CN216817168U - 基于丝网印刷的紫外固化压印平台及压印设备 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种基于丝网印刷的紫外固化压印平台及压印设备，涉及印刷技术领域。所述紫外固化压印平台包括固化平台、承载板、驱动组件和发光件；承载板设置在固化平台上，承载板包括透光件，承载板用于承载待压印的基片；驱动组件包括第一驱动件和第二驱动件，第一驱动件与压印设备连接，第二驱动件与第一驱动件连接并位于承载板下，第二驱动件包括限位槽，限位槽面向承载板；发光件设置在限位槽内，用于发出光线；在压印设备工作时，通过压印设备控制第一驱动件相对承载板运动，并带动第二驱动件跟随第一驱动件相对承载板运动。本申请实施例旨在实现紫外固化与压印同步进行，以提高压印效率，同时也可实现大面积的图形压印。

Description

基于丝网印刷的紫外固化压印平台及压印设备

技术领域

本申请涉及印刷技术领域，尤其涉及一种基于丝网印刷的紫外固化压印平台及压印设备。

背景技术

纳米压印技术使用机械手段进行图案转移，具有分辨率高、易量产、成本低和工艺简单的优点，是纳米尺寸电子器件的重要制作技术，在硅场效应管、纳米机电***、微波集成电路、纳米电子器件，纳米集成电路、量子存储器件、光子晶体阵列和OLED平板显示阵列等领域有着广泛的应用。纳米压印技术虽然精度较高，但是压印面积较小，效率较低。

而且，在图案转移过后，需要对压印了图案的压印胶进行固化，固化通常分为热固化与紫外固化两种。现有的紫外固化压印技术在使用过程中压印与固化往往是分步进行，先压印，后固化，这不利于提高整体的压印效率，也难以实现大面积的图形压印。而且现有的紫外固化压印平台需要大量的材料搭建，同时占用了大量的空间，存在成本较高、空间利用率低的问题，而且发光灯管与压印头的同步性较差，导致压印效果较差。

实用新型内容

本申请提供了一种基于丝网印刷的紫外固化压印平台，旨在实现紫外固化与压印同步进行，以提高压印效率，同时也可实现大面积的图形压印。

第一方面，本申请实施例提供一种基于丝网印刷的紫外固化压印平台，包括固化平台、承载板、驱动组件和发光件；所述承载板设置在所述固化平台上，所述承载板包括透光件，所述承载板用于承载待压印的基片；所述驱动组件包括第一驱动件和第二驱动件，所述第一驱动件与所述压印设备连接，所述第二驱动件与所述第一驱动件连接并位于所述承载板下，所述第二驱动件包括限位槽，所述限位槽面向所述承载板；所述发光件设置在所述限位槽内，用于发出光线；在所述压印设备工作时，通过所述压印设备控制所述第一驱动件相对所述承载板运动，并带动所述第二驱动件跟随所述第一驱动件相对所述承载板运动，以使所述发光件发出的光线通过所述透光件照射在所述基片，以对所述基片上压印了亚微米级的图案的压印胶进行固化。

在一些可选的实施例中，所述第二驱动件与所述承载板平行，并与所述第一驱动件垂直。

在一些可选的实施例中，所述限位槽的横截面为圆弧形状。

在一些可选的实施例中，所述发光件包括发光灯管和灯罩，所述发光灯管设置在所述灯罩内，所述灯罩与所述限位槽限位配合。

在一些可选的实施例中，所述限位槽内设置有连接口，所述发光灯管与所述连接口电性连接。

在一些可选的实施例中，所述灯罩包括透光部，所述透光部设置在所述灯罩中靠近所述承载板的一侧；其中，所述发光灯管发出的光线通过所述透光部照射到所述透光件上，所述光线透过所述透光件照射在所述基片，以对所述基片上压印了亚微米级的图案的压印胶进行固化。

