置，从而完成对面板A的第一轮检测。

需要说明的是，在检测过程中，检测模组31和面板31沿第一方向移动的速度最好保持相同，以便掌控检测速度，确保检测效果。

3、结合图5和图6，第一轮检测完成后，控制检测模组31沿第三方向在支承机构20（具体为支承横梁21）上移动预设距离，以调整检测模组的扫描范围；而后，支承机构20带动检测机构30自第一位置向第二位置移动，使得检测模组31对面板A进行扫描检测；由于支承机构20移动至第二位置时，检测模组31将无法对面板A的右侧边部分进行扫描检测；故，基于与前述步骤相同的原理需求，需要移载机构10带动面板A同步向左移动，直至支承机构20移动至第二位置时，移载机构10停止，从而完成对面板A的第二轮检测。

以此类推，每一轮检测完成后，检测模组31均沿第三方向在支承机构20移动预设距离，直至完成对面板A表面整个区域或者预设区域的检测。

需要说明的是，在一些实施例中，也可在支承机构20移动至第一位置或第二位置时，移载机构10再带动面板A进行相应的移动；虽然可能会降低检测速度和效率，但可以满足特殊的检测需求。

4、请参阅图6和图7，当面板A检测完成后，即可利用复检模组32对检出的一部分缺陷进行复检，以确定是否出现误检的情况，并且通过确定该缺陷的类型，为后续的工艺处理提供依据。具体而言，利用支承机构20带动复检模组32沿第一方向移动以及借助复检模组32可相对支承机构20沿第三方向移动的特点，使得复检模组32对对应缺陷进行复检；复检模组32与面板A之间的相对空间位置关系的调节与变换，可参考检测过程，在此不作赘述。

5、请参阅图7和图8，当面板A复检完成后，承载组件12破真空并释放面板A，借助接驳输送组件15将面板A传送至下料机构40上。如果面板A的检测结果为不良（即：该面板A为NG产品），则直接由下料输送组件42沿第一方向将面板A输送第一区域B；反之，如果面板A的检测结果为良（即：该面板A为OK产品），则旋转组件41驱使下料输送组件42旋转90°，从而将该面板A输送至第二区域C。

需要说明的是，图5和图6中带箭头的粗体虚线代表面板A跟随移载机构10移动的方向，图5中带箭头的粗体实线代表检测机构30跟随支承机构20移动的方向，图7和图8中带箭头的粗体虚线代表面板A跟随下料机构40移动的方向，图8中带箭头的粗体实线代表移载机构10移动的方向；图5至图8中的虚线框代表第一区域B和第二区域C大致方位，但不表示第一区域B与第二区域C的形状、面积和具***置。

综上所述，其一，利用配置的下料机构40，可根据检测结果对面板A进行自动筛选分类输出，不但能够有效提高检测装置的自动化程度，降低检测成本；而且为提高检测效率以及面板A的流转效率创造了有利条件。其二，利用移载机构10与支承机构20的运动形式的相互配合，既可以保证检测机构30在较小的运动行程内即可完成面板A的全面检测，又可以有效缩短检测装置在第一方向上的尺寸链长度，从而减小检测装置结构体积，使得检测装置能够适用于生产空间不足的场景中。其三，利用检测模组31与复检模组32的配合，可在实现面板A检测的同时，对检测出的缺陷进行复核检测，从而避免发生误检，有效提高检测结果的准确性。

一个实施例中，请参阅图1、图3以及图5至图8，第一驱动组件22包括第一直线导轨、第一直线电机和第一位置检测件；其中，第一直线导轨沿第一方向延伸布置，支承横梁21可滑动地连接于第一直线导轨；第一直线电机装设于第一机台50上，并且第一直线电机的动力端耦合至支承横梁21，以便驱使支承横梁21带动检测机构30沿第一直线导轨平稳移动；第一位置检测件则与支承横梁21配合，主要用于检测支承横梁21在第一直线导轨上的位置。

利用第一直线电机与第一直线导轨的配合，可组合搭建形成结构简单紧凑、动力输出平稳的第一驱动组件22，以确保支承横梁21能够带动检测机构30沿第一方向平稳移动；而利用配置的第一位置检测件则可在第二驱动组件22与支承横梁21之间建立信号反馈机制，使得支承横梁21能够带动检测机构30精准地停留在预设位置；具体实施时，第一位置检测件采用光栅尺，可以实现支承横梁21或者检测机构30在第一方向上的微米级精确定位。

