CN217820943U - ToF发射模组及包含其的电子设备 - Google Patents

Abstract

本申请实施例提供了一种ToF发射模组及包含其的电子设备，属于三维测量的技术领域。该ToF发射模组包括第一光源、第二光源、第一超透镜和第二超透镜；并且，所述第一光源与所述第二光源并列设置；所述第一超透镜被设置于所述第一光源的出光侧；所述第二超透镜被设置于所述第二光源的出光侧；其中，所述第一光源为点云投射光源；所述第二光源为照明光源；所述第一超透镜被配置为将所述第一光源的出射光束反射并使反射光束直接投影形成点云；所述第二超透镜被配置为对所述第二光源的出射光束进行反射以形成泛光照明。该ToF发射模组集成了点云投影与泛光照明两种功能，并通过反射式设计促进了ToF发射模组的小型化及其在消费级电子设备中的推广应用。

Description

ToF发射模组及包含其的电子设备

技术领域

本申请涉及三维测量的技术领域，具体地，本申请涉及一种ToF发射模组及包含其的电子设备。

背景技术

ToF，即飞行时间法(Time of Flight)是三维测量技术的一种。其原理是发射模组发射光脉冲到被测物体上，然后接收从物体返回的光脉冲，通过计算光脉冲的飞行时间来计算被测物体的深度信息。

随着电子设备功能的全面化，越来越多的电子设备提出了对三维测量的需求。在一些消费级电子设备(例如手机)中，ToF模组需要配合摄像模组使用，特别是在弱光条件下，ToF模组必须与闪光灯配合使用。现有ToF模组中的ToF发射模组包括准直透镜组和衍射光学元件，其中准直透镜组基于多片传统折射透镜，不利于ToF发射模组的小型化。

而现有技术中的闪光灯多采用反光碗或菲涅尔透镜中的至少一种以完成闪光灯的配光。采用反光碗配光的闪光灯具有成本高、装配精度要求高、沿着闪光灯的出射光轴方向厚度较厚且发光二极管(LED，Light Emitting Diode)裸露影响美观；采用菲涅尔透镜配光的闪光灯具有不够轻薄、亮度低且菲涅尔透镜边缘部分的杂光入射干扰成像。

因此，现有技术中的ToF发射模组和闪光灯难以实现小型化，不利于ToF发射模组和闪光灯在消费级电子设备中配合使用。

实用新型内容

有鉴于此，为解决现有电子设备中的ToF发射模组和闪光灯难以实现小型化，不利于ToF发射模组和闪光灯在消费级电子设备中配合使用的技术问题，本申请实施例如下技术方案。本实用新型技术方案针对现有技术解决方案过于单一的技术问题，提供了显著不同于现有技术的解决方案。

一方面,本申请实施例提供了一种ToF发射模组，所述ToF发射模组包括第一光源、第二光源、第一超透镜和第二超透镜；

并且，所述第一光源与所述第二光源并列设置；所述第一超透镜被设置于所述第一光源的出光侧；所述第二超透镜被设置于所述第二光源的出光侧；

其中，所述第一光源为点云投射光源；所述第二光源为照明光源；所述第一超透镜被配置为将所述第一光源的出射光束反射并使反射光束直接投影形成点云；所述第二超透镜被配置为对所述第二光源的出射光束进行反射以形成泛光照明。

可选地，沿着与所述第一光源的安装基准面垂直的方向，所述第一光源的安装基准面与所述第二光源的安装基准面的间距大于或等于零。

可选地，所述第一超透镜被配置为仅接收所述第一光源发出的光线；并且，

所述第二超透镜被配置为仅接收所述第二光源发出的光线。

可选地，所述第一超透镜的中心到所述第一光源的中心的距离小于或等于所述第一超透镜的焦距。

可选地，所述第二超透镜的中心到所述第二光源的中心的距离小于所述第二超透镜的焦距。

可选地，所述ToF发射模组还包括分束器；所述分束器被设置于所述第一超透镜朝向所述第一光源的一侧，并且所述分束器被配置为仅接收所述第一超透镜反射的光线，以将所述第一超透镜反射的光线分束。

