CN217847907U - 一种慢提拉控制***及设有该控制***的清洗机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种慢提拉控制***，包括用于放置片篮的基座；在基座的两端外侧均构设有支架及用于驱动支架上下移动的驱动装置；所述驱动装置构置有丝杆；同一侧的丝杆和支架连接；驱动单侧丝杆带动另一侧的丝杆同步旋转，两侧丝杆带动两侧支架及支架之间的基座一起上下移动；或者，驱动两侧丝杆同步旋转，使两侧丝杆分别通过与其相对应的支架带动支架之间的基座一同上下移动。本实用新型一种慢提拉控制***，采用双侧机械结构的驱动机构，整体配合稳定且强度高，抛动节奏一致且不会产生晃动，提高整个抛动控制***的寿命。本实用新型还提出一种采用该慢提拉控制***的清洗机。
Description
技术领域
本实用新型属于硅片清洗辅助设备技术领域，尤其是涉及一种慢提拉控制***。
背景技术
中国公开专利CN216174798U提出一种慢提拉抛动机构，提出一端采用两条竖直的钢丝绳悬吊受另一端动力的驱动带动而上下移动，这种单臂式的钢丝绳悬吊极不稳定，钢丝绳本身是柔性件，极易受震动摇晃，也很容易受磨损断裂，一旦有任一个钢丝绳断裂，则整个抛动的稳定性都不复存在，直接影响硅片清洗的质量，甚至硅片受震动而撞击花篮，导致裂片严重。
实用新型内容
本实用新型提供一种慢提拉控制***，解决了现有技术中单臂式钢丝绳悬吊的抛动机构容易产生晃动而导致硅片裂片严重的技术问题。
为解决至少一个上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：
一种慢提拉控制***，包括用于放置片篮的基座；
在基座的两端外侧均构设有支架及用于驱动支架上下移动的驱动装置；
所述驱动装置构置有丝杆；
同一侧的丝杆和支架连接；
驱动单侧丝杆带动另一侧的丝杆同步旋转，两侧丝杆带动两侧支架及支架之间的基座一起上下移动；或者，
驱动两侧丝杆同步旋转，使两侧丝杆分别通过与其相对应的支架带动支架之间的基座一同上下移动。
进一步的，所述支架包括两个并行设置的立杆及连接两个所述立杆的横板；
所述立杆的一端与所述基座的一个角端连接，其另一端通过外延的短杆与所述横板的一端连接；
所述横板被置于所述立杆的外侧且位于所述立杆的上端部。
进一步的，所述丝杆竖直设置且位于所述横板中线；
所述立杆上端部高于所述支架的上限位置且其下端部低于所述基座的下限位置。
进一步的，所述驱动装置还包括置于丝杠两侧并与所述丝杠并行设置的导向柱，所述导向柱的两端分别固设在并行设置的固定板上，且通过所述固定板与同侧的所述丝杆连接于一体。
进一步的，在每个所述导向柱上还套设与其配合的轴套，所述轴套靠近所述支架一侧构设有竖板，所述竖板与所述支架连接。
在本实施例中的一个实施例，两侧所述丝杆共用一个电机，且其中一侧的丝杆直接与电机连接；
两侧所述丝杆通过传动带连接。
进一步的，在所述传动带上还配设有张紧轮。
进一步的，所述电机的输出端通过皮带与所述丝杆连接；
所述丝杆与所述电机的连接点位于所述丝杆与所述传动带的连接点的上方。
在本实施例中的另一个实施例，两侧所述丝杆独立设置，每个丝杆配设有一个电机。
一种清洗机，配设有如上任一项所述的控制***。
采用本实用新型设计的一种慢提拉控制***，采用双侧机械结构的驱动机构，整体配合稳定且强度高，抛动节奏一致且不会产生晃动，提高整个抛动控制***的寿命。
附图说明
图1是本实用新型一实施例的一种慢提拉控制***一侧的立体图；
图2是本实用新型一实施例的一种慢提拉控制***另一侧的立体图；
图3是本实用新型另一实施例的一种慢提拉控制***的立体图。
图中：
10、基座 20、支架 21、立杆
22、横板 30、驱动装置 31、丝杆
32、电机 33、传动带 34、张紧轮
35、导向柱 36、固定板 37、轴套
38、竖板
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细说明。
实施例一：
本实施例提出一种慢提拉控制***，如图1-2所示，包括用于放置片篮的基座10；在基座10的两端外侧均构设有支架20及用于驱动支架20上下移动的驱动装置30；每个驱动装置30都构置有丝杆31且两个丝杆仅配置有一个电机32；同一侧的丝杆31和支架20连接，且两侧丝杆31通过传动带33连接。工作中，驱动一侧的丝杆31通过传动带33带动另一侧的丝杆31与被驱动的丝杆31同步旋转，两侧丝杆31带动与其连接的两侧支架20及支架20之间的基座10一起上下移动，从而实现满提拉槽的上下移动。在本实施例中，放置片篮的基座10的两端固设有两个竖直设置的机械支架20，同时分别采用双侧的机械传动结构的驱动装置30来拉动支架20上下竖直移动，从而带动基座10和基座10上方的片篮可稳定地竖直上下移动，不会产生如现有技术中绳索悬吊时的晃动现象，而且还进一步提高整个升降移动过程中的固定强度，使基座10更加平稳地竖直上下移动，也不易损坏，延长使用时限。
进一步的，双侧支架20的结构相同，即每个支架20均包括两个并行设置的立杆21及连接两个立杆21的横板22，每个立杆21的一端与基座10的一个角端连接；立杆21的另一端通过外延的短杆与横板22的一端连接；所有立杆21均垂直于基座10的平面设置，且横板22与立杆21垂直交叉连接。
