CN215757725U - 用于晶体生长设备的坩埚升降旋转机构和晶体生长设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于晶体生长设备的坩埚升降旋转机构和晶体生长设备，晶体生长设备包括坩埚，坩埚升降旋转机构用于驱动坩埚上下移动，坩埚升降旋转机构包括固定支架、滑座组件和驱动组件，滑座组件适于与坩埚相连，驱动组件包括驱动器和升降机构，驱动器安装在固定支架上，升降机构与滑座组件配合，驱动器通过升降机构驱动滑座组件上下移动，以使滑座组件适于带动坩埚上下移动。根据本实用新型的用于晶体生长设备的坩埚升降旋转机构，结构紧凑、便于节省占用空间。

Description

用于晶体生长设备的坩埚升降旋转机构和晶体生长设备

技术领域

本实用新型涉及晶体生长技术领域，尤其是涉及一种用于晶体生长设备的坩埚升降旋转机构和晶体生长设备。

背景技术

目前单晶硅的主要生长技术是直拉法，在晶体生长过程中，需要保证石英坩埚的多晶硅溶液与导流筒保持一定的液面距离，因此需要坩埚升降，且在长晶过程中，要实现晶体的生长，需要实现坩埚的旋转。现有技术中一般采用坩埚轴整体驱动安装在机座上，从而实现坩埚轴的升降及旋转，这种方式加工方式难度大，不节约空间，且操作繁琐。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种用于晶体生长设备的坩埚升降旋转机构，所述坩埚升降旋转机构结构紧凑、便于节省占用空间。

本实用新型还提出一种具有上述坩埚升降旋转机构的晶体生长设备。

根据本实用新型第一方面的用于晶体生长设备的坩埚升降旋转机构，所述晶体生长设备包括坩埚，所述坩埚升降旋转机构用于驱动所述坩埚上下移动，所述坩埚升降旋转机构包括：固定支架，所述固定支架适于与所述晶体生长设备的炉底板相连；滑座组件，所述滑座组件适于与所述坩埚相连；驱动组件，所述驱动组件包括驱动器和升降机构，所述驱动器安装在所述固定支架上，所述升降机构与所述滑座组件配合，所述驱动器通过所述升降机构驱动所述滑座组件上下移动，以使所述滑座组件适于带动所述坩埚上下移动。

根据本实用新型的用于晶体生长设备的坩埚升降旋转机构，通过将用于驱动坩埚升降的驱动组件的驱动器设在固定支架上，并使得固定支架适于与炉底板相连，可以使得驱动组件更好地与晶体生长设备的炉体形成为一个整体，有利于提升晶体生长设备的整体性，同时便于实现驱动组件与炉体板的紧凑设置，有利于节约空间、降低成本。

在一些实施例中，所述升降机构包括丝杠，所述丝杠与所述驱动器相连以由所述驱动器驱动转动，所述丝杠沿上下方向延伸且和所述滑座组件螺纹配合。

在一些实施例中，所述驱动组件还包括：同步带传动机构，所述同步带传动机构设在所述驱动器和所述升降机构之间，且包括主动带轮、从动带轮和环形传动带，所述主动带轮与所述驱动器相连，所述从动带轮与所述丝杠相连，所述环形传动带张紧在所述主动带轮和所述从动带轮上；任选地，所述主动带轮的直径小于所述从动带轮的直径。

在一些实施例中，所述滑座组件上设有导向机构，所述导向机构包括：导轨，所述导轨适于固设设在所述晶体生长设备内的固定支架上且沿上下方向延伸；滑块，所述滑块设在所述滑座组件上且与所述导轨滑动配合。

在一些实施例中，所述滑座组件包括：坩埚轴，所述坩埚轴适于可移动地穿设于所述炉底板上，所述坩埚轴上形成有安装法兰，所述坩埚轴外套设有波纹管，所述波纹管密封连接在所述炉底板和所述安装法兰之间；任选地，所述波纹管为金属件。

在一些实施例中，所述滑座组件包括称重机构，所述称重机构用于称量所述滑座组件上的承载重量并输出称重信息；任选地，所述坩埚升降旋转机构还包括显示组件，所述显示组件与所述称重机构相连以用于显示所述称重信息。

在一些实施例中，所述称重机构为多个且沿所述滑座组件的周向间隔布置，每个所述称重机构分别与所述显示组件相连；任选地，所述称重机构为三个且沿所述滑座组件的周向均匀间隔布置。

