CN216311747U - 晶片固定装置和具有其的固晶机 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种晶片固定装置和具有其的固晶机，所述晶片固定装置包括：固定台，固定台上设有定位孔；固定组件，固定组件置于定位孔中，固定组件设有安装槽，安装槽用于放置晶圆环，固定组件包括凸缘，凸缘位于定位孔外；限位组件，多个限位组件沿定位孔的周向设于固定台上，限位组件包括抵接于凸缘上方的上滑轮和抵接于凸缘下方的下滑轮，凸缘在上滑轮和下滑轮之间可滑动。根据本实用新型的晶片固定装置，通过固定组件固定晶圆环，通过上滑轮与下滑轮将固定组件固定于固定台上的同时固定件可在上滑轮和下滑轮之间转动，从而实现在晶圆环安装好之后可以对晶圆环的圆周角度进行调节。

Description

晶片固定装置和具有其的固晶机

技术领域

本申请涉及晶片贴片技术领域，尤其涉及一种晶片固定装置和具有其的固晶机。

背景技术

在半导体技术领域，LED晶片在划片工艺完成后形成阵列排列的晶粒，阵列排列的晶粒贴附在晶片膜上，晶片膜上的晶粒排列非常紧密，不利于后续的固晶工序操作，因此在生产过程中通过扩晶环将晶片膜扩张，使得贴附在晶片膜上阵列排列的晶粒均匀扩张。固晶是将晶片固定于印刷电路板上(英文名称为：Printed Circuit Board，简称：PCB板)上，先在PCB板上需要键合晶片的位置点胶，晶片放置在薄膜支撑的晶片固定装置上，移动晶片固定装置至指定位置，通过机构将晶片从薄膜上剥离，键合在PCB板的对应位置上。晶片与PCB板平整对齐，则最终PCB板的成品率高，如此就对晶片与PCB板的水平度提出了很高的要求，由于很难保证焊头和整个PCB板的水平，因此很难满足对贴装平整度要求较高的产品。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种晶片固定装置，所述晶片固定装置能够使卡于所述晶片固定装置上的晶圆环旋转来调整晶片膜的圆周角度。

根据本实用新型实施例的晶片固定装置，包括：固定台，固定台上设有定位孔；固定组件，固定组件置于定位孔中，固定组件设有安装槽，安装槽用于放置晶圆环，固定组件包括凸缘，凸缘位于定位孔外；限位组件，多个限位组件沿定位孔的周向设于固定台上，限位组件包括抵接于凸缘上方的上滑轮和抵接于凸缘下方的下滑轮，凸缘在上滑轮和下滑轮之间可滑动。

根据本实用新型实施例的晶片固定装置，通过固定组件固定晶圆环，通过上滑轮与下滑轮将固定组件固定于固定台上的同时固定件可在上滑轮和下滑轮之间转动，从而实现在晶圆环安装好之后可以对晶圆环的圆周角度进行调节。

根据本实用新型实施例的晶片固定装置，限位组件还包括：限位板，限位板上设有至少一个沿限位板的宽度方向延伸的U型孔，上滑轮和下滑轮沿限位板的长度方向间隔设于限位板上，限位板通过穿设于U型孔中的紧固件卡设于固定台上。在松开紧固件时，由于紧固件可在U型孔中移动，限位板可朝向靠近定位孔或者远离定位孔的方向移动，在将固定组件放入定位孔中前，可以朝向远离定位孔的方向移开限位板，在将固定组件放入定位孔中后，将限位板朝向靠近定位孔的方向移动限位板，从而将凸缘逐渐卡入上滑轮和下滑轮中。

可选地，以固定组件的中心轴线为基准，凸缘的下表面由内到外朝向上倾斜，以下滑轮的中心轴线为基准，下滑轮的上表面由内到外朝向下倾斜，如此能够增加凸缘与下滑轮之间的摩擦力，防止凸缘与下滑轮打滑以防止凸缘移动而下滑轮不转动而损伤固定组件，同时，由于下滑轮的上表面倾斜，使得上滑轮和下滑轮之间的间距沿凸缘由内到外的方向上减小，从而使得上滑轮和下滑轮在水平方向上也能够对凸缘进行限位，另外，通过调节限位板与定位孔之间的距离，能够调节上滑轮和下滑轮与定位孔之间的距离，由于上滑轮和下滑轮之间的间距沿凸缘由内到外的方向上减小，凸缘越靠近所述限位板，凸缘在水平方向上的高度越高，从而通过调节多个限位板与固定组件之间的距离，达到从多个方向上可以对固定组件的高度进行微调，从而保障晶圆环中的晶片膜能够与固定台平行。通过调节限位板的位置来调节固定环与固定台之间的水平度的方法，调节速度更快，调整后的精度和稳定性更高。