在一些可选的实施例中，所述灯罩开设有缺口，并通过所述缺口形成所述透光部。

在一些可选的实施例中，所述缺口对应的圆周角为45°。

在一些可选的实施例中，所述透光件为石英板。

第二方面，本申请实施例提供一种压印设备，所述压印设备包括如前述的基于丝网印刷的紫外固化压印平台。

本申请提供的基于丝网印刷的紫外固化压印平台，所述紫外固化压印平台包括固化平台、承载板、驱动组件和发光件；所述承载板设置在所述固化平台上，所述承载板包括透光件，所述承载板用于承载待压印的基片；所述驱动组件包括第一驱动件和第二驱动件，所述第一驱动件与所述压印设备连接，所述第二驱动件与所述第一驱动件连接并位于所述承载板下，所述第二驱动件包括限位槽，所述限位槽面向所述承载板；所述发光件设置在所述限位槽内，用于发出光线；在所述压印设备工作时，通过所述压印设备控制所述第一驱动件相对所述承载板运动，并带动所述第二驱动件跟随所述第一驱动件相对所述承载板运动，以使所述发光件发出的光线通过所述透光件照射在所述基片，以对所述基片上压印了亚微米级的图案的压印胶进行固化。由此可以弥补纳米技术无法大面积印刷的缺陷，能够实现亚微米级别的大面积压印，提高紫外固化压印平台的空间利用率，提高发光灯管与热控压印头的同步性，降低了紫外固化压印平台的成本，从而提高了压印效率和便捷性，提高了用户体验度。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本申请实施例提供的一种纳米压印技术中印版的结构示意图；

图2是本申请实施例提供的一种纳米压印技术的工作原理示意图；

图3是本申请实施例提供的一种压印设备的结构示意图；

图4是本申请实施例提供的一种网框的结构示意图；

图5是本申请实施例提供的一种印版的结构示意图；

图6是本申请实施例提供的一种包括带有亚微米级图案印版的网框的结构示意图；

图7是本申请实施例提供的一种压印设备的工作原理示意图；

图8是本申请实施例提供的一种压印头的结构示意图；

图9是本申请实施例提供的一种基于丝网印刷的紫外固化压印平台的结构示意图；

图10是本申请实施例提供的一种驱动组件的结构示意图；

图11是本申请实施例提供的一种发光件的结构示意图；

图12是本申请实施例提供的另一种基于丝网印刷的紫外固化压印平台的结构示意图；

图13是本申请实施例提供的一种承载板的结构示意图。

主要元件及符号说明：

100、压印设备；

10、丝网印刷机本体；11、限位件；

20、基于丝网印刷的紫外固化压印平台；21、固化平台；22、承载板；220、通孔部；221、开口；222、限位部；23、驱动组件；230、第一驱动件；231、第二驱动件；232、限位槽；233、连接口；24、发光件；240、发光灯管；241、灯罩；242、透光部；25、支撑柱；

30、压印头；31、接触部；

40、网框；41、框架；42、底板；420、印版孔；

50、印版；51、图案。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

还应当理解，在此本申请说明书中所使用的术语仅仅是出于描述特定实施例的目的而并不意在限制本申请。如在本申请说明书和所附权利要求书中所使用的那样，除非上下文清楚地指明其它情况，否则单数形式的“一”、“一个”及“该”意在包括复数形式。

还应当进一步理解，在本申请说明书和所附权利要求书中使用的术语“和/或”是指相关联列出的项中的一个或多个的任何组合以及所有可能组合，并且包括这些组合。

附图中所示的流程图仅是示例说明，不是必须包括所有的内容和操作/步骤，也不是必须按所描述的顺序执行。例如，有的操作/步骤还可以分解、组合或部分合并，因此实际执行的顺序有可能根据实际情况改变。

请参阅图1和图2，图1示出了现有的纳米压技术的印版的结构，图2示出了纳米压技术的过程，具体是将印版上的图案压印在基片上的压印胶上。现有的纳米压印技术是一种图形转移技术，使用机械手段进行图案转移，具有分辨率高、易量产、成本低和工艺简单的优点，是纳米尺寸电子器件的重要制作技术，在硅场效应管、纳米机电***，微波集成电路、纳米电子器件，纳米集成电路、量子存储器件、光子晶体阵列和OLED平板显示阵列等领域有着广泛的应用。纳米压印技术的基本原理是先制作带有微结构图案的模板，然后将模板上的图案压印于待加工材料上，并进行固化，最后将模板移去，完成图案的转移。虽然利用传统的压印技术可以实现高的压印精度，但不能实现微纳结构的大面积制备，因此无法大面积的进行压印。