可选地，所述分束器包括衍射光学元件或第三超透镜。

可选地，所述第一光源位于所述第一超透镜的物方焦平面。

可选地，所述第一光源包括基于垂直腔面发射激光器的面阵光源或基于边缘发射激光器的面阵光源。

可选地，所述第二光源包括发光二极管。

另一方面，本申请实施例还提供了一种电子设备，所述电子设备包括如上述任一实施例提供的ToF发射模组。

本申请实施例提供的技术方法至少取得了以下有益效果：

本申请实施例提供的ToF发射模组，通过将第一光源和第二光源并列设置，其中第一光源为点云投射光源，第二光源为照明光源；并且在第一光源的出光侧设置第一超透镜，在第二光源的出光侧设置第二超透镜，实现了具备照明功能的ToF发射模组，促进了ToF发射模组与照明装置的小型化，有利于ToF发射模组与照明装置的配合使用；并且第一超透镜和第二超透镜均为反射式，通过反射式超透镜折叠光路，进一步压缩了ToF发射模组的体积。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或背景技术中的技术方案，下面将对本申请实施例或背景技术中所需要使用的附图进行说明。

图1示出了本申请实施例提供的ToF发射模组的一种可选的结构示意图；

图2示出了本申请实施例提供的ToF发射模组的又一种可选的结构示意图；

图3示出了本申请实施例提供的ToF发射模组的又一种可选的结构示意图；

图4示出了本申请实施例提供的ToF发射模组的又一种可选的结构示意图；

图5示出了本申请实施例提供的ToF发射模组的又一种可选的结构示意图；

图6示出了采用透射式超透镜的ToF发射模组的一种可选的结构示意图；

图7示出了本申请实施例提供的ToF发射模组的点云投射元件的一种可选的结构示意图；

图8示出了本申请实施例提供的ToF发射模组的点云和泛光照明的一种可选的示意图；

图9示出了本申请实施例提供的超透镜的一种可选的结构示意图；

图10示出了本申请实施例提供的纳米结构的一种可选的结构示意图；

图11示出了本申请实施例提供的纳米结构的又一种可选的结构示意图；

图12示出了本申请实施例提供的纳米结构的一种可选的排布示意图；

图13示出了本申请实施例提供的纳米结构的又一种可选的排布示意图；

图14示出了本申请实施例提供的纳米结构的又一种可选的排布示意图。

图中附图分别表示：

10-第一光源；20-第二光源；30-第一超透镜；40-第二超透镜；50-分束器；

101-点光源；301-基底；302-纳米结构层；3021-纳米结构；3022-填充物。

具体实施方式

现将在下文中参照附图更全面地描述本申请，在附图中示出了各实施方式。然而，本申请可以以许多不同的方式实施，并且不应被解释为限于本文阐述的实施方式。相反，这些实施方式被提供使得本申请将是详尽的和完整的，并且将向本领域技术人员全面传达本申请的范围。通篇相同的附图标记表示相同的部件。再者，在附图中，为了清楚地说明，部件的厚度、比率和尺寸被放大。

本文使用的术语仅用于描述具体实施方式的目的，而非旨在成为限制。除非上下文清楚地另有所指，否则如本文使用的“一”、“一个”、“该”和“至少之一”并非表示对数量的限制，而是旨在包括单数和复数二者。例如，除非上下文清楚地另有所指，否则“一个部件”的含义与“至少一个部件”相同。“至少之一”不应被解释为限制于数量“一”。“或”意指“和/或”。术语“和/或”包括相关联的列出项中的一个或更多个的任何和全部组合。

除非另有限定，否则本文使用的所有术语，包括技术术语和科学术语，具有与本领域技术人员所通常理解的含义相同的含义。如共同使用的词典中限定的术语应被解释为具有与相关的技术上下文中的含义相同的含义，并且除非在说明书中明确限定，否者不在理想化的或者过于正式的意义上将这些术语解释为具有正式的含义。

“包括”或“包含”的含义指明了性质、数量、步骤、操作、部件、部件或它们的组合，但是并未排除其他的性质、数量、步骤、操作、部件、部件或它们的组合。

本文参照作为理想化的实施方式的截面图描述了实施方式。从而，预见到作为例如制造技术和/或公差的结果的、相对于图示的形状变化。因此，本文描述的实施方式不应被解释为限于如本文示出的区域的具体形状，而是应包括因例如制造导致的形状的偏差。例如，被示出或描述为平坦的区域可以典型地具有粗糙和/或非线性特征。而且，所示出的锐角可以被倒圆。因此，图中所示的区域在本质上是示意性的，并且它们的形状并非旨在示出区域的精确形状并且并非旨在限制权利要求的范围。

