CN218319065U - 一种半导体加工用输送装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体加工用输送装置，包括底座和滚珠丝杠，所述底座设置有两组，所述底座的内部均活动连接有滚珠丝杠，所述滚珠丝杠的外部均活动套接有丝杠螺母，所述丝杠螺母的一端固定连接有安装架，所述安装架的顶端活动连接有齿盘，所述齿盘的顶端固定连接有转轴，所述转轴的顶端固定连接有输送台，所述输送台顶端放置有载具。该半导体加工用输送装置通过设置有伺服电机、滚珠丝杠、丝杠螺母、输送台、载具，滚珠丝杠外部套接的丝杠螺母将旋转转为直线运动，带动输送台整体水平移动，从而将多组载具输送至加工区域，一次性输送多组，通过自动输送提高加工效率，保证产能，解决了输送效率低的问题。

Description

一种半导体加工用输送装置

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体为一种半导体加工用输送装置。

背景技术

半导体晶片进行加工需要使用自动或半自动设备进行物料的输送，由于半导体尺寸较小，使用输送带直接传送效果并不理想，因此需要使用到专门的载具将其运至加工区域。

现有的半导体加工用输送装置存在一些问题，例如：输送装置的输送效率低，不能一次性输送多组，影响产能；输送装置不能自动校正载具的排列，需要工作人员手动排放好再进行传送，较为费力；输送过程中不能自动转向，不便于加工区域的工作人员取料。

因此我们提出一种全新的半导体加工用输送装置，来弥补上述不足。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体加工用输送装置，以解决上述背景技术中提出的输送装置的输送效率低，不能一次性输送多组，影响产能的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体加工用输送装置，包括底座和滚珠丝杠，所述底座设置有两组，所述底座的内部均活动连接有滚珠丝杠，所述滚珠丝杠的外部均活动套接有丝杠螺母，所述丝杠螺母的一端固定连接有安装架，所述安装架的顶端活动连接有齿盘，所述齿盘的顶端固定连接有转轴，所述转轴的顶端固定连接有输送台，所述输送台顶端放置有载具，所述载具的内部排列有半导体片，所述输送台的内部开设有通槽，所述输送台底部的一端固定连接有第一气缸，所述第一气缸的输出端设置有第一活塞杆，所述第一活塞杆固定连接有第二气缸。

优选的，所述输送台底端的右侧开设有移动槽，所述第二气缸的顶端嵌在移动槽内移动，所述移动槽和第二气缸之间设置有滑珠。

优选的，所述第二气缸的输出端设置有第二活塞杆，所述第二活塞杆的底端固定连接有连接板，所述连接板的顶端固定连接有限位板，所限位板向上贯穿通槽。

优选的，所述齿盘的左侧设置有步进电机，所述步进电机的输出端固定连接有齿轮，所述齿轮与齿盘啮合连接，所述齿盘与齿轮均为锥齿。

优选的，所述输送台顶端的左侧固定连接有固定板，所述固定板的右侧固定连接有弹簧，所述弹簧的端面固定连接有定位板，所述弹簧设置有四组并等间距分布，所述定位板与载具抵接。

优选的，所述底座的右侧安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端与滚珠丝杠固定连接，所述滚珠丝杠设置有两组并相互平行。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该半导体加工用输送装置不仅实现了自动输送提高加工效率，保证产能，实现了自动校正位置，适用性强，而且实现了输送过程中进行旋转换向，灵活取料；

(1)通过设置有伺服电机、滚珠丝杠、丝杠螺母、输送台、载具，滚珠丝杠外部套接的丝杠螺母将旋转转为直线运动，带动输送台整体水平移动，从而将多组载具输送至加工区域，一次性输送多组，通过自动输送提高加工效率，保证产能；

(2)通过设置有第一气缸、第二气缸、第一活塞杆、第二活塞杆、限位板、固定板、弹簧、定位板，通过两组气缸的配合运动，使多组载具都能整齐排列并校正位置，起到自动校正的作用，可对不同尺寸的载具进行夹持运载，当输送台移动到加工区域时，则限位板向下撤回，方便工作人员拿取载具，具有较强的适用性；

(3)通过设置有齿轮、齿盘、步进电机、安装架，在输送过程中，通过齿轮与齿盘啮合转动，齿带动输送台整体转动，完成换向，便于加工人员取料，输送台可完成水平方向360°旋转，输送更灵活。

附图说明

图1为本实用新型的正视剖面结构示意图；

图2为本实用新型的输送台正视结构示意图；

图3为本实用新型的第二气缸正视结构示意图；

图4为本实用新型的俯视结构示意图。

图中：1、定位板；2、弹簧；3、固定板；4、输送台；5、第一气缸；6、转轴；7、步进电机；8、丝杠螺母；9、底座；10、滚珠丝杠；11、伺服电机；12、安装架；13、齿盘；14、齿轮；15、第一活塞杆；16、第二气缸；17、第二活塞杆；18、连接板；19、限位板；20、通槽；21、载具；22、半导体片；23、移动槽；24、滑珠。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例1：请参阅图1-4，一种半导体加工用输送装置，包括底座9和滚珠丝杠10，底座9设置有两组，底座9的内部均活动连接有滚珠丝杠10，滚珠丝杠10的外部均活动套接有丝杠螺母8，丝杠螺母8的一端固定连接有安装架12，齿盘13的顶端固定连接有转轴6，转轴6的顶端固定连接有输送台4，输送台4顶端放置有载具21，载具21的内部排列有半导体片22；

底座9的右侧安装有伺服电机11，伺服电机11的输出端与滚珠丝杠10固定连接，滚珠丝杠10设置有两组并相互平行；

具体地，如图1、图2、图3和图4所示，伺服电机11的输出轴带动滚珠丝杠10转动，滚珠丝杠10外部套接的丝杠螺母8将旋转转为直线运动，带动输送台4整体水平移动，从而将多组载具21输送至加工区域，每组载具21内都整齐排列有多组半导体片22，从而通过自动输送提高加工效率，保证产能。

实施例2：输送台4的内部开设有通槽20，输送台4底部的一端固定连接有第一气缸5，第一气缸5的输出端设置有第一活塞杆15，第一活塞杆15固定连接有第二气缸16，输送台4底端的右侧开设有移动槽23，第二气缸16的顶端嵌在移动槽23内移动，移动槽23和第二气缸16之间设置有滑珠24，第二气缸16的输出端设置有第二活塞杆17，第二活塞杆17的底端固定连接有连接板18，连接板18的顶端固定连接有限位板19，所限位板19向上贯穿通槽20，输送台4顶端的左侧固定连接有固定板3，固定板3的右侧固定连接有弹簧2，弹簧2的端面固定连接有定位板1，弹簧2设置有四组并等间距分布，定位板1与载具21抵接；

具体地，如图1、图2、图3和图4所示，工作人员将排列有半导体片22的载具21放置到输送台4上，并向前推动直至其与定位板1相抵接，启动第一气缸5，第一活塞杆15推动第二气缸16前移，第二气缸16带动第二活塞杆17伸出，连接板18向下移动，而后再回缩，限位板19则从通槽20中向上伸出，而后第一活塞杆15回拉，将限位板19左移，从而将载具21夹紧，载具21在弹簧2的作用下，具有一定的移动空间，从而使多组载具21都能整齐排列并校正位置，起到自动校正的作用，通过两组气缸的配合运动，可对不同尺寸的载具21进行夹持运载，当输送台4移动到加工区域时，则限位板19向下撤回，方便工作人员拿取载具21，具有较强的适用性。

实施例3：安装架12的顶端活动连接有齿盘13，齿盘13的左侧设置有步进电机7，步进电机7的输出端固定连接有齿轮14，齿轮14与齿盘13啮合连接，齿盘13与齿轮14均为锥齿；

具体地，如图1、图2、图3和图4所示，在输送过程中，步进电机7的输出轴带动齿轮14旋转，齿轮14带动与之啮合的齿盘13转动，齿盘13带动转轴6旋转，从而带动输送台4整体转动，完成换向，便于加工人员取料，输送台4可完成水平方向360°旋转，输送更灵活。

工作原理：本实用新型在使用时，工作人员将排列有半导体片22的载具21放置到输送台4上，并向前推动直至其与定位板1相抵接，启动第一气缸5，第一活塞杆15推动第二气缸16前移，第二气缸16带动第二活塞杆17伸出，连接板18向下移动，而后再回缩，限位板19则从通槽20中向上伸出，而后第一活塞杆15回拉，将限位板19左移，从而将载具21夹紧，起到自动校正的作用，伺服电机11的输出轴带动滚珠丝杠10转动，滚珠丝杠10外部套接的丝杠螺母8将旋转转为直线运动，带动输送台4整体水平移动，从而将多组载具21输送至加工区域，在输送过程中，步进电机7的输出轴带动齿轮14旋转，齿轮14带动与之啮合的齿盘13转动，齿盘13带动转轴6旋转，从而带动输送台4整体转动，完成换向，当输送台4移动到加工区域时，则限位板19向下撤回，完成输送。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (6)

1.一种半导体加工用输送装置，包括底座(9)和滚珠丝杠(10)，其特征在于：所述底座(9)设置有两组，所述底座(9)的内部均活动连接有滚珠丝杠(10)，所述滚珠丝杠(10)的外部均活动套接有丝杠螺母(8)，所述丝杠螺母(8)的一端固定连接有安装架(12)，所述安装架(12)的顶端活动连接有齿盘(13)，所述齿盘(13)的顶端固定连接有转轴(6)，所述转轴(6)的顶端固定连接有输送台(4)，所述输送台(4)顶端放置有载具(21)，所述载具(21)的内部排列有半导体片(22)，所述输送台(4)的内部开设有通槽(20)，所述输送台(4)底部的一端固定连接有第一气缸(5)，所述第一气缸(5)的输出端设置有第一活塞杆(15)，所述第一活塞杆(15)固定连接有第二气缸(16)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体加工用输送装置，其特征在于：所述输送台(4)底端的右侧开设有移动槽(23)，所述第二气缸(16)的顶端嵌在移动槽(23)内移动，所述移动槽(23)和第二气缸(16)之间设置有滑珠(24)。

3.根据权利要求1所述的一种半导体加工用输送装置，其特征在于：所述第二气缸(16)的输出端设置有第二活塞杆(17)，所述第二活塞杆(17)的底端固定连接有连接板(18)，所述连接板(18)的顶端固定连接有限位板(19)，所限位板(19)向上贯穿通槽(20)。

4.根据权利要求1所述的一种半导体加工用输送装置，其特征在于：所述齿盘(13)的左侧设置有步进电机(7)，所述步进电机(7)的输出端固定连接有齿轮(14)，所述齿轮(14)与齿盘(13)啮合连接，所述齿盘(13)与齿轮(14)均为锥齿。

5.根据权利要求1所述的一种半导体加工用输送装置，其特征在于：所述输送台(4)顶端的左侧固定连接有固定板(3)，所述固定板(3)的右侧固定连接有弹簧(2)，所述弹簧(2)的端面固定连接有定位板(1)，所述弹簧(2)设置有四组并等间距分布，所述定位板(1)与载具(21)抵接。

6.根据权利要求1所述的一种半导体加工用输送装置，其特征在于：所述底座(9)的右侧安装有伺服电机(11)，所述伺服电机(11)的输出端与滚珠丝杠(10)固定连接，所述滚珠丝杠(10)设置有两组并相互平行。

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