CN217689768U - 一种双面纳米压印设备 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种双面纳米压印设备，涉及微纳米压印技术领域，本申请所设计的双面纳米压印设备，包括设备主体、基板支撑装置、第一模板压印装置、第一顶出装置、第二模板压印装置、第二顶出装置、对准装置以及控制装置。通过设置第一顶出装置、第二模板压印装置、第二顶出装置来实现对模板支撑装置上的模板双面压印作业，较于传统的单面压印方式来说，能够提高压印效率。而设置的对准装置可以捕捉第一模板标记、第二模板标记以及基板标记，并反馈控制装置，利用控制装置的驱动调节来实现对准，使得双面压印更加准确地进行，提高图形压印准确性，使得整个设备可以实现高效准确的双面压印作业。

Description

一种双面纳米压印设备

技术领域

本申请涉及微纳米压印技术领域，尤其涉及一种双面纳米压印设备。

背景技术

纳米压印是在特种高分子材料上，通过物理机械方式成型，制备出高分辨率微纳图形的一种新型微纳加工方法。随着纳米压印技术的发展，纳米压印技术已成为继机加工技术及光刻技术后的另一种重要的加工技术。

纳米压印技术已在微电子、材料、生物医药、光学等领域得到了较为广泛的应用，特别在微纳光学领域，纳米压印技术已被广泛使用来制备如DOE、AR等衍射光学元器件。随着市场及技术的发展，对产品品质也提出了更高的需求，双面纳米压印制备的元器件是未来的一个新趋势。但目前大量使用的是单面压印技术，存在压印效率低、对准精度差、产品洁净度低等不足。

实用新型内容

有鉴于此，本申请的目的是提供一种双面纳米压印设备，能够实现高效率准确的压印作业。

为达到上述技术目的，本申请提供了一种双面纳米压印设备，包括：

设备主体，所述设备主体具有压印作业舱；

基板支撑装置，所述基板支撑装置安装于所述压印作业舱，用于支撑固定待压印的基板；

第一模板压印装置，所述第一模板压印装置安装于所述压印作业舱，用于固定第一模板并将所述第一模板上的图形压印至所述基板的一侧面；

第一顶出装置，所述第一顶出装置安装于所述压印作业舱，用于提供所述第一模板贴紧所述基板的作用力以及提供固化光源；

第二模板压印装置，所述第二模板压印装置安装于所述压印作业舱，用于固定第二模板并将所述第二模板上的图形压印至所述基板的另一侧面；

第二顶出装置，所述第二顶出装置安装于所述压印作业舱，用于提供所述第二模板紧贴所述基板的作用力及提供固化光源；

对准装置，所述对准装置安装于所述压印作业舱且与所述第一模板压印装置或所述第二模板压印装置相对于所述基板支撑装置处于同一侧，所述对准装置用于捕捉所述第一模板上的第一模板标记和所述第二模板上的第二模板标记，或用于捕捉所述第一模板上的第一模板标记和所述基板上的基板标记，或用于捕捉所述第二模板上的第二模板标记和所述基板上的基板标记；

控制装置，所述控制装置安装于所述设备主体并与所述基板支撑装置、所述第一模板压印装置、所述第二模板压印装置以及所述对准装置电连接；

对准时，所述控制装置用于控制所述第一模板压印装置带动所述第一模板运动和/或控制所述第二模板压印装置带动所述第二模板运动，以使得第一模板标记和第二模板标记相对重合；或

所述控制装置用于控制所述第一模板压印装置带动所述第一模板运动和/或控制所述基板支撑装置带动所述基板运动，以使得第一模板标记和基板标记相对重合；或

所述控制装置用于控制所述第二模板压印装置带动所述第二模板运动和/或控制所述基板支撑装置带动所述基板运动，以使得第二模板标记与基板标记相对重合。

进一步地，所述第一模板压印装置以及所述第二模板压印装置均包括：

模板框架，所述模板框架上具有模板安装工位；

两个第一Y轴移动机构，两个所述第一Y轴移动机构相对于所述模板框架对称设置，用于带动所述模板框架沿Y方向运动；

两个第一Z轴移动机构，两个所述第一Z轴移动机构一一对应与所述第一Y轴移动机构连接，用于带动所述第一Y轴移动机构运动，以使得所述模板框架沿靠近或远离所述基板支撑装置的方向运动。

进一步地，所述第一模板压印装置以及所述第二模板压印装置均还包括：

两个第一X轴移动机构，两个所述第一X轴移动机构相对于所述模板框架对称设置，且分别与所述模板框架连接，用于带动所述模板框架沿X方向运动；

两个所述第一Y轴移动机构一一对应与所述第一X轴移动机构连接，用于带动所述第一X轴移动机构沿Y方向运动，进而带动所述模板框架沿Y方向运动。

进一步地，所述第一模板压印装置以及所述第二模板压印装置均还包括：

辊轴，所述辊轴设于所述模板框架内，且与所述第一模板或所述第二模板接触；

辊轴驱动组件，所述辊轴驱动组件安装于所述模板框架上且与所述辊轴连接，用于驱动所述辊轴在所述模板框架内运动，以辊压所述第一模板或所述第二模板。

进一步地，所述第一顶出装置以及第二顶出装置均包括：

第一筒体，所述第一筒体朝向所述基板支撑装置的一端设有第一开口；

透明的第一支撑板，所述第一支撑板安装于所述第一筒体内；

第一固化灯，所述第一固化灯安装于所述第一支撑板远离所述第一开口的一侧上；

透明的第一透风板，所述第一透风板安装于所述第一筒体内，且位于所述第一支撑板靠近所述第一开口的一侧，并与所述第一支撑板之间形成第一通气腔；

第一正压装置，所述第一正压装置与所述第一通气腔连通；

密封圈，所述密封圈安装于所述第一筒体上，并环设所述第一透风板外；

第二Z轴移动机构，所述第二Z轴移动机构与所述第一筒体连接，用于驱动所述第一筒体运动，以使得所述密封圈、所述第一透风板与所述第一筒体的侧壁之间形成密封的挤压腔。

进一步地，所述第一模板压印装置包括：

模板框架，所述模板框架上具有模板安装工位；

两个第一Y轴移动机构，两个所述第一Y轴移动机构相对于所述模板框架对称设置，用于带动所述模板框架沿Y方向运动；

两个第一Z轴移动机构，两个所述第一Z轴移动机构一一对应与所述第一Y轴移动机构连接，用于带动第一Y轴移动机构运动，以使得所述模板框架沿靠近或远离所述基板支撑装置的方向运动；

