CN215493243U - 一种检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型的公开了一种检测装置，包括光源模块、图像获取模块和载物台，载物台用于承载待测物，光源模块用于向待测物的检测区域提供检测光，图像获取模块用于获取检测区域的图像。其中，图像获取模块包括至少一个图像采集通道，每个图像采集通道包括图像传感器和物镜，在图像获取模块包括的至少一个图像采集通道中，包括一个第一图像采集通道，其物镜的镜平面与图像传感器的感光面所在平面相交于同一条直线。由于在图像获取模块中，有一个图像采集通道的取景通道满足沙姆定律，使得待测物的检测区域在图像采集通道的景深内，进而提高图像清晰度，以提高检测效果。

Description

一种检测装置

技术领域

本实用新型涉及半导体检测技术领域，具体涉及一种检测装置。

背景技术

晶圆是由硅柱切割而成的薄片，其主要作为生产电子元件的基础材料，为保证电子元件的生产质量，通常需对晶圆进行质量检测，以检测出晶圆的缺陷点。随着半导体制作水平的飞速发展，晶圆的集成度不断提高，其工艺的稳定性和可靠性对半导体检测技术提出了更高的要求，晶圆表面缺陷的高精度检测成为工艺过程中的重要一环。早期的半导体光学检测方法一般是将晶圆置于一个明亮的环境中，通过人工目检或抽检的方式观察表面是否存在灰尘或脏污等缺陷。但随着晶粒的特征尺寸不断减少，缺陷的尺寸也相应缩小，简单的检测方法明显不能满足高精度、高效率的需求。不同的晶圆缺陷的检测灵敏度会因光学环境(波长、强度、光照方式等)而产生差异，因此为了更好地显示缺陷，减少误判率，有必要针对性地对缺陷采用不同的成像方式，在一个光学***中实现对多种晶圆表面缺陷的高精度检测。半导体制作工艺需要经过成几十道工序流程，过程中可能多种不同类型的缺陷，任何缺陷都有可能导致产品报废，要实现多种缺陷的快速准确检测，需要一套高精度及强兼容性的检测***。目前，大多数基于光学成像的晶圆检测设备都采取单一光源进行照明，相机拍摄图像后，由人工判断是否合格或软件进行分类。然而由于材质本身或加工工艺引入瑕疵的原因，并非所有晶圆上的缺陷都能通过单一光源显现出来。另外，对晶圆的检测通常采用图案化晶圆检测设备，图案化晶圆检测设备有很多类型，包括电子检测设备、明场检测设备和暗场检测设备，检测原理基本相同。在半导体晶片上，并排地制造相同图案的电子器件，随机缺陷点通常是由诸如灰尘之类的颗粒引起的，并出现在随机位置，并且缺陷点在特定位置重复出现的可能性极低，因此，图案化晶圆检测设备可以通过比较相邻芯片(也称为管芯)的图案图像来检测缺陷。在实际的检测过程中，图案化晶圆检测设备的取像装置为了获取清晰的检测图像需要精准对焦，然而取像装置的镜头平面和成像平面不能保证平行，成像平面就会有近景和远景差异，使的取像装置很难获取对焦均匀的成像平面，进而降低晶圆检测的准确度，导致检测效果较差。

发明内容

本申请提供一种检测装置，用于解决晶圆检测效果较差的技术问题。

根据第一方面，一种实施例中提供一种检测装置，包括光源模块、图像获取模块和载物台；

所述载物台用于承载待测物；

所述光源模块用于向所述待测物的检测区域提供检测光；

所述图像获取模块用于获取所述待测物的检测区域的图像；所述图像获取模块包括至少一个图像采集通道，每个所述图像采集通道包括图像传感器和物镜；所述物镜用于将所述待测物的检测区域成像在所述图像传感器的感光面上，以用于所述图像传感器获取所述待测物的检测区域的图像；其中，在所述图像获取模块包括的至少一个所述图像采集通道中，包括一个第一图像采集通道；

所述第一图像采集通道的物镜的镜平面与图像传感器的感光面所在平面相交于同一条直线，所述镜平面为过物镜中心点且垂直于光轴的平面。

一实施例中，所述光源模块包括检测光源、第一入射组件和第二入射组件；所述第一入射组件用于使所述检测光源的光线形成所述检测光，并使所述检测光垂直入射至所述待测物的检测区域；所述第二入射组件用于使所述检测光源的光线形成所述检测光，并使所述检测光斜入射所述待测物的检测区域。