而丝网印刷(孔版印刷)有着印刷适应性强、立体感强以及印刷面积大等优点，并在服装、家电电路板、广告、艺术等行业有着广泛的应用，丝网印刷的基本原理是印刷时，油墨涂刷在印版上，承印物放在印版之下，通过印版上的漏孔，用压力(如刮墨)使油墨透过通孔，转移印刷到承印物上。但丝网印刷的精度较低，分辨率一般是几十个微米，因此丝网印刷无法进行亚微米精度级别的压印，精度较低。

为了解决上述问题，本申请实施例提供的压印设备，该压印设备结合了纳米压印技术压印精度高和丝网印刷印刷面积大的优点，压印过程肉眼可见，无需真空条件，容易操作，且成本比传统的纳米压印技术低很多，实现了亚微米级别的大面积压印，提高了压印效率和便捷性。

请参阅图3至图7，图3是本申请实施例提供的一种压印设备100的结构示意图。该压印设备100可以为亚微米压印设备，可以解决纳米压印技术中压印面积较小，效率较低的问题，实现了亚微米级精度的大面积压印，提高了用户体验。

如图3至图6所示，该压印设备100包括：丝网印刷机本体10、基于丝网印刷的紫外固化压印平台20、压印头30、网框40和印版50。其中，基于丝网印刷的紫外固化压印平台20设置在丝网印刷机本体10上，该基于丝网印刷的紫外固化压印平台20用于承载待压印的基片。压印头30设置在丝网印刷机本体10上，网框40设置在丝网印刷机本体10上，且位于基于丝网印刷的紫外固化压印平台20的上方，印版50设置在网框40上。

具体地，基于丝网印刷的紫外固化压印平台20、压印头30和网框40均与丝网印刷机本体10可拆卸连接，网框40位于基于丝网印刷的紫外固化压印平台20的上方，且位于压印头30的下方，以使压印头30对设置在网框40上的印版50施加压力,其中印版50可以放置在网框40上，并与网框40可拆卸连接。

在一些实施例中，如图3所示，丝网印刷机本体10包括限位件11，网框40通过限位件11与丝网印刷机本体10可拆卸连接。

在一些实施例中，如图4所示，具体地，网框40包括框架41和设置在框架41上的底板42，底板42上开设印版孔420，该印版孔420用于放置印版50的亚微米级的图案51。

在一些实施例中，印版孔420的面积与印版50的亚微米级的图案51面积相匹配。

在一些实施例中，如图5所示，印版50包括亚微米级的图案51，其中，印版50与底板42限位配合，以使印版50置于网框40上，并使亚微米级的图案51与印版孔420相匹配，从而可以在压印过程中亚微米级的图案51可以通过印版孔420与基片上的压印胶相接触以实现压印。

具体地，如图6所示，印版孔420位于网框40的中间位置，且网框40为弹性网框，以使压印完成后网框40能够根据自身的弹性使印版50回弹至初始高度，由此可以实现印版50与压印胶的分离。这个压印过程一直持续，直到压印头30从印版50的一端移动到另一端并进行压印，此时印版50上的图案51全部转移到基于丝网印刷的紫外固化压印平台20的基片上。

需要说明的是，印版孔420的面积不作具体限定，可以根据印版50上亚微米级的图案51的面积从而确定印版孔420的面积，通常印版孔420的面积略小于网框40的面积，由此可以方便印版50固定在网框40上。

其中，网框40与基于丝网印刷的紫外固化压印平台20的距离小于网框40的最大弹性距离，以使在压印完成后网框40能够使印版50回弹至初始位置，从而实现印版50与压印胶的分离。

请查阅图7，图7是本申请实施例提供的一种压印设备的工作原理示意图，在设备工作时且为紫外固化模式下，基于丝网印刷的紫外固化压印平台20上放置基片，且基片上预先涂好压印胶，此时压印胶为紫外固化胶，通过丝网印刷机本体10的控制***控制压印头30对印版50施加压力，以使印版50压印在基于丝网印刷的紫外固化压印平台20上的基片上，以使压印头30与印版50的接触部分的图案压印在基片上的紫外固化胶上，并对紫外固化胶进行紫外固化，并通过丝网印刷机本体10的控制***控制压印头30运动以实现刮印，以将印版50上的亚微米级的图案51压印到基片上的压印胶上，具体工作流程如图7所示，而在热固化模式下，仅仅是固化手段不同，但压印方式以及压印流程与紫外固化模式是相同的。