一个实施例中，请参阅图1、图2并结合图3以及图5至图8，第二驱动组件13采用与第一驱动组件22相似的结构形式，其包括第二直线导轨、第二直线电机和第二位置检测件；其中，第二直线导轨沿第一方向延伸设置，支撑组件11可滑动地连接于第二直线导轨；第二直线电机装设在第一机台50上，且第二直线电机的动力端耦合至支撑组件11，以便驱使支撑组件11带动承载组件12（连同面板A等）沿第二直线导轨平稳移动；第二位置检测件则与支撑组件11配合设置，用于检测支撑组件11在第二直线导轨上的位置。基于与第一驱动组件22相同的原理以及功能效果，在此不对第二驱动组件13作过多描述。

一个实施例中，请参阅图1和图2，检测模组31和复检模组32均包括成像检测件30a、第三驱动组件30b和第四驱动组件30c；其中，第三驱动组件30b的本体装设于支承机构20（具体如支承横梁21）上，第三驱动组件30b的动力端耦合至第四驱动组件30c的本体；而第四驱动组件30c的动力端则耦合至成像检测件30a。第三驱动组件30b负责驱使第四驱动组件30c带动成像检测件30a沿第三方向相对支承机构20移动，以调整成像检测件30a的扫描范围或者在第三方向上的扫描位置；第四驱动组件30c负责对成像检测件30a的焦距进行调节，使得成像检测件30a能够自动聚焦；而成像检测件30a则负责对面板A进行成像扫描检测。

具体实施时，第四驱动组件30c可采用采用伺服电机+丝杠的驱动结构，以使得成像检测件30a快速准确地进行自动聚焦。

就第三驱动组件30b而言，第三驱动组件30b可参考前述实施例的第一驱动组件13或第二驱动组件22，采用直线电机驱动+光栅尺反馈的结构形式，以能够以微米级对成像检测件30a在第三方向上的扫描位置进行调节和定位，避免发生漏检等问题。

具体来说，请结合图1和图2，第三驱动组件30b包括第三直线导轨、第三直线电机和第三位置检测件；其中，第三直线导轨沿第三方向延伸并设置于支承机构20（具体如支承横梁21的横梁部分）上，第四驱动组件30c的本体可滑动地连接于第三直线导轨；第三直线电机装设在支承机构20，并且第三直线电机的动力端耦合至第四驱动组件30c的本体，以便驱使第四驱动组件30c带动成像检测件30a沿第三直线导轨在支承机构20上移动；而第三位置检测件则与第四驱动组件30c配合设置，用以检测第四驱动组件30c在第三直线导轨上的位置信息。

一个实施例中，,复检模组32的成像检测件30a的图像放大倍率被设置为大于检测模组31的成像检测件30a的图像放大倍率；通过对复检模组32与检测模组31的硬件参数或性能进行差异化选择配置，不但有利于降低检测机构30乃至检测装置整体的配置成本，而且有利于复检模组32对检测模组31所检测出来的缺陷进行复判，在能够有效避免发生误检的同时，也可将缺陷类型反馈给相应的工艺环节，以便实现工艺优化。具体实施时，复检模组32的成像检测件30a可以包括相互配合设置的远心镜头和CCD相机；而检测模组31的成像检测件30a则可包括相互配合设置的镜头、光源和CCD相机。

一个实施例中，请参阅图1至图3以及图5至图8，检测模组30的成像检测件30a的数量设置为多个，例如两个、三个、四个、五个或者其他更多数量；多个成像检测件30a按预设间距（例如等间距的形式）沿第三方向并排排布；每个成像检测件30a均一一对应地有一个第四驱动组件30c，以使得每个成像检测件30a均能够独立地进行自动聚焦；当然，多个成像检测件30a也可共同对应一个第四驱动组件30c，以实现多个成像检测件30a的同步聚焦。

利用多个并排排布的成像检测件30a，在对面板A进行检测的过程中，可使得每个成像检测件30a的成像扫描范围（或者成像视角）覆盖面板A在第三方向上的一部分区域；以此，可尽量少次数地调整检测模组30在第三方向上的扫描位置，即可完成对面板A表面的全面检测，以提高检测效率。