所述第二模板压印装置包括：

第二筒体，所述第二筒体朝向所述基板支撑装置的一端设有第二开口，所述第二筒体一端上设有连通所述第二开口的模板安装台阶，所述安装台阶上开设有若干第一真空吸附孔；

第一负压装置，所述第一负压装置与所述第一真空吸附孔连通；

第三Z轴移动机构，所述第三Z轴移动机构用于带动所述第二筒体沿靠近或远离所述基板支撑装置的方向运动；

第二X轴移动机构，所述第二X轴移动机构与所述第三Z轴移动机构连接，用于带动所述第三Z轴移动机构沿X方向运动，以带动所述第二筒体沿X方向运动；

第二Y轴移动机构，所述第二Y轴移动机构与所述第二X轴移动机构连接，用于带动所述第二X轴移动机构沿Y方向运动，以带动所述第二筒体沿Y方向运动。

进一步地，所述第一模板压印装置还包括：

两个第一X轴移动机构，两个所述第一X轴移动机构相对于所述模板框架对称设置，且分别与所述模板框架连接，用于带动所述模板框架沿X方向运动；

两个所述第一Y轴移动机构一一对应与所述第一X轴移动机构连接，用于带动所述第一X轴移动机构沿Y方向运动，进而带动所述模板框架沿Y方向运动。

进一步地，所述第二模板压印装置还包括：

第一旋转机构，所述第一旋转机构安装于所述第三Z轴移动机构，所述第一旋转机构与所述第二筒体连接，用于带动所述第二筒体旋转运动。

进一步地，所述第一模板压印装置还包括：

辊轴，所述辊轴设于所述模板框架内，且与所述第一模板接触；

辊轴驱动组件，所述辊轴驱动组件安装于所述模板框架上且与所述辊轴连接，用于驱动辊轴在所述模板框架内运动，以辊压第一模板。

进一步地，所述第一顶出装置包括：

第一筒体，所述第一筒体朝向所述基板支撑装置的一端设有第一开口；

透明的第一支撑板，所述第一支撑板安装于所述第一筒体内；

第一固化灯，所述第一固化灯安装于所述第一支撑板远离所述第一开口的一侧上；

透明的第一透风板，所述第一透风板安装于所述第一筒体内，且位于所述第一支撑板靠近所述第一开口的一侧，并与所述第一支撑板之间形成第一通气腔；

第一正压装置，所述第一正压装置与所述第一通气腔连通；

密封圈，所述密封圈安装于所述第一筒体的一端上，并环设所述第一透风板外；

第二Z轴移动机构，所述第二Z轴移动机构与所述第一筒体连接，用于驱动所述第一筒体运动，以使得所述密封圈、所述第一透风板与所述第一筒体的侧壁之间形成密封的挤压腔；

所述第二顶出装置包括：

透明的第二支撑板，所述第二支撑板安装于所述第二筒体内；

第二固化灯，所述第二固化灯安装于所述第二支撑板远离所述第二开口的一面上；

透明的第二透风板，所述第二透风板安装于所述第二筒体内，且位于所述第二支撑板靠近所述第二开口的一侧，并与所述第二支撑板之间形成形成第二通气腔；

第二正压装置，所述第二正压装置与所述第二通气腔连通，经所述第二透风板上的透风口送出的气流作用于所述第二模板上，可使得所述第二模板拱起。

进一步地，对准装置包括：

至少一个图像采集器；

第三X轴移动机构，所述第三X轴移动机构与所述图像采集器连接，用于带动所述图像采集器运动；

第三Y轴移动机构，所述第三Y轴移动机构与所述第三X轴移动机构连接，用于带动所述第三X轴移动机构运动，以带动所述图像采集器运动。

进一步地，所述基板支撑装置包括：

基座，所述基座上设有通槽，所述通槽上环设有用于支撑所述基板的凸缘，所述凸缘上设有若干第二真空吸附孔；

第二负压装置，所述第二负压装置与所述第二真空吸附孔连通。

进一步地，所述第一模板压印装置与所述第二模板压印装置相对所述基板支撑装置对位分布；

所述基板支撑装置还包括：两个第四X轴移动机构，两个所述第四X轴移动机构与所述基座连接，用于带动所述基座沿X方向运动，所述第四X轴移动机构包括移动件，所述移动件上设有第二旋转机构，所述第二旋转机构与所述基座连接，用于带动所述基座旋转运动；

两个第四Y轴移动机构，两个所述第四Y轴移动机构一一对应与所述第四X轴移动机构连接，用于带动所述第四X轴移动机构运动，以带动所述基座沿Y方向运动。

进一步地，所述第一模板压印装置与所述第二模板压印装置相对所述基板支撑装置对位分布；

所述基板支撑装置还包括：

两个第五X轴移动机构，两个所述第五X轴移动机构相对于所述基座对称设置，并与所述基座连接，用于驱动所述基板从所述第一模板压印装置与所述第二模板压印装置外的位置运动至所述第一模板压印装置与所述第二模板压印装置之间的位置。

进一步地，所述第一模板压印装置与所述第二模板压印装置相对所述基板支撑装置错位分布；

所述基板支撑装置还包括：

两个第五X轴移动机构，两个所述第五X轴移动机构相对于所述基座对称设置，并与所述基座连接，可用于驱动所述基板在对准所述第一模板压印装置的位置与对准所述第二模板压印装置的位置切换运动。

进一步地，所述基板支撑装置还包括：

限位机构，所述限位机构包括制动器以及限位板；

所述基座上设有安装槽，所述制动器嵌设于所述安装槽且与所述限位板连接，于所述第一模板压印装置作业前，所述制动器可带动所述限位板运动至对齐所述安装槽位置，以使得所述限位板在受外力挤压时可回缩所述安装槽，于所述第二模板压印装置作业前，所述制动器可带动所述限位板伸出所述安装槽并与所述凸缘之间对所述基板形成夹持。

进一步地，还包括：

喷胶装置，所述喷胶装置安装于所述压印作业舱，用于给所述第一模板、所述第二模板或所述基板上喷胶。

进一步地，所述喷胶装置包括：

料罐，所述料罐用于储存胶料；

喷头，所述喷头与料罐连接；

第六X轴移动机构，所述第六X轴移动机构与所述喷头连接，用于带动所述喷头运动；

第五Y轴移动机构，所述第五Y轴移动机构与所述第六X轴移动机构连接，用于带动所述第六X轴移动机构运动，以带动所述喷头运动。

从以上技术方案可以看出，本申请所设计的双面纳米压印设备，包括设备主体、基板支撑装置、第一模板压印装置、第一顶出装置、第二模板压印装置、第二顶出装置、对准装置以及控制装置。通过设置第一模板压印装置、第一顶出装置、第二模板压印装置、第二顶出装置来实现对基板支撑装置上的基板双面压印作业，较于传统的单面压印方式来说，能够提高压印效率。而设置的对准装置，用于捕捉第一模板上的第一模板标记和第二模板上的第二模板标记，或用于捕捉第一模板上的第一模板标记和基板上的基板标记，或用于捕捉第二模板上的第二模板标记和基板上的基板标记，再反馈给控制装置，控制装置则可以在对准时，控制第一模板压印装置带动第一模板运动和/或控制第二模板压印装置带动第二模板运动，以使得第一模板标记和第二模板标记相对重合；或控制第一模板压印装置带动第一模板运动和/或控制基板支撑装置带动基板运动，以使得第一模板标记和第二模板标记相对重合；或控制第二模板压印装置带动第二模板运动和/或控制基板支撑装置带动基板运动，以使得第二模板标记与基板标记相对重合。对准装置的设置，使得双面压印更加准确地进行，提高图形压印准确性，使得整个设备可以实现高效准确的双面压印作业。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1为本申请中提供的一种双面纳米压印设备的第一种组合结构示意图；

