CN215893513U - 一种旋转靶材测量装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及测量设备技术领域，公开了一种旋转靶材测量装置，其包括机架以及设于机架上的支撑块、长度测量组件和圆跳动测量组件，支撑块的顶部设有凹槽，凹槽的两端设有深沟球轴承，长度测量组件包括光轴导轨、固定挡板、活动挡板和光栅尺，固定挡板则设于光轴导轨的一端，光轴导轨上设有可沿其滑动的第一滑块，活动挡板固定于第一滑块上，光栅尺包括标尺光栅和光栅头，标尺光栅平行于光轴导轨，光栅头设于第一滑块上，圆跳动测量组件包括第二滑块和设于其上的圆跳动测量表，第二滑块同样设于光轴导轨上并可沿其滑动。与现有技术相比，该旋转靶材测量装置可同时完成长度和圆跳动的测量，测量精度高误差小，易于操作、使用体验好。

Description

一种旋转靶材测量装置

技术领域

本实用新型涉及测量设备技术领域，特别是涉及一种旋转靶材测量装置。

背景技术

旋转靶材在半导体领域有着广泛的应用，为了保证产品精度，旋转靶材在加工完成后出货前需要对产品进行长度与圆跳动的测量，以往想要测量较长产品的长度时最常采用卷尺完成测量，但是卷尺的测量的误差很大，而且人工测量的方法也会有影响，如果想精确地测量数值，就得用到超长型的游标卡尺或者数控设备，最大的游标卡尺长度限制在1.5米左右，部分旋转靶材的长度会超过这一数值，同时数控设备的价格也比较昂贵，操作也会比较繁琐。对于大尺寸的旋转靶材，圆跳动测量也只能在车床上测量，设备同样过于昂贵，操作步骤繁琐。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种旋转靶材测量装置，其具有易于操作、测量精度高、测量误差小等优点。