一实施例中，所述图像传感器为二维图像传感器；和/或，所述图像传感器为时间延迟积分传感器；所述时间延迟积分传感器的积分方向垂直于所述镜平面与图像传感器的感光面所在平面相交的直线。

一实施例中，所述检测光源通过所述第一入射组件和/或第二入射组件在所述待测物的检测区域上形成矩形光斑；

所述第一图像采集通道的物镜的镜平面与图像传感器的感光面所在平面相交的直线平行于所述矩形光斑的长边的延伸方向。

一实施例中，所述光源模块还包括光路切换组件，所述光路切换组件用于使所述检测光源的光线传播至所述第一入射组件或第二入射组件；

或者，所述检测光源包括第一光源和第二光源，所述第一入射组件用于将所述第一光源的光线垂直入射至所述待测物的检测区域，所述第二入射组件用于将所述第二光源的光线斜入射至所述待测物的检测区域。

一实施例中，所述载物台包括承载装置，所述承载装置用于承载所述待测物，并使所述待测物的检测区域所在平面、所述第一图像采集通道的物镜的镜平面和所述第一图像采集通道的图像传感器的感光面所在平面相交于同一条所述直线。

一实施例中，所述图像获取模块包括至少两个图像采集通道；所述图像获取模块还包括一个第二图像采集通道，所述第二图像采集通道的图像传感器的感光面与物镜的镜平面平行。

一实施例中，所述第一图像采集通道的光轴与所述待测物的检测区域表面法线之间具有第一锐角夹角；所述第二图像采集通的光轴与所述待测物的检测区域表面法线之间具有第二锐角夹角，所述第一锐角夹角大于所述第二锐角夹角。

一实施例中，所述图像获取模块包括至少两个图像采集通道；所述图像获取模块还包括一个第三图像采集通道；

所述第一图像采集通道的光轴与所述待测物的检测区域表面法线之间具有第一锐角夹角；

所述第三图像采集通道的光轴与所述待测物的检测区域表面法线之间具有第三锐角夹角，所述第三锐角夹角与所述第一锐角夹角相同；

所述第三图像采集通道的物镜的镜平面和图像传感器的感光面平行或具有锐角夹角。

一实施例中，所述图像获取模块包括的每个图像采集通道的光轴位于同一平面，各图像采集通道的光轴所在平面为通道平面，所述通道平面与所述检测光的入射面垂直或者同面。

一实施例中，所述图像获取模块包括的每个图像采集通道的视场区均覆盖所述待测物的检测区域中预设的同一点。

依据上述实施例的一种检测装置，包括光源模块、图像获取模块和载物台，载物台用于承载待测物，光源模块用于向待测物的检测区域提供检测光，图像获取模块用于获取检测区域的图像。其中，图像获取模块包括至少一个图像采集通道，每个图像采集通道包括图像传感器和物镜，在图像获取模块包括的至少一个图像采集通道中，包括一个第一图像采集通道，其物镜的镜平面与图像传感器的感光面所在平面相交于同一条直线。由于在图像获取模块中，有一个图像采集通道的取景通道满足沙姆定律，使得待测物的检测区域在图像采集通道的景深内，进而提高检测图像的清晰度，以提高检测效果。

一实施例中，由于通过多个图像采集通道同时采集同一检测区域的图像，使得检测更准确。

进一步，通过矩形光斑对待测物进行扫描，能够提高检测速度；所述图像传感器为时间延迟积分传感器，时间延迟积分传感器通过多张具有时间延迟的图像的积分获取最终的检测图像，从而能够提高检测图像的对比度；时间延迟积分传感器为二维传感器，所述第一图像采集通道的物镜的镜平面与图像传感器的感光面所在平面相交的直线平行于所述矩形光斑的长边方向，能够使检测区域在垂直所述线形光斑的延伸方向上符合沙姆定律，从而能够使传感器在沿垂直所述直线方向上所形成的图像的对比度均提高，从而使图像积分后的检测图像对比度成倍提高。

