CN215478143U - 一种半导体上板收板一体机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种半导体上板收板一体机，包括上板机，其中上板机的一侧有收板机构，另一侧有可旋转的推杆转动机构；收板机构与推杆转动机构相对设置；上板机上还设置有第一活动通槽和第二活动通槽；上板机内设置有供料框放置的升降平台和驱动升降平台升降的升降机构，料框内可放置多层半导体板；收板机构包括传送组件和推动半导体板朝料框移动的推板推送组件；推板推送组件可在两条传送组件之间移动；推杆转动机构推动料框内的半导体板朝收板机构移动。通过收板机构正常收板，使用方便，在需要上板时将推杆转动机构展开，正常上板，不用时将推杆转动机构收起，节省空间，不仅省时省力，也加快了上板和收板的工作效率。

Description

一种半导体上板收板一体机

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，更具体地说，涉及一种半导体上板收板一体机。

背景技术

半导体在生活中的应用十分广泛，其中，半导体被广泛用来制成半导体器件，半导体器件是导电性介于良导电体与绝缘体之间，利用半导体材料特殊电特性来完成特定功能的电子器件，可用来产生、控制、接收、变换、放大信号和进行能量转换。

在半导体加工的过程中，需要对半导体进行上板和收板的加工。而现有的上板和收板大多采用两台仪器设置，将上板和收板分开进行，不仅占用面积大，还需要人工在两台设备之间来回操作，费时费力。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种半导体上板收板一体机。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种半导体上板收板一体机，包括上板机，其中所述上板机的一侧固定设置有收板机构，另一侧设置有可旋转的推杆转动机构；所述收板机构与所述推杆转动机构相对设置；所述上板机上还设置有与所述收板机构配合的第一活动通槽和与所述推杆转动机构配合的第二活动通槽；所述上板机内设置有供料框放置的升降平台和驱动所述升降平台升降的升降机构；所述料框内可放置多层半导体板；所述升降平台包括底板；所述底板上设置有固定所述料框的稳固装置；所述收板机构包括两条带动所述半导体板移动的传送组件和推动所述半导体板朝所述料框移动的推板推送组件；所述推板推送组件可在两条所述传送组件之间移动；所述推杆转动机构推动所述料框内的半导体板朝所述收板机构移动；

本实用新型所述的半导体上板收板一体机，其中，所述稳固装置包括固定于所述底板上的第一限位柱和用于调节所述料框宽度的宽度调节组件；所述第一限位柱与所述宽度调节组件平行设置；

本实用新型所述的半导体上板收板一体机，其中，所述宽度调节组件包括设置于所述底板上一个或多个长形凹槽和第二限位柱；所述第二限位柱上固定设置有与所述长形凹槽配合的调节螺纹杆；所述长形凹槽的底部配合有螺母；所述调节螺纹杆贯穿所述长形凹槽与所述螺母螺纹连接；

本实用新型所述的半导体上板收板一体机，其中，所述第一限位柱上固定设置有料框固定块；

本实用新型所述的半导体上板收板一体机，其中，所述料框固定块与所述料框接触的一面为四翼梯形；

本实用新型所述的半导体上板收板一体机，其中，所述推板推送组件包括支架、滑轨、安装于所述滑轨上的推板组件和驱动所述推板组件沿所述滑轨移动的驱动机构；所述滑轨的一端还固定设置有与所述推板组件配合的顶杆固定组件；所述顶杆固定组件与所述第一活动通槽相对设置；所述推板组件包括滑块和可转动的安装于所述滑块上的第一推杆；所述第一推杆的一端朝向所述料框，另一端固定连接有夹片和与滑块连接的复位组件；所述第一推杆为带有夹角的弓形件；所述夹片的两端翘起；所述顶杆固定组件上设置有与所述夹片配合的第一滚轮；

