CN215222040U - 一种双模式微小型直线超声电机 - Google Patents
一种双模式微小型直线超声电机 Download PDFInfo
- Publication number
- CN215222040U CN215222040U CN202120849419.XU CN202120849419U CN215222040U CN 215222040 U CN215222040 U CN 215222040U CN 202120849419 U CN202120849419 U CN 202120849419U CN 215222040 U CN215222040 U CN 215222040U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- bending
- elastic body
- hollow elastic
- mode
- piezoelectric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims abstract description 94
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims abstract description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 8
- 230000005284 excitation Effects 0.000 abstract description 3
- 230000009471 action Effects 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 4
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 2
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
本实用新型涉及一种双模式微小型直线超声电机，双模式微小型直线超声电机包括定子、从动件和被驱元件，其中从动件以自适应预紧的方式安装在定子的圆形中空壁上，被驱元件固定连接在从动件的内壁。一种双模式微小型直线超声电机的驱动方法是：通过控制定子上的纵向夹紧压电片组和弯曲驱动压电片组的激励方式，实现该装置的超声非共振和超声共振两种工作模式。优点在于：本装置结构紧凑、运动精度高、成本低，可用于在有限应用空间的精密驱动；利用对应的驱动方法，提供了两种工作模式，可以更好地满足多工况的需求，在手机、微飞行器、微潜水器等微型设备内置摄像驱动方向有着广阔的应用前景。
Description
技术领域
本实用新型涉及精密驱动技术领域，特别涉及一种双模式微小型直线超声电机，其提供准静态和超声两种工作模式，可用于手机、微飞行器、微潜水器等微型设备内作为摄像驱动，来实现相机的大倍率变焦、快速自动对焦等功能。
背景技术
超声电机作为一种拥有精度高、体积小、响应快、不受电磁干扰、无噪声、输出速度快、输出推力/转矩大等特点的精密驱动装置，在光学与精密仪器、航空航天工程、生物细胞工程等领域起到了至关重要的作用。因为上述优点，其在微小型精密设备内置相机的光学变焦上具有广阔的应用前景，然而现有的超声电机不能有效地作为手机等微小型精密设备中作为摄像驱动，例如类似申请号为01127037.3的专利中提到的薄型行波超声电机，虽然结构简单、厚度薄等优点，然而旋转超声电机的输出为力矩，不适用一些需要直线定位或驱动的应用场合，无法实现相机的光学变焦。而类似于《IEEE Transactions on IndustrialElectronics》在2021年第68卷734页中(A Compact Cantilever-Type Ultrasonic MotorWith Nanometer Resolution Design and Performance Evaluation)提到的一种直线超声电机，虽然输出性能优异，但是尺寸问题限制了其在微小设备内的应用。