CN218459029U - 多晶硅渣浆工艺尾气处理装置 - Google Patents
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- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 17
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 11
- 239000002002 slurry Substances 0.000 title claims abstract description 9
- 239000002893 slag Substances 0.000 title abstract description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 34
- 238000003756 stirring Methods 0.000 claims abstract description 33
- 238000006386 neutralization reaction Methods 0.000 claims abstract description 21
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 15
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims abstract description 11
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 claims description 27
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 claims description 27
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 14
- 239000004744 fabric Substances 0.000 claims description 8
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 claims description 6
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 6
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 claims description 4
- 239000013049 sediment Substances 0.000 claims description 4
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 3
- 230000003472 neutralizing effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract description 53
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 40
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 11
- 229910000041 hydrogen chloride Inorganic materials 0.000 abstract description 11
- IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N hydrogen chloride Substances Cl.Cl IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 11
- 239000000779 smoke Substances 0.000 abstract description 4
- 150000001335 aliphatic alkanes Chemical class 0.000 abstract description 3
- 238000002156 mixing Methods 0.000 abstract description 3
- 238000005507 spraying Methods 0.000 abstract description 2
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 8
- 239000005046 Chlorosilane Substances 0.000 description 6
- KOPOQZFJUQMUML-UHFFFAOYSA-N chlorosilane Chemical compound Cl[SiH3] KOPOQZFJUQMUML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000000376 reactant Substances 0.000 description 4