本实用新型所述的半导体上板收板一体机，其中，所述推杆转动机构包括固设于上板机的外侧表面上的第一安装板；所述第一安装板的上方设有第二安装板；所述第二安装板和所述第一安装板通过纵向的转轴转动连接；所述第二安装板固定设置有安装柱；所述安装柱转动设置有第二滚轮；所述第二滚轮设于所述第一安装板和所述第二安装板之间；所述第二滚轮与所述第一安装板的上表面接触；所述第二安装板上设有用于推动半导体板的第二推杆；所述第二推杆水平设置；

本实用新型所述的半导体上板收板一体机，其中，所述推杆转动机构还包括用于在所述第二推杆正对所述第二活动通槽时，锁定所述第二安装板的锁定组件；

本实用新型所述的半导体上板收板一体机，其中，所述安装柱在所述第二安装板上设有多个，多个所述安装柱环绕所述转轴设置。

本实用新型的有益效果在于：本实用新型通过在上板机的一侧设置有收板机构，另一侧相对设置有可旋转的推杆转动机构；不仅可以将两台设备的功能在一台设备上得以实现，通过收板机构正常收板，使用方便，也可以在需要上板时将推杆转动机构展开正常上板，不用时将推杆转动机构收起，节省空间，减轻对人员通行的阻碍；不仅省时省力，也加快了上板和收板的工作效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的部分实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图：

图1是本实用新型较佳实施例的一种半导体上板收板一体机的结构示意图；

图2是本实用新型较佳实施例的升降平台的结构示意图；

图3是本实用新型较佳实施例的推板推送组件的结构示意图一；

图4是本实用新型较佳实施例的推板推送组件的结构示意图二；

图5是本实用新型较佳实施例的推杆转动机构的结构示意图；

附图标记如下：

100-上板机；101-第一活动通槽；102-第二活动通槽；103-升降平台；

104-升降机构；105-料框；106-底板；107-第一限位柱；

108-宽度调节组件；109-第二限位柱；110-长条凹槽；111-料框固定块；

200-收板机构；201-传送组件；202-推板推送组件；203-支架；204-滑轨；

205-推板组件；206-驱动机构；207-顶杆固定组件；208-第一推杆；

209-夹片；210-滑块；211-第一滚轮；300-推杆转动机构；

301-第一安装板；302-第二安装板；303-转轴；304-安装柱；

305-第二滚轮；306-第二推杆；307-锁定组件；308-锁定轴；309-锁柄；310-锁定码板；311-锁定槽；312-锁定孔。

具体实施方式

为了使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本实用新型的部分实施例，而不是全部实施例。基于本实用新型的实施例，本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型的保护范围。

本实用新型较佳实施例的一种半导体上板收板一体机，如图1-4所示，包括上板机100，其中上板机100的一侧固定设置有收板机构200，另一侧设置有可旋转的推杆转动机构300；收板机构200与推杆转动机构300相对设置；上板机100上还设置有与收板机构200配合的第一活动通槽101和与推杆转动机构300配合的第二活动通槽102；上板机100内设置有供料框105放置的升降平台103和驱动升降平台103升降的升降机构104，料框105内可放置多层半导体板；升降平台103包括底板106；底板106上设置有固定料框105的稳固装置；收板机构200包括两条带动半导体板移动的传送组件201和推动半导体板朝料框105移动的推板推送组件202；推板推送组件202可在两条传送组件201之间移动；推杆转动机构300推动料框105内的半导体板朝收板机构200移动，需要说明的是升降机构、传送组件均为现有技术，再次不做过多论述。

本实用新型通过在上板机的一侧设置有收板机构，另一侧相对设置有可旋转的推杆转动机构；不仅可以将两台设备的功能在一台设备上得以实现，通过收板机构正常收板，使用方便，也可以在需要上板时将推杆转动机构展开正常上板，不用时将推杆转动机构收起，节省空间，减轻对人员通行的阻碍；不仅省时省力，也加快了上板和收板的工作效率。

如图2所示，稳固装置包括固定于底板106上的第一限位柱107和用于调节料框105宽度的宽度调节组件108；第一限位柱107与宽度调节组件108平行设置；可以放置不同尺寸的料框，通用性强。

如图2所示，宽度调节组件108包括设置于底板106上一个或多个长形凹槽110和第二限位柱109；第二限位柱109上固定设置有与长形凹槽110配合的调节螺纹杆(图中未示)；长形凹槽110的底部配合有螺母(图中未示)；调节螺纹杆(图中未示)贯穿长形凹槽110与螺母(图中未示)螺纹连接。

如图2所示，第一限位柱107上固定设置有料框固定块111；料框固定块111与料框105接触的一面为四翼梯形；方便放半导体板。

如图3-4所示，推板推送组件202包括支架203、滑轨204、安装于滑轨204上的推板组件205和驱动推板组件205沿滑轨204移动的驱动机构206；滑轨204的一端还固定设置有与推板组件205配合的顶杆固定组件207；顶杆固定组件207与第一活动通槽101相对设置；推板组件205包括滑块210和可转动的安装于滑块210上的第一推杆208；第一推杆208的一端朝向料框105，另一端固定连接有夹片209和与滑块210连接的复位组件(图中未示)；复位组件可以是复位弹簧；第一推杆208为带有夹角的弓形件；夹片209的两端翘起，中部形成凹槽；顶杆固定组件207上设置有与夹片209配合的第一滚轮211；复位组件非自由状态时，所述第一推杆朝向所述料框的一端的高度低于所述传送组件的高度；复位组件自由状态时，所述第一推杆朝向所述料框的一端的高度与所述传送组件放置所述半导体的高度一致。

往料框中传送半导体板时，推板组件往顶杆固定组件移动，夹片翘起的一端被第一滚轮顶起，此时夹片的另一端带动第一推杆下压，复位弹簧被动压缩；半导体板被传送组件传送到第一活动通槽时，推板组件往第一活动通槽移动，夹片离开第一滚轮，复位弹簧依靠自身弹力使第一推杆复位，第一推杆推动半导体进入料框中完成收板。

如图5所示，推杆转动机构300包括固设于上板机100的外侧表面上的第一安装板301；第一安装板301的上方设有第二安装板302；第二安装板302和第一安装板301通过纵向的转轴303转动连接；第二安装板上302固定设置有安装柱304；安装柱304上转动设置有第二滚轮305；第二滚轮305设于第一安装板301和第二安装板302之间；第二滚轮305与第一安装板301的上表面接触；第二安装板302上设有用于推动半导体板的第二推杆306；第二推杆306水平设置；推杆转动机构300还包括用于在第二推杆306正对第二活动通槽102时，锁定第二安装板302的锁定组件307。

水平推动第二安装板，第二安装板绕着转轴水平转动，当推杆转至正对第二活动通槽时，就可经第二活动通槽水平推动半导体板；推动第二安装板时，第二滚轮便在第一安装板的上表面滚动，滚轮和安装柱的设置，起到了支撑第二安装板的作用，不仅便于第二安装板的转动，而且还降低了摩擦。

如图5所示，安装柱304在第二安装板302上设有多个，多个安装柱304环绕转轴303设置；使第二安装板的支撑效果好，第二安装板转动时更加稳定。

如图5所示，锁定组件307包括纵向贯穿第一安装板301的锁定轴308、固设于锁定轴308下端的横向的锁柄309和与锁柄309配合的锁定码板310；锁定码板310固设于第一安装板301的下表面；锁定码板310朝向锁柄309的侧面开有贯穿锁定码板310的锁定槽311；锁定槽为C形或者L形；锁柄309一端与锁定轴308固定连接，一端经锁定槽311贯穿连接锁定码板310；第二安装板302的下表面开有与锁定轴308配合的锁定孔312；锁定孔312在第二推杆306正对第二活动通槽102时，正对锁定轴308。

