CN217904676U - 一种恒温加热装置 - Google Patents
一种恒温加热装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN217904676U CN217904676U CN202221406702.6U CN202221406702U CN217904676U CN 217904676 U CN217904676 U CN 217904676U CN 202221406702 U CN202221406702 U CN 202221406702U CN 217904676 U CN217904676 U CN 217904676U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- heating
- control device
- sample
- temperature
- unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Devices For Use In Laboratory Experiments (AREA)
Abstract
本实用新型实施例公开了一种恒温加热装置，包括加热台、升降机构以及样品托架；所述加热台的台面上设有凹槽，所述样品托架置于所述凹槽内；所述升降机构设于所述加热台上并与所述样品托架连接，所述升降机构用于调节所述样品托架与所述加热台的台面的间距。采用本实用新型实施例，可快速调整样品的受热温度，适用于需要多种温度处理的工艺。
Description
技术领域
本实用新型涉及加热装置技术领域，尤其涉及一种恒温加热装置。
背景技术
现有的加热台，由于导热平板较厚、具有一定的热容，恒温性很好，但是在做温度调整时需要一定的时间，特别是在降温过程中，一般采用自然冷却的方式降温，降温速度较升温速度更慢。因此，在需要使用多个温度条件进行工艺处理的情况下，为节省时间、避免工艺达不到预期效果，工作人员一般采用多台恒温加热装置来分别设置不同温度，当样品在一个恒温加热台上处理完后，再转移到另一个恒温加热台进行处理。
但多台加热台的使用导致了占用空间的增加，并且需要专门工具将样品从一个加热台转移达到另外一个加热台。其次，现有加热台的台面一般是平整的表面，像晶圆一样薄而平整的样品在移取时比较麻烦，而且在移取过程中，还容易导致晶圆的滑落、破损。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题在于，提供一种恒温加热装置，可快速调整样品的受热温度，适用于需要多种温度处理的工艺。
为了解决上述技术问题，本实用新型实施例提供了一种恒温加热装置，包括加热台、升降机构以及样品托架；所述加热台的台面上设有凹槽，所述样品托架置于所述凹槽内；所述升降机构设于所述加热台上并与所述样品托架连接，所述升降机构用于调节所述样品托架与所述加热台的台面的间距。
作为上述方案的改进，所述恒温加热装置还包括控制装置和第一调节单元；所述第一调节单元设于所述控制装置的表面；所述第一调节单元、控制装置及升降机构依次连接，所述第一调节单元用于控制所述升降机构的升降高度。
作为上述方案的改进，所述样品托架上设有置物盘。
作为上述方案的改进，所述恒温加热装置还包括温度传感器和显示单元；所述温度传感器设于所述置物盘上，所述显示单元设于所述控制装置的表面；所述温度传感器、控制装置及显示单元依次连接，所述显示单元用于显示样品的受热温度。
作为上述方案的改进，所述恒温加热装置还包括第二调节单元；所述加热台内设有电热单元，所述第二调节单元设于所述控制装置的表面；所述第二调节单元、控制装置及电热单元依次连接，所述第二调节单元用于控制所述电热单元的加热功率。
作为上述方案的改进，所述加热台通过支撑件与所述控制装置连接并位于所述控制装置的上方，所述加热台与所述控制装置之间预留有散热间隔。
作为上述方案的改进，所述恒温加热装置还包括保温盖，所述保温盖铰接于所述加热台上。
作为上述方案的改进，所述保温盖的侧壁上设有第一缺口；在所述保温盖与所述加热台闭合时，所述样品托架置于所述第一缺口内并可在所述第一缺口内上下移动。
作为上述方案的改进，所述保温盖的侧壁设有第二缺口，所述第二缺口用于在所述保温盖与所述加热台闭合时形成通风口。
作为上述方案的改进，所述保温盖上设有拉手。
实施本实用新型实施例，具有如下有益效果：
所述恒温加热装置在使用时，工作人员可通过调节所述样品托架与所述加热台的台面的间距来改变样品的受热温度，当所述样品托架置于所述凹槽内时，所述样品托架上的样品离所述加热台的台面较近，受热温度高，而当所述升降机构上升时，所述样品托架逐渐脱离于所述凹槽，所述样品托架上的样品随之逐渐远离于所述加热台的台面，样品的受热温度逐渐降低。因此，相对于现有的加热台，本实用新型实施例可快速调整样品的受热温度，无需采用多台加热台，减少空间的占用，同时无需具备专门的移取工具，操作便捷，规避了移取过程中样品掉落、破损的风险。
附图说明
图1是本实用新型所提供的恒温加热装置在升降机构升起前的结构示意图；
图2是本实用新型所提供的恒温加热装置在升降机构升起后的结构示意图；
图3是本实用新型所提供的恒温加热装置的***框图。
具体实施方式