在一些实施例中，所述滑座组件还包括：坩埚轴，所述坩埚轴适于可移动地穿设于所述炉底板上且适于与所述坩埚相连，所述坩埚轴上形成有安装法兰；滑座，所述滑座与所述升降机构配合，所述滑座套设在所述坩埚轴外且配合在所述安装法兰的下侧，所述称重机构设在所述滑座和所述安装法兰之间，且固设在所述滑座上；连接件，所述连接件连接所述安装法兰和所述滑座，所述连接件与所述安装法兰和所述滑座中的其中一个固定连接，且与所述安装法兰和所述滑座中的另一个沿上下方向滑动配合。

在一些实施例中，所述连接件与所述滑座螺纹配合，所述安装法兰上形成有安装孔，所述连接件可移动地穿设于所述安装孔，其中，所述安装孔与所述称重机构沿所述坩埚轴的周向间隔设置。

根据本实用新型第二方面的晶体生长设备，包括：坩埚；坩埚升降旋转机构，所述坩埚升降旋转机构为根据本实用新型上述第一方面的用于晶体生长设备的坩埚升降旋转机构，所述坩埚升降旋转机构与所述坩埚相连以驱动所述坩埚上下移动。

根据本实用新型的晶体生长设备，通过采用上述的坩埚升降旋转机构，不仅实现了坩埚的升降移动，而且便于实现坩埚内物料液面实时位置的跟踪，有利于提升生产效率。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是根据本实用新型一个实施例的坩埚升降旋转机构的示意图；

图2是图1中所示的坩埚升降旋转机构的另一个示意图；

图3是图2中所示的坩埚升降旋转机构的局部剖视图；

图4是图2中所示的坩埚升降旋转机构的另一个局部剖视图。

附图标记：

坩埚升降旋转机构100、

驱动组件1、

驱动器11、

升降机构12、丝杠121、

同步带传动机构13、主动带轮131、从动带轮132、环形传动带133、

导向机构14、导轨141、

滑座组件2、

称重机构21、

坩埚轴22、安装法兰221、安装孔221a、

滑座23、连接件24、安装件25、

固定支架3、波纹管5；

转动驱动组件6、

第二驱动器61、

多楔带传动机构62、第二主动带轮621、第二从动带轮622、多楔带623。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

下文的公开提供了许多不同的实施例或例子用来实现本实用新型的不同结构。为了简化本实用新型的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本实用新型。此外，本实用新型可以在不同例子中重复参考数字和/或字母。这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施例和/或设置之间的关系。此外，本实用新型提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的可应用于性和/或其他材料的使用。

下面，参考附图，描述根据本实用新型实施例的用于晶体生长设备的坩埚升降旋转机构100。

晶体生长设备包括坩埚，坩埚可以用于盛放晶体生长的物料，坩埚升降旋转机构100用于驱动坩埚上下移动和旋转。例如，晶体生长设备可以为单晶炉，坩埚可以为石英坩埚，但不限于此。

如图1所示，坩埚升降旋转机构100包括固定支架3、滑座组件2和驱动组件1，固定支架2适于与晶体生长设备的炉底板相连，滑座组件2适于与坩埚相连，滑座组件2与驱动组件1相连以由驱动组件1驱动运动，驱动组件1包括驱动器11，驱动器11安装在固定支架3上，则驱动器11可以通过固定支架3间接安装在炉底板上，在保证驱动组件1安装可靠的前提下，使得驱动组件1可以更好地与晶体生长设备的炉体形成为一个整体，有利于提升晶体生长设备的整体性，同时便于实现驱动组件1与炉体板101的紧凑设置，有利于节约空间、降低成本。

驱动组件1还包括升降机构12，升降机构12与滑座组件2配合，驱动器11通过升降机构12驱动滑座组件2上下移动，以使滑座组件2适于带动坩埚上下移动，以实现坩埚的升降。

由此，根据本实用新型实施例的用于晶体生长设备的坩埚升降旋转机构100，通过将用于驱动坩埚升降的驱动组件1的驱动器11设在固定支架3上，并使得固定支架3适于与炉底板相连，可以使得驱动组件1更好地与晶体生长设备的炉体形成为一个整体，有利于提升晶体生长设备的整体性，同时便于实现驱动组件1与炉体板101的紧凑设置，有利于节约空间、降低成本。

在一些实施例中，如图1所示，升降机构12包括丝杠121，丝杠121与驱动器11相连以由驱动器11驱动转动，丝杠121沿上下方向延伸，且丝杠121和滑座组件2螺纹配合，则丝杠121转动可以驱动滑座组件2沿丝杠121的延伸方向移动，以实现滑动组件的上下移动，从而带动坩埚上下移动。由此，驱动组件1的结构简单，便于保证驱动稳定性。

