CN216998559U - 一种溅射靶材与背板的连接组件 - Google Patents
一种溅射靶材与背板的连接组件 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型涉及一种溅射靶材与背板的连接组件，其包括靶材和背板，所述背板包括背板A和背板B，所述背板B顶部设有对应背板A两侧的插槽，所述插槽对应靶材设有槽口，所述靶材固定在背板A上后一体嵌设在背板B中，靶材高于背板的顶面，采用以上技术方案使背板与靶材的安装更简便、提升设备稼动率，另外提高背板B使用寿命，进一步降低面板的制作成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及磁控溅射技术领域，具体涉及了一种溅射靶材与背板的连接组件。
背景技术
薄膜晶体管液晶显示器（以下称TFT LCD)行业 ，业界通常采用物理或化学气相沉积方式进行薄膜沉积。而物理气相沉积(Physical Vapor Deposition) 指利用物理过程，将原子或分子由源转移到基材表面上的过程。其基本方法包括蒸镀、溅射 (Sputter)、离子镀，其中溅射常用于金属、合金或电介质薄膜沉积。其中，溅射镀膜因具有基体温度低、薄膜质纯、组织均匀密实、牢固性和重现性好等优点而广泛使用。
溅射镀膜需用溅射靶材作阴极，而传统靶材制作方法中，针对不同材料，不同制程，需要多块铜或钛材质背板，背板数量多，造成面板制造时总体成本偏高，另外一方面，靶材厂商进行靶材与背板绑定前，需对靶材背板进行打磨、抛光预处理，预处理背板表面，造成背板强度降低，导致靶材背板使用次数N有限（N≤10）。
实用新型内容
针对现有技术的不足，本实用新型提供一种安装简便，使用寿命高的溅射靶材与背板的连接组件。
本实用新型的一种溅射靶材与背板的连接组件,采用以下技术方案：其包括靶材和背板，所述背板包括背板A和背板B，所述背板B顶部设有对应背板A两侧的插槽，所述插槽对应靶材设有槽口，所述靶材固定在背板A上后一体嵌设在背板B中，靶材高于背板的顶面。
进一步，所述背板A与背板B之间还设有固定装置，所述固定装置包括螺丝，所述背板B顶部的端面对应背板A两侧设有与螺丝螺纹配合的螺孔，所述螺丝通过螺孔将背板A固定在背板B横槽内。
进一步，所述靶材通过钎焊、压接和导电胶中的任意一种方式固定在背板A上。
进一步，所述背板B底部设有若干冷却水道。
进一步，所述背板A由铜或钛材料成型。
进一步，所述背板B由铜或钛材料成型。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：将背板分成背板A和背板B，使背板与靶材的安装更简便、提升设备稼动率，从而实现产能提升；另外每次仅需对背板A表面进行预处理，对背板B磨损小，因此背板损坏时，仅需更换背板A，无需更换整个背板，提高背板B使用寿命，进一步降低面板的制作成本。
附图说明
此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，在附图中：
图1为本实用新型实施例的剖视图。
具体实施方式
参见图1所示，实施例的一种溅射靶材与背板的连接组件，其包括靶材3和背板1，所述背板1包括背板A1a和背板B1b，所述背板B1b顶部设有对应背板A1a两侧的插槽，所述插槽对应靶材3设有槽口，所述靶材3固定在背板A1a上后一体嵌设在背板B1b中，靶材3高于背板1的顶面。
进一步，所述背板A1a与背板B1b之间还设有固定装置，所述固定装置包括螺丝2，所述背板B1b顶部的端面对应背板A1a两侧设有与螺丝2螺纹配合的螺孔，所述螺丝通过螺孔将背板A1a固定在背板B1b横槽内。
进一步，所述靶材3通过钎焊、压接和导电胶中的任意一种方式固定在背板A1a上。
进一步，所述背板B1b底部设有若干冷却水道。
进一步，所述背板A1a由铜或钛材料成型。
进一步，所述背板B1b由铜或钛材料成型。
本实用新型的工作原理：
将靶材3固定在所述背板A1a，然后将背板A1a嵌设在背板B1b的横槽内，再利用螺丝2将背板A1a固定在背板B1b横槽内后进行磁控溅射。使用完后，将背板A1a和背板B1b分离，对背板A1a进行打磨处理以及对背板B1b冷却水道进行清洗处理，等待下一次与靶材3组合用于磁控溅射。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种溅射靶材与背板的连接组件,其包括靶材和背板，其特征在于：所述背板包括背板A和背板B，所述背板B顶部设有对应背板A两侧的插槽，所述插槽对应靶材设有槽口，所述靶材固定在背板A上后一体嵌设在背板B中，靶材高于背板的顶面。
2.根据权利要求1所述的一种溅射靶材与背板的连接组件，其特征在于：所述背板A与背板B之间还设有固定装置，所述固定装置包括螺丝，所述背板B顶部的端面对应背板A两侧设有与螺丝螺纹配合的螺孔，所述螺丝通过螺孔将背板A固定在背板B横槽内。
3.根据权利要求1所述的一种溅射靶材与背板的连接组件，其特征在于：所述靶材通过钎焊、压接和导电胶中的任意一种方式固定在背板A上。
4.根据权利要求1所述的一种溅射靶材与背板的连接组件，其特征在于：所述背板B底部设有若干冷却水道。
5.根据权利要求1所述的一种溅射靶材与背板的连接组件，其特征在于：所述背板A由铜或钛材料成型。
6.根据权利要求1所述的一种溅射靶材与背板的连接组件，其特征在于：所述背板B由铜或钛材料成型。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202220244030.7U CN216998559U (zh) | 2022-01-29 | 2022-01-29 | 一种溅射靶材与背板的连接组件 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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| CN216998559U true CN216998559U (zh) | 2022-07-19 |
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ID=82393760
Family Applications (1)
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| CN202220244030.7U Active CN216998559U (zh) | 2022-01-29 | 2022-01-29 | 一种溅射靶材与背板的连接组件 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN216998559U (zh) |
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2022
- 2022-01-29 CN CN202220244030.7U patent/CN216998559U/zh active Active
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