- 239000002912 waste gas Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 3
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 244000309464 bull Species 0.000 description 2
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 2
- 238000011010 flushing procedure Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000003595 mist Substances 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 238000004064 recycling Methods 0.000 description 1
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 1
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 1
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Landscapes
- Gas Separation By Absorption (AREA)
Abstract
本实用新型公开了多晶硅渣浆工艺尾气处理装置，涉及尾气处理领域。本实用新型包括有水解室和中和室，水解室的内部安装有空心轴，空心轴的顶端通过旋转接头连接有连通管，空心轴的外表面分别设置有喷淋管、打散杆和搅拌叶，本实用新型通过设置有空心轴、抽水泵、搅拌叶、喷淋管和打散杆，经过除尘的尾气充入到液态烷液体中，空心轴旋转使得搅拌叶旋转，搅拌叶带动液体与尾气进行充分混合，部分尾气会向上运动，抽水泵将液体抽到连通管，再从喷淋管喷出，空心轴旋转使得喷淋管进行旋转喷淋，打散杆能够将喷淋的液体打散呈水雾，进而提高了喷淋面积，喷淋的液雾能够再次上升的气体进行混合，提高了氯化氢溶解的充分性。
Description
技术领域
本实用新型涉及尾气处理领域，具体为多晶硅渣浆工艺尾气处理装置。
背景技术
多晶硅是制备半导体器件和太阳能电池的原材料，是全球电子工业及光伏产业的基石，目前制备多晶硅最主要的方法为西门子法，在多晶硅生产过程中会产生大量的废气，其主要成分有氢气、氯化氢和氯硅烷，由于废气外排放对环境造成污染，因此必须对废气进行处理。
现有技术公开了申请号为CN201921827613.7的一种用于多晶硅生产的环保型尾气处理装置，包括水解池和冷凝塔，所述水解池的上方设置有冷凝塔，所述冷凝塔的左侧设置有进气管，所述水解池内部的额中间位置设置有转杆，所述转杆从上到下等距离开设有多个第一管道，且在第一管道上开设有多个气孔，该实用新型在水解池的上方设置有冷凝塔，且在水解池内设置有第一管道，在冷凝塔内对尾气进行降温处理，并将低温的尾气通入到水解池中，利用水解池中的液态氯硅烷将尾气中的氯化氢溶解完全，通过第一管道使得尾气与液态的氯硅烷充分接触，提高了氯化氢的溶解效率，氢气和氯化氢分离完全，尾气的处理效果较好。
但在尾气中会夹带粉尘，富集的粉尘容易将该尾气处理装置的管路堵塞，影响了尾气处理的效率，其次该装置将尾气充入至水解室内，通过搅拌使得尾气在液态氯硅烷中氯化氢可以被溶解，但未完全溶解的尾气会飘出脱离出液面，进而使得水解方式不够充分，其次，该装置在加入催化剂进行中和反应时，该装置搅拌叶片只是带动溶液呈旋涡状旋转，溶液与催化剂本身并无明显有效混合，进而降低了中和效果，影响了尾气的处理效果。
实用新型内容
基于此，本实用新型的目的是提供多晶硅渣浆工艺尾气处理装置，以解决不便对粉尘进行拦截以及尾气处理不够充分的技术问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：多晶硅渣浆工艺尾气处理装置，包括有水解室和中和室，所述水解室的内部安装有空心轴，所述空心轴的顶端通过旋转接头连接有连通管，所述空心轴的外表面分别设置有喷淋管、打散杆和搅拌叶，所述水解室的内部安装有抽水泵，所述抽水泵的出水端通过输水管与连通管相连通，所述中和室的内部安装有驱动轴，所述驱动轴的外表面分别固定有布料盘、搅拌板和第二主动锥齿，所述中和室的内壁固定有固定架，所述固定架的内部安装有连接轴，所述连接轴的一端连接有第二从动锥齿，所述连接轴的外表面设置有翻搅板，所述水解室的一侧通过通气管连接有固气分离组件，所述固气分离组件包括有分离箱，所述分离箱的内部设置有密封板和通孔板，所述密封板和通孔板之间安装有滤尘袋，所述通孔板顶部安装有转动轴，所述转动轴的底端连接有链轮，所述链轮的外表面设置有链条，所述转动轴的外表面通过连接绳连接有碰撞球。
进一步的，所述分离箱的一侧设置有气泵，所述气泵的输出端连接有延伸至分离箱内部的反吹管。
通过采用上述技术方案，气泵通过反吹管对滤尘袋进行反吹，进而能够滤尘袋进行彻底清理，实现了滤尘袋的再生利用。
进一步的，所述分离箱的内壁安装有第三电机，所述第三电机的输出端与一组所述转动轴的端部相连接。
通过采用上述技术方案，第三电机能够为转动轴提供动力，即第三电机旋转使得转动轴旋转。
进一步的，所述水解室的顶部安装有第一电机，所述第一电机的输出端连接有第一主动锥齿，所述空心轴的外表面设置有第一从动锥齿，所述第一主动锥齿与第一从动锥齿相咬合。