图2为本申请中提供的一种双面纳米压印设备的第二种组合结构示意图；

图3为本申请中提供的一种双面纳米压印设备的第三种组合结构示意图；

图4为本申请中提供的一种双面纳米压印设备的第一旋转机构结构示意图；

图5为本申请中提供的一种双面纳米压印设备的第四种组合结构示意图；

图6为图3中的A位置放大示意图；

图中：100、设备主体；200、第一模板压印装置；300、第二模板压印装置；400、第一顶出装置；500、第二顶出装置；600、基板支撑装置；700、对准装置；800、基板；901、第一模板；902、第二模板；

1、笼式框架；21、第一Z轴移动机构；22、第一Y轴移动机构；23、模板框架；24、辊轴；25、第一X轴移动机构；31、第一筒体；32、第一支撑板；33、第一固化灯；34、密封圈；35、第二Z轴移动机构；36、第一透风板；41、第二筒体；411、第一真空吸附孔；42、第二Y轴移动机构；43、第二X轴移动机构；44、第三Z轴移动机构；45、第一旋转机构；51、第二支撑板；52、第二固化灯；53、第二透风板；61、图像采集器；62、第三X轴移动机构；63、第三Y轴移动机构；71、基座；711、第二真空吸附孔；712、安装槽；72、第四X轴移动机构；73、第四Y轴移动机构；75、第五X轴移动机构；76、第二旋转机构；761、旋转电机；762、主动齿轮；763、齿圈；77、限位机构；771、制动器；772、限位板；8、喷胶装置；81、料罐；82、喷头；83、第五Y轴移动机构；84、第六X轴移动机构。

具体实施方式

下面将结合附图对本申请实施例的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请实施例一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请实施例中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请实施例保护的范围。

在本申请实施例的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请实施例的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本申请实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可更换连接，或一体地连接，可以是机械连接，也可以是电连接，可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请实施例中的具体含义。

本申请实施例公开了一种双面纳米压印设备。

请参阅图1，本申请实施例中提供的一种双面纳米压印设备的一个实施例包括：

设备主体100、基板支撑装置600、第一模板压印装置200、第一顶出装置400、第二模板压印装置300、第二顶出装置500、对准装置700以及控制装置(图中未示)。

其中，设备主体100具有压印作业舱，以提供压印作业空间。

基板支撑装置600安装于压印作业舱，用于支撑固定待压印的基板800。

第一模板压印装置200安装于压印作业舱，用于固定第一模板901并将第一模板901上的图形压印至基板800的一侧面；第一顶出装置400，第一顶出装置400安装于压印作业舱，用于提供第一模板901贴紧基板800的作用力以及提供固化光源，具体可以是提供UV固化光源。

第二模板压印装置300，第二模板压印装置300安装于压印作业舱，用于固定第二模板902并将第二模板902上的图形压印至基板800的另一侧面；第二顶出装置500，第二顶出装置500安装于压印作业舱，用于提供第二模板902紧贴基板800的作用力及提供固化光源，具体可以是提供UV固化光源。

对准装置700，对准装置700安装于压印作业舱且与第一模板压印装置200或第二模板压印装置300相对于基板支撑装置600处于同一侧，对准装置700用于捕捉第一模板901上的第一模板901标记和第二模板902上的第二模板标记，或用于捕捉第一模板901上的第一模板标记和基板800上的基板标记，或用于捕捉第二模板902上的第二模板标记和基板800上的基板标记。第一模板标记、第二模板标记以及基板标记中标记可以是特定图形，例如设定模板上的某一图形特征为标记，设定基板800上已压印的一面的图形上的某一图形特征为标记，或在模板/基板图形特征区域以外的区域单独设计的标志图形，如“十”字形、“井”字形等。

控制装置具体可以包括PLC控制板或处理器等电控器件的组合，安装于设备主体100并与基板支撑装置600、第一模板压印装置200、第二模板压印装置300以及对准装置700电连接。

对准时，控制装置可以控制第一模板压印装置200与第二模板压印装置300运动以使得第一模板901与第二模板902对齐，具体带动第一模板901运动和/或控制第二模板压印装置300带动第二模板902运动，以使得第一模板标记和第二模板标记相对重合。或

控制装置也可以控制第一模板压印装置200与基板支撑装置600运动以使得第一模板901与压印有一面图形的基板800对齐。具体带动第一模板901运动和/或控制基板支撑装置600带动基板800运动，以使得第一模板标记和基板标记相对重合；或

控制装置也可以控制第二模板压印装置300与基板支撑装置600运动以使得第二模板902与压印有一面图形的基板800对齐，具体带动第二模板压印装置300带动第二模板902运动和/或控制基板支撑装置600带动基板800运动，以使得第二模板标记与基板标记相对重合。

本申请所设计的双面纳米压印设备相较于单面压印设备来说，具备更高的压印效率，同时对准装置700的设计也使得压印准确性更好，整体实现高效准确的双面压印作业。

以上为本申请实施例提供的一种双面纳米压印设备主体结构介绍，以下为本申请实施例提供的一种双面纳米压印设备的更为详细的方案介绍，具体请参阅图1至图6。

第一模板压印装置200和第二模板压印装置300的第一种组合方案：

参见图1与图2，第一模板压印装置200以及第二模板压印装置300均包括：

模板框架23、两个第一Z轴移动机构21以及两个第一Y轴移动机构22。

模板框架23朝向基板支撑装置600的一面具有模板安装工位，用于安装固定第一模板901/第二模板902，固定方式可以是夹持、真空吸附等易拆卸的固定方式，以方便拆换第一模板901/第二模板902，当然，模板安装工位也可以是设于框架内或其它位置，具体不做限制。

进一步地，两个第一Y轴移动机构22相对于模板框架23对称设置，用于带动模板框架23沿Y方向运动。在使用时，可通过第一Y轴移动机构22带动模板框架23沿Y方向自设备主体100的压印作业舱移出，将第一模板901/第二模板902固定在模板框架23后，再通过第一Y轴移动机构22带动模板框架23沿Y方向朝设备主体100的压印作业舱内移动，同时，可结合对准装置700根据对准需要进行位移调节，有效实现自动对准。此外，第一模板压印装置200和第二模板压印装置300还包括两个第一Z轴移动机构21，且两个第一Z轴移动机构21一一对应与第一Y轴移动机构22连接，用于带动第一Y轴移动机构22运动，以使得模板框架23沿靠近或远离基板支撑装置600的方向运动，实现压印目的，同时，两个第一Z轴移动机构21为相对独立设置的移动机构，从而实现对模板框架23倾斜控制，进而使得固定于模板框架23上的第一模板901/第二模板902可相对于基板800具有如图1-4所示的一定倾斜角度的贴合，有效解决第一模板901/第二模板902与基板800贴合时产生气泡的问题，获得更好地压印作业效果。