在一些实施例中，丝网印刷机本体10用于提供压印时所需的压力，丝网印刷机本体10的控制***可以调整压印参数例如压印压力、压印速度以及压印时间等，并根据调整后的压印参数进行刮印。

示例性地，由于不同的压印胶对于压印参数例如压印压力、压印速度以及压印时间等的需求都不同，压印设备100在开始工作前先获取用户预先设置好的压印参数，并由丝网印刷机本体10的控制***按照所述压印参数控制压印设备100进行工作。

在一些实施例中，如图8所示，压印头30包括接触部31，接触部31用于与印版50接触，其中，所述接触部呈预设倾角设置，由此可以使压印头与印版实现更好的接触，改善刮印效果，提高压印效率。具体地，所述预设倾角可以为5°或10°，在此不作具体限定。

在一些实施例中，接触部31为线性接触部，压印头30与印版50接触为线性接触。其中，所述线性接触部为压印头30与印版50的接触部分，其中压印头30与印版50的接触部分呈线性接触。

在一些实施例中，如图9所示，基于丝网印刷的紫外固化压印平台20包括固化平台21、承载板22、驱动组件23和发光件24；承载板22设置在固化平台21上，承载板22包括透光件，承载板22用于承载待压印的基片，透光件对紫外光的透过率很高，使得发光件发出的紫外光可以顺利通过透光件后照射在基片上的紫外固化胶上，并对基片上压印了亚微米级的图案的压印胶进行固化，其中，所述基片设置透光件的上方，即发光件24发出的紫外光必须透过透光件才能照射到所述基片上。

驱动组件23包括第一驱动件230和第二驱动件231，第一驱动件230与压印设备100连接，第二驱动件231与第一驱动件230连接并位于承载板22下，第二驱动件231包括限位槽232，限位槽232面向承载板22；发光件24设置在限位槽232内，发光件24用于发出光线。其中，第二驱动件231可以为为扁平状且位于承载板22下，第二驱动件231与第一驱动件230可以呈任意角度连接，当第一驱动件230运动时，第二驱动件231跟随第一驱动件230运动，即发光件24也与第一驱动件230做同步运动。

具体地，第一驱动件230可以与压印头30连接，当压印头30运动时，带动第一驱动件230与压印头30做同步运动，需要说明的是，由于在本实施例中是通过紫外固化的方式对压印了亚微米级的图案的压印胶进行固化，因此在本实施例中压印头30可以不具备加热功能，只具备压印功能即可，再通过基于丝网印刷的紫外固化压印平台20对基片上压印了亚微米级的图案的压印胶进行紫外固化。

在压印设备100工作时，通过压印设备100控制第一驱动件230相对承载板22运动，并带动第二驱动件231跟随第一驱动件230相对承载板22运动，以使发光件24发出的光线通过透光件照射在所述基片，以对所述基片上压印了亚微米级的图案的压印胶进行固化。由此可以通过压印头30带动发光件24运动，从而实现发光件24与热控压印头30同步工作，提高压印效果。

需要说明的是，由于在本实施例中是通过紫外固化的方式对压印了亚微米级的图案的压印胶进行固化，因此压印胶应为紫外固化胶。

在一些实施例中，第二驱动件231与承载板22平行，并与第一驱动件230垂直。

通过设置第二驱动件231与承载板22平行，可以使第二驱动件231上的发光件24发出的光线对准透光件，从而提高固化效果。若第二驱动件231与承载板22不平行，可能会导致发光件24发出的光线照射到别处，导致透光件接收到的光线不足，导致固化效果不佳。

在一些实施例中，如图10所示，限位槽232的横截面为圆弧形状。由于发光件24一般为灯管等圆柱状的物件，因此可以将限位槽232的横截面设置为圆弧形状，由此可以将发光件24贴合限位槽232并放置在限位槽232内。

通过设置限位槽232，且将限位槽232的横截面设置为圆弧形状，可以避免当第二驱动件231运动时，由于第二驱动件231的往返运动而导致发光件24与第二驱动件231脱离。