基于此，本实用新型提供了一种旋转靶材测量装置，其包括：

机架；

支撑块，设于所述机架上，所述支撑块的顶部开设有用于盛放旋转靶材的凹槽，所述凹槽的两端设有深沟球轴承；

光轴导轨，设于所述机架上；

固定挡板，设于所述机架上并位于所述光轴导轨的一端；

第一滑块，设于所述光轴导轨上并可沿所述光轴导轨滑动，所述第一滑块上设有平行于所述固定挡板的活动挡板；

第二滑块，设于所述光轴导轨上并可沿所述光轴导轨滑动，所述第二滑块位于所述固定挡板和所述第一滑块之间，所述第二滑块上设有圆跳动测量表；

光栅尺，包括标尺光栅和光栅头，所述标尺光栅设于所述机架上并与所述光轴导轨相互平行，所述光栅头设于所述第一滑块上。

本申请的一些实施例中，所述光轴导轨设有两根，两根所述光轴导轨沿所述机架相互平行设置。

本申请的一些实施例中，所述第一滑块上设有与所述光栅头电连接的长度读数表。

本申请的一些实施例中，述支撑块的底部设有卡突，所述机架设有与所述卡突相匹配的卡槽，所述支撑块可沿所述卡槽滑动。

本申请的一些实施例中，所述支撑块的侧面设有连接所述支撑块与所述机架的紧固螺栓。

本申请的一些实施例中，所述紧固螺栓设有两个以上。

本申请的一些实施例中，所述支撑块设有两块以上。

本申请的一些实施例中，所述机架还设有用于限制所述第一滑块的限位块。

本实用新型实施例提供了一种旋转靶材测量装置，与现有技术相比，其有益效果在于：

本实用新型提供了一种旋转靶材测量装置，其包括机架以及设于机架上的支撑块、长度测量组件和圆跳动测量组件，支撑块的顶部设有用于盛放旋转靶材的凹槽，凹槽的两端设有深沟球轴承，旋转靶材放置于凹槽中后与深沟球轴承相接触并可基于深沟球轴承的设置在凹槽内转动，长度测量组件包括光轴导轨、固定挡板、活动挡板和光栅尺，光轴导轨设于机架上并位于支撑块的旁侧，固定挡板则设于光轴导轨的一端，光轴导轨上设有可沿其滑动的第一滑块，平行于固定挡板设置的活动挡板固定于第一滑块上，光栅尺则包括标尺光栅和光栅头，其中标尺光栅平行于光轴导轨设置在机架上，光栅头则设于第一滑块上；圆跳动测量组件包括第二滑块以及设于第二滑块上的圆跳动测量表，第二滑块同样设于光轴导轨上并可沿其滑动，同时第二滑块位于固定挡板和第一滑块之间。

基于上述结构，使用时将旋转靶材搬运至支撑块上，通过调节支撑块使旋转靶材的一端抵靠固定挡板，随后滑动第一滑块直至活动挡板抵靠旋转靶材的另一端，第一滑块的滑动带动光栅头一并移动，当活动挡板抵靠旋转靶材时固定第一滑块，观察光栅头和标尺光栅，通过读取光栅尺的数据即可获知当前位置与固定挡板之间的距离也即旋转靶材的长度；同时由于凹槽的两端设有两个深沟球轴承，轴承外表面支撑着被测量的旋转靶材，旋转靶材可在凹槽内来回滚动，人工滚动旋转靶材并滑动第二滑块即可测量旋转靶材多个位置点的圆跳动数据。如此，该旋转靶材测量装置将光栅尺与直线导轨相结合，采用光栅尺测量旋转靶材的长度信息，测量量程更大，测量精度高，最大测量长度可达到3m，测量精度可达到±0.2mm，适用直径100－200mm；该旋转靶材测量装置在实现长度信息的精确测量时还可以完成旋转靶材的圆跳动信息测量，一器多用，能够显著改善工艺，提升作业效率，且结构简单可靠、易于操作，设备的制造成本也比购置现有的数控设备要低，有利于控制成本。

附图说明

图1为本实用新型实施例的测量装置的结构示意图；

图2为图1中的A处详图；

图3为本实用新型实施例的测量装置后视示意图；

图4为本实用新型实施例的支撑块的结构示意图。

图中，1、机架；2、支撑块；21、凹槽；22、深沟球轴承；23、卡突；24、紧固螺栓；3、光轴导轨；31、第一滑块；32、第二滑块；4、固定挡板；5、活动挡板；6、长度读数表；7、圆跳动测量表；8、光栅尺；81、标尺光栅；82、光栅头；9、限位块；10、旋转靶材。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

应当理解的是，本实用新型中采用术语“前”、“后”等来描述各种信息，但这些信息不应限于这些术语，这些术语仅用来将同一类型的信息彼此区别开。例如，在不脱离本实用新型范围的情况下“前”信息也可以被称为“后”信息，“后”信息也可以被称为“前”信息。

如图1至图4所示，本实用新型实施例提供了一种旋转靶材测量装置，其包括机架1以及设于机架1上的支撑块2、长度测量组件和圆跳动测量组件，具体而言，支撑块2的顶部设有用于盛放旋转靶材10的凹槽21，凹槽21的两端设有深沟球轴承22，旋转靶材10放置于凹槽21中后与深沟球轴承22相接触并可基于深沟球轴承22的设置在凹槽21内转动，长度测量组件包括光轴导轨3、固定挡板4、活动挡板5和光栅尺8，光轴导轨3设于机架1上并位于支撑块2的旁侧，固定挡板4则设于光轴导轨3的一端，光轴导轨3上设有可沿其滑动的第一滑块31，平行于固定挡板4设置的活动挡板5固定于第一滑块31上，光栅尺8则包括标尺光栅82和光栅头81，其中标尺光栅82平行于光轴导轨3设置在机架1上，光栅头81则设于第一滑块31上；圆跳动测量组件包括第二滑块32以及设于第二滑块32上的圆跳动测量表7，第二滑块32同样设于光轴导轨3上并可沿其滑动，同时第二滑块32位于固定挡板4和第一滑块31之间。