另外，其他的微型直线超声电机，大都存在着从动件难以与例如摄像镜头等被驱元件有效连接在一起的问题，也使得直线超声电机难以集成到微型设备中。此外，现有的微型直线超声电机大多仅工作在共振工作模式之下，单工作模式也降低了其应用的适应性和灵活性。这些问题极大地限制了微型超声电机的实际应用拓展。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种双模式微小型直线超声电机，解决了现有技术存在的上述问题，可以和微摄像镜头等小型被驱元件有效地集成在一起，并且利用其驱动方法，可以切换超声非共振和超声共振两种工作模式，在光学与精密仪器、微机器人、生物与细胞工程等领域具有潜在的应用前景。
本实用新型的上述目的通过以下技术方案实现：
一种双模式微小型直线超声电机，由定子1、从动件2和被驱元件3组成；所述的从动件2成开口环状，具有一定的弹性，其外壁与定子1中的中空弹性体1-3接触，且以自适应预紧的方式内置于中空弹性体1-3中；被驱元件3与中空弹性体1-3的内壁固定连接在一起。
所述的定子包括纵向夹紧压电片组1-1、弯曲驱动压电片组1-2和中空弹性体1-3。
所述的中空弹性体1-3包括薄壁端a1-3-1-1、薄壁端b1-3-1-2、厚壁端a1-3-2-1、厚壁端b1-3-2-2、安装孔a1-3-3-1、安装孔b1-3-3-2、安装孔c1-3-3-3和安装孔d1-3-3-4；所述的中空弹性体1-3采用外部矩形、内部圆形中空状的布置。
所述的纵向夹紧压电片组1-1由夹紧压电片a1-1-1和夹紧压电片b1-1-2组成；所述的夹紧压电片a1-1-1和夹紧压电片b1-1-2沿宽度方向y向以对称分布的方式粘结于中空弹性体1-3的两端；所述的纵向夹紧压电片组1-1用于激励中空弹性体1-3的纵向运动以夹持从动件2。
所述的弯曲驱动压电片组1-2由弯曲压电片a1-2-1、弯曲压电片b1-2-2、弯曲压电片c1-2-3、弯曲压电片d1-2-4组成；所述的弯曲压电片a1-2-1和弯曲压电片b1-2-2沿厚度方向z向以对称分布的方式粘结于中空弹性体1-3中的厚壁端a1-3-2-1的上下两面；所述的弯曲压电片c1-2-3和弯曲压电片d1-2-4沿厚度方向z向以对称分布的方式粘结于中空弹性体1-3中的厚壁端b1-3-2-2的上下两面；所述的弯曲驱动压电片组1-2用于激励中空弹性体1-3的弯曲运动以驱动从动件2。
本实用新型提供的一种双模式微小型直线超声电机，其驱动方法如下：
通过调控纵向夹紧压电片组1-1和弯曲驱动压电片组1-2的激励信号，可以令一种双模式微小型直线超声电机实现超声非共振以及超声共振两种工作模式；超声非共振工作模式的驱动方法包括以下步骤：
a)给纵向夹紧压电片组1-1和弯曲驱动压电片组1-2同时施加频率超过20KHz，但不在中空弹性体1-3固有频率上的正弦信号，其中纵向夹紧压电片组1-1比弯曲驱动压电片组1-2的信号相位超前π/2，使得夹紧压电片a1-1-1和夹紧压电片b1-1-2沿宽度方向y向上缩短，从而使中空弹性体1-3的厚壁端a1-3-2-1和厚壁端b1-3-2-2夹紧从动件2；在夹紧的同时，弯曲压电片a1-2-1和弯曲压电片c1-2-3沿宽度方向y向上伸长，弯曲压电片b1-2-2和弯曲压电片d1-2-4沿宽度方向y向上缩短，从而使中空弹性体1-3的厚壁端a1-3-2-1和厚壁端b1-3-2-2产生向z轴的弯曲，纵向夹紧压电片组1-1和弯曲驱动压电片组1-2配合，使中空弹性体1-3在与从动件2的接触面上产生顺时针的椭圆运动，在摩擦力的作用下，中空弹性体1-3带动从动件2沿z轴正向做直线运动；
b)给纵向夹紧压电片组1-1和弯曲驱动压电片组1-2同时施加频率超过20KHz，但不在中空弹性体1-3固有频率上的正弦信号，其中纵向夹紧压电片组1-1比弯曲驱动压电片组1-2的信号相位滞后π/2，使得夹紧压电片a1-1-1和夹紧压电片b1-1-2沿宽度方向y向上缩短，从而使中空弹性体1-3的厚壁端a1-3-2-1和厚壁端b1-3-2-2夹紧从动件2；在夹紧的同时，弯曲压电片a1-2-1和弯曲压电片c1-2-3沿宽度方向y向上伸长，弯曲压电片b1-2-2和弯曲压电片d1-2-4沿宽度方向y向上缩短，从而使中空弹性体1-3的厚壁端a1-3-2-1和厚壁端b1-3-2-2产生向z轴的弯曲，纵向夹紧压电片组1-1和弯曲驱动压电片组1-2配合，使中空弹性体1-3在与从动件2的接触面上产生逆时针的椭圆运动，在摩擦力的作用下，中空弹性体1-3带动从动件2沿z轴负向做直线运动；