当然，升降机构12的结构不限于此，例如升降机构12还可以为齿轮齿条机构，齿轮与驱动器11相连以由驱动器11驱动转动，齿条与齿轮啮合以实现齿条的上下移动，从而同样可以实现坩埚的上下移动。

可选地，在图1的示例中，驱动器11为伺服电机。

在一些实施例中，如图1所示，驱动组件1还包括同步带传动机构13，同步带传动机构13设在驱动器11和升降机构12之间，则同步带传动机构13可以将驱动器11的动力传递至升降机构12；同步带传动机构13包括主动带轮131、从动带轮132和环形传动带133，主动带轮131与驱动器11相连以由驱动器11驱动转动，从动带轮132与丝杠121相连，环形传动带133张紧在主动带轮131和从动带轮132上，从而从动带轮132可以带动丝杠121转动。由此，环形传动带133与主动带轮131和从动带轮132之间没有相对滑动，可以保证严格的传动比，便于实现坩埚上下移动的精确控制。

在一些实施例中，如图1所示，主动带轮131的直径小于从动带轮132的直径，则从动带轮132的转速小于主动带轮131的转速，以实现减速传动，有利于保证坩埚移动的稳定性。

在一些实施例中，如图1所示，滑座组件2上设有导向机构14，导向机构14包括导轨141和滑块，导轨141适于固设在晶体生长设备内的固定支架3上，且导轨141沿上下方向延伸，滑块设在滑座组件2上，且滑块与导轨141滑动配合，则滑块可以沿导轨141的延伸方向相对导轨141移动，以保证滑座组件2上下移动的稳定性和顺畅性，从而实现坩埚的稳定、顺畅移动。

其中，驱动组件1可以设在固定支架3上。例如，在图1的示例中，驱动组件1包括驱动器11，驱动器11可以为坩埚的移动提供动力，驱动器11可以固设在固定支架3上。

在一些实施例中，如图1所示，滑座组件2包括坩埚轴22，坩埚适于固设在坩埚轴22上，以由坩埚轴22带动上下移动，坩埚轴22适于可移动地穿设于炉底板上，炉底板可以对坩埚轴22的移动起到一定导向作用，保证坩埚轴22稳定移动。其中，坩埚轴22上形成有安装法兰221，安装法兰221可以形成在炉底板的下方，坩埚轴22外套设有波纹管5，波纹管5密封连接在炉底板和安装法兰221之间，则波纹管5的轴向一端与炉底板密封相连，波纹管5的轴向另一端与安装法兰221密封相连，使得炉底板、波纹管5和安装法兰221之间可以限定出较为密闭的安装空间，坩埚轴22的一部分位于安装空间内，在坩埚轴22上下移动的过程中，炉底板和安装法兰221在上下方向上的距离随坩埚轴22移动而改变，波纹管5发生变形，从而可以实现对坩埚轴22上下移动过程中的始终密封，可以避免杂质等对坩埚轴22上下移动造成影响。

可选地，波纹管5为金属件，以便于保证波纹管5使用可靠。

在一些实施例中，滑座组件2包括称重机构21，称重机构21用于称量滑座组件2上的承载重量并输出称重信息，作业人员可以通过称重机构21得出滑座组件2上的承载重量，从而得到坩埚内物料的重量，进而计算出坩埚内物料的高度，例如称重机构21可以实时称量滑座组件2上的承载重量，作业人员可以通过显示组件实时得到坩埚内物料的高度，实现坩埚内物料液面实时位置的变化的跟踪，有利于进一步提高生产效率。

进一步地，坩埚升降旋转机构还包括显示组件，显示组件与称重机构21相连以用于显示称重信息，显示组件可以以数值的形式显示称重信息，作业人员可以通过显示组件直接获得称重信息。

可选地，显示组件包括数据转换盒、CPU和显示屏，显示屏与CPU电连接，CPU与数据转换盒电连接，称重机构21的连接线与数据转换盒电连接以将称重信息传输至数据转换盒，数据转换盒将信号传输至CPU，通过PLC数据处理，CPU再将信号传输至显示屏以显示承载重量的具体数值，作业人员可以直接通过读取显示屏上的显示信息即可获取称重信息。

在一些实施例中，称重机构21为多个，且多个称重机构21沿滑座组件2的周向间隔布置，每个称重机构21分别与显示组件相连，则显示组件可以显示每个称重机构21输出的称重信息，以实现多个称重机构21称量的承载重量的独立显示，以便于作业人员判断多个承载重量的有效性，有利于保证称重机构21的称量准确性。

当然，显示组件上还可以显示多个称重机构21称量的承载重量的平均值以及最终称量的承载重量。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上。