基于上述结构，使用时将旋转靶材10搬运至支撑块2上，通过调节支撑块2使旋转靶材10的一端抵靠固定挡板4，随后滑动第一滑块31直至活动挡板5抵靠旋转靶材10的另一端，第一滑块31的滑动带动光栅头81一并移动，当活动挡板5抵靠旋转靶材10时固定第一滑块31，观察光栅头81和标尺光栅82，通过读取光栅尺8的数据即可获知当前位置与固定挡板4之间的距离也即旋转靶材10的长度；同时由于凹槽21的两端设有两个深沟球轴承22，轴承外表面支撑着被测量的旋转靶材10，旋转靶材10可在凹槽21内来回滚动，人工滚动旋转靶材10并滑动第二滑块32即可测量旋转靶材10多个位置点的圆跳动数据。如此，该旋转靶材测量装置将光栅尺8与直线导轨相结合，采用光栅尺8测量旋转靶材10的长度信息，测量量程更大，测量精度高，最大测量长度可达到3m，测量精度可达到±0.2mm，适用直径100－200mm；该旋转靶材测量装置在实现长度信息的精确测量时还可以完成旋转靶材10的圆跳动信息测量，一器多用，能够显著改善工艺，提升作业效率，且结构简单可靠、易于操作，设备的制造成本也比购置现有的数控设备要低，有利于控制成本。

具体的，对于本申请的支撑块2而言，支撑块2的底部设有卡突23，机架1则设有与卡突23相匹配的卡槽，支撑块2可沿卡槽滑动，通过支撑块2的滑动带动支撑块2上的旋转靶材10运动，进而保证测量的准确完成。

进一步的，在支撑块2到达指定位置时需要将支撑块2与机架1进行固定，防止支撑块2的继续滑动造成误差，因此，在本申请的一些实施例中，支撑块2的侧面还设有连接支撑块2与机架1的紧固螺栓24，支撑块2滑动时紧固螺栓24松动并随支撑块2一起滑动，当支撑块2到达指定位置时拧动紧固螺栓24使其抵靠机架1即可实现支撑块2与机架1的固定，这种紧固结构设计巧妙、易于操作，使用效果好。显而易见的，为了保证紧固效果，紧固螺栓24可以设有两个以上，且支撑块2与机架1相接触的各个面上均可以设置该紧固螺栓24。

与上述情况相类似的，为了保证对旋转靶材10的支撑效果，确保旋转靶材10不会从机架1上掉出，支撑块2同样可以设有两块以上，当支撑块2设有两块以上时各支撑块2应当以光轴导轨3为参照设于旋转靶材10的轴线上，以保证对旋转靶材10的有效支撑。

对于机架1上的光轴导轨3而言，为了保证对第一滑块31和第二滑块32的支撑效果，光轴导轨3同样可以设有两根以上，在本实用新型实施例中，光轴导轨3设有两根，显然两根光轴导轨3需要沿机架1相互平行设置。需要注意的是，当光轴导轨3的设置数量增加时，为了保证结构上的稳定性，第一滑块31和第二滑块32的设置数量也会随之增加，也即每根光轴导轨3上都有第一滑块31和第二滑块32与其相对应。具体而言，在本实用新型实施例中，光轴导轨3设有两根，两根光轴导轨3上均设置有第一滑块31和第二滑块32，第一滑块31和第二滑块32成对设置；而当某一实施例中的光轴导轨3设有三根时，第一滑块31和第二滑块32也需要相应的增设为三块。

对于光栅尺8而言，部分光栅尺8测量的数据会通过无线信号传递至电脑上，操作人员在电脑上读取数据。对于本申请而言，为了保证操作人员快速方便的获取长度数据，本实用新型实施例中，第一滑块31上还设有与光栅头81电连接的长度读数表6，也即操作人员可在第一滑块31停止后通过该长度读数表6快速直观的获取长度数据，读数方便、使用体验好。

