CN218904866U - 双面cmp抛光机钻石修整器 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了双面CMP抛光机钻石修整器，涉及抛光机修整器技术领域，包括基轮，基轮的外侧设置有齿环，基轮的一侧设置有加强盘，基轮与加强盘处于同一水平面，基轮位于加强盘的一侧开设有安装槽，加强盘嵌合在安装槽的内部，加强盘是由钛合金材质制成的构件，本实用新型解决了现有的修整器在长时间的高强度工作下，长时间受到摩擦所带来的扭转力后，容易使其发生变形，通常会通过提高修整器的厚度来提升其强度，厚度过大导致加工过程中额外造成动能的损耗，不利于轻便化加工的问题，本实用通过基轮、安装槽、榫接销、齿环、加强盘、圆槽、金刚石丸片和榫接口的设置，实现了利用加强盘的设置使修整器在较薄的区间内增加了整体的强度。

Description

双面CMP抛光机钻石修整器

技术领域

本实用新型涉及抛光机修整器技术领域，具体为双面CMP抛光机钻石修整器。

背景技术

双面CMP抛光机钻石修整器是处于抛光设备上的修整轮，主要是将其放在匹配的双面CMP抛光机盘上，做行星式旋转运动，利用修整器上的金刚石片对CMP抛光垫表面进行修磨，使抛光垫达到参数规定，现有的修整器在长时间的高强度工作下，长时间受到摩擦所带来的扭转力后，容易使其发生变形，通常会通过提高修整器的厚度来提升其强度，厚度过大导致加工过程中额外造成动能的损耗，不利于轻便化加工的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供双面CMP抛光机钻石修整器，解决了背景技术中现有的修整器在长时间的高强度工作下，长时间受到摩擦所带来的扭转力后，容易使其发生变形，通常会通过提高修整器的厚度来提升其强度，厚度过大导致加工过程中额外造成动能的损耗，不利于轻便化加工的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：双面CMP抛光机钻石修整器，包括基轮，所述基轮的外侧设置有齿环，基轮的一侧设置有加强盘，基轮与加强盘处于同一水平面，基轮位于加强盘的一侧开设有安装槽，加强盘嵌合在安装槽的内部，加强盘是由钛合金材质制成的构件，加强盘的一侧开设有圆槽，圆槽呈环状均匀分布，圆槽开设有二十组，圆槽的内部嵌合设置有金刚石丸片，金刚石丸片呈圆柱形，基轮的内侧固定设置有内环，内环的内部中间位置开设有通孔。

优选的，所述安装槽的内部设置有榫接销，且榫接销设置有两组，两组所述的榫接销位置相对，加强盘的一侧开设有榫接口，且榫接口开设有两组，两组所述的榫接销分别与榫接口相匹配。

优选的，所述金刚石丸片的部分位置凸出于加强盘的表面，金刚石丸片通过粘胶的方式连接在圆槽的内部。

优选的，所述圆槽的内壁开设有圆孔，且圆槽开设有两组。

优选的，所述基轮的另一侧开设有散热孔，且散热孔的数量与圆孔相同，散热孔与圆孔相连通。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型提供的双面CMP抛光机钻石修整器，通过基轮、安装槽、榫接销、齿环、加强盘、圆槽、金刚石丸片和榫接口的设置，实现了通过将加强盘安装在安装槽的内部，使加强盘与基轮处于同一水平面，在修整器使用过程中能提供强力的支撑，避免长时间高强度工作导致其表面发生变形，同时利用加强盘的设置使修整器在较薄的区间内增加了整体的强度。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的安装槽结构示意图；

图3为本实用新型的圆槽和金刚石丸片结构示意图；

图4为本实用新型的榫接口结构示意图；

图5为本实用新型的散热孔结构示意图。

图中：1、基轮；11、安装槽；12、榫接销；13、内环；14、通孔；15、散热孔；2、齿环；3、加强盘；31、圆槽；311、圆孔；32、金刚石丸片；33、榫接口。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