可选地，称重机构21为三个，且三个称重机构21沿滑座组件2的周向均匀间隔布置，则三个称重机构21可以分别位于一个正三角形的三个顶点处，则可以采用数量较少的称重机构21，实现承载重量的均衡称量。当然，称重机构21还可以为两个、四个或四个以上。

在一些实施例中，如图3和图4所示，滑座组件2还包括坩埚轴22、滑座23和连接件24，坩埚轴22适于可移动地穿设于炉底板上，且坩埚轴22适于与坩埚相连，坩埚轴22上形成有安装法兰221，滑座23套设在坩埚轴22外，且滑座23配合在安装法兰221的下侧，称重机构21设在安装法兰221和滑座23之间，且称重机构21固设在滑座23上，以用于称量安装法兰221上的承载重量并输出称重信息，则称重机构21在称量安装法兰221上的承载重量时，称重机构21与安装法兰221止抵，使得安装法兰221上的承载重量作用在称重机构21上。例如，在图1的示例中，称重机构21通过安装件25固定安装在滑座23上。

连接件24连接安装法兰221和滑座23，连接件24与安装法兰221和滑座23中的其中一个固定连接，且连接件24与安装法兰221和滑座23中的另一个沿上下方向滑动配合，以便于称重机构21准确称量安装法兰221上的承载重量，避免因为安装法兰221与滑座23之间存在安装作用力导致称量准确性欠佳。例如连接件24与安装法兰221固定连接，且连接件24与滑座23沿上下方向滑动配合，或者连接件24与滑座23固定连接，且连接件24与安装法兰221沿上下方向滑动配合(如图3和图4所示)。

例如，在图3和图4的示例中，连接件24与滑座23螺纹配合，以实现连接件24与滑座23的固定连接，安装法兰221上形成有安装孔221a，连接件24可移动地穿设于安装孔221a，以实现连接件24与安装法兰221的滑动配合，则称重机构21在使用过程中，允许安装法兰221相对滑座23沿上下方向具有一定运动幅度，使得称重机构21具有一定称量范围。

其中，安装孔221a与称重机构21沿坩埚轴22的周向间隔设置，以避免连接件24与称重机构21发生干涉。

如图1所示，坩埚升降机构100还包括转动驱动组件6，坩埚轴22包括本体部和转动部，转动部可以转动配合在本体部内，调节组件3连接本体部和称重组件2，转动驱动组件6用于驱动转动部绕坩埚轴22的中心轴线转动，使得坩埚升降机构100应用于晶体生长设备时，晶体生长设备的加热装置对坩埚本体的均热。

例如，在图1的示例中，转动驱动组件6包括第二驱动器61和多楔带传动机构62，第二驱动器61直接或间接安装在滑座组件2上，多楔带传动机构62包括第二主动带轮621、第二从动带轮622和多楔带623，第二主动带轮621与第二驱动器61相连以由第二驱动器61驱动转动，第二从动带轮622与坩埚轴22101相连，多楔带623张紧在第二主动带轮621和第二从动带轮622上，从而第二从动带轮622可以带动坩埚轴22101转动。由此，转动驱动组件6运行平稳、结构紧凑。

其中，第二主动带轮621的直径小于第二从动带轮622的直径，则第二从动带轮622的转速小于第二主动带轮621的转速，以实现减速传动，有利于保证坩埚本体转动的稳定性。

根据本实用新型第二方面实施例的晶体生长设备，包括坩埚和坩埚升降旋转机构100，坩埚升降旋转机构100为根据本实用新型上述第一方面的用于晶体生长设备的坩埚升降旋转机构100，坩埚升降旋转机构100与坩埚相连以驱动坩埚上下移动和旋转。

根据本实用新型的晶体生长设备，通过采用上述的坩埚升降旋转机构100，不仅实现了坩埚的升降移动，而且便于实现坩埚内物料液面实时位置的跟踪，有利于提升生产效率。

根据本实用新型实施例的晶体生长设备的其他构成以及操作对于本领域普通技术人员而言都是已知的，这里不再详细描述。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种用于晶体生长设备的坩埚升降旋转机构(100)，其特征在于，所述晶体生长设备包括坩埚，所述坩埚升降旋转机构(100)用于驱动所述坩埚上下移动和旋转，所述坩埚升降旋转机构(100)包括：

固定支架(3)，所述固定支架适于与所述晶体生长设备的炉底板相连；

滑座组件(2)，所述滑座组件(2)适于与所述坩埚相连；

驱动组件(1)；所述驱动组件(1)包括驱动器(11)和升降机构(12)，所述驱动器(11)安装在所述固定支架(3)上，所述升降机构(12)与所述滑座组件(2)配合，所述驱动器(11)通过所述升降机构(12)驱动所述滑座组件(2)上下移动，以使所述滑座组件(2)适于带动所述坩埚上下移动。