在一些实施例中，如图10和图11所示，发光件24包括发光灯管240和灯罩241，发光灯管240设置在灯罩241内，灯罩241与限位槽232限位配合。

其中，发光灯管240可以是任意用于实现光固化的发光灯管，例如可以使用紫外固化灯管，当使用紫外固化灯管时，此时基片上的压印胶应是对应的紫外固化胶。紫外固化灯管可以放出特定波长的紫外线，能在0.5-2秒内即可实现紫外固化，具有瞬时固化，省时省电，节约空间，容易控制，无须高温烘烤，无污染等优点。

将发光灯管240设置在灯罩241内可以保护发光灯管240，避免发光灯管240被外部物体碰撞而造成破裂，而且灯罩241可以阻挡紫外线光，使设备操作人员免受紫外辐射的伤害。

示例性的，由于发光灯管240一般为圆柱状，而灯罩241用于保护发光灯管240，一般将发光灯管240包裹住，因此灯罩241也为圆柱状。可以通过将灯罩241背离承载板22的一侧与限位槽232限位配合，从而将灯罩241固定安装在限位槽232上。

示例性的，可以通过卡接或焊接等方式将灯罩241固定安装在限位槽232上，使得发光灯管240对准承载板22，只要第二驱动件231与承载板22保持平行，即可以使得发光灯管240与承载板22保持平行，从而将发光灯管240发出的光线对准透光件，提高固化效果。

在一些实施例中，限位槽232内设置有连接口233，发光灯管240与连接口233电性连接。

具体地，在设备工作时，即利用光固化时，压印头30的加热部件32无需加热，通过丝网印刷机本体10的控制***控制压印头30对印版50施加压力并运动以实现刮印,压印头30运动从而带动第一驱动件230跟随压印头30在第一方向上相对承载板22运动，并带动第二驱动件231跟随第一驱动件230相对承载板22运动。同时丝网印刷机本体10的控制***通过连接口233控制发光灯管240发出光线，以使发光灯管240发出的光线通过透光件照射在基片，以固化基片上压印了图案的紫外固化胶，从而将印版50上的亚微米级的图案51压印到所述基片上的紫外压印胶上。

其中，所述第一方向为压印头30在水平面上的运动方向。需要说明的是，第二驱动件231与压印头30可实现同步移动，但第二驱动件231没有抬升动作，仅有移动动作。

在一些实施例中，灯罩241包括透光部242，透光部242设置在灯罩241中靠近承载板22的一侧；其中，发光灯管240发出的光线通过透光部242照射到透光件上，所述光线透过透光件照射在所述基片，以对所述基片上压印了亚微米级的图案的压印胶进行固化。

具体地，透光部242为线性透光部，且透光部242与压印头30的接触部31的形状相匹配。由此可以使发光灯管240保持线出光，并可以在压印的同时进行光固化，大大提高了压印效率。

同时，发光灯管240发出的光线只能通过透光部242照射到透光件上，透光部242位于压印头30下方，工作时出光方向正对着被压印处的压印胶，从而被压印处的压印胶会被透过透光件的紫外线所固化，由于透光部242为线性透光部，因此对被压印处的压印胶进行紫外固化时，也不会影响到未压印区域的压印胶。

在一些实施例中，灯罩241开设有缺口，并通过缺口形成透光部242。由此可以在简单地通过开设缺口得到透光部242，降低了制作成本。

其中，所述缺口对应的圆周角为45°，由此可以通过设置缺口对应的圆周角为45°，从而将透光部242设置为线性透光部，且缺口对应的圆周角可以根据压印头30的接触部31的形状进行设置，比如设置缺口对应的圆周角为30°或60°，从而实现透光部242与压印头30的接触部31的形状相匹配。

在一些实施例中，透光件可以为石英板。

在一些实施例中，如图12所示，整个承载板22均为透光件，即均为石英板。可以在承载板22上设有多个通孔部220，通孔部220用于利用气体的吸附力将基片固定在承载板22上。

示例性的，多个通孔部220可以等距布设在承载板22上，由此可以提高基片的吸附效果。

在一些实施例中，如图13所示，承载板22开设有开口221，开口221设置有限位部222，承载板22设置有多个通孔部220，多个通孔部220分布在开口221的四周，通孔部220用于利用气体的吸附力将待压印的基片固定在所述承载板上，所述透光件设置在开口221处，限位部222用于与所述透光件限位配合，承载板22与所述透光件的材质不同。

