CN218039101U - 半导体元件挠曲度检测机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种半导体元件挠曲度检测机构，包括机构底板、纠偏机构和检测模组，纠偏机构和检测模组均安装在机构底板上，纠偏机构位于检测模组沿着Y轴正方向的一侧，纠偏机构从上往下依次包括纠偏吸附基座、五轴纠偏定位机构和纠偏底座，检测模组包括检测底座、相机检测模组、传感器检测模组和检测X轴直线电机。本实用新型采用视觉检测配合量程较大的传感器的联合检测方式，首先由视觉***待检测元件进行初步定位，然后传感器对待测元件进行点、线或面测量，经由传感器的数据得出元件的变形量数据，传感器较大的量程，确保了元件都能被有效检测，有效减少了因测量失败造成的工时损失。

Description

半导体元件挠曲度检测机构

技术领域

本实用新型涉及半导体行业相关技术领域，尤其涉及一种半导体元件挠曲度检测机构。

背景技术

半导体行业中，对微小元件进行直线度或挠曲度检测时，因待检测元件尺寸微小，以及测精度要求高，传统的视觉检测方式仅仅是通过相机、镜头、光源组成的视觉***进行检测的，传统的视觉检测方法因为相机一般视野小以及景深小，检测时元件容易因为成像问题导致检测失败。

有鉴于上述的缺陷，本设计人积极加以研究创新，以期创设一种半导体元件挠曲度检测机构，使其更具有产业上的利用价值。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种半导体元件挠曲度检测机构。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

半导体元件挠曲度检测机构，包括机构底板、纠偏机构和检测模组，纠偏机构和检测模组均安装在机构底板上，纠偏机构位于检测模组沿着Y轴正方向的一侧，纠偏机构从上往下依次包括纠偏吸附基座、五轴纠偏定位机构和纠偏底座，五轴纠偏定位机构的底部通过下方的纠偏底座安装在机构底板上，五轴纠偏定位机构的顶部与上方的纠偏吸附基座相连接；检测模组包括检测底座、相机检测模组、传感器检测模组和检测X轴直线电机，检测X轴直线电机的底部通过下方的检测底座沿着X轴方向安装在机构底板上，检测X轴直线电机顶部的驱动端通过检测X轴滑台与上方的相机检测模组和传感器检测模组驱动连接设置，相机检测模组和传感器检测模组依次沿着X轴的负方向安装在过检测X轴滑台上；相机检测模组包括相机、镜头、双轴驱动机构、棱镜和环形光源，相机、镜头和棱镜依次沿着X轴的负方向设置且通过镜头安装座安装在双轴驱动机构上，双轴驱动机构安装在检测X轴滑台上，环形光源位于棱镜沿着Y轴正方向的一侧且通过光源支架安装在检测X轴滑台上；传感器检测模组包括传感器电动Z轴滑台和检测传感器，检测传感器沿着Y轴方向安装在传感器座上，传感器座通过传感器电动Z轴滑台安装在检测X轴滑台上。

作为本实用新型的进一步改进，五轴纠偏定位机构从下往上依次包括纠偏电动Z轴滑台、纠偏X轴直线位移台、纠偏Y轴直线位移台、第一弧摆台和第二弧摆台，纠偏电动Z轴滑台安装在纠偏底座上，纠偏电动Z轴滑台通过纠偏Z轴台板与上方的纠偏X轴直线位移台相连接，纠偏X轴直线位移台、纠偏Y轴直线位移台、第一弧摆台和第二弧摆台从下往上依次相连接设置。

作为本实用新型的进一步改进，第一弧摆台可在XZ轴平面内摆动设置，第二弧摆台可在YZ轴平面内摆动设置。

作为本实用新型的进一步改进，双轴驱动机构从下往上依次包括Y轴直线位移台和相机电动Z轴滑台，Y轴直线位移台安装在检测X轴滑台上，Y轴直线位移台和相机电动Z轴滑台从下往上依次与上方的镜头安装座相连接。

作为本实用新型的进一步改进，检测传感器沿着Y轴负方向的一侧设置有保护罩。

作为本实用新型的进一步改进，检测传感器为激光同轴位移计。

借由上述方案，本实用新型至少具有以下优点：

本实用新型采用视觉检测配合量程较大的传感器的联合检测方式，首先由视觉***待检测元件进行初步定位，然后传感器对待测元件进行点、线或面测量，经由传感器的数据得出元件的变形量数据，传感器较大的量程，确保了元件都能被有效检测，有效减少了因测量失败造成的工时损失。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1是本实用新型一种半导体元件挠曲度检测机构的结构示意图；