2.根据权利要求1所述的用于晶体生长设备的坩埚升降旋转机构(100)，其特征在于，所述升降机构(12)包括丝杠(121)，所述丝杠(121)与所述驱动器(11)相连以由所述驱动器(11)驱动转动，所述丝杠(121)沿上下方向延伸且和所述滑座组件(2)螺纹配合。

3.根据权利要求2所述的用于晶体生长设备的坩埚升降旋转机构(100)，其特征在于，所述驱动组件(1)还包括：

同步带传动机构(13)，所述同步带传动机构(13)设在所述驱动器(11)和所述升降机构(12)之间，且包括主动带轮(131)、从动带轮(132)和环形传动带(133)，所述主动带轮(131)与所述驱动器(11)相连，所述从动带轮(132)与所述丝杠(121)相连，所述环形传动带(133)张紧在所述主动带轮(131)和所述从动带轮(132)上；

任选地，所述主动带轮(131)的直径小于所述从动带轮(132)的直径。

4.根据权利要求1所述的用于晶体生长设备的坩埚升降旋转机构(100)，其特征在于，所述滑座组件(2)上设有导向机构(14)，所述导向机构(14)包括：

导轨(141)，所述导轨(141)适于固设在所述晶体生长设备内的固定支架(3)上且沿上下方向延伸；

滑块，所述滑块设在所述滑座组件(2)上且与所述导轨(141)滑动配合。

5.根据权利要求1所述的用于晶体生长设备的坩埚升降旋转机构(100)，其特征在于，所述滑座组件(2)包括：

坩埚轴(22)，所述坩埚轴(22)适于可移动地穿设于所述炉底板上，所述坩埚轴(22)上形成有安装法兰(221)，所述坩埚轴(22)外套设有波纹管(5)，所述波纹管(5)密封连接在所述炉底板和所述安装法兰(221)之间；

任选地，所述波纹管(5)为金属件。

6.根据权利要求1所述的用于晶体生长设备的坩埚升降旋转机构(100)，其特征在于，所述滑座组件(2)包括称重机构(21)，所述称重机构(21)用于称量所述滑座组件(2)上的承载重量并输出称重信息；

任选地，所述坩埚升降旋转机构(100)还包括显示组件，所述显示组件与所述称重机构(21)相连以用于显示所述称重信息。

7.根据权利要求6所述的用于晶体生长设备的坩埚升降旋转机构(100)，其特征在于，所述称重机构(21)为多个且沿所述滑座组件(2)的周向间隔布置，每个所述称重机构(21)分别与所述显示组件相连；

任选地，所述称重机构(21)为三个且沿所述滑座组件(2)的周向均匀间隔布置。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的用于晶体生长设备的坩埚升降旋转机构(100)，其特征在于，所述滑座组件(2)还包括：

坩埚轴(22)，所述坩埚轴(22)适于可移动地穿设于所述炉底板上且适于与所述坩埚相连，所述坩埚轴(22)上形成有安装法兰(221)；

滑座(23)，所述滑座(23)与所述升降机构(12)配合，所述滑座(23)套设在所述坩埚轴(22)外且配合在所述安装法兰(221)的下侧，所述坩埚升降旋转机构(100)的称重机构(21)设在所述滑座(23)和所述安装法兰(221)之间，且固设在所述滑座(23)上；

连接件(24)，所述连接件(24)连接所述安装法兰(221)和所述滑座(23)，所述连接件(24)与所述安装法兰(221)和所述滑座(23)中的其中一个固定连接，且与所述安装法兰(221)和所述滑座(23)中的另一个沿上下方向滑动配合。

9.根据权利要求8所述的用于晶体生长设备的坩埚升降旋转机构(100)，其特征在于，所述连接件(24)与所述滑座(23)螺纹配合，所述安装法兰(221)上形成有安装孔(221a)，所述连接件(24)可移动地穿设于所述安装孔(221a)，其中，所述安装孔(221a)与所述称重机构(21)沿所述坩埚轴(22)的周向间隔设置。

10.一种晶体生长设备，其特征在于，包括：

坩埚；

坩埚升降旋转机构(100)，所述坩埚升降旋转机构(100)权利要求1-9中任一项所述的用于晶体生长设备的坩埚升降旋转机构(100)，所述坩埚升降旋转机构(100)与所述坩埚相连以驱动所述坩埚上下移动。

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