可选地，以固定组件的中心轴线为基准，凸缘的上表面由内到外朝向下倾斜，以上滑轮的中心轴线为基准，上滑轮的下表面由内到外朝向上倾斜，如此能够增加凸缘与上滑轮之间的摩擦力，防止凸缘与上滑轮之间打滑以防止凸缘移动而上滑轮不转动而损伤固定组件。

可选地，限位板上设有第一转轴和第二转轴，第一转轴和第二转轴上均套设有滚动轴承，上滑轮套设于第一转轴上，下滑轮套设于第二转轴上，如此能够使得上滑轮和下滑轮更容易转动，方便转动固定组件从而调整晶圆环的圆周角度。

根据本实用新型实施例的晶片固定装置，固定组件包括：固定环，凸缘设于固定环的外周壁上，固定环的内壁沿周向设有朝向固定环内延伸的翻边和与翻边间隔的限位槽，晶圆环放置于翻边上；压环，压环放置于晶圆环上，压环沿周向设有限位台，限位台嵌于限位槽中。通过固定环与压环，将晶圆环的可靠固定，其中，通过在固定环上设置翻边，能够将晶圆环放置于翻边上，通过压环将晶圆环压紧于固定环上，而通过在固定环上设置限位槽，压环上设置限位台，从而实现压环与固定环之间的限位，防止压环与固定环之间晃动错位。

可选地，固定环的外壁上还设有卡接槽，定位孔的上边沿嵌入卡接槽中，从而将固定组件平稳地放置于定位孔中，从而防止固定组件在定位孔中倾斜。

可选地，压环靠近晶圆环的一端设有挡边，挡边位于晶圆环的内侧，从而使得固定环与挡板能够从晶圆环的两侧对晶圆环进行限位，防止晶圆环在固定环中晃动移动。

可选地，固定组件还包括：垫圈，垫圈卡于压环和晶圆环之间，从而使得晶圆环能够被压紧于固定环中，防止晶圆环在固定组件中晃动移位。

可选地，晶圆环沿周向设有卡槽，垫圈的部分嵌设于卡槽中，从而能够对垫圈进行限位，保障垫圈安装到位，防止压环在压紧垫圈的过程中，垫圈移位，起到了防呆作用，简化了固定组件的安装操作。

根据本实用新型实施例的固晶机，包括：机座，机座上设有沿上下方向间隔设置的第一平移直线模组和第二平移直线模组；载台组件，载台组件与位于下方的第二平移直线模组连接，载台组件包括载台，载台上设有多个真空吸口；如上述的晶片固定装置，晶片固定装置与位于上方的第一平移直线模组连接，晶片固定装置包括固定台，固定台平行于载台，第一平移直线模组和第二平移直线模组在高度方向的距离可调。载台上可以放置PCB基板或其他板材，PCB基板放置于载台上后，真空吸口用于吸附PCB基板防止PCB基板在载台上移位，而将调平的晶圆环随着第一平移直线模组平移到与载台相对的位置时，即可进行将晶圆环上的晶片膜上的晶粒键合在PCB板上，而第一平移直线模组和第二平移直线模组在高度方向的距离可调，可以调节载台与固定台之间的距离，从而可以根据放置于载台上的板材的厚度来调节固定台，能够使得固晶机适用于多种不同规格的PCB基板。

根据本实用新型实施例的固晶机，能够保障晶粒与PCB基板之间的水平度。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本实用新型的实施例，并与说明书一起用于解释本实用新型的原理。