优选地，为了提高整个慢提拉控制***的安全性，要求每一侧的横板22都是设置在立杆21的外侧且位于立杆21的上端部。
进一步的，丝杆31竖直设置在横板22的中线位置处。为了保证整个基座10及基座10上方的水槽的高度和片篮中硅片的清洗质量，要求立杆21的高度高于满提拉水槽的上移高度，即立杆21的上端部高于支架20的上限位置且立杆21的下端部低于基座10的下限位置。同时，传动带33位于基座10的下限位置之下，避免传动带33的位置干涉基座10上下移动。
进一步的，其中一侧的丝杆31直接与电机32连接，也就是，两侧丝杆31共用一个电机32，电机32可与任一侧的丝杆31连接，且电机32的输出端通过皮带与丝杆31连接。
进一步的，丝杆31与电机32的连接轮位于丝杆31与传动带33的连接轮的上方也就是，电气32输出的力经丝杆31双向传递后，使两侧丝杆31同步同向升降移动。
进一步的，驱动装置30还包括置于丝杠31两侧并与丝杠31并行设置的导向柱35，导向柱35的两端分别固设在并行设置的固定板36上，丝杆31的上端面固定在最上端的固定板36上，最下端的固定板36被丝杆31贯穿设置；两个导向柱35通过固定板36与同侧的丝杆31连接于一体。
进一步的，在每个导向柱35上还套设与其配合的轴套37，轴套37靠近支架20的一侧构设有竖板38，为了保证轴套37沿导向柱35滑动的稳定性，在同一个导向柱35上设置两个间隔设置的轴套37，并两个轴套37之间采用竖板38连接于一体，且每个竖板38均与支架20中的横版22连接。丝杆31通过套设在其上的螺母与横板22连接，横板22再通过竖板38与轴套37连接，从而在丝杆31带动支架20和基座10整体上下移动时，轴套37可沿导向柱35的高度方向竖直上下移动，从而可保证基座10竖直上下移动的稳定性。
进一步的，为了保证两个丝杆31同步传动的稳定性和准确性，在传动带33上还配设有张紧轮34。
实施例二：
如图3所示，本实施例与实施例一相比，最大的区别在于采用两个电机32分别控制两个丝杆31且无需传动带33和张紧轮34。在本实施例中，基座10的两端均设有两个对称设置的支架20和与支架20连接设置的驱动装置30，两个丝杆31分别由两个独立的电机32分别采用皮带传输控制，两个电机32同步启动以使两个丝杆31同向上移或同向下行，以使支架20带动基座10同步向上或向下移动，从而亦可实现对基座10两端的同步控制。该结构也采用机械结构同步配合连接，以实现对基座10的稳定性的移动控制；亦可解决如现有技术中因钢丝绳悬吊设置的晃动问题，提高整个满提拉清洗的工作效率和使用寿命。
一种清洗机，配设有如上任一项所述的控制***。
采用本实用新型设计的一种慢提拉控制***，采用双侧机械结构的驱动机构，整体配合稳定且强度高，抛动节奏一致且不会产生晃动，提高整个抛动控制***的寿命。
以上对本实用新型的实施例进行了详细说明，所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。
Claims (10)
1.一种慢提拉控制***，其特征在于，包括用于放置片篮的基座；
在基座的两端外侧均构设有支架及用于驱动支架上下移动的驱动装置；
所述驱动装置构置有丝杆；
同一侧的丝杆和支架连接；
驱动单侧丝杆带动另一侧的丝杆同步旋转，两侧丝杆带动两侧支架及支架之间的基座一起上下移动；或者，
驱动两侧丝杆同步旋转，使两侧丝杆分别通过与其相对应的支架带动支架之间的基座一同上下移动。
2.根据权利要求1所述的一种慢提拉控制***，其特征在于，所述支架包括两个并行设置的立杆及连接两个所述立杆的横板；
所述立杆的一端与所述基座的一个角端连接，其另一端通过外延的短杆与所述横板的一端连接；
所述横板被置于所述立杆的外侧且位于所述立杆的上端部。
3.根据权利要求2所述的一种慢提拉控制***，其特征在于，所述丝杆竖直设置且位于所述横板中线；
所述立杆上端部高于所述支架的上限位置且其下端部低于所述基座的下限位置。
4.根据权利要求1-3任一项所述的一种慢提拉控制***，其特征在于，所述驱动装置还包括置于丝杠两侧并与所述丝杠并行设置的导向柱，所述导向柱的两端分别固设在并行设置的固定板上，且通过所述固定板与同侧的所述丝杆连接于一体。
5.根据权利要求4所述的一种慢提拉控制***，其特征在于，在每个所述导向柱上还套设与其配合的轴套，所述轴套靠近所述支架一侧构设有竖板，所述竖板与所述支架连接。
6.根据权利要求1-3、5任一项所述的一种慢提拉控制***，其特征在于，两侧所述丝杆共用一个电机，且其中一侧的丝杆直接与电机连接；
两侧所述丝杆通过传动带连接。
7.根据权利要求6所述的一种慢提拉控制***，其特征在于，在所述传动带上还配设有张紧轮。
8.根据权利要求7所述的一种慢提拉控制***，其特征在于，所述电机的输出端通过皮带与所述丝杆连接；
所述丝杆与所述电机的连接点位于所述丝杆与所述传动带的连接点的上方。
9.根据权利要求1-3、5任一项所述的一种慢提拉控制***，其特征在于，两侧所述丝杆独立设置，每个丝杆配设有一个电机。
10.一种清洗机，其特征在于，配设有如权利要求1-9任一项所述的控制***。
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