为进一步了解本实用新型的内容，结合附图对本实用新型作详细描述。

结合图1-图3，本实用新型的双面CMP抛光机钻石修整器，包括基轮1，基轮1的外侧设置有齿环2，基轮1的一侧设置有加强盘3，基轮1与加强盘3处于同一水平面，基轮1位于加强盘3的一侧开设有安装槽11，加强盘3嵌合在安装槽11的内部，加强盘3是由钛合金材质制成的构件，加强盘3的一侧开设有圆槽31，圆槽31呈环状均匀分布，圆槽31开设有二十组，圆槽31的内部嵌合设置有金刚石丸片32，金刚石丸片32呈圆柱形，通过金刚石丸片32将抛光垫表面进行修磨，基轮1的内侧固定设置有内环13，内环13的内部中间位置开设有通孔14。

下面结合实施例对本实用新型作进一步的描述。

实施例一：

结合图2-图5，安装槽11的内部设置有榫接销12，且榫接销12设置有两组，两组的榫接销12位置相对，加强盘3的一侧开设有榫接口33，且榫接口33开设有两组，两组的榫接销12分别与榫接口33相匹配，金刚石丸片32的部分位置凸出于加强盘3的表面，金刚石丸片32通过粘胶的方式连接在圆槽31的内部，圆槽31的内壁开设有圆孔311，且圆槽31开设有两组，基轮1的另一侧开设有散热孔15，且散热孔15的数量与圆孔311相同，散热孔15与圆孔311相连通。

本实施例中，将加强盘3一侧两组榫接口33分别对准榫接销12，将加强盘3按压至安装槽11的内部，使加强盘3与基轮1重合至同一水平面，通过加强盘3一侧的金刚石丸片32将抛光垫表面进行修磨，由于加强盘3是由钛合金材质制成的构件，钛合金是以钛元素为基础加入其他元素组成的合金，具有强度高、硬度高、弹性模量低、耐高低温和抗腐蚀性强的特点，使得在修整轮使用过程中能为其提供强有力的支撑，避免长时间高强度工作导致其表面发生变形，通过圆孔311和散热孔15的设置，将修整器使用时产生的热量排出，减少热量在修整器内部堆积。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.双面CMP抛光机钻石修整器，包括基轮(1)，其特征在于：所述基轮(1)的外侧设置有齿环(2)，基轮(1)的一侧设置有加强盘(3)，基轮(1)与加强盘(3)处于同一水平面，基轮(1)位于加强盘(3)的一侧开设有安装槽(11)，加强盘(3)嵌合在安装槽(11)的内部，加强盘(3)是由钛合金材质制成的构件，加强盘(3)的一侧开设有圆槽(31)，圆槽(31)呈环状均匀分布，圆槽(31)开设有二十组，圆槽(31)的内部嵌合设置有金刚石丸片(32)，金刚石丸片(32)呈圆柱形，基轮(1)的内侧固定设置有内环(13)，内环(13)的内部中间位置开设有通孔(14)。

2.根据权利要求1所述的双面CMP抛光机钻石修整器，其特征在于：所述安装槽(11)的内部设置有榫接销(12)，且榫接销(12)设置有两组，两组所述的榫接销(12)位置相对，加强盘(3)的一侧开设有榫接口(33)，且榫接口(33)开设有两组，两组所述的榫接销(12)分别与榫接口(33)相匹配。

3.根据权利要求1所述的双面CMP抛光机钻石修整器，其特征在于：所述金刚石丸片(32)的部分位置凸出于加强盘(3)的表面，金刚石丸片(32)通过粘胶的方式连接在圆槽(31)的内部。

4.根据权利要求1所述的双面CMP抛光机钻石修整器，其特征在于：所述圆槽(31)的内壁开设有圆孔(311)，且圆槽(31)开设有两组。

5.根据权利要求4所述的双面CMP抛光机钻石修整器，其特征在于：所述基轮(1)的另一侧开设有散热孔(15)，且散热孔(15)的数量与圆孔(311)相同，散热孔(15)与圆孔(311)相连通。

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