进一步地，第一模板压印装置200以及第二模板压印装置300均还可以包括两个第一X轴移动机构25，两个第一X轴移动机构25相对于模板框架23对称设置，且分别与模板框架23连接，用于带动模板框架23沿X方向运动。两个第一Y轴移动机构22一一对应与第一X轴移动机构25连接，用于带动第一X轴移动机构25沿Y方向运动，进而带动于第一X轴移动机构25连接的模板框架23沿Y方向运动。通过第一X轴移动机构25的设置，使得固定于模板框架23上的第一模板901或第二模板902不仅可沿Y方向运动，而且还可以沿X方向运动，从而在压印贴合之前，可根据对准装置700反馈的信息实现对第一模板901或第二模板902相对于基板800进行X、Y方向的移动，进而实现第一模板901或第二模板902与基板800对准作业，有效保证了第一模板901和第二模板902上的图形压印于基板800上的位置和角度关系。另外，第一Y轴移动机构22以及第一X轴移动机构25均相对于模板框架23对称设置，这样能够形成一个类“口”字型的组合，进而在实现模板框架23的XY位移调节的同时也利用“口”字型的组合来避免对第一模板901/第二模板902形成干涉，从而保证压印作业的稳定进行。

各个移动机构均可以是采用丝杆滑台、气缸滑台等移动机构，具体不做限制。以丝杆滑台为例，具体应用时，两个第一Z轴移动机构21可以是安装于模板框架23的两侧。两个第一Y轴移动机构22一一对应安装于第一Z轴移动机构21的活动部上，也即是将每个第一Y轴移动机构22一一对应安装于一个第一Z轴移动机构21上，而且每个第一Y轴移动机构22均具有两个间隔设置且同步运动的活动部。两个第一X轴移动机构25一一对应安装于两个第一Y轴移动机构22的活动部之间，两个第一X轴移动机构25的活动部与模板框架23连接。通过这一XYZ移动机构的配合来实现模板框架23的XYZ位移调节。再具体的，每个第一Y轴移动机构22横架固定于第Z轴移动机构21的活动部；同时第一Y轴移动机构22上的活动部设计为两个，两个活动部间隔分布且同步运动，第一X轴移动机构25一一对应安装于两个第一Y轴移动机构22的活动部之间，并使得自身的活动部与模板框架23在Y轴移动方向上的侧框连接，实现XYZ位移调节的同时也避免对第一模板901/第二模板902形成干涉。当然，不仅仅局限于上述这一设计，本领域技术人员可以以此为基础做适当的变换设计，保证压印作业能够稳定进行即可。

进一步地，基于上述第一模板压印装置200以及第二模板压印装置300的机构组成来说，其均还可以包括辊轴24以及辊轴驱动组件(图中未示)。

如图2所示，辊轴24设于模板框架23内，且可与第一模板901或第二模板902接触；辊轴驱动组件安装于模板框架23上且与辊轴24连接，用于驱动辊轴24在模板框架23内运动，以辊压第一模板901或第二模板902。

具体设计时，辊轴驱动组件可以包括电机、主动链轮、从动链轮以及链条；电机的输出轴上套固主动链轮，并安装于模板框架23上靠近一个第一Z轴移动机构21的一侧位置或靠近另一个第一Z轴移动机构21的一侧的位置，而从动链轮枢接于模板框架23上于主动链轮相对的另一侧位置，链轮连接于主动链轮与从动链轮之间。辊轴24的一端与链条连接，另一端活动连接于模板框架23上，通过这一设计即可实现辊轴驱动组件带动辊轴24运动。当然，不仅仅局限于上述这一设计，本领域技术人员可以以此为基础做适当的变换设计。

由于模板框架23是受两个独立的第一Z轴移动机构21控制，这样即可控制模板框架23与基板800之间呈一定的夹角，而辊轴驱动组件即可驱动辊轴24从夹角侧开始移动滚压第一模板901，将第一模板901上的图形滚压至基板800上，并起到赶气泡的作用，实现更好的压印效果。

进一步地，以上述第一模板压印装置200以及第二模板压印装置300采用框架式辊压设计来说。

如图3所示，第一顶出装置400以及第二顶出装置500均包括第一筒体31、透明的第一支撑板32、第一固化灯33、透明的第一透风板36、第一正压装置(图中未示)、密封圈34以及第二Z轴移动机构35。

第一筒体31朝向基板支撑装置600的一端设有第一开口，第一支撑板32安装于第一筒体31内，第一固化灯33安装于第一支撑板32远离第一开口的一侧上；第一透风板36安装于第一筒体31内，且位于第一支撑板32靠近第一开口的一侧，并与第一支撑板32之间形成第一通气腔；第一正压装置与第一通气腔连通；密封圈34安装于第一筒体31上，并环设第一透风板36外；第二Z轴移动机构35的活动部与第一筒体31连接，用于驱动第一筒体31运动，以使得密封圈34、第一透风板36与第一筒体31的侧壁之间形成密封的挤压腔。

具体的，第二Z轴移动机构35可以是伸缩气缸，不做限制。密封圈34可以是环嵌于第一筒体31的一端面上，或环设于第一透风板36与第一筒体36侧壁交汇处，能够与第一模板901或第二模板902接触，具体不做限制。当第二Z轴移动机构35带动第一筒体31运动至密封圈34与第一模板901或第二模板902接触时，使得第一通气腔内的气流均匀穿过第一透风板36，实现对第一模板901或第二模板902施压的作用，第一透风板36具体可以是均风板，这样施加的作用力更加均匀。其工作原理如下，当辊轴24完成贴合及赶气泡的工作后，第二Z轴移动机构35可以驱动第一筒体31朝向基板800方向移动，使得密封圈34与第一模板901或第二模板902接触，组合形成密闭的腔体，再通过第一正压装置往第一通气腔内注入气体，而注入的气体则通过第一透风板36上的气孔均匀送入挤压腔中，再对第一模板901/第二模板902形成均匀的挤压作用，从而使得第一模板901/第二模板902上的图形更好的压印至基板800上，同时开启第一固化灯33，对压印好的图形进行固化。

本申请该第一固化灯33具体可以为UV固化灯。

第一模板压印装置200和第二模板压印装置300的第二种组合方案：

如图2所示，第一模板压印装置200采用与第一种方案一样的框架式辊压设计，第二模板压印装置300为与第一模板压印装置200不一样的设计，具体如下：

第一模板压印装置200采用框架式辊压设计，具体包括模板框架23、两个第一Z轴移动机构21、两个第一Y轴移动机构22、两个第一X轴移动机构25、辊轴24以及辊轴驱动组件，具体可以参考前述内容，不做赘述。

而第二模板压印装置300可以设计为包括第二筒体41、第一负压装置(图中未示)，第二Y轴移动机构42、第二X轴移动机构43以及第三Z轴移动机构44。

第二筒体41朝向基板支撑装置600的一端设有第二开口，第二筒体41一端上设有连通第二开口的模板安装台阶，安装台阶上开设有若干第一真空吸附孔411；第一负压装置与第一真空吸附孔411连通。采用真空吸附的方式来固定住第二模板902，装拆方便，维护简单。