为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型作进一步地详细描述。仅此声明，本实用新型在文中出现或即将出现的上、下、左、右、前、后、内、外等方位用词，仅以本实用新型的附图为基准，其并不是对本实用新型的具体限定。
结合图1～图2所示，本实用新型的一实施例，提供了一种恒温加热装置，包括加热台1、升降机构2、样品托架3以及置物盘4；所述加热台1的台面上设有凹槽11，所述样品托架3置于所述凹槽11内，所述置物盘4设于所述样品托架3上；所述升降机构2设于所述加热台1上并与所述样品托架3连接，所述升降机构2用于调节所述置物盘4与所述加热台1的台面的间距。
需要说明的是，所述恒温加热装置在使用时，工作人员可通过调节所述样品托架3与所述加热台1的台面的间距来改变样品的受热温度，当所述样品托架3置于所述凹槽11内时，所述样品托架3上的样品离所述加热台1的台面较近，受热温度高，而当所述升降机构2上升时，所述样品托架3逐渐脱离于所述凹槽11，所述样品托架3上的样品随之逐渐远离于所述加热台1的台面，样品的受热温度逐渐降低。因此，相对于现有的加热台1，本实用新型实施例可快速调整样品的受热温度，无需采用多台加热台1，减少空间的占用，同时无需具备专门的移取工具，操作便捷，规避了移取过程中样品掉落、破损的风险。
进一步地，所述样品托架3上设有置物盘4，以便于放置硅片等小型样品。
结合图1～图3所示，为了方便用户调节所述升降机构2的升降高度，所述恒温加热装置还包括控制装置5和第一调节单元6；所述第一调节单元6设于所述控制装置5的表面；所述第一调节单元6、控制装置5及升降机构2依次连接，所述第一调节单元6用于控制所述升降机构2的升降高度。具体地，所述第一调节单元6生成调节信号，所述控制装置5用于根据所述调节信号驱动所述升降机构2，以控制所述升降机构2的升降高度。在本实施例中，所述第一调节单元6优选为调节旋钮；所述升降机构2优选为电动推杆；所述控制装置5优选内设有单片机和电机驱动电路，但不限于此，能够实现电控功能即可。
其次，为了使工作人员能够精确调控样品的受热温度，所述恒温加热装置还包括温度传感器7和显示单元8；所述温度传感器7设于所述置物盘4上，所述显示单元8设于所述控制装置5的表面；所述温度传感器7、控制装置5及显示单元8依次连接，所述显示单元8用于显示样品的受热温度。
相应地，为了方便工作人员选取适当的加热功率、节约能源，所述恒温加热装置还包括第二调节单元9；所述加热台1内设有电热单元12，所述第二调节单元9设于所述控制装置5的表面；所述第二调节单元9、控制装置5及电热单元12依次连接，所述第二调节单元9用于控制所述电热单元12的加热功率。在本实施例中，所述第二调节单元9也优选为调节旋钮；所述显示单元8除了用于显示样品的受热温度外，还用于显示所述加热台1台面的温度。
结合图1～图2所示，所述加热台1通过支撑件与所述控制装置5连接并位于所述控制装置5的上方，所述加热台1与所述控制装置5之间预留有散热间隔，以尽可能减少所述加热台1在工作时传导至所述控制装置5的热量，避免所述控制装置5内的温度过高导致相应的单片机和电路工作异常。
其次，所述恒温加热装置还包括保温盖10，所述保温盖10铰接于所述加热台1上，所述保温盖10用于改变降温梯度。例如：在所述保温盖10打开的情况下，所述加热台1的设定温度为500℃，只需将样品抬离所述加热台1的台面1mm，则可以使样品的受热温度降到350℃；而在所述保温盖10盖合的情况下，所述加热台1上方的降温梯度会显著减小，如果要使样品的受热温度降到350℃，需要将样品抬离所述加热台1的台面8mm。其中，所述保温盖10的侧壁上设有第一缺口101；在所述保温盖10与所述加热台1闭合时，所述样品托架3置于所述第一缺口101内并可在所述第一缺口101内上下移动。
相应地，所述保温盖10的侧壁设有第二缺口102，所述第二缺口102用于在所述保温盖10与所述加热台1闭合时形成通风口，从而避免加热时所述保温盖10内的气压发生变化影响工艺效果。
进一步地，所述保温盖10上设有拉手103，以便于工作人员盖合或掀开所述保温盖10。
综上所述，采用本实用新型实施例，可快速调整样品的受热温度，适用于需要多种温度处理的工艺。
以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也视为本实用新型的保护范围。
Claims (10)
1.一种恒温加热装置，其特征在于，包括加热台、升降机构以及样品托架；
所述加热台的台面上设有凹槽，所述样品托架置于所述凹槽内；
所述升降机构设于所述加热台上并与所述样品托架连接，所述升降机构用于调节所述样品托架与所述加热台的台面的间距。
2.根据权利要求1所述的恒温加热装置，其特征在于，还包括控制装置和第一调节单元；
所述第一调节单元设于所述控制装置的表面；
所述第一调节单元、控制装置及升降机构依次连接，所述第一调节单元用于控制所述升降机构的升降高度。
3.根据权利要求2所述的恒温加热装置，其特征在于，所述样品托架上设有置物盘。
4.根据权利要求3所述的恒温加热装置，其特征在于，还包括温度传感器和显示单元；
所述温度传感器设于所述置物盘上，所述显示单元设于所述控制装置的表面；
所述温度传感器、控制装置及显示单元依次连接，所述显示单元用于显示样品的受热温度。
5.根据权利要求2所述的恒温加热装置，其特征在于，还包括第二调节单元；
所述加热台内设有电热单元，所述第二调节单元设于所述控制装置的表面；