在推杆转至正对第二活动通槽时，利用锁定组件将第二安装板锁定，第二推杆也随之固定，防止因第二推杆发生移位导致无法推料或者推料效果不佳，不需要使用第二推杆推动半导体板时，将锁定组件打开，推动第二安装板，直至第二推杆处于与侧板平行的状态，操作简单。

应当理解的是，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，而所有这些改进和变换都应属于本实用新型所附权利要求的保护范围。

Claims (9)

1.一种半导体上板收板一体机，包括上板机，其特征在于：所述上板机的一侧固定设置有收板机构，另一侧设置有可旋转的推杆转动机构；所述收板机构与所述推杆转动机构相对设置；所述上板机上还设置有与所述收板机构配合的第一活动通槽和与所述推杆转动机构配合的第二活动通槽；所述上板机内设置有供料框放置的升降平台和驱动所述升降平台升降的升降机构；所述料框内可放置多层半导体板；所述升降平台包括底板；所述底板上设置有固定所述料框的稳固装置；所述收板机构包括两条带动所述半导体板移动的传送组件和推动所述半导体板朝所述料框移动的推板推送组件；所述推板推送组件可在两条所述传送组件之间移动；所述推杆转动机构推动所述料框内的半导体板朝所述收板机构移动。

2.根据权利要求1所述的半导体上板收板一体机，其特征在于，所述稳固装置包括固定于所述底板上的第一限位柱和用于调节所述料框宽度的宽度调节组件；所述第一限位柱与所述宽度调节组件平行设置。

3.根据权利要求2所述的半导体上板收板一体机，其特征在于，所述宽度调节组件包括设置于所述底板上一个或多个长形凹槽和第二限位柱；所述第二限位柱上固定设置有与所述长形凹槽配合的调节螺纹杆；所述长形凹槽的底部配合有螺母；所述调节螺纹杆贯穿所述长形凹槽与所述螺母螺纹连接。

4.根据权利要求3所述的半导体上板收板一体机，其特征在于，所述第一限位柱上固定设置有料框固定块。

5.根据权利要求4所述的半导体上板收板一体机，其特征在于，所述料框固定块与所述料框接触的一面为四翼梯形。

6.根据权利要求5所述的半导体上板收板一体机，其特征在于，所述推板推送组件包括支架、滑轨、安装于所述滑轨上的推板组件和驱动所述推板组件沿所述滑轨移动的驱动机构；所述滑轨的一端还固定设置有与所述推板组件配合的顶杆固定组件；所述顶杆固定组件与所述第一活动通槽相对设置；所述推板组件包括滑块和可转动的安装于所述滑块上的第一推杆；所述第一推杆的一端朝向所述料框，另一端固定连接有夹片和与滑块连接的复位组件；所述第一推杆为带有夹角的弓形件；所述夹片的两端翘起；所述顶杆固定组件上设置有与所述夹片配合的第一滚轮。

7.根据权利要求1所述的半导体上板收板一体机，其特征在于，所述推杆转动机构包括固设于上板机的外侧表面上的第一安装板；所述第一安装板的上方设有第二安装板；所述第二安装板和所述第一安装板通过纵向的转轴转动连接；所述第二安装板固定设置有安装柱；所述安装柱转动设置有第二滚轮；所述第二滚轮设于所述第一安装板和所述第二安装板之间；所述第二滚轮与所述第一安装板的上表面接触；所述第二安装板上设有用于推动半导体板的第二推杆；所述第二推杆水平设置。

8.根据权利要求7所述的半导体上板收板一体机，其特征在于，所述推杆转动机构还包括用于在所述第二推杆正对所述第二活动通槽时，锁定所述第二安装板的锁定组件。

9.根据权利要求8所述的半导体上板收板一体机，其特征在于，所述安装柱在所述第二安装板上设有多个，多个所述安装柱环绕所述转轴设置。

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