进一步地，第三Z轴移动机构44与第二筒体41连接，第三Z轴移动机构44用于带动第二筒体41沿靠近或远离基板支撑装置600的方向运动；第二X轴移动机构43与第三Z轴移动机构44连接，用于带动第三Z轴移动机构44沿X方向运动，以带动第二筒体41沿X方向运动；第二Y轴移动机构42与第二X轴移动机构43连接，用于带动第二X轴移动机构43沿Y方向运动，以带动第二筒体41运动沿Y方向运动。第二X/Y轴移动机构可以是丝杆滑台机构，带动第二筒体41运动至目标压印位置，同时可配合对准装置700完成第二模板902与基板800之间的对准。Z轴移动机构可以是气缸升降机构，通过带动第二筒体41往基板800方向运动，以实现压印作业。具体的，第二X轴移动机构43安装于第二Y轴移动机构42的活动部；第三Z轴移动机构44安装于第二X轴移动机构43的活动部。

第二模板压印装置300这一设计，其压印工作原理为：第二X轴移动机构43以及第二Y轴移动机构42带动第二筒体41运动到目标压印位置，第三Z轴移动机构44带动第二筒体41运动至第二模板902接触基板800，实现压印。这一实施例中，实现了框架式辊压压印与筒式压印的组合。

进一步地，如图3所示，第二压印装置300还可以包括第一旋转机构45，第一旋转机构45安装于第三Z轴移动机构44，第一旋转机构45与第二筒体41连接，用于带动第二筒体41旋转运动。第一旋转机构45的设计，使得第二模板902还具有R轴方向的调节，进一步提高对位的便利性以及准确性，第一旋转机构45可以是扁平式旋转电机，具体不做限制。

进一步地，基于上述该框架式辊压压印与筒式压印的组合来说，第一顶出装置400可以是包括第一筒体31、透明的第一支撑板32、第一固化灯33、透明的第一透风板36、第一正压装置、密封圈34以及第二Z轴移动机构35。其各部件的配合可以参考前述内容，不做赘述。

第二顶出装置500可以是包括透明的第二支撑板51、第二固化灯52、透明的第二透风板53以及第二正压装置(图中未示)。

第二支撑板51安装于第二筒体41内；第二固化灯52安装于第二支撑板51远离第二开口的一侧上；第二透风板53安装于第二筒体41内，且位于第二支撑板51靠近第二开口的一侧，并与第二支撑板51之间形成第二通气腔；第二正压装置与第二通气腔连通。

第二顶出装置500的工作原理为：当第二模板902完全贴住基板800时，启动第二正压装置，往第二通气腔内通入气体，通入的气体再经过第二透风板53进入第二透风板53与第二模板902之间形成的挤压腔内并对第二模板902形成挤压，以使得第二模板902更好的贴紧于基板800上，同时启动第二固化灯52实现固化。

本申请该第二固化灯52具体可以为UV固化灯。

另外，经第二透风板53上的透风口送出的气流作用于第二模板902上，可使得第二模板902拱起。这一设计，在压印前先通入一定气流，使得第二模板902拱起，在驱动第三Z轴移动机构44使得拱起的第二模板902开始贴紧基板800，此处第二模板902拱起部分先接触基板800，随着第三Z轴移动机构44的驱动使得第二模板902逐渐增加与基板800的接触面积，直至与基板完全接触，这一过程能够起到赶气泡的作用，与前述的辊轴24有着异曲同工的作用。而待第二模板902与基板800完成接触之后亦可继续通入气体，对第二模板902进行挤压，从而实现更好的压印效果。

本申请中，就对准装置700的结构组成来说，包括至少一个图像采集器61、第三X轴移动机构62以及第三Y轴移动机构63。

具体地，第三X轴移动机构62与图像采集器61连接，用于带动图像采集器61运动；第三Y轴移动机构63与第三X轴移动机构62连接，用于带动第三X轴移动机构62运动，以带动图像采集器61运动。以丝杆滑台为例，第三X轴移动机构62安装于第三Y轴移动机构63的活动部，第三X轴移动机构62的活动部与图像采集器61连接。第三X轴移动机构62与第三Y轴移动机构63的设置使得图像采集器61能够实现XY轴方向的位移调节，使得标记获取更加方便，同时在不使用时可移动至不干涉其它装置的位置。

进一步地，图像采集器61可以为CCD摄像头，具体不做限制。其数量可以是优选为两个，也即是如图所示设置两个图像采集器61，这样可以实现更多组标记的对准，相比于单个图像采集器61的设置来说，能够进一步提高对准的精度。

本申请中，就基板支撑装置600的结构组成来说，可以包括基座71以及第二负压装置(图中未示)。

如图2所示，基座71上设有通槽，通槽上环设有用于支撑基板800的凸缘，凸缘上设有若干第二真空吸附孔711，第二负压装置与第二真空吸附孔711连通。通过真空吸附的方式来实现对基板800的支撑固定，拆装维护更加方便。

进一步地，第一模板压印装置200与第二模板压印装置300位置分布来说，可以是如图1至图3所示，相对基板支撑装置600对位分布，也即是第一模板压印装置200与第二模板压印装置300位置处于同一定的空间范围内位于基板支撑装置600两侧且相对设置。

以此为例，如图1以及图2所示，一种以第一模板压印装置200与第二模板压印装置300相对基板支撑装置600对位分布为例的方案。

基板支撑装置600具体还可以包括两个第四Y轴移动机构73以及两个第四X轴移动机构72。

两个第四X轴移动机构72与基座71连接，用于带动基座沿X方向运动，且两个第四X轴移动机构包括移动件，移动件上设有第二旋转机构76，第二旋转机构76与基座71连接，用于带动基座71旋转运动。此外，两个第四Y轴移动机构73一一对应与第四X轴移动机构72连接，用于带动第四X轴移动机构72运动，进而带动基座71沿Y方向运动。具体的，以丝杆滑台设计为例，两个第四Y轴移动机构73间隔设置，每个第四Y轴移动机构73均具有两个间隔设置且同步转动的活动部；两个第四X轴移动机构72一一对应安装于两个第四Y轴移动机构73的活动部之间，第四X移动机构的活动部形成移动件，且移动件上设有第二旋转机构76，第二旋转机构76与基座71连接，用于驱动基座71转动。这一移动机构组合使得基板800能够实现XY轴方向以及R轴方向的调节，其中第四Y轴移动机构73以及第四X移动机构之间的配合可以参考前述的第一Y轴移动机构22与第一X轴移动机构25之间的配合，满足移动调节的同时不会干涉到第一模板压印装置200以及第二模板压印装置300等装置的工作即可，具体不做赘述。另外，对基板800增加R轴的运动，使其在进行对准操作时更加灵活。

第二旋转机构76具体设计时，可以是如图4所示，包括旋转电机761、主动齿轮762以及齿圈763；第四X轴移动机构72的活动部上设有用于支撑基座71的台阶，该台阶的底面上设有凹槽，该凹槽一侧壁嵌装有旋转电机761，旋转电机761的输出轴伸入凹槽内并套固有主动齿轮762，而主动齿轮762的部分伸出凹槽外，齿圈763固定于基座71的底部并与主动齿轮762啮合。基座71可转动地安装在两个第四X轴移动机构72的活动部上，并受旋转电机761的驱动可实现旋转运动。当然，不仅仅局限与上述这一设计，本领域技术人员可以以此为基础做适当的变换设计，不做限制。