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为根据本实用新型实施例的晶片固定装置的立体图；

图2为图1中A处的放大图；

图3为根据本实用新型实施例的晶片固定装置的固定组件的立体图；

图4为根据本实用新型实施例的晶片固定装置的固定环和晶圆环的立体图；

图5为根据本实用新型实施例的晶片固定装置的压环的立体图；

图6为根据本实用新型实施例的晶片固定装置的压环的另一个角度的立体图；

图7为根据本实用新型实施例的晶片固定装置的固定组件的剖视图。

附图标记：

晶片固定装置1，

固定台10，

固定组件20，安装槽21，凸缘22，凸缘22的上表面222，凸缘22的下表面224，固定环23，翻边232，限位槽234，卡接槽236，压环24，限位台242，挡边244，垫圈25，

限位组件30，上滑轮31，上滑轮31的下表面312，下滑轮32，下滑轮32的上表面322，限位板33，U型孔332，

晶圆环2。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

如图1-图4所示，根据本实用新型实施例的晶片固定装置1，包括：固定台10、固定组件20以及限位组件30。

具体地，固定台10上设有定位孔；固定组件20置于定位孔中，固定组件20设有安装槽21，安装槽21用于放置晶圆环2，固定组件20包括凸缘22，凸缘22位于定位孔外；多个限位组件30沿定位孔的周向设于固定台10上，限位组件30包括抵接于凸缘22上方的上滑轮31和抵接于凸缘22下方的下滑轮32，凸缘22在上滑轮31和下滑轮32之间可滑动。

根据本实用新型实施例的晶片固定装置1，通过固定组件20固定晶圆环2，通过上滑轮31与下滑轮32将固定组件20固定于固定台10上的同时固定环23可在上滑轮31和下滑轮32之间转动，从而实现在晶圆环2安装好之后可以对晶圆环2的圆周角度进行调节。

如图1和图2所示，根据本实用新型实施例的晶片固定装置1，限位组件30还包括限位板33，限位板33上设有至少一个沿限位板33的宽度方向延伸的U型孔332，上滑轮31和下滑轮32沿限位板33的长度方向间隔设于限位板33上，限位板33通过穿设于U型孔332中的紧固件卡设于固定台10上。在松开紧固件时，由于紧固件可在U型孔332中移动，限位板33可朝向靠近定位孔或者远离定位孔的方向移动，在将固定组件20放入定位孔中前，可以朝向远离定位孔的方向移开限位板33，在将固定组件20放入定位孔中后，将限位板33朝向靠近定位孔的方向移动限位板33，从而将凸缘22逐渐卡入上滑轮31和下滑轮32中。

如图7所示，可选地，以固定组件20的中心轴线为基准，凸缘22的下表面224由内到外朝向上倾斜，以下滑轮32的中心轴线为基准，下滑轮32的上表面322由内到外朝向下倾斜，凸缘22的下表面224和下滑轮32的上表面322与竖直方向的夹角大小相等也可以大小不等，可以根据需要设置。如此能够增加凸缘22与下滑轮32之间的摩擦力，防止凸缘22与下滑轮32打滑以防止凸缘22移动而下滑轮32不转动而损伤固定组件20，同时，由于下滑轮32的上表面322倾斜，使得上滑轮31和下滑轮32之间的间距沿凸缘22由内到外的方向上减小，从而使得上滑轮31和下滑轮32在水平方向上也能够对凸缘22进行限位，另外，通过调节限位板33与定位孔之间的距离，能够调节上滑轮31和下滑轮32与定位孔之间的距离，由于上滑轮31和下滑轮32之间的间距沿凸缘22由内到外的方向上减小，凸缘22越靠近所述限位板33，凸缘22在水平方向上的高度越高，从而通过调节多个限位板33与固定组件20之间的距离，达到从多个方向上可以对固定组件20的高度进行微调，从而保障晶圆环2中的晶片膜能够与固定台10平行。通过调节限位板33的位置来调节固定环23与固定台10之间的水平度的方法，调节速度更快，调整后的精度和稳定性更高。

需要说明的是，当凸缘23设于固定环23上时，凸缘23的下表面224的由内到外朝向上倾斜，此处的“内”和“外”是以固定环23的中心轴线为参照，靠近固定环23的中心轴线的一端为内，远离固定环23中心轴线的一端为外。下滑轮32的上表面322由内到外朝向下倾斜，此处的“内”和“外”是以下滑轮32的中心轴线为参照，靠近下滑轮32的中心轴线的一端为内，远离下滑轮32的中心轴线的一端为外。

