CN217069866U - 一种角度可调脱胶机喷淋管 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种角度可调脱胶机喷淋管，涉及硅片清洗技术领域，包括箱体，所述箱体的内部设有喷淋架，所述箱体的一侧外表面中间位置设有气缸，所述箱体的侧壁且在所述气缸的两侧贯穿设有喷淋管,所述喷淋管的一端设有卡接板的一端，所述气缸的活动端设有升降杆的中间位置，所述升降杆的两端设有滑杆，所述滑杆上设有传动杆，所述传动杆与所述卡接板的另一端滑动连接，所述滑杆与所述箱体之间设有支架，通过在脱胶机内部安装有喷淋管，在脱胶结束后进行冲洗，代替传统的固定安装的喷淋管，可以改变冲洗时冲洗角度，使得冲洗部位更加丰富，实际冲洗结果更好。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片清洗技术领域，具体涉及一种角度可调脱胶机喷淋管。
背景技术
在硅片生产的过程中，硅片必须经过严格清洗，微量污染也会导致器件失效，清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物，这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面，会导致各种缺陷，清除污染的方法有物理清洗和化学清洗两种，在硅片插片进入到插片花篮之后，一般会流转至脱胶机内部进行脱胶处理，而脱胶机是采用超声波震荡的方式进行脱胶，通过在脱胶机内部安装有喷淋管，在脱胶结束后进行冲洗，但是一般喷淋管都是固定安装的，在冲洗时冲洗角度为固定的，这使得冲洗效部位较为单一，实际冲洗结果较差。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种角度可调脱胶机喷淋管，以解决上述背景技术中提出的在硅片插片进入到插片花篮之后，一般会流转至脱胶机内部进行脱胶处理，而脱胶机是采用超声波震荡的方式进行脱胶，通过在脱胶机内部安装有喷淋管，在脱胶结束后进行冲洗，但是一般喷淋管都是固定安装的，在冲洗时冲洗角度为固定的，这使得冲洗效部位较为单一，实际冲洗结果较差的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种角度可调脱胶机喷淋管，包括箱体，所述箱体的内部设有喷淋架，所述箱体的一侧外表面中间位置设有气缸，所述箱体的侧壁且在所述气缸的两侧贯穿设有喷淋管,所述喷淋管的一端设有卡接板的一端，所述气缸的活动端设有升降杆的中间位置，所述升降杆的两端设有滑杆，所述滑杆上设有传动杆，所述传动杆与所述卡接板的另一端滑动连接，所述滑杆与所述箱体之间设有支架。
优选的，所述卡接板的一端套接在所述喷淋管上，所述卡接板与所述喷淋管对应的位置设有禁锢缝，所述禁锢缝通过螺纹连接螺栓进行禁锢，所述卡接板的另一端与所述传动杆对应的位置开设有传动槽，所述传动杆滑动设置在所述传动槽的内部。
优选的，所述喷淋架通过焊接设置在所述箱体的内部，所述喷淋管的两端均通过轴承与所述箱体转动连接，所述喷淋管贯穿所述喷淋架，所述喷淋管相互靠近一侧外表面贯穿连通连接有喷淋嘴。
优选的，所述气缸的活动端贯穿所述升降杆，所述升降杆上滑动连接有卡接块，所述卡接块与所述气缸的活动端卡接。
优选的，所述滑杆与所述支架滑动连接。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过气缸的运动带动升降杆进行上下方向的移动，从而带动滑杆在支架的支撑下进行上下方向的移动通过传动杆带动卡接板的一端上下移动，卡接板的另一端带动喷淋管旋转，在硅片插片进入到插片花篮之后，会流转至脱胶机内部进行脱胶处理，而脱胶机是采用超声波震荡的方式进行脱胶，通过在脱胶机内部安装有喷淋管，在脱胶结束后进行冲洗，代替传统的固定安装的喷淋管，可以改变冲洗时冲洗角度，使得冲洗部位更加丰富，实际冲洗结果更好。
附图说明
图1为本实用新型的主体结构轴测图；
图2为本实用新型的主体结构主视剖视图；
图3为本实用新型的主体结构主视示意图；
图4为本实用新型的主体结构左视示意图；
图5为本实用新型的主体结构俯视示意图。
图中：1-箱体、2-喷淋架、3-气缸、4-喷淋管、5-卡接板、6-升降杆、7-滑杆、8-传动杆、9-支架、10-禁锢缝、11-传动槽、12-喷淋嘴、13-卡接块。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-5，本实用新型提供一种角度可调脱胶机喷淋管，包括箱体1，所述箱体1的内部设有喷淋架2，所述箱体1的一侧外表面中间位置设有气缸3，所述箱体1的侧壁且在所述气缸3的两侧贯穿设有喷淋管4,所述喷淋管4的一端设有卡接板5的一端，所述气缸3的活动端设有升降杆6的中间位置，所述升降杆6的两端设有滑杆7，所述滑杆7上设有传动杆8，所述传动杆8与所述卡接板5的另一端滑动连接，所述滑杆7与所述箱体1之间设有支架9。
使用时，将放置有的硅片的花篮放置到喷淋架2的内部，将喷淋管4通过轴承转动连接到箱体1的内部，随后将喷淋管4通过软管与外部水源设备进行连接，在喷淋管4工作时，通过型材将气缸3固定在箱体1上，气缸3开始工作，活动端进行上下方向的移动，带动升降杆6进行上下方向的移动，升降杆6的两端带动滑杆7在支架9的支撑下进行上下方向的移动，通过传动杆8将滑杆7的上下移动带动卡接板5的一端进行上下移动，使得卡接板5的另一端带动喷淋管4进行旋转，通过喷淋管4的旋转对硅片进行多角度的喷淋。