若利用一整块石英板来当做承载板，为了将基片吸附在承载板上，需要在石英板上进行打孔等操作。由于石英板的受力不如金属板，而且石英板并不适合打孔，打孔操作会在石英板内部形成很大的应力，使得石英板在压印过程中很容易离开，影响压印效果，同时利用一整块石英板来做承载板的成本也比较高。因此可以通过将承载板22开设有开口221，并将透光件设置在开口221处，由此可以无需对透光件(即石英板)进行打孔，只对承载板22进行打孔，即可以实现将待压印的基片固定在所述承载板22上，从而可以避免石英板在工作过程中破裂而影响压印效果。

示例性的，所述透光件为石英板，承载板22的材质采用金属材质。而承载板22采用金属材质比如铝板等，相对于使用石英板来作为承载板来说，成本更低，且铝板的受力更好，在铝板上打孔形成的应力影响可以忽略不计。

在一些实施例中，基于丝网印刷的紫外固化压印平台20还包括支撑柱25，支撑柱25用于与承载板22配合，以将承载板22固定安装在预设高度。与现有的紫外固化压印平台相比，可以大大地节省空间，提高空间利用率，节省材料和制造成本。

具体地，如图9所示，支撑柱25可以用于支撑承载板22，并将承载板22固定安装在预设高度，以便于在承载板22下方放置驱动组件23和发光件24。

示例性的，支撑柱25可以通过卡接、螺纹连接或焊接等方式与承载板22配合，以将承载板22固定安装在预设高度。

示例性的，可以在承载板22四个角的位置均设置对应的支撑柱25，以将承载板22固定安装在预设高度，从而保证承载板22的稳定性。

上述本申请实施例序号仅仅为了描述，不代表实施例的优劣。以上所述，仅是本申请的具体实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可轻易想到各种等效的修改或替换，这些修改或替换都应涵盖在本申请的保护范围之内。因此，本申请的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

以上所述，仅为本申请的具体实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可轻易想到各种等效的修改或替换，这些修改或替换都应涵盖在本申请的保护范围之内。因此，本申请的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种基于丝网印刷的紫外固化压印平台，其特征在于，应用于压印设备，包括：

固化平台；

承载板，所述承载板设置在所述固化平台上，所述承载板包括透光件，所述承载板用于承载待压印的基片；

驱动组件，所述驱动组件包括第一驱动件和第二驱动件，所述第一驱动件与所述压印设备连接，所述第二驱动件与所述第一驱动件连接并位于所述承载板下，所述第二驱动件包括限位槽，所述限位槽面向所述承载板；

发光件，所述发光件设置在所述限位槽内，用于发出光线；

在所述压印设备工作时，通过所述压印设备控制所述第一驱动件相对所述承载板运动，并带动所述第二驱动件跟随所述第一驱动件相对所述承载板运动，以使所述发光件发出的光线通过所述透光件照射在所述基片，以对所述基片上压印了亚微米级的图案的压印胶进行固化。

2.根据权利要求1所述的紫外固化压印平台，其特征在于，所述第二驱动件与所述承载板平行，并与所述第一驱动件垂直。

3.根据权利要求1所述的紫外固化压印平台，其特征在于，所述限位槽的横截面为圆弧形状。

4.根据权利要求1所述的紫外固化压印平台，其特征在于，所述发光件包括：

发光灯管；

灯罩，所述发光灯管设置在所述灯罩内，所述灯罩与所述限位槽限位配合。

5.根据权利要求4所述的紫外固化压印平台，其特征在于，所述限位槽内设置有连接口，所述发光灯管与所述连接口电性连接。

6.根据权利要求4所述的紫外固化压印平台，其特征在于，所述灯罩包括：

透光部，所述透光部设置在所述灯罩中靠近所述承载板的一侧；

其中，所述发光灯管发出的光线通过所述透光部照射到所述透光件上，所述光线透过所述透光件照射在所述基片，以对所述基片上压印了亚微米级的图案的压印胶进行固化。

7.根据权利要求6所述的紫外固化压印平台，其特征在于，所述灯罩开设有缺口，并通过所述缺口形成所述透光部。

8.根据权利要求7所述的紫外固化压印平台，其特征在于，所述缺口对应的圆周角为45°。

9.根据权利要求1所述的紫外固化压印平台，其特征在于，所述透光件为石英板。

10.一种压印设备，其特征在于，包括：如权利要求1-9任一项所述的基于丝网印刷的紫外固化压印平台。

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