CN218158058U - 一种分立芯片吸附测试夹具 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于芯片测试技术领域，具体公开了一种分立芯片吸附测试夹具,包括金属吸盘和定位圈，金属吸盘的下表面开设有空气槽，空气槽的形状与探针台载物台所有真空孔构成的形状相对应，且覆盖探针台载物台所有真空孔；空气槽内开设有贯穿金属吸盘上表面和下表面的真空吸孔，真空吸孔的尺寸小于分立芯片的尺寸；金属吸盘的上表面覆盖有定位膜，定位膜上与金属吸盘真空吸孔相对应的位置开设有与分立芯片尺寸相适配的定位孔；定位圈和金属吸盘的上表面均沿径向设置有对位刻度线。本实用新型能够吸附分立芯片，避免了分立芯片测试时分立芯片被探针带起的情况的发生。本实用新型适用于分立芯片的测试。

Description

一种分立芯片吸附测试夹具

技术领域

本实用新型属于芯片测试技术领域，具体地说是一种分立芯片吸附测试夹具。

背景技术

随着科学技术的发展，电子芯片已经广泛应用于各种电子产品中。在完成芯片生产后，需要探针台对芯片的合格性进行检测，以此来挑选出不合格的芯片，而保留合格的芯片。探针台在测试时，把芯片整个晶圆吸附于探针台载物台（Chuck）表面，以实现芯片的整晶圆测试。

随着微机电***、多芯片组件、***级封装及三维集成电路等新型多芯片结构的出现和快速发展，分立芯片的使用越来越广泛，导致进行分立芯片测试评价的需求越来越多，但是探针台载物台表面真空吸附孔数有限且分布分散，不适合分立芯片批量的测试，所以为了实现分立芯片的批量测试，需要将分立芯片阵列摆放于一个测试夹具中，再将测试夹具吸附于探针台载物台表面，从而实现分立芯片的批量测试。

现有的分立芯片测试夹具为环氧PCB板材，这种分立芯片测试夹具平整度不好、接地差，特别是芯片不会吸附于夹具表面。在测试过程中，由于芯片不能吸附在测试夹具表面，就会发生芯片被探针带起的情况，此时，探针移动到下一只芯片测试时，就会导致芯片和射频探针损坏。

发明内容

本实用新型的目的，是要提供一种分立芯片吸附测试夹具，以避免发生分立芯片测试时分立芯片被探针带起的情况。

本实用新型为实现上述目的，所采用的技术方法如下：

一种分立芯片吸附测试夹具，基于探针台设置，它包括金属吸盘和定位圈，金属吸盘与探针台载物台接触的一面开设有空气槽，空气槽的形状与探针台载物台所有真空孔构成的形状相对应，且覆盖探针台载物台所有真空孔；空气槽内开设有若干个贯穿金属吸盘上表面和下表面的真空吸孔，真空吸孔的尺寸小于分立芯片的尺寸；金属吸盘未与探针台载物台相接触的一面覆盖有透明的定位膜，定位膜上与金属吸盘的真空吸孔相对应的位置开设有与分立芯片尺寸相适配、且数量与真空吸孔的数量相同的定位孔，分立芯片放置于定位膜的定位孔内，位于金属吸盘上表面的真空吸孔上；金属吸盘套装于定位圈内圈，定位圈与金属吸盘位于同一平面，定位圈外圈的直径与探针台载物台的直径相适配；定位圈的上表面沿径向设置有第一对位刻度线，金属吸盘的上表面沿径向设置有第二对位刻度线，第一对位刻度线和第二对位刻度线的数量相同，且相邻第一对位刻度线之间的夹角与相邻第二对位刻度线之间的夹角相同。

作为限定：定位圈与探针台载物台相接触的一面的内圈设有至少一个卡扣，金属吸盘与探针台载物台相接触的一面设有至少一个卡槽，定位圈的第一对位刻度线和金属吸盘的第二对位刻度线相对应时定位圈的卡扣与金属吸盘的卡槽相适配，金属吸盘上卡槽的数量与定位圈上卡扣的数量相同。

