CN215866979U - 一种用于高低温环境芯片光电特性检测的新型多功能检具 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种用于高低温环境芯片光电特性检测的新型多功能检具，在底座上设有带观察窗的低温腔，还设置有多维可调节显微机构，多维可调节显微机构可以实现不同空间位置的显微镜镜头观察角度，可以透过观察窗对低温腔内部的芯片进行观察和便于探针扎针测试、检测，进一步提高芯片低温检测检具的功能，使其配合性地提高低温腔在检测时的芯片检测效果；本实用新型还配置了有毒气体检测机构，可以在芯片低温检具做检测时往腔体内通入不同气氛检测在此环境下芯片样品性能时有毒气体进行检测，及时提醒检测人员预防。还具有光学特性检测装置，可以对高低温腔内的有源光学元件进行光学特性检测，实现多功能检测应用。

Description

一种用于高低温环境芯片光电特性检测的新型多功能检具

技术领域

本申请涉及芯片检测技术领域，具体而言，涉及一种用于高低温环境芯片光电特性检测的新型多功能检具。

背景技术

芯片高低温测试设备用于在特殊环境下测试电学特性，测试芯片在这个环境下所设计产品能否正常工作，性能是否可以。为了尽可能的节约成本，可能会在芯片封装前，先进行一部分的测试，以排除掉一些坏掉的芯片。

目前的芯片高低温测试设备通常具有低温腔、针座和探针等元件，芯片放置于低温腔内，由针座带动探针伸入低温腔内对芯片进行扎针测试。

此外，对于PIC光电芯片，还需要对芯片的有源光学元件进行光学特性检测。

而目前的芯片高低温测试设备功能较少，不能配合性地提高低温腔在检测时的芯片检测效果。

实用新型内容

本申请的主要目的在于提供一种用于高低温环境芯片光电特性检测的新型多功能检具，以解决目前的问题。

为了实现上述目的，本申请提供了如下技术：

一种用于高低温环境芯片光电特性检测的新型多功能检具，包括底座，底座上设有带观察窗的低温腔，底座上还设有多维可调节显微机构，显微观测所述多维可调节显微机构包括龙门支架、XY调节机构、Z轴调节杆、柔性杆和带显微镜的显微基座，龙门支架垂直固定在底座上，XY调节机构配合在龙门支架顶部，Z轴调节杆垂直固定在XY调节机构顶部，柔性杆可拆卸配套安装在Z轴调节杆上，显微基座配套安装在柔性杆上；

还包括光学特性检测装置，所述光学特性检测装置包括底部带探头的检测棒壳体，检测棒壳体可更换性地配套安装在柔性杆上；所述检测棒壳体内部设有供电模块、光学检测设备和无线模块，

所述供电模块用于为光学检测设备和无线模块供电；

所述光学检测设备用于接收芯片的有源光学元件辐射的光信号，并将光信号发送至无线模块；

所述无线模块用以发送光信号至数据处理终端。

优选地，还包括转销，所述显微基座通过转销竖直安装在柔性杆的头部。

优选地，显微基座上设有把柄。

优选地，XY调节机构包括X向调节机构，X向调节机构包括固定板、第一丝杆箱、第一调节螺母副、第一滑块和X向移动块，固定板固定在龙门支架上，第一丝杆箱固定在固定板上且其内部的丝杆与第一滑块配合，第一调节螺母副固定在第一丝杆箱外侧面上且和其内部的丝杆头部通过齿轮啮合连接，X向移动块通过一对X向滑轨配合在龙门支架上且与所述第一滑块卡接。

优选地，XY调节机构还包括Y向调节机构，Y向调节机构包括第二丝杆箱、第二调节螺母副、Y向移动块和第二滑块，第二丝杆箱固定在Y向移动块上且其内部的丝杆与第二滑块配合；第二调节螺母副固定在第二丝杆箱的外侧面且和其内部的丝杆头部同轴连接；Y向移动块通过一对Y向滑轨配合在X向移动块上且与所述第二滑块卡接。

优选地，Z轴调节杆底部设有法兰盘，法兰盘固定在所述Y向移动块上表面上。

优选地，还包括有毒气体检测机构，所述有毒气体检测机构于所述底座上设有至少一处。

优选地，所述有毒气体检测机构包括L型支架板和有毒气体检测仪，所述L型支架板垂直固定于底座上，有毒气体检测仪安装在所述L型支架板上。

与现有技术相比较，本申请能够带来如下技术效果：

1、本实用新型在底座上设有带观察窗的低温腔，还设置有多维可调节显微机构，维可调节显微机构可以实现不同空间位置的显微镜镜头观察角度，可以透过观察窗对低温腔内部的芯片进行观察和便于探针扎针测试、检测，进一步提高芯片低温检测检具的功能，使其配合性地提高低温腔在检测时的芯片检测效果；