如图1以及图2所示的组合方案，其压印工作过程可以是：第一模板压印装置200先将第一模板901上的图形压印至基板800上；再通过对准装置700来对准第二模板902上的第二模板标记与压印有图形的基板800上的基板标记，对准之后，再控制第二模板压印装置300将第二模板902上的图形压印至基板800上。

如图3所示，另一种以第一模板压印装置200与第二模板压印装置300相对基板支撑装置600对位分布为例的方案。

基板支撑装置600还可以是包括两个第五X轴移动机构75。两个第五X轴移动机构75相对于基座71对称设置，并与基座71连接，可用于驱动基板800从第一模板压印装置200与第二模板压印装置300外的位置运动至第一模板压印装置200与第二模板压印装置300之间的位置。

如图3所示的组合方案，其压印工作过程可以如下：基于对准装置700，先对第一模板901上的第一模板标记与第二模板902上的第二模板标记进行对准，再控制第五X轴移动机构75使得基板800运动至第一模板压印装置200与第二模板压印装置300之间，再分别完成第一模板压印装置200以及第二模板压印装置300的压印，或同时完成第一模板压印装置200和第二模板压印装置300的压印。

如图5所示，第一模板压印装置200与第二模板压印装置300还可以是相对基板支撑装置600错位分布。

以此为例，基板支撑装置600还可以包括：两个第五X轴移动机构75，两个第五X轴移动机构75相对于基座71对称设置，并与基座71连接，可用于驱动基板800在对准第一模板压印装置200的位置与对准第二模板压印装置300的位置切换运动。

如图5所示的组合方案，其压印工作过程可以如下：先通过第五X轴移动机构75带动基板800运动至对准第一模板压印装置200位置，再通过第一模板压印装置200实现压印。然后通过第五X轴移动机构75带动基板800运动至第二模板压印装置300位置，此时基于对准装置700，对准基板800上的基板标记与第二模板902上的第二模板标记，再通过第二模板压印装置300实现基板800另一面的压印。

以第一模板压印装置200朝向凸缘顶面设置，而第二模板压印装置300朝向凸缘底面设置为例，当进行第一模板压印装置200压印作业时，此时有凸缘起到支撑作用，而当进行第二模板压印装置300压印作业时，此时凸缘无法起到支撑作用，存在压印过程中基板800顶出的风险，为此，本申请该基板支撑装置600可以增加设置一个限位机构77。

如图6所示，该限位机构77可以包括制动器771以及限位板772。

基座71上设有安装槽712，制动器771嵌设于安装槽712且与限位板772连接，于第一模板压印装置200作业前，制动器771可带动限位板772运动至对齐安装槽712位置，以使得限位板772在受外力挤压时可回缩安装槽712，于第二模板压印装置300作业前，制动器771可带动限位板772伸出安装槽712并与凸缘之间对基板800形成夹持。限位机构77的设计使得第二模板压印装置300压印作业时，避免了基板800顶出的风险。

制动器771的具体设计同样可以是包括一转动电机，该转动电机的输出轴固定连接一个可弹性伸缩的连接杆，该连接杆一端连接限位板772；当第一模板压印装置200作业前，转动电机可以驱动连接杆以带动限位板772旋转至对齐安装槽712，此时即使第一模板压印装置200进行压印作业，限位板772也能够受力回缩安装槽712而不会影响第一模板压印装置200的压印作业；当第二模板压印装置300作业前，此时限位板772不受力而处于伸出安装槽712的状态，此时即可带动限位板772转动能够对基板800起到限位的位置。当然，不仅仅局限于上述这一设计，本领域技术人员可以以此为基础做适当的变换设计。

进一步地，该设备还可以集成喷胶装置8，喷胶装置8安装于压印作业舱，用于给第一模板901、第二模板902或基板800上喷胶。

进一步地，喷胶装置8包括料罐81、喷头82、第五Y轴移动机构83以及第六X轴移动机构84。

料罐81用于储存胶料；喷头82与料罐81连接；第六X轴移动机构84与喷头82连接，用于带动喷头82运动；第五Y轴移动机构83与第六X轴移动机构84连接，用于带动第六X轴移动机构84运动，以带动喷头82沿Y方向运动。以丝杆滑台设计为例，第六X轴移动机构84安装于第五Y轴移动机构83的活动部，第六X轴移动机构84的活动部与喷头82连接。喷胶装置8的设计也使得设备使用更加便利，在进行压印前可以进行相应的喷胶工作，当然，不设置喷胶装置8的情况下，亦可事前先对基板800、第一模板901或第二模板902喷好胶，再进行使用，具体不做限制。

进一步地，就设备主体100的结构来说，包括笼式框架1，笼式框架1内形成压印作业舱。

进一步地，为了使得压印作业舱相对密封，避免外界环境对压印作业产生影响，笼式框架1上覆盖有透明的挡板(图中未示)。

本申请上述提供的第一模板压印装置200、第二模板压印装置300、第一顶出装置400、第二顶出装置500以及基板支撑装置600的各个实施手段之间可以实现灵活的组合，例如图1中的具有辊轴24的第一模板压印装置200、第二模板压印装置300搭配具有第一筒体31的第一顶出装置400以及第二顶出装置500。这一组合中，第一/二模板压印装置中对第一模板901/第二模板902可以具有YZ轴方向位移控制，而基板支撑装置可以对基板800具有XYR轴方向位移控制。

再例如图2中，具有辊轴24的第一模板压印装置200搭配具有第二筒体41的第二模板压印装置300等，这一搭配中，第二模板压印装置300可以不具有对第二筒体41有旋转控制，基板支撑装置可以对基板具有XYR轴方向位移控制，也可以是第二模板压印装置300具有对第二筒体41的旋转控制，基板支撑装置可以对基板具有XY轴方向位移控制，具体不做限制，本领域技术人员可以以此为基础做适当的变换组合，具体不做限制。

另外，第一模板压印装置200以及第二模板压印装置300所具有的位移调节作用，除了Z轴移动机构外，X轴、Y轴以及R轴等移动机构亦可灵活选择组合，同理，其它装置亦可根据实际需要对移动机构进行灵活组合应用，具体不做限制。

以上对本申请所提供的一种双面纳米压印设备进行了详细介绍，对于本领域的一般技术人员，依据本申请实施例的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本申请的限制。

Claims (18)

1.一种双面纳米压印设备，其特征在于，包括：

设备主体(100)，所述设备主体(100)具有压印作业舱；

基板支撑装置(600)，所述基板支撑装置(600)安装于所述压印作业舱，用于支撑固定待压印的基板(800)；

第一模板压印装置(200)，所述第一模板压印装置(200)安装于所述压印作业舱，用于固定第一模板(901)并将所述第一模板(901)上的图形压印至所述基板(800)的一侧面；