附图说明

图1为一种实施例中检测装置的结构示意图；

图2为一种实施例中光源模块的结构示意图；

图3为一种实施例中图像获取模块的结构示意图；

图4为另一种实施例中检测装置的结构示意图。

具体实施方式

下面通过具体实施方式结合附图对本申请作进一步详细说明。其中不同实施方式中类似元件采用了相关联的类似的元件标号。在以下的实施方式中，很多细节描述是为了使得本申请能被更好的理解。然而，本领域技术人员可以毫不费力的认识到，其中部分特征在不同情况下是可以省略的，或者可以由其他元件、材料、方法所替代。在某些情况下，本申请相关的一些操作并没有在说明书中显示或者描述，这是为了避免本申请的核心部分被过多的描述所淹没，而对于本领域技术人员而言，详细描述这些相关操作并不是必要的，他们根据说明书中的描述以及本领域的一般技术知识即可完整了解相关操作。

另外，说明书中所描述的特点、操作或者特征可以以任意适当的方式结合形成各种实施方式。同时，方法描述中的各步骤或者动作也可以按照本领域技术人员所能显而易见的方式进行顺序调换或调整。因此，说明书和附图中的各种顺序只是为了清楚描述某一个实施例，并不意味着是必须的顺序，除非另有说明其中某个顺序是必须遵循的。

本文中为部件所编序号本身，例如“第一”、“第二”等，仅用于区分所描述的对象，不具有任何顺序或技术含义。而本申请所说“连接”、“联接”，如无特别说明，均包括直接和间接连接(联接)。

在芯片制备前或制备过程中需要对晶圆表面缺陷进行检测，晶圆表面缺陷检测是指检测晶圆表面是否存在凹槽、颗粒、划痕等缺陷及缺陷的位置。现阶段，晶圆表面缺陷检测常用的技术是光学检测技术，其具有检测速度快、无污染等优点。但是现有的光学检测技术存在的主要缺点是检测速度相对较慢，耗时较长。暗场扫描是晶圆表面缺陷检测的重要方法，依据不同缺陷在不同入射角的光束照射下的图像不同，都是通过斜入射和正入射两种入射方式对晶圆表面进行缺陷检测，一般采用非成像式点扫描方式，实现缺陷的暗场检测，但是点扫描检测速度较慢。速度慢的组要原因是图像采集通道的光轴与晶圆的检测区域所在平面不垂直，从而难以保证待检测晶圆的检测区域都处于图像传感器的视场景深范围内。

在本申请实施例中，通过至少一个图像采集通道采集检测区域的图像，其中有一个图像采集通道的取景通道满足沙姆定律，使得待测物的检测区域在该图像采集通道的景深内，使得图像清晰度得到提高，进而提高检测效果。

实施例一：

请参考图1，为一种实施例中检测装置的结构示意图，检测装置包括光源模块1、图像获取模块2和载物台3。载物台3用于承载待测物，光源模块1用于向待测物4的检测区域41提供检测光。图像获取模块2用于获取待测物4的检测区域41的图像。图像获取模块2包括至少一个图像采集通道，每个图像采集通道包括图像传感器和物镜。物镜用于将待测物4的检测区域41成像在图像传感器的感光面上，以用于图像传感器获取待测物4的检测区域41的图像。其中，在图像获取模块2包括的至少一个图像采集通道中，包括一个第一图像采集通道21。第一图像采集通道21的物镜212的镜平面213与图像传感器211的感光面214所在平面相交于同一条直线L。其中，物镜212的镜平面213为过物镜212中心点且垂直于光轴的平面。一实施例中，图像采集通道的图像传感器为二维图像传感器。具体的，图像采集通道的图像传感器为时间延迟积分传感器，镜平面与图像传感器的感光面所在平面相交的直线平行于线形光斑的延伸方向。所述时间延迟积分传感器的积分方向垂直于所述镜平面213与图像传感器211的感光面214所在平面相交的直线L。在本实施例中，图像获取模块2还可以包括多个图像采集通道的物镜212的镜平面213与图像传感器211的感光面214所在平面相交于同一条直线。

一实施例中，载物台3包括承载装置，该承载装置用于承载待测物4，并使待测物4的检测区域所在平面215、物镜的镜平面213和第一图像采集通道21的图像传感器211的感光面214所在平面相交于同一条直线L。

一实施例中，图像获取模块包括至少两个图像采集通道，还包括一个第二图像采集通道22，第二图像采集通道22的图像传感器的感光面与物镜的镜平面平行。在其它实施例中，检测装置可以仅包括一个图像采集通道，即只包括第一图像采集通道。

请参考图2，为一种实施例中光源模块的结构示意图，光源模块1用于输出照射到待测物4的检测区域41的检测光，包括检测光源11、第一入射组件12和第二入射组件13。第一入射组件12用于使检测光源11的光线形成检测光，并使检测光垂直入射至待测物4的检测区域41，第二入射组件13用于使检测光源11的光线形成检测光，并使检测光斜入射待测物4的检测区域41。一实施例中，检测光源11通过第一入射组件12和/或第二入射组件13在待测物4的检测区域41上形成线形光斑。一实施例中，第一图像采集通道21的物镜的镜平面213与图像传感器的感光面214所在平面相交的直线平行于线形光斑的延伸方向。

一实施例中，检测光源11通过第一入射组件和/或第二入射组件在待测物4的检测区域41上形成矩形光斑，具体的，矩形光斑为线形光斑或正方形光斑。一实施例中，图像采集通道的图像传感器为时间延迟积分传感器，时间延迟积分传感器的积分方向垂直于所述镜平面213与图像传感器211的感光面214所在平面相交的直线L。本实施例中，由于通过矩形光斑对待测物进行扫描，能够提高检测速度，图像传感器为时间延迟积分传感器，时间延迟积分传感器通过多张具有时间延迟的图像的积分获取最终的检测图像，从而能够提高检测图像的对比度。时间延迟积分传感器为二维传感器，由于第一图像采集通道的物镜的镜平面与图像传感器的感光面所在平面相交的直线平行于矩形光斑的长边方向，能够使检测区域在垂直矩形光斑的延伸方向上符合沙姆定律，从而能够使传感器在沿矩形光斑的垂直方向上所形成的图像的对比度均提高，从而使图像积分后的检测图像对比度成倍提高。其中，第一图像采集通道的物镜的镜平面与图像传感器的感光面所在平面相交的直线平行于线形光斑的延伸方向指的是垂直于线形光斑的长边方向。当矩形光斑为正方形光斑时，长边指正方形光斑的任意一条边。一实施例中，图像传感器包括多行多列像素，具体的，包括1048×1048个像素，1048×532个像素。

一实施例中，光源模块1还包括光路切换组件14，光路切换组件14用于使检测光源11的光线传播至第一入射组件12或第二入射组件13。一实施例中，检测光源11包括第一光源和第二光源，第一入射组件用于将第一光源的光线垂直入射至待测物的检测区域，第二入射组件用于将第二光源的光线斜入射至待测物的检测区域。

请参考图3，为一种实施例中图像获取模块的结构示意图，图像获取模块包括多个图像采集通道，一实施例中，检测图像获取模块包括第一图像采集通道21、第二图像采集通道22、第三图像采集通道23、第四图像采集通道24和第五图像采集通道25。其中，第一图像采集通道21的物镜212的镜平面213、图像传感器211的感光面214和待测物4的检测区域41的所在平面215相交于同一条直线L，第一图像采集通道21的满足沙姆定律，让待测物4的检测区域41在第一图像采集通道21的景深内。一实施例中，第一图像采集通道21、第二图像采集通道22、第三图像采集通道23、第四图像采集通道24和第五图像采集通道25的图像采集的对焦点为待测物4的检测区域41的中心点。一实施例中，第一图像采集通道21的光轴216与待测物4的检测区域41表面法线210之间具有第一锐角夹角α。第二图像采集通22的光轴217与待测物4的检测区域41表面法线之间具有第二锐角夹角β，第一锐角夹角α大于第二锐角夹角β。由于第一图像采集通道21满足沙姆定律，所以第一锐角夹角α可以大于第二锐角夹角β，则第一图像采集通道21和第二图像采集通道22在空间位置上不会相互遮挡和影响，因此图像获取模块可以设置多个图像采集通道，并且这些图像采集通道可以同时进行检测图像采集，且互不影响。在其他实施例中，所述第二图像采集通道22的物镜的镜平面与图像传感器的感光面所在平面相交于同一直线。

一实施例中，图像获取模块的第三图像采集通道23的光轴218与待测物4的检测区域41表面法线210之间具有第三锐角夹角γ，第三锐角夹角γ与第一锐角夹角α相同，其中，第三图像采集通道23的物镜的镜平面和图像传感器的感光面平行或具有锐角夹角。由于第一图像采集通道21和第三图像采集通道23的光轴与待测物4的检测区域41表面法线210之间的夹角相同，则可以在相同的角度下获取监测区域不同的图像，即获取不同景深条件下的监测区域图像，使检测更准确和可靠。一实施例中，图像获取模块包括的每个图像采集通道的视场区均覆盖待测物4的检测区域41中预设的同一点。在其它实施例中，第三图像采集通道23的物镜的镜平面与图像传感器的感光面所在平面相交于同一直线。具体的，在本实施例中，图像获取模块包括的每个图像采集通道的视场区的中心均重叠。

本申请公开了一种检测装置，包括光源模块、图像获取模块和载物台，载物台用于承载待测物，光源模块用于向待测物的检测区域提供检测光，图像获取模块用于获取检测区域的图像。其中，图像获取模块包括至少一个图像采集通道，每个图像采集通道包括图像传感器和物镜，在图像获取模块包括的至少一个图像采集通道中，包括一个第一图像采集通道，其物镜的镜平面与图像传感器的感光面所在平面相交于同一条直线。又由于在图像获取模块中，有一个图像采集通道的取景通道满足沙姆定律，使得待测物的检测区域在图像采集通道的景深内，进而提高图像清晰度，以提高检测效果。

当图像采集通道的图像传感器的感光面和物镜的镜平面平行时，处于图像采集通道的景深范围内的区域为母线平行于图像采集通道的柱形区域，则处于图像采集通道内的检测区域的宽度差为h/sinα，h为第一图像采集通道的景深，α为图像采集通道的光轴与检测区域法线的夹角。则α越大，处于图像采集通道内的检测区域的宽度越小。当第一锐角夹角较大，图像采集通道的图像传感器的感光面、物镜的镜平面以及检测区域所在平面相较于同一直线时，处于景深范围的区域为以所述同一直线为交线，以检测区域所在平面为角平分面的两个平面之间的区域，从而能够使得检测区域均处于景深范围内。因此，使第一图像采集通道的物镜的镜平面与图像传感器的感光面所在平面相交于同一条直线，能够在节约空间及设备成本的前提下有效提高检测精度。以实施例中，第一锐角夹角为55°至85°，第二锐角夹角为10°至40°。具体的，第一锐角夹角为15°、20°、25°或30°，第二锐角夹角为60°或75°。

实施例二：

请参考图4，为另一种实施例中检测装置的结构示意图，检测装置的图像获取模块包括第一图像采集通道21、第二图像采集通道22、第四图像采集通道24和第五图像采集通道25，光源模块包括检测光源11和第二入射组件13，第二入射组件13用于使检测光源11的光线形成检测光并斜入射待测物4的检测区域41。在本实施例中，所述光源模块还可以包括第一入射组件，第一入射组件使检测光入射垂直入射至待测物表面。

一实施例中，图像获取模块包括的每个图像采集通道的光轴位于同一平面，各图像采集通道的光轴所在平面为通道平面。一实施例中，通道平面与检测光源的光线的入射面同面，即第一图像采集通道21的光轴216、第二图像采集通道22的光轴217、第四图像采集通道24的光轴218和第五图像采集通道25的光轴219都位于同一通道平面，该通道平面与检测光的入射面同面。在其它实施例中，图像获取模块包括的每个图像采集通道的光轴位于同一通道平面，且该通道平面与检测光源的光线的入射面垂直，即第一图像采集通道21的光轴216、第二图像采集通道22的光轴217、第四图像采集通道24的光轴218和第五图像采集通道25的光轴219都位于同一通道平面，且该通道平面与检测光的入射面垂直。如图4所示，当各图像采集通道的光轴所在通道平面与检测光的入射面垂直时，第一图像采集通道21、第二图像采集通道22、第四图像采集通道24和第五图像采集通道25能够获取不同景深条件下的监测区域图像，使检测更准确和可靠。

一实施例中，检测装置还包括上位机，上位机用于获取图像获取模块获取的检测区域的图像，以用于依据检测区域的图像对待测物进行质量检测。

在本申请一实施例中，图像获取模块包括多个图像采集通道，使其中一个图像采集通道的物镜的镜平面与图像传感器的感光面所在平面之间具有夹角，且图像采集通道的物镜的镜平面与图像传感器的感光面所在平面及检测区域所在平面相交于同一条直线，使得图像采集通道的取景通道满足沙姆定律，从而使检测区域处于图像采集通道的景深内，提高图像清晰度。在本申请另一实施例中，当图像获取模块包括两个不同倾斜角的图像采集通道时，即两个图像采集通道的光轴与检测区域的表面法线的夹角不同，则使其中倾斜角较大的图像采集通道的物镜的镜平面与图像传感器的感光面所在平面及检测区域所在平面相较交于同一条直线，从而使检测区域处于景深内，提高图像清晰度。在本申请其它实施例中，当图像获取模块包括两个相同倾斜角的图像采集通道时，即两个图像采集通道的光轴与检测区域的表面法线的夹角相同，则使其中一个图像采集通道的物镜的镜平面与图像传感器的感光面所在平面及检测区域所在平面相交于同一条直线。