换而言之，由于面板A的尺寸一般较大，例如在第三方向上的宽度通常在200mm-1500mm之间；由于一个成像检测件30a的成像视野有限，是不可能完全覆盖整个面板A的宽度尺寸范围的；因此，往往需要增加检测扫描的频次（或轮数），但这样也会严重降低检测效率；因此，采用多个成像检测件30a，并通过若干次地调整多个成像检测件30a在第三方向上的位置，即可实现对面板A的宽度尺寸的覆盖，进而仅需少许频次或轮数的检测，即可完成面板A的全面检测。

具体实施时，检测模组31的成像检测件30a的数量可以根据检测时间和检测成本决定，而成像检测件30a之间的间距大小则可由面板A在第三方向上的宽度尺寸来决定。

一个实施例中，请参阅图4，下料机构40还包括下料平移组件43，旋转组件41装设在下料平移组件43上；借助下料平移组件43可驱使旋转组件43带动下料输送组件42沿第一方向靠近和远离移载机构10（具体为接驳输送组件15）；在下料输送组件42靠近移载机构10时，可完成下料输送组件42与接驳输送组件15的对接，从而接收已完成检测的面板A；而下料输送组件42远离移载机构10至预设位置时，则可利用旋转组件41驱动下料输送组件42绕转动轴线L1旋转，从而避免下料输送组件42在转动过程中与接驳输送组件15发生结构干涉。具体实施时，下料平移组件43可以参考前述实施例的第一驱动组件22采用直线电机+直线导轨的驱动形式，也可以由伺服电机、丝杠和直线导轨等组合搭建而成。

一个实施例中，请参阅图1、图4以及图6，下料输送组件42包括装设在旋转模组41上的升降模组42a和输送模组42b以及装设在升降模组42a上的吸附模组42c；其中，输送模组42b负责与接驳输送组件15以及设置于第一区域B和第二区域C的下游设备对接，以实现面板A的传送；吸附模组42c负责将面板A吸附在输送模组42b上，以防止下料输送组件42旋转过程中，面板A脱离输送模组42b；而升降模组42a则负责驱使吸附模组42c相对输送模组42b沿第二方向作升降运动，以在吸附模组42c相对输送模组42b上升至预设位置时，对输送模组42b上的面板A起到负压吸附作用；在吸附模组42b释放面板A并下降至预设位置时，则可使得输送模组42b能够传送面板A。

具体实施时，升降模组42a可以采用气缸驱动装置，也可以采用丝杆驱动装置；输送模组42b可参考上料输送组件41和接驳输送组件15采用多排滚轮结构；吸附模组42c则可由阵列布置的多组吸盘组合搭建而成。

以上应用了具体个例对本实用新型进行阐述，只是用于帮助理解本实用新型，并不用以限制本实用新型。对于本实用新型所属技术领域的技术人员，依据本实用新型的思想，还可以做出若干简单推演、变形或替换。

Claims (13)

1.一种检测装置，其特征在于，包括：

移载机构，用于承载被检工件和带动被检工件沿第一方向移动；

支承机构，与所述移载机构配合设置，所述支承机构与所述移载机构能够可控地沿所述第一方向发生相对移动；

检测机构，用于检测被检工件；所述检测机构设置于所述支承机构，并位于所述移载机构在第二方向上的一侧；以及

下料机构，与所述移载机构沿所述第一方向依次排布；所述下料机构用于接收所述移载机构输出的被检工件，和用于可控地将被检工件输送至预设的第一区域或第二区域；

所述第一方向与所述第二方向相互垂直。

2.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述下料机构包括旋转组件和下料输送组件；所述下料输送组件装设于所述旋转组件，用以接收和输送所述移载机构输出的被检工件；

所述旋转组件具有沿所述第二方向设置的转动轴线，且所述旋转组件被配置为：可控地带动所述下料输送组件绕所述转动轴线在所述第一区域与所述第二区域之间切换转动，以使得所述下料输送组件能够将被检工件输送至所述第一区域或所述第二区域。

3.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述支承机构包括：

支承横梁，沿第三方向横跨所述移载机构布置，所述检测机构均装设于所述支承横梁；以及

第一驱动组件，布置于所述移载机构在所述第三方向上的一侧或两个相对侧；所述第一驱动组件的动力端耦合至所述支承横梁，以能够驱使所述支承横梁带动所述检测机构沿第一方向相对所述移载机构移动；

所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向相互垂直。

4.如权利要求3所述的检测装置，其特征在于，所述第一驱动组件包括：

第一直线导轨，沿所述第一方向延伸设置，所述支承横梁可滑动地连接于所述第一直线导轨；

第一直线电机，用于驱使所述支承横梁沿所述第一直线导轨移动，所述第一直线电机的动力端耦合至所述支承横梁；以及

第一位置检测件，与所述支承横梁配合设置，所述第一位置检测件用于检测所述支承横梁在所述第一直线导轨上的位置。

5.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述移载机构包括：

支撑组件；

承载组件，装设于所述支撑组件上；所述承载组件用于承载被检工件，且所述承载组件被设置成能够吸附固定和释放其所承载的被检工件；以及

第二驱动组件，用于驱使所述支撑组件带动所述承载组件沿第一方向在预设行程内相对所述支承机构移动；所述第二驱动组件的动力端耦合至所述支撑组件。

6.如权利要求5所述的检测装置，其特征在于，所述第二驱动组件包括：

第二直线导轨，沿所述第一方向延伸设置，所述支撑组件可滑动地连接于所述第二直线导轨；

第二直线电机，用于驱使所述支撑组件沿所述第二直线导轨移动，所述第二直线电机的动力端耦合至所述支撑组件；以及

第二位置检测件，与所述支撑组件配合设置，所述第二位置检测件用于检测所述支撑组件在所述第二直线导轨上的位置。

7.如权利要求5所述的检测装置，其特征在于，所述移载机构还包括装设于所述支撑组件上的上料输送组件和接驳输送组件，所述上料输送组件、所述承载组件和接驳输送组件沿所述第一方向依次布置；其中：

所述上料输送组件用于接收被检工件和用于将被检工件输送至所述承载组件；所述接驳输送组件用于将所述承载组件释放的被检工件，沿所述第一方向输出至所述下料机构。

8.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测机构包括检测模组和复检模组；所述检测模组与所述复检模组分别以能够可控地沿所述第二方向和第三方向，相对所述支承机构移动的方式装设于所述支承机构；其中：

所述检测模组用于对被检工件的预设特征进行检测，所述复检模组用于对预设特征的检测结果进行复检；所述下料机构用于根据预设特征的复检结果，将被检工件输送至所述第一区域或所述第二区域；

所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向相互垂直。

9.如权利要求8所述的检测装置，其特征在于，所述检测模组位于所述支承机构在所述第一方向上的一侧，所述复检模组位于所述支承机构在所述第一方向上的另一侧；沿所述支承机构的移动轨迹定义有第一位置和第二位置，所述移载机构被配置成：

当所述支承机构移动至所述第一位置时，或当所述支承机构自所述第二位置朝向所述第一位置移动时，所述移载机构能够带动被检工件朝所述第二位置所在侧移动；

当所述支承机构移动至所述第二位置，或当所述支承机构自所述第一位置朝向所述第二位置移动时，所述移载机构能够带动被检工件朝所述第二位置所在侧移动。

10.如权利要求8所述的检测装置，其特征在于，所述检测模组和所述复检模组均包括成像检测件、第三驱动组件和第四驱动组件；其中：

所述第四驱动组件的动力端耦合至所述成像检测件，以能够驱使所述成像检测件沿所述第二方向相对所述支承机构移动；

所述第三驱动组件的本体装设于所述支承机构，所述第三驱动组件的动力端耦合至所述第四驱动组件的本体；所述第三驱动组件驱使所述第四驱动组件带动所述成像检测件沿所述第三方向相对所述支承机构移动。

11.如权利要求10所述的检测装置，其特征在于，所述复检模组的成像检测件的图像放大倍率被设置为大于所述检测模组的成像检测件的图像放大倍率。

12.如权利要求10所述的检测装置，其特征在于，所述检测模组的所述成像检测件的数量设置为多个，所述检测模组的多个所述成像检测件沿所述第三方向按预设间距并排布置；

所述检测模组的每个所述成像检测件均一一对应有一个所述第四驱动组件，或所述检测模组的多个所述成像检测件共同对应有一个所述第四驱动组件。

13.如权利要求10所述的检测装置，其特征在于，所述第四驱动组件采用丝杆驱动装置；和/或所述第三驱动组件包括：

第三直线导轨，沿所述第三方向延伸并设置于所述支承机构，所述第四驱动组件的本体可滑动地装设于所述第三直线导轨；

第三直线电机，用于驱使所述第四驱动组件带动所述成像检测件沿所述第三直线导轨移动；以及

第三位置检测件，与所述第四驱动组件配合设置，所述第三位置检测件用于检测所述第四驱动组件在所述第三直线导轨上的位置。

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