2、此外，本实用新型还配置了有毒气体检测机构，可以在芯片低温检具做检测时往腔体内通入不同气氛检测在此环境下芯片样品性能时发生的有毒气体进行检测，及时提醒检测人员预防。

附图说明

构成本申请的一部分的附图用来提供对本申请的进一步理解，使得本申请的其它特征、目的和优点变得更明显。本申请的示意性实施例附图及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：

图1是本实用新型未打开丝杆箱时的应用结构示意图；

图2是本实用新型图1中局部A的放大结构示意图；

图3是本实用新型打开丝杆箱时的应用结构示意图；

图4是本实用新型图3中局部B的放大结构示意图；

图5是本实用新型检测棒壳体的示意图；

图中：1、底座，2、低温腔，3、观察窗，4、显微镜，5、把柄，6、显微基座，7、转销，8、柔性杆，9、Z轴调节杆，10、XY调节机构，11、龙门支架，12、有毒气体检测仪，13、L型支架板，100、固定板，101、第一丝杆箱，102、第一调节螺母副，103、第二调节螺母副，104、第二丝杆箱，105、X向移动块，106、Y向移动块，14、检测棒壳体，15、探头。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。

需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施例。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、***、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。

在本申请中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“中”、“竖直”、“水平”、“横向”、“纵向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系。这些术语主要是为了更好地描述本申请及其实施例，并非用于限定所指示的装置、元件或组成部分必须具有特定方位，或以特定方位进行构造和操作。

并且，上述部分术语除了可以用于表示方位或位置关系以外，还可能用于表示其他含义，例如术语“上”在某些情况下也可能用于表示某种依附关系或连接关系。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解这些术语在本申请中的具体含义。

另外，术语“多个”的含义应为两个以及两个以上。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。

实施例1

本实用新型在底座上设有带观察窗的低温腔，还设置有多维可调节显微机构，维可调节显微机构可以实现不同空间位置的显微镜镜头观察角度，可以透过观察窗对低温腔内部的芯片进行观察和便于探针扎针测试、检测，进一步提高芯片低温检测检具的功能，使其配合性地提高低温腔在检测时的芯片检测效果。

如附图1和2所示，一种用于高低温环境芯片光电特性检测的新型多功能检具，包括具备插孔的底座1，可以方便快速安装一起设备在上边。

底座1上设有带观察窗3的低温腔2，低温腔2内部提供低温空间而放置芯片，四周有探针伸入低温腔2进行扎针检测。观察窗3设于低温腔2顶部中心，便于观察、扎针。

还包括多维可调节显微机构，多维可调节显微机构包括一个显微探头即显微镜4，显微镜4可以进行三轴空间位置调节移动，其对应观察窗3，用于观察低温腔2内部的芯片检测过程，便于扎针。

显微观测所述多维可调节显微机构包括龙门支架11、XY调节机构10、Z轴调节杆9、柔性杆8和带显微镜4的显微基座6，

龙门支架11垂直固定在底座1上，如附图1所示，位于低温腔2后侧，龙门支架11顶部具有带螺纹孔的安装面，用于安装XY调节机构10；

XY调节机构10包括X和Y方向的螺纹丝杆移动机构，采用丝杆驱动而进行X和Y方向调节移动，带动Z轴调节杆9进行移动；

Z轴调节杆9垂直固定在XY调节机构10顶部，柔性杆8可拆卸配套安装在Z轴调节杆9上，显微基座6配套安装在柔性杆8上。

Z轴调节杆9上设有多个螺纹孔，柔性杆8(设有连接孔)通过螺栓垂直固定在Z轴调节杆9上，可以根据高度而选择安装高度。也可以在Z轴调节杆9上实现小范围转动。

为了检测芯片的有源光学元件的光学特性，本实施例，还可以将显微基座6从柔性杆8上替换下来，套装上一根柱体结构的光学特性检测装置。

如附图5所示，还包括光学特性检测装置，所述光学特性检测装置包括底部带探头15的检测棒壳体14，检测棒壳体14可更换性地配套安装在柔性杆8上；所述检测棒壳体14内部设有供电模块、光学检测设备和无线模块，