以上应用了具体个例对本实用新型进行阐述，只是用于帮助理解本申请，并不用以限制本申请。对于本申请所属技术领域的技术人员，依据本申请的思想，还可以做出若干简单推演、变形或替换。

Claims (11)

1.一种检测装置，其特征在于，包括光源模块、图像获取模块和载物台；

所述载物台用于承载待测物；

所述光源模块用于向所述待测物的检测区域提供检测光；

所述图像获取模块用于获取所述待测物的检测区域的图像；所述图像获取模块包括至少一个图像采集通道，每个所述图像采集通道包括图像传感器和物镜；所述物镜用于将所述待测物的检测区域成像在所述图像传感器的感光面上，以用于所述图像传感器获取所述待测物的检测区域的图像；其中，在所述图像获取模块包括的至少一个所述图像采集通道中，包括一个第一图像采集通道；

所述第一图像采集通道的物镜的镜平面与图像传感器的感光面所在平面相交于同一条直线，所述镜平面为过物镜中心点且垂直于光轴的平面。

2.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述光源模块包括检测光源、第一入射组件和第二入射组件；所述第一入射组件用于使所述检测光源的光线形成所述检测光，并使所述检测光垂直入射至所述待测物的检测区域；所述第二入射组件用于使所述检测光源的光线形成所述检测光，并使所述检测光斜入射所述待测物的检测区域。

3.如权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述图像传感器为二维图像传感器；和/或，所述图像传感器为时间延迟积分传感器；所述时间延迟积分传感器的积分方向垂直于所述镜平面与图像传感器的感光面所在平面相交的直线。

4.如权利要求3所述的检测装置，其特征在于，所述检测光源通过所述第一入射组件和/或第二入射组件在所述待测物的检测区域上形成矩形光斑；

所述第一图像采集通道的物镜的镜平面与图像传感器的感光面所在平面相交的直线平行于所述矩形光斑的长边的延伸方向。

5.如权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述光源模块还包括光路切换组件，所述光路切换组件用于使所述检测光源的光线传播至所述第一入射组件或第二入射组件；

或者，所述检测光源包括第一光源和第二光源，所述第一入射组件用于将所述第一光源的光线垂直入射至所述待测物的检测区域，所述第二入射组件用于将所述第二光源的光线斜入射至所述待测物的检测区域。

6.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述载物台包括承载装置，所述承载装置用于承载所述待测物，并使所述待测物的检测区域所在平面、所述第一图像采集通道的物镜的镜平面和所述第一图像采集通道的图像传感器的感光面所在平面相交于同一条所述直线。

7.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述图像获取模块包括至少两个图像采集通道；所述图像获取模块还包括一个第二图像采集通道，所述第二图像采集通道的图像传感器的感光面与物镜的镜平面平行。

8.如权利要求7所述的检测装置，其特征在于，所述第一图像采集通道的光轴与所述待测物的检测区域表面法线之间具有第一锐角夹角；所述第二图像采集通的光轴与所述待测物的检测区域表面法线之间具有第二锐角夹角，所述第一锐角夹角大于所述第二锐角夹角。

9.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述图像获取模块包括至少两个图像采集通道；所述图像获取模块还包括一个第三图像采集通道；

所述第一图像采集通道的光轴与所述待测物的检测区域表面法线之间具有第一锐角夹角；

所述第三图像采集通道的光轴与所述待测物的检测区域表面法线之间具有第三锐角夹角，所述第三锐角夹角与所述第一锐角夹角相同；

所述第三图像采集通道的物镜的镜平面和图像传感器的感光面平行或具有锐角夹角。

10.如权利要求7、8或9任意一项所述的检测装置，其特征在于，所述图像获取模块包括的每个图像采集通道的光轴位于同一平面，各图像采集通道的光轴所在平面为通道平面，所述通道平面与所述检测光的入射面垂直或者同面。

11.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述图像获取模块包括的每个图像采集通道的视场区均覆盖所述待测物的检测区域中预设的同一点。

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