所述第二调节单元、控制装置及电热单元依次连接，所述第二调节单元用于控制所述电热单元的加热功率。
6.根据权利要求2所述的恒温加热装置，其特征在于，所述加热台通过支撑件与所述控制装置连接并位于所述控制装置的上方，所述加热台与所述控制装置之间预留有散热间隔。
7.根据权利要求1所述的恒温加热装置，其特征在于，还包括保温盖，所述保温盖铰接于所述加热台上。
8.根据权利要求7所述的恒温加热装置，其特征在于，所述保温盖的侧壁上设有第一缺口；
在所述保温盖与所述加热台闭合时，所述样品托架置于所述第一缺口内并可在所述第一缺口内上下移动。
9.根据权利要求7所述的恒温加热装置，其特征在于，所述保温盖的侧壁设有第二缺口，所述第二缺口用于在所述保温盖与所述加热台闭合时形成通风口。
10.根据权利要求7所述的恒温加热装置，其特征在于，所述保温盖上设有拉手。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202221406702.6U CN217904676U (zh) | 2022-06-07 | 2022-06-07 | 一种恒温加热装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202221406702.6U CN217904676U (zh) | 2022-06-07 | 2022-06-07 | 一种恒温加热装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN217904676U true CN217904676U (zh) | 2022-11-25 |
Family
ID=84129631
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202221406702.6U Active CN217904676U (zh) | 2022-06-07 | 2022-06-07 | 一种恒温加热装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN217904676U (zh) |
-
2022
- 2022-06-07 CN CN202221406702.6U patent/CN217904676U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5224536A (en) | Thermostatting device | |
| US10204809B2 (en) | Method for thermal treatment using heat reservoir chamber | |
| EP0675526B1 (en) | Multi-process bake/chill station | |
| CN101933122B (zh) | 负载锁定装置和基板冷却方法 | |
| EP2355133A2 (en) | Substrate heating apparatus, substrate heating method and substrate processing system | |
| CN217904676U (zh) | 一种恒温加热装置 | |
| CN110367245B (zh) | ***冷冻装置 | |
| KR101867039B1 (ko) | 면취 장치 및 면취 방법 | |
| US10126053B2 (en) | Precision dual annealing apparatus | |
| JP3108895U (ja) | 加熱装置を有するクライオスタット | |
| US20210001341A1 (en) | Safety Cabinet | |
| CN206515268U (zh) | 一种对石材耐高温性能的自动测试装置 | |
| US9612462B2 (en) | Liquid crystal display panel poor alignment repairing apparatus | |
| CN214067168U (zh) | 一种pct/il-6二联荧光定量免疫层析试纸制备装置 | |
| CN113467541A (zh) | 用于生物研究的控温装置 | |
| JP2003148852A (ja) | チャック用温度制御装置及びチャックの温度制御方法 | |
| CN217556359U (zh) | 一种超薄硅单晶切片热处理装置 | |
| CN215529463U (zh) | 一种电子通讯设备降温装置 | |
| CN206204484U (zh) | 退火设备 | |
| CN205342146U (zh) | 一种用于真空共晶炉的一体式加热装置 | |
| CN220132294U (zh) | 一种双金属带锯条的淬火加热炉 | |
| CN210721165U (zh) | 一种新型的模架的温度调节*** | |
| CN220010725U (zh) | 一种送检样品封闭装置 | |
| CN215867607U (zh) | 用于生物研究的控温装置 | |
| JPH0863236A (ja) | 温度制御装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |