CN219004968U - 一种高精密皮秒激光切割设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种高精密皮秒激光切割设备,包括大理石基座、大理石左立柱、大理石右立柱和大理石台面,所述大理石左立柱的底部与大理石基座顶部的左侧固定连接。该实用新型,通过设置大理石基座、大理石左立柱、大理石右立柱、大理石台面和光路底板等结构部件,激光从激光器出光口发出,经过第一反射镜反射至扩束镜,经扩束镜扩束至第二反射镜,第二反射镜将激光反射至第三反射镜,第三反射镜将激光反射至切割头,激光经过切割头聚焦,最终作用于吸附平台表面的产品,具备切割效果好,容易调试的优点,该一种高精密皮秒激光切割设备,解决了现有切割过程中不够稳定,不容易调试的问题。
Description
技术领域
本实用新型属于激光切割技术领域,尤其涉及一种高精密皮秒激光切割设备。
背景技术
随着时代的发展,激光切割的应用越来越广泛,在对一些特殊材料进切割时要使用皮秒激光进行切割,如玻璃、石英、蓝宝石等,但由于切割精度要求比较高,这就导致加工的过程中就不能够出现误差,出现误差会影响加工的精准度,从而会破坏物件的形状,现有市场的切割设备在使用的过程中有切割不稳定,不易调试等缺点,导致加工效率不够好,现有技术存在的问题是:切割过程中不够稳定,不容易调试,因此提出一种高精密皮秒激光切割设备用以解决上述问题。
实用新型内容
针对现有技术存在的问题,本实用新型提供了一种高精密皮秒激光切割设备,具备切割效果好,容易调试的优点,解决了现有切割过程中不够稳定,不容易调试的问题。
本实用新型是这样实现的,一种高精密皮秒激光切割设备,包括大理石基座、大理石左立柱、大理石右立柱和大理石台面,所述大理石左立柱的底部与大理石基座顶部的左侧固定连接,所述大理石右立柱的底部与大理石基座顶部的右侧固定连接,所述大理石台面的底部分别与大理石左立柱和大理石右立柱的顶部固定连接,所述大理石台面顶部的左侧固定连接有光路底板,所述光路底板的顶部分别安装有第一反射镜、第一调光治具、扩束镜、第二调光治具和第二反射镜,所述大理石台面顶部的后侧固定连接有激光器,所述激光器的左侧设置有出光口,所述大理石台面的前侧设置有切割机构。
作为本实用新型优选的,所述大理石基座的顶部安装有Y轴,所述Y轴的安装有X轴,所述X轴的顶部安装有吸附平台,通过设置Y轴和X轴,X、Y轴采用直线模组,选用分辨率为0.1微米光栅尺,模组底座同样采用大理石与大理石基座相连。
作为本实用新型优选的,所述切割机构包括安装板,所述安装板的后侧与大理石台面的前侧固定连接,所述安装板的前侧固定连接有固定板,所述固定板前侧的左侧安装有第三反射镜,所述固定板的前侧安装有Z轴,所述Z轴的前侧安装有定位相机,所述Z轴的前侧安装有切割头,所述切割头位于定位相机的左侧,激光从激光器出光口发出,经过第一反射镜反射至扩束镜,经扩束镜扩束至第二反射镜,第二反射镜将激光反射至第三反射镜,第三反射镜将激光反射至切割头,激光经过切割头聚焦,最终作用于吸附平台表面的产品。
作为本实用新型优选的,所述光路底板上有多个M6螺纹孔,间隔为25x25mm,所述第一反射镜、第一调光治具、扩束镜、第二调光治具和第二反射镜均通过螺栓固定于光路底板的顶部,光路底板布满25x25螺纹孔优点在于可以任意调节反射镜、调光治具及扩束镜的位置,只要保证位于一条直线。
作为本实用新型优选的,所述调光治具由调光底座及十字光标组成,所述第一调光治具位于第一反射镜的前侧,所述第二调光治具位于第二反射镜的后侧,所述扩束镜位于第一调光治具和第二调光治具的中间,第一调光治具和第二调光治具的作用是调节第一反射镜和第二反射镜的中间光路,使光路位于同一中心,第一反射镜与第二反射镜中间光路位于同一中心,然后安装扩束镜。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果如下:
1、本实用新型通过设置大理石基座、大理石左立柱、大理石右立柱、大理石台面和光路底板等结构部件,激光从激光器出光口发出,经过第一反射镜反射至扩束镜,经扩束镜扩束至第二反射镜,第二反射镜将激光反射至第三反射镜,第三反射镜将激光反射至切割头,激光经过切割头聚焦,最终作用于吸附平台表面的产品,具备切割效果好,容易调试的优点。
2、本实用新型通过设置切割机构,激光从激光器出光口发出,经过第一反射镜反射至扩束镜,经扩束镜扩束至第二反射镜,第二反射镜将激光反射至第三反射镜,第三反射镜将激光反射至切割头,激光经过切割头聚焦,最终作用于吸附平台表面的产品,第一调光治具和第二调光治具的调试方法为:不要安装扩束镜,使激光器长出光,在第二调光治具后方将会出现两个十字光标,调节第一反射镜角度及位置使两个十字光标中心重合,则调试完成,第一反射镜与第二反射镜中间光路位于同一中心,然后安装扩束镜,激光器出光口与第一反射镜中间光路,第二反射镜与第三反射镜中间光路调试方法相同,因产品精度要求比较高,所以采用大理石架构,由大理石基座大理石左立柱,大理石右立柱、大理石台面组成基本架构,以保证精度,X、Y轴采用直线模组,选用分辨率为0.1微米光栅尺,模组底座同样采用大理石与大理石基座相连,Z轴使用丝杆模组,具有上电使能,断电自锁功能,而调节第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、扩束镜的位置目的在于可以改变激光从激光器发出至作用于产品表面的光的行程,改变光行程的原因在于激光从激光器发出都会有一个发散角,并不是完全的平行光,光的行程越长光斑大小改变就会越明显,以此调节光路行程来做出产品的最佳效果。
附图说明
图1是本实用新型实施例提供的结构示意图;
图2是本实用新型实施例提供激光器的立体结构示意图;
图3是本实用新型实施例提供局部结构的细化立体图。
图中:1、大理石基座;2、大理石左立柱;3、大理石右立柱;4、大理石台面;5、光路底板;6、第一反射镜;7、第一调光治具;8、扩束镜;9、第二调光治具;10、第二反射镜;11、激光器;12、出光口;13、切割机构;1301、安装板;1302、固定板;1303、第三反射镜;1304、Z轴;1305、定位相机;1306、切割头;14、Y轴;15、X轴;16、吸附平台。
具体实施方式
为能进一步了解本实用新型的发明内容、特点及功效,兹例举以下实施例,并配合附图详细说明如下。
下面结合附图对本实用新型的结构作详细的描述。
如图1至图3所示,本实用新型实施例提供的一种高精密皮秒激光切割设备,包括大理石基座1、大理石左立柱2、大理石右立柱3、大理石台面4、光路底板5、第一反射镜6、第一调光治具7、扩束镜8、第二调光治具9、第二反射镜10、激光器11、出光口12、切割机构13、安装板1301、固定板1302、第三反射镜1303、Z轴1304、定位相机1305、切割头1306、Y轴14、X轴15和吸附平台16,大理石左立柱2的底部与大理石基座1顶部的左侧固定连接,大理石右立柱3的底部与大理石基座1顶部的右侧固定连接,大理石台面4的底部分别与大理石左立柱2和大理石右立柱3的顶部固定连接,大理石台面4顶部的左侧固定连接有光路底板5,光路底板5的顶部分别安装有第一反射镜6、第一调光治具7、扩束镜8、第二调光治具9和第二反射镜10,大理石台面4顶部的后侧固定连接有激光器11,激光器11的左侧设置有出光口12,大理石台面4的前侧设置有切割机构13。
参考图1,大理石基座1的顶部安装有Y轴14,Y轴14的安装有X轴15,X轴15的顶部安装有吸附平台16。
采用上述方案:通过设置Y轴14和X轴15,X、Y轴14采用直线模组,选用分辨率为0.1微米光栅尺,模组底座同样采用大理石与大理石基座1相连。
参考图1,切割机构13包括安装板1301,安装板1301的后侧与大理石台面4的前侧固定连接,安装板1301的前侧固定连接有固定板1302,固定板1302前侧的左侧安装有第三反射镜1303,固定板1302的前侧安装有Z轴1304,Z轴1304的前侧安装有定位相机1305,Z轴1304的前侧安装有切割头1306,切割头1306位于定位相机1305的左侧。
采用上述方案:激光从激光器11出光口12发出,经过第一反射镜6反射至扩束镜8,经扩束镜8扩束至第二反射镜10,第二反射镜10将激光反射至第三反射镜1303,第三反射镜1303将激光反射至切割头1306,激光经过切割头1306聚焦,最终作用于吸附平台16表面的产品。
参考图1和图3,光路底板5上有多个M6螺纹孔,间隔为25x25mm,第一反射镜6、第一调光治具7、扩束镜8、第二调光治具9和第二反射镜10均通过螺栓固定于光路底板5的顶部。
采用上述方案:光路底板5布满25x25螺纹孔优点在于可以任意调节反射镜、调光治具及扩束镜8的位置,只要保证位于一条直线。
参考图1和图3,调光治具由调光底座及十字光标组成,第一调光治具7位于第一反射镜6的前侧,第二调光治具9位于第二反射镜10的后侧,扩束镜8位于第一调光治具7和第二调光治具9的中间。
采用上述方案:第一调光治具7和第二调光治具9的作用是调节第一反射镜6和第二反射镜10的中间光路,使光路位于同一中心,第一反射镜6与第二反射镜10中间光路位于同一中心,然后安装扩束镜8。
本实用新型的工作原理:
在使用时,激光从激光器11出光口12发出,经过第一反射镜6反射至扩束镜8,经扩束镜8扩束至第二反射镜10,第二反射镜10将激光反射至第三反射镜1303,第三反射镜1303将激光反射至切割头1306,激光经过切割头1306聚焦,最终作用于吸附平台16表面的产品,第一调光治具7和第二调光治具9的调试方法为:不要安装扩束镜8,使激光器11长出光,在第二调光治具9后方将会出现两个十字光标,调节第一反射镜6角度及位置使两个十字光标中心重合,则调试完成,第一反射镜6与第二反射镜10中间光路位于同一中心,然后安装扩束镜8,激光器11出光口12与第一反射镜6中间光路,第二反射镜10与第三反射镜1303中间光路调试方法相同,因产品精度要求比较高,所以采用大理石架构,由大理石基座1大理石左立柱2,大理石右立柱3、大理石台面4组成基本架构,以保证精度,X、Y轴14采用直线模组,选用分辨率为0.1微米光栅尺,模组底座同样采用大理石与大理石基座1相连,Z轴1304使用丝杆模组,具有上电使能,断电自锁功能,而调节第一反射镜6、第二反射镜10、第三反射镜1303、扩束镜8的位置目的在于可以改变激光从激光器11发出至作用于产品表面的光的行程,改变光行程的原因在于激光从激光器11发出都会有一个发散角,并不是完全的平行光,光的行程越长光斑大小改变就会越明显,以此调节光路行程来做出产品的最佳效果。
综上所述:该一种高精密皮秒激光切割设备,通过设置大理石基座1、大理石左立柱2、大理石右立柱3、大理石台面4、光路底板5、第一反射镜6、第一调光治具7、扩束镜8、第二调光治具9、第二反射镜10、激光器11、出光口12、切割机构13、安装板1301、固定板1302、第三反射镜1303、Z轴1304、定位相机1305、切割头1306、Y轴14、X轴15和吸附平台16的配合使用,解决了现有切割过程中不够稳定,不容易调试的问题。
需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (5)
1.一种高精密皮秒激光切割设备,包括大理石基座(1)、大理石左立柱(2)、大理石右立柱(3)和大理石台面(4),所述大理石左立柱(2)的底部与大理石基座(1)顶部的左侧固定连接,所述大理石右立柱(3)的底部与大理石基座(1)顶部的右侧固定连接,所述大理石台面(4)的底部分别与大理石左立柱(2)和大理石右立柱(3)的顶部固定连接,其特征在于:所述大理石台面(4)顶部的左侧固定连接有光路底板(5),所述光路底板(5)的顶部分别安装有第一反射镜(6)、第一调光治具(7)、扩束镜(8)、第二调光治具(9)和第二反射镜(10),所述大理石台面(4)顶部的后侧固定连接有激光器(11),所述激光器(11)的左侧设置有出光口(12),所述大理石台面(4)的前侧设置有切割机构(13)。
2.如权利要求1所述的一种高精密皮秒激光切割设备,其特征在于:所述大理石基座(1)的顶部安装有Y轴(14),所述Y轴(14)的安装有X轴(15),所述X轴(15)的顶部安装有吸附平台(16)。
3.如权利要求1所述的一种高精密皮秒激光切割设备,其特征在于:所述切割机构(13)包括安装板(1301),所述安装板(1301)的后侧与大理石台面(4)的前侧固定连接,所述安装板(1301)的前侧固定连接有固定板(1302),所述固定板(1302)前侧的左侧安装有第三反射镜(1303),所述固定板(1302)的前侧安装有Z轴(1304),所述Z轴(1304)的前侧安装有定位相机(1305),所述Z轴(1304)的前侧安装有切割头(1306),所述切割头(1306)位于定位相机(1305)的左侧。
4.如权利要求1所述的一种高精密皮秒激光切割设备,其特征在于:所述光路底板(5)上有多个M6螺纹孔,间隔为25x25mm,所述第一反射镜(6)、第一调光治具(7)、扩束镜(8)、第二调光治具(9)和第二反射镜(10)均通过螺栓固定于光路底板(5)的顶部。
5.如权利要求1所述的一种高精密皮秒激光切割设备,其特征在于:所述调光治具由调光底座及十字光标组成,所述第一调光治具(7)位于第一反射镜(6)的前侧,所述第二调光治具(9)位于第二反射镜(10)的后侧,所述扩束镜(8)位于第一调光治具(7)和第二调光治具(9)的中间。
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CN202223268201.9U CN219004968U (zh) | 2022-12-07 | 2022-12-07 | 一种高精密皮秒激光切割设备 |
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Cited By (1)
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CN117206712A (zh) * | 2023-11-07 | 2023-12-12 | 珠海市申科谱工业科技有限公司 | 一种晶圆mems芯片悬臂梁激光切割机 |
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2022
- 2022-12-07 CN CN202223268201.9U patent/CN219004968U/zh active Active
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