第一顶出装置(400)，所述第一顶出装置(400)安装于所述压印作业舱，用于提供所述第一模板(901)贴紧所述基板(800)的作用力以及提供固化光源；

第二模板压印装置(300)，所述第二模板压印装置(300)安装于所述压印作业舱，用于固定第二模板(902)并将所述第二模板(902)上的图形压印至所述基板(800)的另一侧面；

第二顶出装置(500)，所述第二顶出装置(500)安装于所述压印作业舱，用于提供所述第二模板(902)紧贴所述基板(800)的作用力及提供固化光源；

对准装置(700)，所述对准装置(700)安装于所述压印作业舱且与所述第一模板压印装置(200)或所述第二模板压印装置(300)相对于所述基板支撑装置(600)处于同一侧，所述对准装置(700)用于捕捉所述第一模板(901)上的第一模板标记和所述第二模板(902)上的第二模板标记，或用于捕捉所述第一模板(901)上的第一模板标记和所述基板(800)上的基板标记，或用于捕捉所述第二模板(902)上的第二模板标记和所述基板(800)上的基板标记；

控制装置，所述控制装置安装于所述设备主体(100)并与所述基板支撑装置(600)、所述第一模板压印装置(200)、所述第二模板压印装置(300)以及所述对准装置(700)电连接；

对准时，所述控制装置用于控制所述第一模板压印装置(200)带动所述第一模板(901)运动和/或控制所述第二模板压印装置(300)带动所述第二模板(902)运动，以使得第一模板标记和第二模板标记相对重合；或

所述控制装置用于控制所述第一模板压印装置(200)带动所述第一模板(901)运动和/或控制所述基板支撑装置(600)带动所述基板(800)运动，以使得第一模板标记和基板标记相对重合；或

所述控制装置用于控制所述第二模板压印装置(300)带动所述第二模板(902)运动和/或控制所述基板支撑装置(600)带动所述基板(800)运动，以使得第二模板标记与基板标记相对重合。

2.根据权利要求1所述的一种双面纳米压印设备，其特征在于，所述第一模板压印装置(200)以及所述第二模板压印装置(300)均包括：

模板框架(23)，所述模板框架(23)上具有模板安装工位；

两个第一Y轴移动机构(22)，两个所述第一Y轴移动机构(22)相对于所述模板框架(23)对称设置，用于带动所述模板框架(23)沿Y方向运动；

两个第一Z轴移动机构(21)，两个所述第一Z轴移动机构(21)一一对应与所述第一Y轴移动机构(22)连接，用于带动所述第一Y轴移动机构(22)运动，以使得所述模板框架(23)沿靠近或远离所述基板支撑装置(600)的方向运动。

3.根据权利要求2所述的一种双面纳米压印设备，其特征在于，所述第一模板压印装置(200)以及所述第二模板压印装置(300)均还包括：

两个第一X轴移动机构(25)，两个所述第一X轴移动机构(25)相对于所述模板框架(23)对称设置，且分别与所述模板框架(23)连接，用于带动所述模板框架(23)沿X方向运动；

两个所述第一Y轴移动机构(22)一一对应与所述第一X轴移动机构(25)连接，用于带动所述第一X轴移动机构(25)沿Y方向运动，进而带动所述模板框架(23)沿Y方向运动。

4.根据权利要求2所述的一种双面纳米压印设备，其特征在于，所述第一模板压印装置(200)以及所述第二模板压印装置(300)均还包括：

辊轴(24)，所述辊轴(24)设于所述模板框架(23)内，且与所述第一模板(901)或所述第二模板(902)接触；

辊轴驱动组件，所述辊轴驱动组件安装于所述模板框架(23)上且与所述辊轴(24)连接，用于驱动所述辊轴(24)在所述模板框架(23)内运动，以辊压所述第一模板(901)或所述第二模板(902)。

5.根据权利要求2所述的一种双面纳米压印设备，其特征在于，所述第一顶出装置(400)以及第二顶出装置(500)均包括：

第一筒体(31)，所述第一筒体(31)朝向所述基板支撑装置(600)的一端设有第一开口；

透明的第一支撑板(32)，所述第一支撑板(32)安装于所述第一筒体(31)内；

第一固化灯(33)，所述第一固化灯(33)安装于所述第一支撑板(32)远离所述第一开口的一侧上；

透明的第一透风板(36)，所述第一透风板(36)安装于所述第一筒体(31)内，且位于所述第一支撑板(32)靠近所述第一开口的一侧，并与所述第一支撑板(32)之间形成第一通气腔；

第一正压装置，所述第一正压装置与所述第一通气腔连通；

密封圈(34)，所述密封圈(34)安装于所述第一筒体(31)上，并环设所述第一透风板(36)外；

第二Z轴移动机构(35)，所述第二Z轴移动机构(35)与所述第一筒体(31)连接，用于驱动所述第一筒体(31)运动，以使得所述密封圈(34)、所述第一透风板(36)与所述第一筒体(31)的侧壁之间形成密封的挤压腔。

6.根据权利要求1所述的一种双面纳米压印设备，其特征在于，所述第一模板压印装置(200)包括：

模板框架(23)，所述模板框架(23)上具有模板安装工位；

两个第一Y轴移动机构(22)，两个所述第一Y轴移动机构(22)相对于所述模板框架(23)对称设置，用于带动所述模板框架(23)沿Y方向运动；

两个第一Z轴移动机构(21)，两个所述第一Z轴移动机构(21)一一对应与所述第一Y轴移动机构(22)连接，用于带动第一Y轴移动机构(22)运动，以使得所述模板框架(23)沿靠近或远离所述基板支撑装置(600)的方向运动；

所述第二模板压印装置(300)包括：

第二筒体(41)，所述第二筒体(41)朝向所述基板支撑装置(600)的一端设有第二开口，所述第二筒体(41)一端上设有连通所述第二开口的模板安装台阶，所述安装台阶上开设有若干第一真空吸附孔(411)；

第一负压装置，所述第一负压装置与所述第一真空吸附孔(411)连通；

第三Z轴移动机构(44)，所述第三Z轴移动机构(44)用于带动所述第二筒体(41)沿靠近或远离所述基板支撑装置(600)的方向运动；

第二X轴移动机构(43)，所述第二X轴移动机构(43)与所述第三Z轴移动机构(44)连接，用于带动所述第三Z轴移动机构(44)沿X方向运动，以带动所述第二筒体(41)沿X方向运动；

第二Y轴移动机构(42)，所述第二Y轴移动机构(42)与所述第二X轴移动机构(43)连接，用于带动所述第二X轴移动机构(43)沿Y方向运动，以带动所述第二筒体(41)沿Y方向运动。

7.根据权利要求6所述的一种双面纳米压印设备，其特征在于，所述第一模板压印装置(200)还包括：

两个第一X轴移动机构(25)，两个所述第一X轴移动机构(25)相对于所述模板框架(23)对称设置，且分别与所述模板框架(23)连接，用于带动所述模板框架(23)沿X方向运动；

两个所述第一Y轴移动机构(22)一一对应与所述第一X轴移动机构(25)连接，用于带动所述第一X轴移动机构(25)沿Y方向运动，进而带动所述模板框架(23)沿Y方向运动。