检测棒壳体14为橡胶壳体，防静电材质，可以卡在柔性杆8上。底部的探头15可以伸到低温腔2顶面的观察窗3处，探测芯片的有源光学元件辐射的光信号，经过光学检测设备接收处理后传输到无线模块而发射到终端。

供电模块、光学检测设备和无线模块是集成电子元件，集成安装在检测棒壳体14内部。

供电模块、光学检测设备和无线模块的规格型号自已自行购买。

所述供电模块用于为光学检测设备和无线模块供电；

所述光学检测设备用于接收芯片的有源光学元件辐射的光信号，并将光信号发送至无线模块；

光学检测设备可以将光信号进行处理，便于发射。

所述无线模块用以发送光信号至数据处理终端。

数据处理终端接收信号后，可以利用软件进行曲线分析光学特性。

优选地，还包括转销7，所述显微基座6通过转销7竖直安装在柔性杆8的头部。

柔性杆8的头部设有活动套，其上设有竖直通孔，通孔内配合安装转销7。显微基座6和动套通过转销7铰接。这就使得显微基座6可以以转销7为支点而转动，进而带动显微镜4活动。

优选地，显微基座6上设有把柄5。

把柄5为一对对称设置在显微基座6上的销子，可以把持而转动显微基座6。

如附图2和4所示，XY调节机构10是由X向调节机构和Y向调节机构组成的，在龙门支架11顶部安装有三层板块，最底层固定在龙门支架11顶部，其余两层和最底层之间，相邻两层之间皆设有一对滑轨，用于对应的X向移动块105和Y向移动块106在各自的滑块带动下移动。

优选地，XY调节机构10包括X向调节机构，X向调节机构包括固定板100、第一丝杆箱101、第一调节螺母副102、第一滑块14和X向移动块105，固定板100固定在龙门支架11上，第一丝杆箱101固定在固定板100上且其内部的丝杆与第一滑块14配合，第一调节螺母副102固定在第一丝杆箱101外侧面上且和其内部的丝杆头部通过齿轮啮合连接，X向移动块105通过一对X向滑轨配合在龙门支架11上且与所述第一滑块14卡接。

固定板100为L状，其长边通过螺栓固定在龙门支架11的顶部前侧面，用于安装第一丝杆箱101；

第一丝杆箱101内部设有设有丝杆和丝杆啮合的齿轮组；丝杆与第一滑块14配合，第一滑块14的凸出部分卡在X向移动块105上，便于带动X向移动块105沿X向移动，进而带动上面的Y向调节机构进行X向移动(X向为沿龙门支架11顶部支架的长度方向)。

第一调节螺母副102的尾部伸入第一丝杆箱101内部且尾部带有齿轮，第一调节螺母副102固定在第一丝杆箱101外侧面上且和其内部的丝杆头部的齿轮啮合连接；转动第一调节螺母副102，第一丝杆箱101带动X向移动块105沿X向移动，进而带动上面的Y向调节机构进行X向移动。

本实施例，X向调节机构的第一调节螺母副102和一丝杆箱101是垂直的！

优选地，XY调节机构10还包括Y向调节机构，Y向调节机构包括第二丝杆箱104、第二调节螺母副103、Y向移动块106和第二滑块15，第二丝杆箱104固定在Y向移动块106上且其内部的丝杆与第二滑块15配合；第二调节螺母副103固定在第二丝杆箱104的外侧面且和其内部的丝杆头部同轴连接；Y向移动块106通过一对Y向滑轨配合在X向移动块105上且与所述第二滑块15卡接。

Y向调节机构的原理同上述X向调节机构！不再赘述。只不过是Y向调节机构的二调节螺母副103和第二丝杆箱104是同轴的！

优选地，Z轴调节杆9底部设有法兰盘，法兰盘固定在所述Y向移动块106上表面上。

为了稳定固定Z轴调节杆9，在Z轴调节杆9底部加工成型设有法兰盘，法兰盘带有螺纹孔，通过螺栓将其固定在所述Y向移动块106上表面上。

实施例2

基于实施例1的实施，本实施例还配置了有毒气体检测机构，可以在芯片低温检具做检测时往腔体内通入不同气氛检测在此环境下芯片样品性能时发生的有毒气体进行检测，及时提醒检测人员预防。

