CN218631929U - 一种机台晶圆暂存器 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种机台晶圆暂存器，属于晶圆加工领域，一种机台晶圆暂存器，包括底部支架，底部支架的上侧设置有若干个暂存工位，底部支架的上侧且位于若干个暂存工位的两侧均设置有横移机构，两个横移机构上固定连接有龙门架，龙门架上装配有可水平移动的移动机构，移动机构的下部装配有夹持组件，横移机构包括有固定连接在底部支架上的辅助支架，辅助支架上固定连接有移动轨道，移动轨道上设置有沿其长边滑动连接的滑动座，滑动座上固定连接有移动座，龙门架固定连接在移动座上，且辅助支架上还设置有与移动座相适配的驱动组件和定位确定机构，它可以实现，减少加工机台的闲置时间，提升加工机台的加工效率。

Description

一种机台晶圆暂存器

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工领域，更具体地说，涉及一种机台晶圆暂存器。

背景技术

在中国12寸晶圆半导体制造厂，有许多项目来评估整生产效率，例如；生产良率(yieldrate)、生产周期(cycletime)、半成品存货(WIP)及机台产能利用(utilization)……等多项指标；

但除了那些指标外还有一项最能影响产能指标为机台闲置时间(idletime)，举例来说机台在无材料生产，空机等材料被指派且由自动化搬运***(AMHS)搬运来执行生产的时间，以工厂成本角度去剖析，价格昂贵的机台闲置时间(idletime)越久，表示处于空机不生产，此情况对于生产绩效及公司利润最大化之目标影响及大；

现有的机台加工中，由于工件不能够及时运输至闲置的机台上，导致加工机台的闲置时间较长，为了减小加工机台的闲置时间，提升加工机台的加工效率，我们提出一种机台晶圆暂存器。

实用新型内容

1.要解决的技术问题

针对现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种机台晶圆暂存器，它可以实现，减少加工机台的闲置时间，提升加工机台的加工效率。

2.技术方案

为解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案。

一种机台晶圆暂存器，包括底部支架，所述底部支架的上侧设置有若干个暂存工位，所述底部支架的上侧且位于若干个暂存工位的两侧均设置有横移机构，两个所述横移机构上固定连接有龙门架，所述龙门架上装配有可水平移动的移动机构，所述移动机构的下部装配有夹持组件。

进一步的，所述横移机构包括有固定连接在底部支架上的辅助支架，所述辅助支架上固定连接有移动轨道，所述移动轨道上设置有沿其长边滑动连接的滑动座，所述滑动座上固定连接有移动座，所述龙门架固定连接在移动座上，且所述辅助支架上还设置有与移动座相适配的驱动组件和定位确定机构。

进一步的，所述驱动组件包括有转动连接在辅助支架上的两个驱动轴，两个所述驱动轴的外侧装配有龙门架，所述龙门架上固定连接有与移动座相连的连接件，所述辅助支架上还固定连接有与其中一个驱动轴相连接的驱动电机。

进一步的，所述夹持组件包括有与移动机构相连的倒L形夹具，所述倒L形夹具上部的两侧均固定连接有两个定位杆，两个所述定位杆的外侧滑动连接有夹持件，所述倒L形夹具上还设置有与夹持件相适配的间距调节组件。

进一步的，所述间距调节组件包括有固定连接在倒L形夹具上的驱动马达，所述驱动马达的输出端延伸至倒L形夹具的外侧固定连接有与夹持件螺纹连接的螺纹杆。

进一步的，所述暂存工位包括有固定连接在底部支架上的工位座，所述工位座上固定连接有虚线定位销、标签识别机构和补偿位置传感器。

3.有益效果

相比于现有技术，本实用新型的优点在于：

(1)本方案通过设置多个暂存工位，能够将多个工件放置在暂存工位上进行临时存放，在加工机台空机时将工件移动至机台上，减少加工机台的闲置时间，提升加工机台的加工效率。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型横移机构的结构示意图；

图3为本实用新型夹持组件的结构示意图；

图4为本实用新型夹持组件的局部剖切结构示意图；

图5为本实用新型暂存工位的结构示意图。

图中标号说明：

1、底部支架；2、辅助支架；3、移动轨道；4、滑动座；5、移动座；6、连接件；7、运输带；8、驱动轴；9、驱动电机；10、定位确定机构；11、龙门架；12、移动机构；13、倒L形夹具；14、定位杆；15、夹持件；16、驱动马达；17、螺纹杆；18、工位座；19、虚线定位销；20、标签识别机构；21、补偿位置传感器。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述；显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例：

请参阅图1-5所示，一种机台晶圆暂存器，包括底部支架1，底部支架1的上侧设置有若干个暂存工位，底部支架1的上侧且位于若干个暂存工位的两侧均设置有横移机构，两个横移机构上固定连接有龙门架11，龙门架11上装配有可水平移动的移动机构12，移动机构12的下部装配有夹持组件；

同时，对晶圆进行加工的机台设置于底部支架1的上侧，暂存工位设置在两个横移机构之间且位于机台的间隙处。

此时，启动横移机构带动龙门架11进行水平移动，然后启动移动机构12进行水平移动，移动完成后再次启动移动机构12控制夹持组件下降，对工件进行夹持，然后通过横移机构和移动机构12带动工件进行移动，将工件放置在任意一个暂存工位上。