所述卡接板5的一端套接在所述喷淋管4上，所述卡接板5与所述喷淋管4对应的位置设有禁锢缝10，所述禁锢缝10通过螺纹连接螺栓进行禁锢，所述卡接板5的另一端与所述传动杆8对应的位置开设有传动槽11，所述传动杆8滑动设置在所述传动槽11的内部，通过禁锢缝10将卡接板5的一端与喷淋管4进行卡接，将卡接板5固定在喷淋管4，避免卡接板5与喷淋管4之间的相对旋转，在卡接板5的另一端开设传动槽11，将传动杆8设置在传动槽11的内部，使得传动杆8与传动槽11可以进行相对滑动。
所述喷淋架2通过焊接设置在所述箱体1的内部，所述喷淋管4的两端均通过轴承与所述箱体1转动连接，所述喷淋管4贯穿所述喷淋架2，所述喷淋管4相互靠近一侧外表面贯穿连通连接有喷淋嘴12，将喷淋管4贯穿喷淋架2，增加喷淋面积，在喷淋管4上设置喷淋嘴12，保证在喷淋管4旋转时，能改变喷淋嘴12的喷淋角度。
所述气缸3的活动端贯穿所述升降杆6，所述升降杆6上滑动连接有卡接块13，所述卡接块13与所述气缸3的活动端卡接，通过卡接块13将气缸3的活动端卡接到升降杆6的中间位置，将气缸3与升降杆6固定连接。
所述滑杆7与所述支架9滑动连接，使得滑杆7能在支架9的支撑下进行上下方向的移动。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (5)
1.一种角度可调脱胶机喷淋管，其特征在于：包括箱体(1)，所述箱体(1)的内部设有喷淋架(2)，所述箱体(1)的一侧外表面中间位置设有气缸(3)，所述箱体(1)的侧壁且在所述气缸(3)的两侧贯穿设有喷淋管(4),所述喷淋管(4)的一端设有卡接板(5)的一端，所述气缸(3)的活动端设有升降杆(6)的中间位置，所述升降杆(6)的两端设有滑杆(7)，所述滑杆(7)上设有传动杆(8)，所述传动杆(8)与所述卡接板(5)的另一端滑动连接，所述滑杆(7)与所述箱体(1)之间设有支架(9)。
2.根据权利要求1所述的一种角度可调脱胶机喷淋管，其特征在于：所述卡接板(5)的一端套接在所述喷淋管(4)上，所述卡接板(5)与所述喷淋管(4)对应的位置设有禁锢缝(10)，所述禁锢缝(10)通过螺纹连接螺栓进行禁锢，所述卡接板(5)的另一端与所述传动杆(8)对应的位置开设有传动槽(11)，所述传动杆(8)滑动设置在所述传动槽(11)的内部。
3.根据权利要求1所述的一种角度可调脱胶机喷淋管，其特征在于：所述喷淋架(2)通过焊接设置在所述箱体(1)的内部，所述喷淋管(4)的两端均通过轴承与所述箱体(1)转动连接，所述喷淋管(4)贯穿所述喷淋架(2)，所述喷淋管(4)相互靠近一侧外表面贯穿连通连接有喷淋嘴(12)。
4.根据权利要求1所述的一种角度可调脱胶机喷淋管，其特征在于：所述气缸(3)的活动端贯穿所述升降杆(6)，所述升降杆(6)上滑动连接有卡接块(13)，所述卡接块(13)与所述气缸(3)的活动端卡接。
5.根据权利要求1所述的一种角度可调脱胶机喷淋管，其特征在于：所述滑杆(7)与所述支架(9)滑动连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202220548379.XU CN217069866U (zh) | 2022-03-14 | 2022-03-14 | 一种角度可调脱胶机喷淋管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN202220548379.XU CN217069866U (zh) | 2022-03-14 | 2022-03-14 | 一种角度可调脱胶机喷淋管 |
Publications (1)
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| CN217069866U true CN217069866U (zh) | 2022-07-29 |
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ID=82547821
Family Applications (1)
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| CN202220548379.XU Active CN217069866U (zh) | 2022-03-14 | 2022-03-14 | 一种角度可调脱胶机喷淋管 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN217069866U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115889318A (zh) * | 2022-12-07 | 2023-04-04 | 西安奕斯伟材料科技有限公司 | 用于硅片脱胶的装置及设备 |
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2022
- 2022-03-14 CN CN202220548379.XU patent/CN217069866U/zh active Active
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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