需要注意的是，对于本申请中的第一滑块31和第二滑块32而言，由于光栅尺8的量程同样有限，与光栅尺8相对应的光轴导轨3的长度同样有效，为了防止第一滑块31和第二滑块32滑出光轴导轨3外，在本申请的一些实施例中，机架1上还设有垂直于光轴导轨3的限位块9。限位块9的设置避免了第一滑块31和第二滑块32滑脱情况的发生，该旋转靶材测量装置的使用安全得到了保障。

另外，从本申请的结构可以看出，该旋转靶材测量装置同样可以应用于部分直径较大、长度较长的圆棒、圆管等产品的数据测量。

综上所述，本实用新型提供了一种旋转靶材测量装置，其包括机架以及设于机架上的支撑块、长度测量组件和圆跳动测量组件，支撑块的顶部设有用于盛放旋转靶材的凹槽，凹槽的两端设有深沟球轴承，旋转靶材放置于凹槽中后与深沟球轴承相接触并可基于深沟球轴承的设置在凹槽内转动，长度测量组件包括光轴导轨、固定挡板、活动挡板和光栅尺，光轴导轨设于机架上并位于支撑块的旁侧，固定挡板则设于光轴导轨的一端，光轴导轨上设有可沿其滑动的第一滑块，平行于固定挡板设置的活动挡板固定于第一滑块上，光栅尺则包括标尺光栅和光栅头，其中标尺光栅平行于光轴导轨设置在机架上，光栅头则设于第一滑块上，圆跳动测量组件包括第二滑块以及设于第二滑块上的圆跳动测量表，第二滑块同样设于光轴导轨上并可沿其滑动，同时第二滑块位于固定挡板和第一滑块之间。与现有技术相比，该旋转靶材测量装置可同时完成长度和圆跳动的测量，测量精度高，测量误差小，易于操作、使用体验好。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (8)

1.一种旋转靶材测量装置，其特征在于，包括：

机架；

支撑块，设于所述机架上，所述支撑块的顶部开设有用于盛放旋转靶材的凹槽，所述凹槽的两端设有深沟球轴承；

光轴导轨，设于所述机架上；

固定挡板，设于所述机架上并位于所述光轴导轨的一端；

第一滑块，设于所述光轴导轨上并可沿所述光轴导轨滑动，所述第一滑块上设有平行于所述固定挡板的活动挡板；

第二滑块，设于所述光轴导轨上并可沿所述光轴导轨滑动，所述第二滑块位于所述固定挡板和所述第一滑块之间，所述第二滑块上设有圆跳动测量表；

光栅尺，包括标尺光栅和光栅头，所述标尺光栅设于所述机架上并与所述光轴导轨相互平行，所述光栅头设于所述第一滑块上。

2.根据权利要求1所述的旋转靶材测量装置，其特征在于，所述光轴导轨设有两根，两根所述光轴导轨沿所述机架相互平行设置。

3.根据权利要求1所述的旋转靶材测量装置，其特征在于，所述第一滑块上设有与所述光栅头电连接的长度读数表。

4.根据权利要求1所述的旋转靶材测量装置，其特征在于，述支撑块的底部设有卡突，所述机架设有与所述卡突相匹配的卡槽，所述支撑块可沿所述卡槽滑动。

5.根据权利要求1所述的旋转靶材测量装置，其特征在于，所述支撑块的侧面设有连接所述支撑块与所述机架的紧固螺栓。

6.根据权利要求5所述的旋转靶材测量装置，其特征在于，所述紧固螺栓设有两个以上。

7.根据权利要求1所述的旋转靶材测量装置，其特征在于，所述支撑块设有两块以上。

8.根据权利要求1所述的旋转靶材测量装置，其特征在于，所述机架还设有用于限制所述第一滑块的限位块。

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