在下文中，将参照附图描述根据本申请的示例性实施方式。

现有技术中的ToF模组以及闪光灯小型化困难，阻碍了ToF模组的小型化以及搭配闪光灯在消费级电子设备中落地推广。本申请的发明人还发现，现有技术中的已经配备了ToF模组的电子设备中，只是在原有的硬件基础上额外加装一个ToF模组。换言之，现有技术中的ToF模组和闪光灯(或补光灯)为分别独立安装的两个模组。这种设计思路导致ToF模组和闪光灯占用了电子设备中过多的空间。这种分开的模组占用过多的安装空间，显然是不能满足电子设备(例如手机、可穿戴设备、无人飞行器等)小型化和轻型化的需求。例如，在智能手机中需要分开进行组装的ToF发射模组和闪光灯模组会占用过多的安装空间，且需要在手机背板面积上预留对应的容置孔，破坏背板的完整度且降低背板的强度。

有鉴于此，本申请实施例提供了一种ToF发射模组，集成了ToF发射和泛光照明两种功能。如图1至图5所示，该Tof发射模组包括用于投射点云的第一光源10和用于泛光照明的第二光源20。

具体而言，第一光源10与第二光源20并列设置。并且，第一光源10的出光侧设置有第一超透镜30。该第一超透镜30为反射式，用于将第一光源10的出射光束反射并使反射光直接投影在目标物表面上形成点云。第二光源20的出光侧设置有第二超透镜40。该第二超透镜40为反射式，用于对第二光源20的出射光束进行反射，以使第二超透镜出射的反射光线对物体表面形成泛光照明。图8中的左图示出了第一超透镜30的反射光线直接投影的点云的一种可选的示意图。图8中的右图示出了经第二超透镜40反射形成的泛光照明的示意图。在一些可选的实施方式中，第二超透镜40优选能够消色差的超透镜，以为目标物体提供均匀的照明。

第一超透镜30的反射光线的投影范围与第二超透镜40的反射光线的投影范围至少部分重叠。第一超透镜30以及第二超透镜40的反射光线的投影范围均受超透镜表面的相位分布、超透镜的位置和超透镜的姿态的影响。超透镜的姿态可以是指超透镜围绕与光源安装垂直的方向的倾斜角度。优选地，第一超透镜30被配置为仅接收第一光源10发出的光线，并且，第二超透镜40被配置为仅接收第二光源20发出的光线。

需要说明的是，本申请实施例中的第一光源10与第二光源20并列设置并不仅仅指第一光源和第二光源在同一安装基准面上并排设置。如图2和图4中所示，第一光源10与第二光源20并列设置还包括沿与第一光源(或第二光源)的安装基准面的方向有间距地设置。沿光线出射的方向，第一光源与第二光源设置在同一高度相较于设置在不同的高度所需的工艺简单。但是，沿光线出射的方向，第一光源与第二光源的高度各自独立设置，可以使本申请实施例提供的ToF发射模组可以适配更多种安装空间。本申请说明书仅以第二光源高于第一光源为例，第一光源与第二光源的安装位置并不局限于此。

还应当说明的是，本申请实施例中第一光源10与第二光源20并列设置也不仅仅是如图1至图5中所示，第一光源10的安装基准面与第二光源20的安装基准面平行，这种设置方式可以降低工艺难度。此处，安装基准面的平行是指广义的平行，即第一光源的安装基准面与第二光源的安装基准面可以重合，也可以沿垂直于安装基准面的方向有间距地设置。在一些可选的实施方式中，第一光源10的安装基准面与第二光源20的安装基准面还可以不平行地布置。第一光源10的安装基准面与第二光源20的安装基准面之间的角度不作具体限定，只要本申请实施例提供的ToF发射模组的点云视场与泛光照明视场有至少部分重叠即可。

根据本申请的实施方式，如图1所示，第一光源10为点云投射光源，如图1中第一光源10的局部示意图所示，第一光源10包括阵列的点光源101。可选地，第一光源10包括基于垂直腔面发射激光器(VCSEL，Vertical cavity surface emitting laser)的面阵光源或基于边缘发射激光器(EEL，Edge Emitting Laser)的面阵光源。根据本申请的实施方式，第二光源20包括发光二极管(LED，Light Emitting Diode)，或LED阵列。换言之，第二光源20可以是单颗LED，也可以是双灯LED，或者是多灯LED。应理解，LED光谱中包含的红外成分对第一光源10的红外信号几乎没有干扰，或有微量可忽略不计的干扰。