通过采用上述技术方案，第一电机旋转使得第一主动锥齿旋转，以此使得第一从动锥齿旋转，继而使得空心轴旋转。
进一步的，所述中和室的顶部安装有第二电机和加料口，所述加料口的顶部设置有密封盖，所述第二电机的输出端与驱动轴相连接。
通过采用上述技术方案，密封盖避免气体从加料口排出，第二电机旋转能够使得驱动轴旋转。
进一步的，所述连通管的一端与中和室相连通，所述连通管的外表面设置有两组阀门。
通过采用上述技术方案，在水解完毕后，工作人员打开关闭一组阀门，然后打开另一组阀门，进而使得液体进入到中和室的内部。
综上所述，本实用新型主要具有以下有益效果：
1、本实用新型通过设置有固气分离组件，在对尾气进行处理前，尾气被充入至分离箱内，尾气中颗粒较大的粉尘向下掉落，而较小的粉尘和尾气会向上运动，滤尘袋对尾气中的粉尘进行分离，进而能够达到对粉尘进行拦截，便于对粉尘进行回收，当使用过一段时间后，滤尘袋的外表面会附着一层粉尘，然后工作人员启动第三电机，第三电机旋转使得转动轴和链轮旋转，以此使得多组转动轴旋转，进而使得连接绳带动碰撞球旋转，碰撞球旋转能够对滤尘袋进行碰撞，进而可将附着的粉尘震落，避免滤尘袋堵塞而影响通气量，使用完毕后，气泵通过反吹管对滤尘袋进行反吹，进而能够滤尘袋进行彻底清理，实现了滤尘袋的再生利用；
2、本实用新型通过设置有空心轴、抽水泵、搅拌叶、喷淋管和打散杆，经过除尘的尾气充入到液态烷液体中，空心轴旋转使得搅拌叶旋转，搅拌叶带动液体与尾气进行充分混合，部分尾气会向上运动，抽水泵将液体抽到连通管，再从喷淋管喷出，空心轴旋转使得喷淋管进行旋转喷淋，打散杆能够将喷淋的液体打散呈水雾，进而提高了喷淋面积，喷淋的液雾能够再次上升的气体进行混合，提高了氯化氢溶解的充分性。
3、本实用新型通过设置有布料盘、第二主动锥齿、第二从动锥齿、连接轴和翻搅板，工作人员将反应物和催化剂加入到布料盘上，布料盘旋转能够将反应物和催化剂均匀的布料在中和室内，驱动轴旋转使得第二主动锥齿旋转，以此使得第二从动锥齿带动连接轴旋转，连接轴旋转使得翻搅板进行上下翻搅，而搅拌板对液体进行左右翻搅，使得液体和催化剂能够充分快速反应，进而将溶解于液态氯硅烷中的氯化氢分离出来，提高了处理效率。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型的布料盘俯视结构示意图；
图3为本实用新型的链轮俯视结构示意图；
图4为本实用新型的转动轴结构示意图。
图中：1、水解室；102、抽水泵；103、输水管；104、连通管；105、空心轴；106、打散杆；107、喷淋管；108、第一电机；109、第一主动锥齿；110、第一从动锥齿；111、搅拌叶；2、中和室；201、第二电机；202、加料口；203、布料盘；204、搅拌板；205、第二主动锥齿；206、固定架；207、连接轴；208、翻搅板；209、第二从动锥齿；210、驱动轴；3、固气分离组件；301、分离箱；302、密封板；303、滤尘袋；304、气泵；305、反吹管；306、通孔板；307、转动轴；308、连接绳；309、碰撞球；310、链轮；311、链条；312、第三电机；4、通气管。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
下面根据本实用新型的整体结构，对其实施例进行说明。
多晶硅渣浆工艺尾气处理装置，如图1-4所示，包括有水解室1和中和室2，水解室1的内部安装有空心轴105，空心轴105的顶端通过旋转接头连接有连通管104，空心轴105的外表面分别设置有喷淋管107、打散杆106和搅拌叶111，水解室1的内部安装有抽水泵102，抽水泵102的出水端通过输水管103与连通管104相连通，中和室2的内部安装有驱动轴210，驱动轴210的外表面分别固定有布料盘203、搅拌板204和第二主动锥齿205，中和室2的内壁固定有固定架206，固定架206的内部安装有连接轴207，连接轴207的一端连接有第二从动锥齿209，连接轴207的外表面设置有翻搅板208，中和室2的顶部安装有第二电机201和加料口202，加料口202的顶部设置有密封盖，第二电机201的输出端与驱动轴210相连接，密封盖避免气体从加料口202排出，第二电机201旋转能够使得驱动轴210旋转，水解室1的一侧通过通气管4连接有固气分离组件3。
具体地，固气分离组件3包括有分离箱301，分离箱301的内部设置有密封板302和通孔板306，密封板302和通孔板306之间安装有滤尘袋303，通孔板306顶部安装有转动轴307，转动轴307的底端连接有链轮310，链轮310的外表面设置有链条311，转动轴307的外表面通过连接绳308连接有碰撞球309，分离箱301的一侧设置有气泵304，气泵304的输出端连接有延伸至分离箱301内部的反吹管305，气泵304通过反吹管305对滤尘袋303进行反吹，进而能够滤尘袋303进行彻底清理，实现了滤尘袋303的再生利用，分离箱301的内壁安装有第三电机312，第三电机312的输出端与一组转动轴307的端部相连接，第三电机312能够为转动轴307提供动力，即第三电机312旋转使得转动轴307旋转。
参阅图1，水解室1的顶部安装有第一电机108，第一电机108的输出端连接有第一主动锥齿109，空心轴105的外表面设置有第一从动锥齿110，第一主动锥齿109与第一从动锥齿110相咬合，第一电机108旋转使得第一主动锥齿109旋转，以此使得第一从动锥齿110旋转，继而使得空心轴105旋转。