请参阅图1-2所示，横移机构包括有固定连接在底部支架1上的辅助支架2，辅助支架2上固定连接有移动轨道3，移动轨道3上设置有沿其长边滑动连接的滑动座4，滑动座4上固定连接有移动座5，龙门架11固定连接在移动座5上，且辅助支架2上还设置有为移动座5提供动能的驱动组件，当驱动组件启动后会带动移动座5进行滑动，让移动座5带动龙门架11一起进行移动，调节龙门架11的位置。

请参阅图2所示，驱动组件包括有转动连接在辅助支架2上的两个驱动轴8，两个驱动轴8的外侧装配有龙门架11，龙门架11上固定连接有与移动座5相连的连接件6，辅助支架2上还固定连接有与其中一个驱动轴8相连接的驱动电机9，当驱动电机9启动后会带动与其相连接的驱动轴8进行转动，驱动轴8转动时会带动其外侧的运输带7进行移动，让运输带7通过连接件6带动移动座5进行移动。

同时，为了能够对移动座5的位置进行确定，辅助支架2上还设置有与移动座5相适配的定位确定机构10，定位确定机构10沿辅助支架2的长边设置。

请参阅图1和图3-4所示，夹持组件包括有与移动机构12相连的倒L形夹具13，倒L形夹具13上部的两侧均固定连接有两个定位杆14，两个定位杆14的外侧滑动连接有夹持件15，倒L形夹具13上还设置有与夹持件15相适配的间距调节组件，此时，当需要对工件进行夹持时，通过启动间距调节组件调节同一端的两个夹持件15之间的间距，让两个夹持件15对工件进行夹持便可。

在此，间距调节组件包括有固定连接在倒L形夹具13上的驱动马达16，驱动马达16的输出端延伸至倒L形夹具13的外侧固定连接有与夹持件15螺纹连接的螺纹杆17，当驱动马达16启动会带动螺纹杆17进行转动，让螺纹杆17带动与其螺纹连接的夹持件15沿定位杆14轴心方向进行移动，移动完成后即可通过螺纹杆17的螺纹对其进行锁定。

请参阅图1和图5所示，暂存工位包括有固定连接在底部支架1上的工位座18，工位座18上固定连接有虚线定位销19、标签识别机构20和补偿位置传感器21，此时，将工件放置在工位座18上时，通过标签识别机构20对工件的标签进行扫描，通过虚线定位销19对工件进行定位，通过补偿位置传感器21对工件进行的位置进行确定即可。

在使用时：启动横移机构带动龙门架11进行水平移动，然后启动移动机构12进行水平移动，移动完成后再次启动移动机构12控制夹持组件下降，将夹持组件移动至工件上侧；

然后启动工位座18，当工位座18启动会带动螺纹杆17进行转动，让螺纹杆17带动与其螺纹连接的夹持件15沿定位杆14轴心方向进行移动，调节同一端的两个夹持件15之间的间距，让两个夹持件15对工件进行夹持，移动完成后即可通过螺纹杆17的螺纹对其进行锁定；

当加工机台对工件进行加工时，将其余的工件放置在暂存工位上进行存放，当加工机台空机时，将暂存工位上存放的工件移动至加工机台上即可，从而减少加工机台的闲置时间，提升加工机台的加工效率。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式；但本实用新型的保护范围并不局限于此。任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其改进构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。

Claims (6)

1.一种机台晶圆暂存器，包括底部支架(1)，其特征在于：所述底部支架(1)的上侧设置有若干个暂存工位，所述底部支架(1)的上侧且位于若干个暂存工位的两侧均设置有横移机构，两个所述横移机构上固定连接有龙门架(11)，所述龙门架(11)上装配有可水平移动的移动机构(12)，所述移动机构(12)的下部装配有夹持组件。

2.根据权利要求1所述的一种机台晶圆暂存器，其特征在于：所述横移机构包括有固定连接在底部支架(1)上的辅助支架(2)，所述辅助支架(2)上固定连接有移动轨道(3)，所述移动轨道(3)上设置有沿其长边滑动连接的滑动座(4)，所述滑动座(4)上固定连接有移动座(5)，所述龙门架(11)固定连接在移动座(5)上，且所述辅助支架(2)上还设置有与移动座(5)相适配的驱动组件和定位确定机构(10)。

3.根据权利要求2所述的一种机台晶圆暂存器，其特征在于：所述驱动组件包括有转动连接在辅助支架(2)上的两个驱动轴(8)，两个所述驱动轴(8)的外侧装配有龙门架(11)，所述龙门架(11)上固定连接有与移动座(5)相连的连接件(6)，所述辅助支架(2)上还固定连接有与其中一个驱动轴(8)相连接的驱动电机(9)。

4.根据权利要求1所述的一种机台晶圆暂存器，其特征在于：所述夹持组件包括有与移动机构(12)相连的倒L形夹具(13)，所述倒L形夹具(13)上部的两侧均固定连接有两个定位杆(14)，两个所述定位杆(14)的外侧滑动连接有夹持件(15)，所述倒L形夹具(13)上还设置有与夹持件(15)相适配的间距调节组件。

5.根据权利要求4所述的一种机台晶圆暂存器，其特征在于：所述间距调节组件包括有固定连接在倒L形夹具(13)上的驱动马达(16)，所述驱动马达(16)的输出端延伸至倒L形夹具(13)的外侧固定连接有与夹持件(15)螺纹连接的螺纹杆(17)。

6.根据权利要求1所述的一种机台晶圆暂存器，其特征在于：所述暂存工位包括有固定连接在底部支架(1)上的工位座(18)，所述工位座(18)上固定连接有虚线定位销(19)、标签识别机构(20)和补偿位置传感器(21)。

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