如附图1和3所示，

优选地，还包括有毒气体检测机构，所述有毒气体检测机构于所述底座1上设有至少一处。

有毒气体检测机构的数量根据所通入多种气氛而确定，可以设置不同有害气体类型的有毒气体检测仪12。

优选地，所述有毒气体检测机构包括L型支架板13和有毒气体检测仪12，所述L型支架板13垂直固定于底座1上，有毒气体检测仪12安装在所述L型支架板13上。

L型支架板13短板通过螺栓固定在底座1上，其长板顶部设有安装件，有毒气体检测仪12安装在所述L型支架板13上的安装件上。

如附图1所示，本实施例，设置了左右一组有毒气体检测机构，左侧有毒气体检测机构包括一个L型支架板13和一个有毒气体检测仪12，右侧有毒气体检测机构包括一个L型支架板13和两个有毒气体检测仪12。

以上所述仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种用于高低温环境芯片光电特性检测的新型多功能检具，包括底座(1)，底座(1)上设有带观察窗(3)的低温腔(2)，其特征在于，底座(1)上还设有多维可调节显微机构，所述多维可调节显微机构包括龙门支架(11)、XY调节机构(10)、Z轴调节杆(9)、柔性杆(8)和带显微镜(4)的显微基座(6)，龙门支架(11)垂直固定在底座(1)上，XY调节机构(10)配合在龙门支架(11)顶部，Z轴调节杆(9)垂直固定在XY调节机构(10)顶部，柔性杆(8)可拆卸配套安装在Z轴调节杆(9)上，显微基座(6)配套安装在柔性杆(8)上；

还包括光学特性检测装置，所述光学特性检测装置包括底部带探头(15)的检测棒壳体(14)，检测棒壳体(14)可更换性地配套安装在柔性杆(8)上；所述检测棒壳体(14)内部设有供电模块、光学检测设备和无线模块，

所述供电模块用于为光学检测设备和无线模块供电；

所述光学检测设备用于接收芯片的有源光学元件辐射的光信号，并将光信号发送至无线模块；

所述无线模块用以发送光信号至数据处理终端。

2.如权利要求1所述的一种用于高低温环境芯片光电特性检测的新型多功能检具，其特征在于，还包括转销(7)，所述显微基座(6)通过转销(7)竖直安装在柔性杆(8)的头部。

3.如权利要求2所述的一种用于高低温环境芯片光电特性检测的新型多功能检具，其特征在于，显微基座(6)上设有把柄(5)。

4.如权利要求1-3任一项所述的一种用于高低温环境芯片光电特性检测的新型多功能检具，其特征在于，XY调节机构(10)包括X向调节机构，X向调节机构包括固定板(100)、第一丝杆箱(101)、第一调节螺母副(102)、第一滑块(14)和X向移动块(105)，固定板(100)固定在龙门支架(11)上，第一丝杆箱(101)固定在固定板(100)上且其内部的丝杆与第一滑块(14)配合，第一调节螺母副(102)固定在第一丝杆箱(101)外侧面上且和其内部的丝杆头部通过齿轮啮合连接，X向移动块(105)通过一对X向滑轨配合在龙门支架(11)上且与所述第一滑块(14)卡接。

5.如权利要求4所述的一种用于高低温环境芯片光电特性检测的新型多功能检具，其特征在于，XY调节机构(10)还包括Y向调节机构，Y向调节机构包括第二丝杆箱(104)、第二调节螺母副(103)、Y向移动块(106)和第二滑块(15)，第二丝杆箱(104)固定在Y向移动块(106)上且其内部的丝杆与第二滑块(15)配合；第二调节螺母副(103)固定在第二丝杆箱(104)的外侧面且和其内部的丝杆头部同轴连接；Y向移动块(106)通过一对Y向滑轨配合在X向移动块(105)上且与所述第二滑块(15)卡接。

6.如权利要求5所述的一种用于高低温环境芯片光电特性检测的新型多功能检具，其特征在于，Z轴调节杆(9)底部设有法兰盘，法兰盘固定在所述Y向移动块(106)上表面上。

7.如权利要求1或3或6所述的一种用于高低温环境芯片光电特性检测的新型多功能检具，其特征在于，还包括有毒气体检测机构，所述有毒气体检测机构于所述底座(1)上设有至少一处。

8.如权利要求7所述的一种用于高低温环境芯片光电特性检测的新型多功能检具，其特征在于，所述有毒气体检测机构包括L型支架板(13)和有毒气体检测仪(12)，所述L型支架板(13)垂直固定于底座(1)上，有毒气体检测仪(12)安装在所述L型支架板(13)上。

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