8.根据权利要求6所述的一种双面纳米压印设备，其特征在于，所述第二模板压印装置(300)还包括：

第一旋转机构(45)，所述第一旋转机构(45)安装于所述第三Z轴移动机构(44)，所述第一旋转机构(45)与所述第二筒体(41)连接，用于带动所述第二筒体(41)旋转运动。

9.根据权利要求6所述的一种双面纳米压印设备，其特征在于，所述第一模板压印装置(200)还包括：

辊轴(24)，所述辊轴(24)设于所述模板框架(23)内，且与所述第一模板(901)接触；

辊轴驱动组件，所述辊轴驱动组件安装于所述模板框架(23)上且与所述辊轴(24)连接，用于驱动辊轴(24)在所述模板框架(23)内运动，以辊压第一模板。

10.根据权利要求6所述的一种双面纳米压印设备，其特征在于，所述第一顶出装置(400)包括：

第一筒体(31)，所述第一筒体(31)朝向所述基板支撑装置(600)的一端设有第一开口；

透明的第一支撑板(32)，所述第一支撑板(32)安装于所述第一筒体(31)内；

第一固化灯(33)，所述第一固化灯(33)安装于所述第一支撑板(32)远离所述第一开口的一侧上；

透明的第一透风板(36)，所述第一透风板(36)安装于所述第一筒体(31)内，且位于所述第一支撑板(32)靠近所述第一开口的一侧，并与所述第一支撑板(32)之间形成第一通气腔；

第一正压装置，所述第一正压装置与所述第一通气腔连通；

密封圈(34)，所述密封圈(34)安装于所述第一筒体(31)的一端上，并环设所述第一透风板(36)外；

第二Z轴移动机构(35)，所述第二Z轴移动机构(35)与所述第一筒体(31)连接，用于驱动所述第一筒体(31)运动，以使得所述密封圈(34)、所述第一透风板(36)与所述第一筒体(31)的侧壁之间形成密封的挤压腔；

所述第二顶出装置(500)包括：

透明的第二支撑板(51)，所述第二支撑板(51)安装于所述第二筒体(41)内；

第二固化灯(52)，所述第二固化灯(52)安装于所述第二支撑板(51)远离所述第二开口的一面上；

透明的第二透风板(53)，所述第二透风板(53)安装于所述第二筒体(41)内，且位于所述第二支撑板(51)靠近所述第二开口的一侧，并与所述第二支撑板之间形成形成第二通气腔；

第二正压装置，所述第二正压装置与所述第二通气腔连通，经所述第二透风板(53)上的透风口送出的气流作用于所述第二模板(902)上，可使得所述第二模板(902)拱起。

11.根据权利要求1所述的一种双面纳米压印设备，其特征在于，对准装置(700)包括：

至少一个图像采集器(61)；

第三X轴移动机构(62)，所述第三X轴移动机构(62)与所述图像采集器(61)连接，用于带动所述图像采集器(61)运动；

第三Y轴移动机构(63)，所述第三Y轴移动机构(63)与所述第三X轴移动机构(62)连接，用于带动所述第三X轴移动机构运动，以带动所述图像采集器(61)运动。

12.根据权利要求1所述的一种双面纳米压印设备，其特征在于，所述基板支撑装置(600)包括：

基座(71)，所述基座(71)上设有通槽，所述通槽上环设有用于支撑所述基板(800)的凸缘，所述凸缘上设有若干第二真空吸附孔(711)；

第二负压装置，所述第二负压装置与所述第二真空吸附孔(711)连通。

13.根据权利要求12所述的一种双面纳米压印设备，其特征在于，所述第一模板压印装置(200)与所述第二模板压印装置(300)相对所述基板支撑装置(600)对位分布；

所述基板支撑装置(600)还包括：两个第四X轴移动机构(72)，两个所述第四X轴移动机构(72)与所述基座(71)连接，用于带动所述基座(71)沿X方向运动，所述第四X轴移动机构(72)包括移动件，所述移动件上设有第二旋转机构(76)，所述第二旋转机构(76)与所述基座(71)连接，用于带动所述基座(71)旋转运动；

两个第四Y轴移动机构(73)，两个所述第四Y轴移动机构(73)一一对应与所述第四X轴移动机构(72)连接，用于带动所述第四X轴移动机构(72)运动，以带动所述基座(71)沿Y方向运动。

14.根据权利要求12所述的一种双面纳米压印设备，其特征在于，所述第一模板压印装置(200)与所述第二模板压印装置(300)相对所述基板支撑装置(600)对位分布；

所述基板支撑装置(600)还包括：

两个第五X轴移动机构(75)，两个所述第五X轴移动机构(75)相对于所述基座(71)对称设置，并与所述基座(71)连接，用于驱动所述基板(800)从所述第一模板压印装置(200)与所述第二模板压印装置(300)外的位置运动至所述第一模板压印装置(200)与所述第二模板压印装置(300)之间的位置。

15.根据权利要求12所述的一种双面纳米压印设备，其特征在于，所述第一模板压印装置(200)与所述第二模板压印装置(300)相对所述基板支撑装置(600)错位分布；

所述基板支撑装置还包括：

两个第五X轴移动机构(75)，两个所述第五X轴移动机构(75)相对于所述基座(71)对称设置，并与所述基座(71)连接，可用于驱动所述基板(800)在对准所述第一模板压印装置(200)的位置与对准所述第二模板压印装置(300)的位置切换运动。

16.根据权利要求12所述的一种双面纳米压印设备，其特征在于，所述基板支撑装置(600)还包括：

限位机构(77)，所述限位机构(77)包括制动器(771)以及限位板(772)；

所述基座(71)上设有安装槽(712)，所述制动器(771)嵌设于所述安装槽(712)且与所述限位板(772)连接，于所述第一模板压印装置(200)作业前，所述制动器(771)可带动所述限位板(772)运动至对齐所述安装槽(712)位置，以使得所述限位板(772)在受外力挤压时可回缩所述安装槽(712)，于所述第二模板压印装置(300)作业前，所述制动器(771)可带动所述限位板(772)伸出所述安装槽(712)并与所述凸缘之间对所述基板(800)形成夹持。

17.根据权利要求1～16任意一项所述的一种双面纳米压印设备，其特征在于，还包括：

喷胶装置(8)，所述喷胶装置(8)安装于所述压印作业舱，用于给所述第一模板(901)、所述第二模板(902)或所述基板(800)上喷胶。

18.根据权利要求17所述的一种双面纳米压印设备，其特征在于，所述喷胶装置(8)包括：

料罐(81)，所述料罐(81)用于储存胶料；

喷头(82)，所述喷头(82)与料罐(81)连接；

第六X轴移动机构(84)，所述第六X轴移动机构(84)与所述喷头(82)连接，用于带动所述喷头(82)运动；

第五Y轴移动机构(83)，所述第五Y轴移动机构(83)与所述第六X轴移动机构(84)连接，用于带动所述第六X轴移动机构(84)运动，以带动所述喷头(82)运动。

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