参阅图1，连通管104的一端与中和室2相连通，连通管104的外表面设置有两组阀门，在水解完毕后，工作人员打开关闭一组阀门，然后打开另一组阀门，进而使得液体进入到中和室2的内部。
本实施例的实施原理为：在对尾气进行处理前，尾气被充入至分离箱301内，尾气中颗粒较大的粉尘向下掉落，而较小的粉尘和尾气会向上运动，滤尘袋303对尾气中的粉尘进行分离，进而能够达到对粉尘进行拦截，便于对粉尘进行回收，当使用过一段时间后，滤尘袋303的外表面会附着一层粉尘，然后工作人员启动第三电机312，第三电机312旋转使得转动轴307和链轮310旋转，以此使得多组转动轴307旋转，进而使得连接绳308带动碰撞球309旋转，碰撞球309旋转能够对滤尘袋303进行碰撞，进而可将附着的粉尘震落，避免滤尘袋303堵塞而影响通气量，经过除尘的尾气充入到液态烷液体中，空心轴105旋转使得搅拌叶111旋转，搅拌叶111带动液体与尾气进行充分混合，部分尾气会向上运动，抽水泵102将液体抽到连通管104，再从喷淋管喷出，空心轴105旋转使得喷淋管107进行旋转喷淋，打散杆106能够将喷淋的液体打散呈水雾，进而提高了喷淋面积，喷淋的液雾能够再次上升的气体进行混合，提高了氯化氢溶解的充分性，在水解完毕后，产生的氢气从一组管道排出收集，工作人员打开关闭一组阀门，然后打开另一组阀门，进而使得液体进入到中和室2的内部，工作人员将反应物和催化剂加入到布料盘203上，布料盘203旋转能够将反应物和催化剂均匀的布料在中和室2内，驱动轴210旋转使得第二主动锥齿205旋转，以此使得第二从动锥齿209带动连接轴207旋转，连接轴207旋转使得翻搅板208进行上下翻搅，而搅拌板204对液体进行左右翻搅，使得液体和催化剂能够充分快速反应，进而将溶解于液态氯硅烷中的氯化氢分离出来，分离出来的氯化氢从另一组管道排出收集。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，但本具体实施例仅仅是对本实用新型的解释，其并不是对实用新型的限制，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合，本领域技术人员在阅读完本说明书后可在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下，可以根据需要对实施例做出没有创造性贡献的修改、替换和变型等，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。
Claims (6)
1.多晶硅渣浆工艺尾气处理装置，包括有水解室(1)和中和室(2)，其特征在于：所述水解室(1)的内部安装有空心轴(105)，所述空心轴(105)的顶端通过旋转接头连接有连通管(104)，所述空心轴(105)的外表面分别设置有喷淋管(107)、打散杆(106)和搅拌叶(111)，所述水解室(1)的内部安装有抽水泵(102)，所述抽水泵(102)的出水端通过输水管(103)与连通管(104)相连通，所述中和室(2)的内部安装有驱动轴(210)，所述驱动轴(210)的外表面分别固定有布料盘(203)、搅拌板(204)和第二主动锥齿(205)，所述中和室(2)的内壁固定有固定架(206)，所述固定架(206)的内部安装有连接轴(207)，所述连接轴(207)的一端连接有第二从动锥齿(209)，所述连接轴(207)的外表面设置有翻搅板(208)，所述水解室(1)的一侧通过通气管(4)连接有固气分离组件(3)，所述固气分离组件(3)包括有分离箱(301)，所述分离箱(301)的内部设置有密封板(302)和通孔板(306)，所述密封板(302)和通孔板(306)之间安装有滤尘袋(303)，所述通孔板(306)顶部安装有转动轴(307)，所述转动轴(307)的底端连接有链轮(310)，所述链轮(310)的外表面设置有链条(311)，所述转动轴(307)的外表面通过连接绳(308)连接有碰撞球(309)。
2.根据权利要求1所述的多晶硅渣浆工艺尾气处理装置，其特征在于：所述分离箱(301)的一侧设置有气泵(304)，所述气泵(304)的输出端连接有延伸至分离箱(301)内部的反吹管(305)。
3.根据权利要求1所述的多晶硅渣浆工艺尾气处理装置，其特征在于：所述分离箱(301)的内壁安装有第三电机(312)，所述第三电机(312)的输出端与一组所述转动轴(307)的端部相连接。
4.根据权利要求1所述的多晶硅渣浆工艺尾气处理装置，其特征在于：所述水解室(1)的顶部安装有第一电机(108)，所述第一电机(108)的输出端连接有第一主动锥齿(109)，所述空心轴(105)的外表面设置有第一从动锥齿(110)，所述第一主动锥齿(109)与第一从动锥齿(110)相咬合。
5.根据权利要求1所述的多晶硅渣浆工艺尾气处理装置，其特征在于：所述中和室(2)的顶部安装有第二电机(201)和加料口(202)，所述加料口(202)的顶部设置有密封盖，所述第二电机(201)的输出端与驱动轴(210)相连接。