图2是图1中纠偏机构的结构示意图；

图3是图1中检测模组的结构示意图。

其中，图中各附图标记的含义如下。

1机构底板 2纠偏机构

3检测模组 4纠偏底座

5纠偏电动Z轴滑台 6纠偏Z轴台板

7纠偏X轴直线位移台 8纠偏Y轴直线位移台

9第一弧摆台 10第二弧摆台

11纠偏吸附基座 12检测底座

13检测X轴直线电机 14检测X轴滑台

15Y轴直线位移台 16相机电动Z轴滑台

17相机 18镜头

19镜头安装座 20环形光源

21棱镜 22光源支架

23传感器电动Z轴滑台 24传感器安装座

25保护罩 26检测传感器

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，下面将结合本实用新型实施例中附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例

如图1～图3所示，

一种半导体元件挠曲度检测机构，包括机构底板1、纠偏机构2和检测模组3，纠偏机构2和检测模组3均安装在机构底板1上，纠偏机构2位于检测模组3沿着Y轴正方向的一侧。

纠偏机构2从上往下依次包括纠偏吸附基座11、五轴纠偏定位机构和纠偏底座4，五轴纠偏定位机构的底部通过下方的纠偏底座4安装在机构底板1上，五轴纠偏定位机构的顶部与上方的纠偏吸附基座11相连接。

检测模组3包括检测底座12、相机检测模组、传感器检测模组和检测X轴直线电机13，检测X轴直线电机13的底部通过下方的检测底座12沿着X轴方向安装在机构底板1上，检测X轴直线电机13顶部的驱动端通过检测X轴滑台14与上方的相机检测模组和传感器检测模组驱动连接设置，相机检测模组和传感器检测模组依次沿着X轴的负方向安装在过检测X轴滑台14上。

相机检测模组包括相机17、镜头18、双轴驱动机构、棱镜21和环形光源20，相机17、镜头18和棱镜21依次沿着X轴的负方向设置且通过镜头安装座19安装在双轴驱动机构上，双轴驱动机构安装在检测X轴滑台14上，环形光源20位于棱镜21沿着Y轴正方向的一侧且通过光源支架22安装在检测X轴滑台14上。

传感器检测模组包括传感器电动Z轴滑台23和检测传感器26，检测传感器26沿着Y轴方向安装在传感器座24上，传感器座24通过传感器电动Z轴滑台23安装在检测X轴滑台14上。检测传感器26为激光同轴位移计，检测传感器26沿着Y轴负方向的一侧设置有保护罩25。

其中，五轴纠偏定位机构从下往上依次包括纠偏电动Z轴滑台5、纠偏X轴直线位移台7、纠偏Y轴直线位移台8、第一弧摆台9和第二弧摆台10，纠偏电动Z轴滑台5安装在纠偏底座4上，纠偏电动Z轴滑台5通过纠偏Z轴台板6与上方的纠偏X轴直线位移台7相连接，纠偏X轴直线位移台7、纠偏Y轴直线位移台8、第一弧摆台9和第二弧摆台10从下往上依次相连接设置。第一弧摆台9可在XZ轴平面内摆动设置，第二弧摆台10可在YZ轴平面内摆动设置。

其中，双轴驱动机构从下往上依次包括Y轴直线位移台15和相机电动Z轴滑台16，Y轴直线位移台15安装在检测X轴滑台14上，Y轴直线位移台15和相机电动Z轴滑台16从下往上依次与上方的镜头安装座19相连接。

本实用新型各零部件之间的关系如下：纠偏机构2通过螺钉固定在机构底板1上，纠偏吸附基座11通过螺钉固定在待测元件纠偏机构2上，使之可在五轴纠偏定位机构的作用下进行五轴联动微调位置。

检测模组3通过检测底座12用螺钉固定在机构底板1上，在检测X轴直线电机13的作用下，并通过检测X轴滑台14进行往复运动到指定位置。

相机17、镜头18、棱镜21和环形光源20组成了光学相机组件，它们通过镜头安装座19和双轴驱动机构固定在检测X轴滑台14上，配合检测模组3的运行，可实现三轴方向上的光学位置调整。