根据本申请一种可选的实施方式，可选地，如图1所示，第一光源10和第二光源20位于同一安装基准面上。根据本申请又一种可选的实施方式，如图2所示，第一光源10与第二光源20位于不同的安装基准面上。可选地，沿第一光源或第二光源的光轴方向，第一光源10与第二光源20的高程差大于或等于零。优选地，沿第一光源10的光轴方向，第二光源20比第一光源10更靠近第一超透镜30。在其中一个实施例中，第一光源10的中心与第一超透镜30的中心的间距小于或等于第一超透镜的焦距。又一个实施例中，第二光源20的中心与第二超透镜40的中心的间距小于或等于第二超透镜40的焦距。如图1和图2所示，第一超透镜30与第二超透镜40位于同一安装基准面上。可以理解的是，第一超透镜和第二超透镜可以具备各自独立的支撑件，也可以共用支撑件。

应理解，上述参数确保了本申请实施例提供的ToF发射模组的成像精确度，在满足上述参数的基础上，具体地ToF发射模组的封装结构的形状尺寸由设计需求决定。

由于仅通过第一超透镜30对第一光源10发出的光进行反射投影生成的点云中光点的数量较少，导致测量精度不足。在一些可选的实施例中，通过增加第一光源10中点光源的数量提高点云中光点的数量从而提高测量精度，但是这种方式成本高，且功耗大，在使用时面临较大的散热压力。对此，本申请实施例提供了又一种解决方式，参见图3至图5。

图3至图5示出了本申请实施例提供的ToF发射模组的可选的结构示意图。在一些可选的实施例中，该ToF发射模组还包括分束器50。分束器50被配置于第一超透镜30朝向第一光源10的一侧，并且，分束器50被配置为仅接收第一超透镜30的反射光，以将第一超透镜反射的光线进行分束，从而形成点云阵列。该点云阵列相当于将第一超透镜30直接投影形成的点云复制成阵列。优选地，为了确保生成的点云图正中间有完善的图像，得到更加准确的点云图，该阵列为奇数×奇数个点云排列而成，阵列中每个点云均为第一光源中点光源阵列的相似图形。即每个点云为一个阵列单元，每个阵列单元中包括多个用于三维测量的光点。

不难理解，第一光源10与第二光源20的出射光线在空间中的形状为锥形。可选地，分束器50位于第一光源的出射光束形成的第一光锥与第二光源20的出射光束形成的第二光锥之间。示例性地，沿垂直于第一光源的光轴的方向，第三超透镜的位置不超过第二超透镜与第一超透镜的分界线。借此，该ToF发射模组实现了不增加成本，不增加功耗的情况下提高测量精度。如图3和图4所示，分束器50为衍射光学元件(DOE，Diffractive OpticalElement)。又例如，图5示出了分束器50为第三超透镜的示意图。相比DOE高阶衍射的杂散光干扰导致衍射效率低(通常不超过50％)，第三超透镜的衍射效率更高(可达到90％及以上)。

图6示出了采用透射式超透镜的ToF发射模组的结构示意图，对于为了保证ToF发射模组的探测距离，通常采用长焦距的透射式超透镜，而用于点云投射的第一光源10需要设置于透射式超透镜的焦平面上，这造成了ToF发射模组的体积难以压缩。相反，如图7所示，本申请实施例提供的第一超透镜为反射式超透镜，第一光源与第一超透镜的距离不受透射式超透镜的焦距限制。借此，第一超透镜折叠光路，压缩了ToF发射模组的体积。

接下来结合图9至图14详细介绍本申请实施例提供的超透镜。超透镜是超表面技术的一种具体应用，通过周期性排列在基底上的纳米结构对入射光线的振幅、相位和偏振进行调制。如图9所示，本申请实施例提供的超透镜均包括基底301和纳米结构层302。其中，纳米结构层302包括周期性排布于基底301一侧的纳米结构3021。并且，基底301靠近纳米结构层的一侧的表面为反射表面，用以将入射光发射。

根据本申请的实施方式，可选地，纳米结构层中，纳米结构的排列周期大于或等于0.3λ_c，且小于或等于2λ_c；其中，λ_c为工作波段的中心波长。根据本申请的实施方式，可选地，纳米结构层中纳米结构的高度大于或等于0.3λ_c，且小于或等于5λ_c；其中，λ_c为工作波段的中心波长。

图10和图11示出了超透镜中纳米结构的透视图。可选地，图10中的纳米结构为纳米鳍。可选地，图11中的纳米结构为圆柱形结构。可选地，如图10和图11所示，超透镜还包括填充物3022，填充物填充于纳米结构3021之间，并且，填充物3022的材料对工作波段的消光系数小于0.01。可选地，填充物3022包括空气或在工作波段透明或半透明的其他材料。根据本申请的实施方式，填充物3022的材料的折射率与纳米结构3021的折射率之间的差值的绝对值应大于或等于0.5。

本申请一些可选的实施例中，如图12至图14所示，纳米结构层302中包括的纳米结构以可密堆积图形的形式阵列排布。该可密堆积图形的顶点和/或中心位置设置有纳米结构3021。本申请实施例中，可密堆积图形指的是一种或多种可以无缝隙不重叠地填充整个平面的图形。

如图12所示，根据本申请的实施方式，纳米结构3021可以布置成阵列排布的扇形。如图13所示，根据本申请的实施方式，纳米结构3021可以布置成阵列排布的正六边形。此外，如图14所示，根据本申请的实施方式，纳米结构3021可以布置成阵列排布的正方形。本领域技术人员应认识到，纳米结构层中包括的超结构单元还可以包括其他形式的阵列布置，所有这些变型方案均涵盖于本申请的范围内。

示例性地，本申请实施例提供的纳米结构可以是偏振无关结构，此类结构对入射光施加一个传播相位。根据本申请的实施方式，纳米结构可以是正结构，示例性地，纳米结构的形状包括圆柱、中空圆柱、正方形柱和中空正方形柱。可选地，纳米结构被设置于超结构单元的中心位置。可选地，纳米结构为负纳米结构，如正方形孔柱、圆形孔柱、正方形环柱和圆形环柱。

在一种可选的实施方式中，本申请实施例提供的超透镜还包括增透膜。增透膜被设置于基底远离纳米结构层的一侧；或者，增透膜被设置纳米结构层与空气相邻的一侧。增透膜的作用是对入射的辐射起到增透减反的作用。

根据本申请的实施方式，纳米结构的材质为对工作波段消光系数小于0.01的材料。例如，纳米结构的材料包括熔融石英、石英玻璃、冕牌玻璃、火石玻璃、蓝宝石、晶体硅、非晶硅和氢化非晶硅。再例如，当超透镜的工作波段为近红外波段时，纳米结构的材质包括氮化硅、氧化钛、氮化镓、磷化镓、氢化非晶硅、非晶硅和晶体硅中的一种或多种。再例如，当超透镜的工作波段为可见光波段时，纳米结构的材质包括熔融石英、石英玻璃、冕牌玻璃、火石玻璃、蓝宝石和碱性玻璃。再例如，当超透镜的工作波段为远红外波段时，纳米结构的材质包括晶体硅、晶体锗、硫化锌和硒化锌中的一种或多种。

例如，基底的材料包括熔融石英、石英玻璃、冕牌玻璃、火石玻璃、蓝宝石、晶体硅、非晶硅和氢化非晶硅。再例如，当超透镜的工作波段为近红外波段时，基底的材质包括氮化硅、氧化钛、氮化镓、磷化镓、氢化非晶硅、非晶硅和晶体硅中的一种或多种。再例如，当超透镜的工作波段为可见光波段时，基底的材料包括熔融石英、石英玻璃、冕牌玻璃、火石玻璃、蓝宝石和碱性玻璃。再例如，当超透镜的工作波段为远红外波段时，基底的材料包括晶体硅、晶体锗、硫化锌和硒化锌中的一种或多种。

在本申请的一些实施例中，纳米结构的材质与基底的材料相同。在本申请的又一些实施例中，纳米结构的材质与基底的材料不同。可选地，填充物的材料与基底的材料相同。可选地，填充物的材料与基底的材料不同。

应理解，在本申请又一些可选的实施方式中，填充物与纳米结构的材质不同。示例性地，填充物的材料为工作波段的高透过率材料，其消光系数小于0.01。示例性地，填充物的材料包括熔融石英、石英玻璃、冕牌玻璃、火石玻璃、蓝宝石、晶体硅、非晶硅和氢化非晶硅。

根据本申请的实施方式，超透镜的相位至少满足下述公式(1-1)至公式(1-6)之一：

其中，r为超透镜中心到任一纳米结构中心的距离；λ为工作波长，

为任意与工作波长相关的相位，x,y为超透镜的镜面坐标，f为第一超透镜的焦距。

超透镜的相位可以用高次多项式表达，高次多项式包括奇次多项式和偶次多项式。为了不破坏超透镜相位的旋转对称性，通常只能对偶次多项式对应的相位进行优化，这大大降低了超透镜的设计自由度。而上述公式(1-1)至公式(1-6)中，公式(1-3)和公式(1-4)相比其余公式，能够对满足奇次多项式的相位进行优化而不破坏超透镜相位的旋转对称性，从而大大提高了超透镜的优化自由度。