作为限定：第一对位刻度线和第二对位刻度线的数量均设置有八个，相邻第一对位刻度线之间的夹角与相邻第二对位刻度线之间的夹角均为45°。

作为限定：定位膜为聚氯乙烯材质的蓝膜，蓝膜粘贴于金属吸盘未与探针台载物台相接触的一面。

作为限定：金属吸盘为钨钢吸盘。

本实用新型由于采用了上述方案，与现有技术相比，所取得的有益效果是：

（1）本实用新型提供的一种分立芯片吸附测试夹具，金属吸盘将探针台载物台的真空孔内的真空通过金属吸盘下表面的空气槽和真空吸孔，引导到分立芯片下方，吸附分立芯片，从而使金属吸盘具有了真空吸附功能，避免了分立芯片测试时分立芯片被探针带起的情况的发生；通过设置定位膜，开设定位孔，起到放置和定位分立芯片作用，防止分立芯片偏移；通过设置定位圈和对位刻度线，使金属吸盘精确定位到探针台载物台上，使得空气槽完全覆盖探针台载物台的真空孔，防止探针台载物台的真空孔偏移出空气槽；

（2）本实用新型提供的一种分立芯片吸附测试夹具，通过在定位圈和金属吸盘上设置相互适配的卡扣和卡槽，避免了将金属吸盘精确定位到探针台载物台上后，金属吸盘发生移动，导致定位不准确；

（3）本实用新型提供的一种分立芯片吸附测试夹具，定位圈和金属吸盘上均设置八个对位刻度线，保证对位精度更高，相邻对位刻度线的夹角设置为45°，方便机加工，提高了机加工的精度，保证了对位刻度线的精度；

（4）本实用新型提供的一种分立芯片吸附测试夹具，金属吸盘采用钨钢吸盘，平整度较高，钨钢材料在厚度1.5mm时，平整度可以达到5μm以内，而且钨钢材料的接地性较好，使得分立芯片测试时测试指标能够达到良好的状态；

（5）本实用新型提供的一种分立芯片吸附测试夹具，方便机械加工和操作人员加工，便于大批量、流水线、机械化生产，生产效率高，降低了夹具的生产成本，适合大规模工业化生产。

本实用新型适用于分立芯片的测试。

附图说明

下面结合附图及具体实施例对本实用新型作更进一步详细说明。

图1为本实用新型实施例一种分立芯片吸附测试夹具上表面结构示意图；

图2为本实用新型实施例一种分立芯片吸附测试夹具下表面结构示意图；

图中：1、定位膜；2、定位圈；3、定位孔；4、真空吸孔；5、第一对位刻度线；6、第二对位刻度线；7、金属吸盘；8、空气槽；9、卡扣。

具体实施方式

下面结合实施例对本实用新型作进一步说明，但本领域的技术人员应当理解，本实用新型并不限于以下实施例，任何在本实用新型具体实施例基础上做出的改进和等效变化，都在本实用新型权利要求保护的范围之内。

实施例 一种分立芯片吸附测试夹具

一种分立芯片吸附测试夹具，基于探针台设置，它包括金属吸盘7和定位圈2，金属吸盘7与探针台载物台接触的一面为下表面，金属吸盘7的另一面为上表面；金属吸盘7的下表面开设有空气槽8，空气槽8的形状与探针台载物台所有真空孔构成的形状相对应，且覆盖探针台载物台所有真空孔；空气槽8内开设有100个贯穿金属吸盘7上表面和下表面的真空吸孔4，真空吸孔4的尺寸小于分立芯片的尺寸；金属吸盘7的上表面覆盖有透明的定位膜1，定位膜1上与金属吸盘7的真空吸孔4相对应的位置开设有与分立芯片尺寸相适配的定位孔3，定位孔3的数量为100个，分立芯片放置于定位膜1的定位孔3内，位于金属吸盘7上表面的真空吸孔4上；金属吸盘7套装于定位圈2内圈，定位圈2与金属吸盘7位于同一平面，定位圈2外圈的直径与探针台载物台的直径相适配；定位圈2的上表面沿径向设置有第一对位刻度线5，金属吸盘7的上表面沿径向设置有第二对位刻度线6，第一对位刻度线5和第二对位刻度线6的数量均设置有八个，且相邻第一对位刻度线5之间的夹角与相邻第二对位刻度线6之间的夹角均为45°；定位圈2下表面的内圈设有至少一个卡扣9，金属吸盘7下表面设有至少一个卡槽，定位圈2的第一对位刻度线5和金属吸盘7的第二对位刻度线6相对应时定位圈2的卡扣9与金属吸盘7的卡槽相适配，金属吸盘7上卡槽的数量与定位圈2上卡扣9的数量相同。