如图7所示，可选地，以固定组件20的中心轴线为基准，凸缘22的上表面222由内到外朝向下倾斜，以上滑轮31的中心轴线为基准，上滑轮31的下表面312由内到外朝向上倾斜，凸缘22的上表面222和凸缘22的下表面224与竖直方向的夹角大小相等也可以大小不等，可以根据需要设置，如此能够增加凸缘22与上滑轮31之间的摩擦力，防止凸缘22与上滑轮31之间打滑以防止凸缘22移动而上滑轮31不转动而损伤固定组件20。

需要说明的是，当凸缘23设于固定环23上时，凸缘22的上表面222由内到外朝向下倾斜，此处的“内”和“外”是以固定环23的中心轴线为参照，靠近固定环23的中心轴线的一端为内，远离固定环23中心轴线的一端为外。上滑轮31的下表面312由内到外朝向上倾斜，此处的“内”和“外”是以上滑轮31的中心轴线为参照，靠近上滑轮31的中心轴线的一端为内，远离上滑轮31的中心轴线的一端为外。

可选地，限位板33上设有第一转轴和第二转轴，第一转轴和第二转轴上均套设有滚动轴承，上滑轮31套设于第一转轴上，下滑轮32套设于第二转轴上，如此能够使得上滑轮31和下滑轮32更容易转动，方便转动固定组件20从而调整晶圆环2的圆周角度。

如图3-图7所示，根据本实用新型实施例的晶片固定装置1，固定组件20包括：固定环23，凸缘22设于固定环23的外周壁上，固定环23的内壁沿周向设有朝向固定环23内延伸的翻边232和与翻边232间隔的限位槽234，晶圆环2放置于翻边232上；压环24，压环24放置于晶圆环2上，压环24沿周向设有限位台242，限位台242嵌于限位槽234中。通过固定环23与压环24，将晶圆环2的可靠固定，其中，通过在固定环23上设置翻边232，能够将晶圆环2放置于翻边232上，通过压环24将晶圆环2压紧于固定环23上，而通过在固定环23上设置限位槽234，压环24上设置限位台242，从而实现压环24与固定环23之间的限位，防止压环24与固定环23之间晃动错位。其中，翻边232与固定环23的内壁限定出安装槽21。

如图7所示，可选地，固定环23的外壁上还设有卡接槽236，定位孔的上边沿嵌入卡接槽236中，从而将固定组件20平稳地放置于定位孔中，从而防止固定组件20在定位孔中倾斜。

如图5和图6所示，可选地，压环24靠近晶圆环2的一端设有挡边244，挡边244位于晶圆环2的内侧，从而使得固定环23与挡板能够从晶圆环2的两侧对晶圆环2进行限位，防止晶圆环2在固定环23中晃动移动。

如图7所示，可选地，固定组件20还包括：垫圈25，垫圈25卡于压环24和晶圆环2之间，从而使得晶圆环2能够被压紧于固定环23中，防止晶圆环2在固定组件20中晃动移位。

可选地，晶圆环2沿周向设有卡槽，垫圈25的部分嵌设于卡槽中，从而能够对垫圈25进行限位，保障垫圈25安装到位，防止压环24在压紧垫圈25的过程中，垫圈25移位，起到了防呆作用，简化了固定组件20的安装操作。

根据本实用新型实施例的固晶机，包括：机座，机座上设有沿上下方向间隔设置的第一平移直线模组和第二平移直线模组；载台组件，载台组件与位于下方的第二平移直线模组连接，载台组件包括载台，载台上设有多个真空吸口；如上述的晶片固定装置1，晶片固定装置1与位于上方的第一平移直线模组连接，晶片固定装置1包括固定台10，固定台10平行于载台，第一平移直线模组和第二平移直线模组在高度方向的距离可调。载台上可以放置PCB基板或其他板材，PCB基板放置于载台上后，真空吸口用于吸附PCB基板防止PCB基板在载台上移位，而将调平的晶圆环2随着第一平移直线模组平移到与载台相对的位置时，即可进行将晶圆环2上的晶片膜上的晶粒键合在PCB板上，而第一平移直线模组和第二平移直线模组在高度方向的距离可调，可以调节载台与固定台10之间的距离，从而可以根据放置于载台上的板材的厚度来调节固定台10，能够使得固晶机适用于多种不同规格的PCB基板。