6.根据权利要求1所述的多晶硅渣浆工艺尾气处理装置，其特征在于：所述连通管(104)的一端与中和室(2)相连通，所述连通管(104)的外表面设置有两组阀门。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202221970285.8U CN218459029U (zh) | 2022-07-28 | 2022-07-28 | 多晶硅渣浆工艺尾气处理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202221970285.8U CN218459029U (zh) | 2022-07-28 | 2022-07-28 | 多晶硅渣浆工艺尾气处理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN218459029U true CN218459029U (zh) | 2023-02-10 |
Family
ID=85135806
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202221970285.8U Active CN218459029U (zh) | 2022-07-28 | 2022-07-28 | 多晶硅渣浆工艺尾气处理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN218459029U (zh) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116726687A (zh) * | 2023-06-13 | 2023-09-12 | 山东蓝诺机械制造有限公司 | 一种有机废气处理用多功能喷射装置及其处理工艺 |
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- 2022-07-28 CN CN202221970285.8U patent/CN218459029U/zh active Active
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116726687A (zh) * | 2023-06-13 | 2023-09-12 | 山东蓝诺机械制造有限公司 | 一种有机废气处理用多功能喷射装置及其处理工艺 |
| CN116726687B (zh) * | 2023-06-13 | 2024-05-03 | 山东蓝诺机械制造有限公司 | 一种有机废气处理用多功能喷射装置及其处理工艺 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right | ||
| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right |
Denomination of utility model: Tail gas treatment device for polycrystalline silicon slurry process Effective date of registration: 20230330 Granted publication date: 20230210 Pledgee: Industrial Bank Co.,Ltd. Yinchuan Branch Pledgor: NINGXIA SHENGLAN CHEMICAL ENVIRONMENTAL PROTECTION TECHNOLOGY Co.,Ltd. Registration number: Y2023980036999 |
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| PC01 | Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right | ||
| PC01 | Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right |
Granted publication date: 20230210 Pledgee: Industrial Bank Co.,Ltd. Yinchuan Branch Pledgor: NINGXIA SHENGLAN CHEMICAL ENVIRONMENTAL PROTECTION TECHNOLOGY Co.,Ltd. Registration number: Y2023980036999 |
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| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right | ||
| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right |
Denomination of utility model: Tail gas treatment device for polycrystalline silicon slurry process Granted publication date: 20230210 Pledgee: Industrial Bank Co.,Ltd. Yinchuan Branch Pledgor: NINGXIA SHENGLAN CHEMICAL ENVIRONMENTAL PROTECTION TECHNOLOGY Co.,Ltd. Registration number: Y2024980010536 |