本实施例中定位圈2上设有四个卡扣9，金属吸盘7上设有四个卡槽；定位膜1为聚氯乙烯材质的透明蓝膜，厚度为0.08mm，根据分立芯片的尺寸，通过激光开槽，开设出定位孔3，蓝膜粘贴于金属吸盘7的上表面，起到定位和放置分立芯片的作用，而且可以透过蓝膜看到金属吸盘7表面的第二对位刻度线6；金属吸盘7为钨钢吸盘，钨钢材料在厚度1.5mm时，平整度可以达到5μm以内，满足分立芯片测试平整度要求，而且钨钢材料属于金属，接地性很好，使得分立芯片测试时测试指标能够达到良好的状态。

本实施例一种分立芯片吸附测试夹具工作时，将分立芯片放置于与其相适配的分立芯片吸附测试夹具定位膜1上的定位孔3中，再将定位圈2放置于探针台载物台表面，调整金属吸盘7的位置，使得金属吸盘7上表面的每条第二对位刻度线6与其对应的定位圈2上表面的第一对位刻度线5对齐且在一条直线上时，则金属吸盘7已经精准定位到探针台载物台的表面，再将定位圈2上的卡扣9与金属吸盘7上的卡槽扣合，定位圈2和金属吸盘7相互固定，使得金属吸盘7下表面的空气槽8完全覆盖探针台载物台上的真空孔，真空通过探针台载物台上的真空孔，进入到空气槽8中，再通过金属吸盘7上的真空吸孔4，将真空引导到分立芯片下面，实现了分立芯片的吸附，再使用探针台的探针对分立芯片进行测试，分立芯片吸附在金属吸盘7表面，一只芯片测试完成后，探针移动到下一只芯片测试，不会发生芯片被探针带起的情况，避免了芯片和射频探针损坏。

Claims (8)

1.一种分立芯片吸附测试夹具，基于探针台设置，其特征在于，它包括金属吸盘和定位圈，金属吸盘与探针台载物台接触的一面开设有空气槽，空气槽的形状与探针台载物台所有真空孔构成的形状相对应，且覆盖探针台载物台所有真空孔；空气槽内开设有若干个贯穿金属吸盘上表面和下表面的真空吸孔，真空吸孔的尺寸小于分立芯片的尺寸；金属吸盘未与探针台载物台相接触的一面覆盖有透明的定位膜，定位膜上与金属吸盘的真空吸孔相对应的位置开设有与分立芯片尺寸相适配、且数量与真空吸孔的数量相同的定位孔，分立芯片放置于定位膜的定位孔内，位于金属吸盘上表面的真空吸孔上；金属吸盘套装于定位圈内圈，定位圈与金属吸盘位于同一平面，定位圈外圈的直径与探针台载物台的直径相适配；定位圈的上表面沿径向设置有第一对位刻度线，金属吸盘的上表面沿径向设置有第二对位刻度线，第一对位刻度线和第二对位刻度线的数量相同，且相邻第一对位刻度线之间的夹角与相邻第二对位刻度线之间的夹角相同。

2.根据权利要求1所述的一种分立芯片吸附测试夹具，其特征在于，定位圈与探针台载物台相接触的一面的内圈设有至少一个卡扣，金属吸盘与探针台载物台相接触的一面设有至少一个卡槽，定位圈的第一对位刻度线和金属吸盘的第二对位刻度线相对应时定位圈的卡扣与金属吸盘的卡槽相适配，金属吸盘上卡槽的数量与定位圈上卡扣的数量相同。

3.根据权利要求1或2所述的一种分立芯片吸附测试夹具，其特征在于，第一对位刻度线和第二对位刻度线的数量均设置有八个，相邻第一对位刻度线之间的夹角与相邻第二对位刻度线之间的夹角均为45°。

4.根据权利要求1或2所述的一种分立芯片吸附测试夹具，其特征在于，定位膜为聚氯乙烯材质的蓝膜，蓝膜粘贴于金属吸盘未与探针台载物台相接触的一面。

5.根据权利要求3所述的一种分立芯片吸附测试夹具，其特征在于，定位膜为聚氯乙烯材质的蓝膜，蓝膜粘贴于金属吸盘未与探针台载物台相接触的一面。

6.根据权利要求1、2、5中任意一项所述的一种分立芯片吸附测试夹具，其特征在于，金属吸盘为钨钢吸盘。

7.根据权利要求3所述的一种分立芯片吸附测试夹具，其特征在于，金属吸盘为钨钢吸盘。

8.根据权利要求4所述的一种分立芯片吸附测试夹具，其特征在于，金属吸盘为钨钢吸盘。

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