根据本实用新型实施例的固晶机，能够保障晶粒与PCB基板之间的水平度。

在一些实施例中，调节晶圆环2与PCB基板之间的水平度的方法如下：在载台上放置平面度良好的校正板，包括但不限于玻璃板，通过载台上的真空吸口将校正板牢牢吸附，然后将载台组件移动至晶片固定装置1的下方(载台和固定台10之间的间距根据校正板的厚度设置)；将晶圆环2放置于固定环23中，再将垫圈25放置于晶圆环2的上方，将压环24压置于垫圈25的上方，将固定组件20放置于定位孔中，此时，晶片膜置于校正板上，通过移动多个限位板33对固定组件20进行调平，从而调整晶片膜与校正板之间的水平度，同时也能够转动固定组件20，对晶片膜的圆周角度进行调节，在将晶片膜调平之后，可以将校正板更换为PCB基板，从而进行键合工序。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

Claims (10)

1.一种晶片固定装置，其特征在于，包括：

固定台，所述固定台上设有定位孔；

固定组件，所述固定组件置于所述定位孔中，所述固定组件设有安装槽，所述安装槽用于放置晶圆环，所述固定组件包括凸缘，所述凸缘位于所述定位孔外；

限位组件，多个限位组件沿所述定位孔的周向设于所述固定台上，所述限位组件包括抵接于所述凸缘上方的上滑轮和抵接于所述凸缘下方的下滑轮，所述凸缘在所述上滑轮和所述下滑轮之间可滑动。

2.根据权利要求1所述的晶片固定装置，其特征在于，所述限位组件还包括：

限位板，所述限位板上设有至少一个沿所述限位板的宽度方向延伸的U型孔，所述上滑轮和所述下滑轮沿所述限位板的长度方向间隔设于所述限位板上，所述限位板通过穿设于所述U型孔中的紧固件卡设于所述固定台上。

3.根据权利要求2所述的晶片固定装置，其特征在于，以所述固定组件的中心轴线为基准，所述凸缘的下表面由内到外朝向上倾斜，以所述下滑轮的中心轴线为基准，所述下滑轮的上表面由内到外朝向下倾斜。

4.根据权利要求3所述的晶片固定装置，其特征在于，以所述固定组件的中心轴线为基准，所述凸缘的上表面由内到外朝向下倾斜，以所述上滑轮的中心轴线为基准，所述上滑轮的下表面由内到外朝向上倾斜。

5.根据权利要求4所述的晶片固定装置，其特征在于，所述限位板上设有第一转轴和第二转轴，所述第一转轴和所述第二转轴上均套设有滚动轴承，所述上滑轮套设于所述第一转轴上，所述下滑轮套设于所述第二转轴上。

6.根据权利要求1所述的晶片固定装置，其特征在于，所述固定组件包括：

固定环，所述凸缘设于所述固定环的外周壁上，所述固定环的内壁沿周向设有朝向所述固定环内延伸的翻边和与所述翻边间隔的限位槽，所述晶圆环放置于所述翻边上；

压环，所述压环放置于所述晶圆环上，所述压环沿周向设有限位台，所述限位台嵌于所述限位槽中。

7.根据权利要求6所述的晶片固定装置，其特征在于，所述固定环的外壁上还设有卡接槽，所述定位孔的上边沿嵌入所述卡接槽中。

8.根据权利要求6所述的晶片固定装置，其特征在于，所述压环靠近所述晶圆环的一端设有挡边，所述挡边位于所述晶圆环的内侧。

9.根据权利要求6所述的晶片固定装置，其特征在于，所述固定组件还包括：垫圈，所述垫圈卡于所述压环和所述晶圆环之间。

10.一种固晶机，其特征在于，包括：

机座，所述机座上设有沿上下方向间隔设置的第一平移直线模组和第二平移直线模组；

载台组件，所述载台组件与位于下方的所述第二平移直线模组连接，所述载台组件包括载台，所述载台上设有多个真空吸口；

如权利要求1-9任一项所述的晶片固定装置，所述晶片固定装置与位于上方的所述第一平移直线模组连接，所述晶片固定装置包括固定台，所述固定台平行于所述载台，所述第一平移直线模组和所述第二平移直线模组在高度方向的距离可调。

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