超声共振工作模式包括以下步骤：
c)给纵向夹紧压电片组1-1施加频率超过20KHz，且为中空弹性体1-3的纵向共振频率的正弦信号，以激发中空弹性体1-3的纵向振动模态，使得中空弹性体1-3夹紧从动件2；同时给弯曲驱动压电片组1-2施加频率超过20KHz，且为中空弹性体1-3的弯曲共振频率的正弦信号，以激发中空弹性体1-3的弯曲振动模态；施加给弯曲驱动压电片组1-2的信号比给纵向夹紧压电片组1-1施加的信号的相位超前π/2，纵向夹紧压电片组1-1和弯曲驱动压电片组1-2配合，使中空弹性体1-3在与从动件2的接触面上产生顺时针的椭圆运动，在摩擦力的作用下，中空弹性体1-3带动从动件2沿z轴正向做直线运动；
d)给纵向夹紧压电片组1-1施加频率超过20KHz，且为中空弹性体1-3的纵向共振频率的正弦信号，以激发中空弹性体1-3的纵向振动模态，使得中空弹性体1-3夹紧从动件2；同时给弯曲驱动压电片组1-2施加频率超过20KHz，且为中空弹性体1-3的弯曲共振频率的正弦信号，以激发中空弹性体1-3的弯曲振动模态；施加给弯曲驱动压电片组1-2的信号比给纵向夹紧压电片组1-1施加的信号的相位滞后π/2，纵向夹紧压电片组1-1和弯曲驱动压电片组1-2配合，使中空弹性体1-3在与从动件2的接触面上产生逆时针的椭圆运动，在摩擦力的作用下，中空弹性体1-3带动从动件2沿z轴负向做直线运动。
本实用新型的有益效果在于：通过本实用新型提供的一种双模式微小型直线超声电机，可以实现在应用空间有限的场合对微摄像镜头等被驱元件的精密驱动及定位，可以实现驱动装置与外部设备的有效集成，并且通过调控纵向夹紧压电片组1-1和弯曲驱动压电片组1-2的激励信号，可以令所述的一种双模式微小型直线超声电机实现超声非共振以及超声共振两种工作模式，在精密机械与微小设备等领域有着广阔的应用前景。
附图说明
此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本申请的一部分，本实用新型的示意性实例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。
图1为本实用新型的一种双模式微小型直线超声电机整体结构示意图；
图2为本实用新型的定子结构示意图；
图3为本实用新型的中空弹性体结构示意图；
图4为本实用新型的超声非共振状态的夹紧动作仿真示意图；
图5为本实用新型的超声非共振状态的弯曲动作仿真示意图；
图6为本实用新型的纵向模态振型仿真示意图；
图7为本实用新型的弯曲模态振型仿真示意图；
图中：1、定子；1-1、纵向夹紧压电片组；1-2、弯曲驱动压电片组；1-3、中空弹性体；1-1-1、夹紧压电片a；1-1-2、夹紧压电片b；1-2-1、弯曲压电片a；1-2-2、弯曲压电片b；1-2-3、弯曲压电片c；1-2-4、弯曲压电片d；1-3、中空弹性体；1-3-1-1、薄壁端a；1-3-1-2、薄壁端b；1-3-2-1、厚壁端a；1-3-2-2、厚壁端b；1-3-3-1、安装孔a；1-3-3-2、安装孔b；1-3-3-3、安装孔c；1-3-3-4、安装孔d；2、从动件；3、被驱元件。
具体实施方式
下面结合附图进一步说明本实用新型的详细内容及其具体实施方式。
参见图1至图3所示，本实用新型的一种双模式微小型直线超声电机，由定子1、从动件2和被驱元件3组成；所述的从动件2成开口环状，具有一定的弹性，其外壁与定子1中的中空弹性体1-3接触，且以自适应预紧的方式内置于中空弹性体1-3中；被驱元件3与中空弹性体1-3的内壁固定连接在一起。
所述的定子包括纵向夹紧压电片组1-1、弯曲驱动压电片组1-2和中空弹性体1-3。
所述的中空弹性体1-3包括薄壁端a1-3-1-1、薄壁端b1-3-1-2、厚壁端a1-3-2-1、厚壁端b1-3-2-2、安装孔a1-3-3-1、安装孔b1-3-3-2、安装孔c1-3-3-3和安装孔d1-3-3-4；所述的中空弹性体1-3采用外部矩形、内部圆形中空状的布置。
所述的纵向夹紧压电片组1-1由夹紧压电片a1-1-1和夹紧压电片b1-1-2组成；所述的夹紧压电片a1-1-1和夹紧压电片b1-1-2沿宽度方向y向以对称分布的方式粘结于中空弹性体1-3的两端；所述的纵向夹紧压电片组1-1用于激励中空弹性体1-3的纵向运动以夹持从动件2。
所述的弯曲驱动压电片组1-2由弯曲压电片a1-2-1、弯曲压电片b1-2-2、弯曲压电片c1-2-3、弯曲压电片d1-2-4组成；所述的弯曲压电片a1-2-1和弯曲压电片b1-2-2沿厚度方向z向以对称分布的方式粘结于中空弹性体1-3中的厚壁端a1-3-2-1的上下两面；所述的弯曲压电片c1-2-3和弯曲压电片d1-2-4沿厚度方向z向以对称分布的方式粘结于中空弹性体1-3中的厚壁端b1-3-2-2的上下两面；所述的弯曲驱动压电片组1-2用于激励中空弹性体1-3的弯曲运动以驱动从动件2。
参见图4及图5所示，图4与图5分别是本实用新型的一种双模式微小型直线超声电机的一项有效实例在超声非共振工作模式的夹紧和弯曲变形图，该项实例的结构参数为：l＝19mm，w＝18mm，t＝2mm；在超声非共振工作模式下，一种双模式微小型直线超声电机的驱动方法，包括以下步骤：
a)给纵向夹紧压电片组1-1和弯曲驱动压电片组1-2同时施加频率超过20KHz，但不在中空弹性体1-3固有频率上的正弦信号，其中纵向夹紧压电片组1-1比弯曲驱动压电片组1-2的信号相位超前π/2，使得夹紧压电片a1-1-1和夹紧压电片b1-1-2沿宽度方向y向上缩短，从而使中空弹性体1-3的厚壁端a1-3-2-1和厚壁端b1-3-2-2夹紧从动件2；在夹紧的同时，弯曲压电片a1-2-1和弯曲压电片c1-2-3沿宽度方向y向上伸长，弯曲压电片b1-2-2和弯曲压电片d1-2-4沿宽度方向y向上缩短，从而使中空弹性体1-3的厚壁端a1-3-2-1和厚壁端b1-3-2-2产生向z轴的弯曲，纵向夹紧压电片组1-1和弯曲驱动压电片组1-2配合，使中空弹性体1-3在与从动件2的接触面上产生顺时针的椭圆运动，在摩擦力的作用下，中空弹性体1-3带动从动件2沿z轴正向做直线运动；
b)给纵向夹紧压电片组1-1和弯曲驱动压电片组1-2同时施加频率超过20KHz，但不在中空弹性体1-3固有频率上的正弦信号，其中纵向夹紧压电片组1-1比弯曲驱动压电片组1-2的信号相位滞后π/2，使得夹紧压电片a1-1-1和夹紧压电片b1-1-2沿宽度方向y向上缩短，从而使中空弹性体1-3的厚壁端a1-3-2-1和厚壁端b1-3-2-2夹紧从动件2；在夹紧的同时，弯曲压电片a1-2-1和弯曲压电片c1-2-3沿宽度方向y向上伸长，弯曲压电片b1-2-2和弯曲压电片d1-2-4沿宽度方向y向上缩短，从而使中空弹性体1-3的厚壁端a1-3-2-1和厚壁端b1-3-2-2产生向z轴的弯曲，纵向夹紧压电片组1-1和弯曲驱动压电片组1-2配合，使中空弹性体1-3在与从动件2的接触面上产生逆时针的椭圆运动，在摩擦力的作用下，中空弹性体1-3带动从动件2沿z轴负向做直线运动；
参见图6及图7所示，图6与图7分别是本实用新型的一种双模式微小型直线超声电机的一项有效实例在超声共振工作模式下的纵向和弯曲模态振型图，在超声共振工作模式下，一种双模式微小型直线超声电机的驱动方法，包括以下步骤：
c)给纵向夹紧压电片组1-1施加频率超过20KHz，且为中空弹性体1-3的四阶纵向共振频率的正弦信号，以激发中空弹性体1-3的四阶纵向振动模态，使得中空弹性体1-3的薄壁端a1-3-1-1和薄壁端b1-3-1-2夹紧从动件2；同时给弯曲驱动压电片组1-2施加频率超过20KHz，且为中空弹性体1-3的五阶弯曲共振频率的正弦信号，以激发中空弹性体1-3的五阶弯曲振动模态；施加给弯曲驱动压电片组1-2的信号比给纵向夹紧压电片组1-1施加的信号的相位超前π/2，纵向夹紧压电片组1-1和弯曲驱动压电片组1-2配合，使中空弹性体1-3在与从动件2的接触面上产生顺时针的椭圆运动，在摩擦力的作用下，中空弹性体1-3带动从动件2沿z轴正向做直线运动；
d)给纵向夹紧压电片组1-1施加频率超过20KHz，且为中空弹性体1-3的四阶纵向共振频率的正弦信号，以激发中空弹性体1-3的四阶纵向振动模态，使得中空弹性体1-3的薄壁端a1-3-1-1、和薄壁端b1-3-1-2夹紧从动件2；同时给弯曲驱动压电片组1-2施加频率超过20KHz，且为中空弹性体1-3的五阶弯曲共振频率的正弦信号，以激发中空弹性体1-3的五阶弯曲振动模态；施加给弯曲驱动压电片组1-2的信号比给纵向夹紧压电片组1-1施加的信号的相位滞后π/2，纵向夹紧压电片组1-1和弯曲驱动压电片组1-2配合，使中空弹性体1-3在与从动件2的接触面上产生逆时针的椭圆运动，在摩擦力的作用下，中空弹性体1-3带动从动件2沿z轴负向做直线运动；
以上所述仅为本实用新型的优选实例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡对本实用新型所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种双模式微小型直线超声电机，其特征在于：由定子(1)、从动件(2)和被驱元件(3)组成；所述的从动件(2)成开口环状，具有一定的弹性，其外壁与定子(1)中的中空弹性体(1-3)接触，且以自适应预紧的方式内置于中空弹性体(1-3)中；被驱元件(3)与中空弹性体(1-3)的内壁固定连接在一起。
2.根据权利要求1所述的一种双模式微小型直线超声电机，其特征在于：所述的定子包括纵向夹紧压电片组(1-1)、弯曲驱动压电片组(1-2)和中空弹性体(1-3)。
3.根据权利要求1所述的一种双模式微小型直线超声电机，其特征在于：所述的中空弹性体(1-3)包括薄壁端a(1-3-1-1)、薄壁端b(1-3-1-2)、厚壁端a(1-3-2-1)、厚壁端b(1-3-2-2)、安装孔a(1-3-3-1)、安装孔b(1-3-3-2)、安装孔c(1-3-3-3)和安装孔d(1-3-3-4)；所述的中空弹性体(1-3)采用外部矩形、内部圆形中空的布置。
4.根据权利要求2所述的一种双模式微小型直线超声电机，其特征在于：所述的纵向夹紧压电片组(1-1)由夹紧压电片a(1-1-1)和夹紧压电片b(1-1-2)组成；所述的夹紧压电片a(1-1-1)和夹紧压电片b(1-1-2)沿宽度方向(y向)以对称分布的方式粘结于中空弹性体(1-3)的两端；所述的纵向夹紧压电片组(1-1)用于激励中空弹性体(1-3)的纵向运动以夹持从动件(2)。
5.根据权利要求2所述的一种双模式微小型直线超声电机，其特征在于：所述的弯曲驱动压电片组(1-2)由弯曲压电片a(1-2-1)、弯曲压电片b(1-2-2)、弯曲压电片c(1-2-3)、弯曲压电片d(1-2-4)组成；所述的弯曲压电片a(1-2-1)和弯曲压电片b(1-2-2)沿厚度方向(z向)以对称分布的方式粘结于中空弹性体(1-3)中的厚壁端a(1-3-2-1)的上下两面；所述的弯曲压电片c(1-2-3)和弯曲压电片d(1-2-4)沿厚度方向(z向)以对称分布的方式粘结于中空弹性体(1-3)中的厚壁端b(1-3-2-2)的上下两面；所述的弯曲驱动压电片组(1-2)用于激励中空弹性体(1-3)的弯曲运动以驱动从动件(2)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202120849419.XU CN215222040U (zh) | 2021-04-23 | 2021-04-23 | 一种双模式微小型直线超声电机 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202120849419.XU CN215222040U (zh) | 2021-04-23 | 2021-04-23 | 一种双模式微小型直线超声电机 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN215222040U true CN215222040U (zh) | 2021-12-17 |
Family
ID=79450292
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202120849419.XU Expired - Fee Related CN215222040U (zh) | 2021-04-23 | 2021-04-23 | 一种双模式微小型直线超声电机 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN215222040U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113037130A (zh) * | 2021-04-23 | 2021-06-25 | 吉林大学 | 一种双模式微小型直线超声电机及其驱动方法 |
-
2021
- 2021-04-23 CN CN202120849419.XU patent/CN215222040U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113037130A (zh) * | 2021-04-23 | 2021-06-25 | 吉林大学 | 一种双模式微小型直线超声电机及其驱动方法 |
| CN113037130B (zh) * | 2021-04-23 | 2024-04-19 | 吉林大学 | 一种双模式微小型直线超声电机及其驱动方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA2629948C (en) | A screw thread driving polyhedral ultrasonic motor | |
| US7456549B2 (en) | Electroactive polymer motors | |
| CN201075845Y (zh) | 螺母型超声电机 | |
| CN103023374A (zh) | 惯性式压电直线电机 | |
| EP3553938B1 (en) | Multi-spoke-type ultrasonic motor | |
| EP2216837A1 (en) | Piezoelectric motor | |
| CN215222040U (zh) | 一种双模式微小型直线超声电机 | |
| CN113037130B (zh) | 一种双模式微小型直线超声电机及其驱动方法 | |
| CN111854663A (zh) | 一种压电螺纹驱动式一维定位平台 | |
| CN111846266A (zh) | 一种新型多自由度超声波电动机的无人机相机云台模块结构 | |
| CN113193780A (zh) | 一种微小型两自由度超声电机及其驱动方法 | |
| CN215222041U (zh) | 一种微小型设备用超薄压电超声电机 | |
| CN201398155Y (zh) | 一种直线压电马达 | |
| CN113114065B (zh) | 微小型设备用纵弯模态复合的压电超声电机及其驱动方法 | |
| CN214591205U (zh) | 一种微小型两自由度超声电机 | |
| CN112994517B (zh) | 一种微小型设备用超薄压电超声电机及其驱动方法 | |
| CN105162354B (zh) | 基于超磁致伸缩材料的摇头型微电机 | |
| CN214429470U (zh) | 微小型设备用纵弯模态复合的压电超声电机 | |
| CN113671662A (zh) | 压电驱动的无级变焦镜头模组及驱动方法 | |
| CN108063564B (zh) | 一种新型摩擦式直线压电驱动器 | |
| CN214591206U (zh) | 一种基于压电叠堆驱动的微小型超声电机 | |
| KR100759075B1 (ko) | 압전체를 이용한 선형 액츄에이터 | |
| CN220210271U (zh) | 用于光学成像***的直线型压电振动器及驱动装置 | |
| JP2014150713A (ja) | リニア駆動装置、カメラ装置及び電子機器 | |
| CN219266639U (zh) | 一种用于光学成像***的压电执行器及驱动装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20211217 |