用于检测挠曲度的检测传感器26通过传感器座24和传感器电动Z轴滑台23固定在检测X轴滑台14上，配合检测模组3的运行，可实现两轴方向上的检测位置调整。

本实用新型的工作过程或工作原理简述：

在工作时，首先待检测元件通过夹持、吸附等方式固定在纠偏吸附基座11上；然后，检测X轴直线电机13驱动检测模组3，使待测元件进入相机17的视野，并被相机17抓靶定位；然后，***根据视觉定位的数据，纠偏机构2驱动纠偏吸附基座11进行待测元件位置的五轴纠偏定位，定位完成后，相机17再次抓取待测元件的位置。最后，根据此最终的抓靶位置数据，检测X轴直线电机13驱动检测模组3，使用于检测挠曲度的检测传感器26到达检测的位置，根据设定的检测工艺路线，对待测元件进行点测量、线测量或面测量，得出元件的测量数据。

至此，待测元件的挠曲度测量工作完成，元件可根据后续工艺需求，继续进行加工或取走。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指咧所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接：可以是机械连接，也可以是电连接：可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通.对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，并不用于限制本实用新型，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (6)

1.半导体元件挠曲度检测机构，包括机构底板(1)、纠偏机构(2)和检测模组(3)，所述纠偏机构(2)和检测模组(3)均安装在机构底板(1)上，所述纠偏机构(2)位于检测模组(3)沿着Y轴正方向的一侧，其特征在于，所述纠偏机构(2)从上往下依次包括纠偏吸附基座(11)、五轴纠偏定位机构和纠偏底座(4)，所述五轴纠偏定位机构的底部通过下方的纠偏底座(4)安装在机构底板(1)上，所述五轴纠偏定位机构的顶部与上方的纠偏吸附基座(11)相连接；所述检测模组(3)包括检测底座(12)、相机检测模组、传感器检测模组和检测X轴直线电机(13)，所述检测X轴直线电机(13)的底部通过下方的检测底座(12)沿着X轴方向安装在机构底板(1)上，所述检测X轴直线电机(13)顶部的驱动端通过检测X轴滑台(14)与上方的相机检测模组和传感器检测模组驱动连接设置，所述相机检测模组和传感器检测模组依次沿着X轴的负方向安装在过检测X轴滑台(14)上；所述相机检测模组包括相机(17)、镜头(18)、双轴驱动机构、棱镜(21)和环形光源(20)，所述相机(17)、镜头(18)和棱镜(21)依次沿着X轴的负方向设置且通过镜头安装座(19)安装在双轴驱动机构上，所述双轴驱动机构安装在检测X轴滑台(14)上，所述环形光源(20)位于棱镜(21)沿着Y轴正方向的一侧且通过光源支架(22)安装在检测X轴滑台(14)上；所述传感器检测模组包括传感器电动Z轴滑台(23)和检测传感器(26)，所述检测传感器(26)沿着Y轴方向安装在传感器座(24)上，所述传感器座(24)通过传感器电动Z轴滑台(23)安装在检测X轴滑台(14)上。

2.如权利要求1所述的半导体元件挠曲度检测机构，其特征在于，所述五轴纠偏定位机构从下往上依次包括纠偏电动Z轴滑台(5)、纠偏X轴直线位移台(7)、纠偏Y轴直线位移台(8)、第一弧摆台(9)和第二弧摆台(10)，所述纠偏电动Z轴滑台(5)安装在纠偏底座(4)上，所述纠偏电动Z轴滑台(5)通过纠偏Z轴台板(6)与上方的纠偏X轴直线位移台(7)相连接，所述纠偏X轴直线位移台(7)、纠偏Y轴直线位移台(8)、第一弧摆台(9)和第二弧摆台(10)从下往上依次相连接设置。

3.如权利要求2所述的半导体元件挠曲度检测机构，其特征在于，所述第一弧摆台(9)可在XZ轴平面内摆动设置，所述第二弧摆台(10)可在YZ轴平面内摆动设置。

4.如权利要求1所述的半导体元件挠曲度检测机构，其特征在于，所述双轴驱动机构从下往上依次包括Y轴直线位移台(15)和相机电动Z轴滑台(16)，所述Y轴直线位移台(15)安装在检测X轴滑台(14)上，所述Y轴直线位移台(15)和相机电动Z轴滑台(16)从下往上依次与上方的镜头安装座(19)相连接。

5.如权利要求1所述的半导体元件挠曲度检测机构，其特征在于，所述检测传感器(26)沿着Y轴负方向的一侧设置有保护罩(25)。

6.如权利要求1所述的半导体元件挠曲度检测机构，其特征在于，所述检测传感器(26)为激光同轴位移计。

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