本申请实施例提供的超透镜兼容半导体工艺，且可以和光源进行晶圆级封装，增加了ToF发射模组的装配精度以及***鲁棒性，进一步减小了ToF发射模组的整体体积。

本申请实施例还提供了一种电子设备，包括上述任一实施例提供的ToF发射模组。

综上所述，本申请实施例提供的ToF发射模组，通过将第一光源和第二光源并列设置，其中第一光源为点云投射光源，第二光源为照明光源；并且在第一光源的出光侧设置第一超透镜，在第二光源的出光侧设置第二超透镜，实现了具备照明功能的ToF发射模组，促进了ToF发射模组与照明装置的小型化，有利于ToF发射模组与照明装置的配合使用。该ToF发射模组中的点云投射元件与照明元件集成，进一步节约了安装空间，且减少了电子设备背板上安装孔的数量，保证了背板完整度，增加了背板强度。该ToF发射模组的第一超透镜与第二超透镜均为反射式超透镜，使该ToF发射模组的体积不受超透镜的焦距限制，以折叠光路的形式进一步压缩了ToF发射模组的体积。

本申请实施例提供的电子设备，通过在ToF发射模组中集成点云投射与泛光照明，实现了小型化，促进了ToF模组在消费级电子设备中的落地应用。该电子设备的ToF发射模组采用反射式设计，极大地促进了ToF发射模组的小型化，消除了电子设备背面的突起，保证了电子设备背部面板的完整度和强度。

以上所述，仅为本申请实施例的具体实施方式，但本申请实施例的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请实施例披露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本申请实施例的保护范围之内。因此，本申请实施例的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (11)

1.一种ToF发射模组，其特征在于，所述ToF发射模组包括第一光源(10)、第二光源(20)、第一超透镜(30)和第二超透镜(40)；

并且，所述第一光源(10)与所述第二光源(20)并列设置；所述第一超透镜(30)被设置于所述第一光源(10)的出光侧；所述第二超透镜被设置于所述第二光源(20)的出光侧；

其中，所述第一光源(10)为点云投射光源；所述第二光源(20)为照明光源；所述第一超透镜(30)被配置为将所述第一光源(10)的出射光束反射并使反射光束直接投影形成点云；所述第二超透镜(40)被配置为对所述第二光源(20)的出射光束进行反射以形成泛光照明。

2.如权利要求1所述的ToF发射模组，其特征在于，沿着与所述第一光源(10)的安装基准面垂直的方向，所述第一光源(10)的安装基准面与所述第二光源(20)的安装基准面的间距大于或等于零。

3.如权利要求1所述的ToF发射模组，其特征在于，所述第一超透镜(30)被配置为仅接收所述第一光源(10)发出的光线；并且，

所述第二超透镜(40)被配置为仅接收所述第二光源(20)发出的光线。

4.如权利要求3所述的ToF发射模组，其特征在于，所述第一超透镜(30)的中心到所述第一光源(10)的中心的距离小于或等于所述第一超透镜(30)的焦距。

5.如权利要求3所述的ToF发射模组，其特征在于，所述第二超透镜(40)的中心到所述第二光源(20)的中心的距离小于或等于所述第二超透镜(40)的焦距。

6.如权利要求1-4中任一所述的ToF发射模组，其特征在于，所述ToF发射模组还包括分束器(50)；所述分束器(50)被设置于所述第一超透镜(30)朝向所述第一光源(10)的一侧，并且所述分束器(50)被配置为仅接收所述第一超透镜(30)反射的光线，以将所述第一超透镜(30)反射的光线分束。

7.如权利要求6所述的ToF发射模组，其特征在于，所述分束器(50)包括衍射光学元件或第三超透镜。

8.如权利要求1-4中任一所述的ToF发射模组，其特征在于，所述第一光源(10)位于所述第一超透镜(30)的物方焦平面。

9.如权利要求1-4中任一所述的ToF发射模组，其特征在于，所述第一光源(10)包括基于垂直腔面发射激光器的面阵光源或基于边缘发射激光器的面阵光源。

10.如权利要求1-3或5中任一所述的ToF发射模组，其特征在于，所述第二光源(20)包括发光二极管。

11.一种电子设备，其特征在于，所述电子设备包括如权利要求1-9中任一所述的ToF发射模组。

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