CN214917766U - 一种旋涂仪托盘及旋涂仪 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种旋涂仪托盘及旋涂仪，涉及薄膜制备的技术领域。旋涂仪托盘，包括空心圆柱体以及安装在空心位置处用于装载基片的载片台，所述载片台中间开设有贯通孔，所述空心圆柱体的上端部沿周向均匀间隔开设有3个导向槽，所述导向槽内安装有卡爪，所述卡爪底部设置有螺纹，所述空心圆柱体的下端部开设有环形安装槽，所述环形安装槽与所述导向槽贯通，所述环形安装槽内安装有与所述卡爪的螺纹啮合的等距螺旋槽，所述等距螺旋槽转动使得与所述等距螺旋槽啮合的3个所述卡爪同时靠近或远离所述载片台。本申请提供的旋涂仪托盘及旋涂仪，利用卡爪实现基片的自动对心以及卡紧作用，与真空吸附机构一起提高基片在旋转过程中的稳定性。

Description

一种旋涂仪托盘及旋涂仪

技术领域

本申请涉及薄膜制备的技术领域，尤其是涉及一种旋涂仪托盘及旋涂仪。

背景技术

旋涂仪主要利用真空泵产生的真空吸附托盘上的基片，使得基片跟随电机驱动的托盘旋转，从而使得滴涂在基片中心的胶液在离心力与表面张力的共同作用下，在基片表面形成均匀的薄膜。托盘的中心位置开设有与真空管道连通的小孔，在将基片放置在托盘上，需要注意将基片的中心对准托盘中心的小孔，使得基片表面的胶液在离心的作用下，能够实现均匀涂覆。

公告号为CN103302002B的专利文献公开了一种可加热自动对心匀胶机，设有感应加热控制器和自动对心平台；感应加热控制器安装在自动对心平台上部，自动对心平台设有3个夹紧定位装置，3个夹紧定位装置均匀地安装在载片台下表面突出的环形体周围；感应加热控制器设有加热盖和涡流发生线圈，涡流发生线圈设在加热盖上；载片台上均匀设有3个导向槽，夹紧定位装置一一对应地定位在所述导向槽处，通过螺钉连接固定，3个夹紧定位装置随载片台同步旋转，且导向槽和夹紧定位装置都指向载片台的中心；夹紧定位装置设有互相配合的气压缸和活塞杆，3个夹紧定位装置的无杆腔一侧靠近并指向载片台中心，而气压缸的有杆腔一侧指向自动对心平台边缘。

采用上述相关技术的匀胶机，真空泵启动时，3个夹紧定位装置实现对心作用，然而，为了避免真空泵启动时，真空吸附托盘中央的基片，使得无法通过夹紧定位装置进行对心，托盘的中心位置并没有开设与真空管道连通的小孔，实际上并没有发挥真空吸附固定基片的作用。

实用新型内容

为了实现基片能够自对心的同时，又能实现真空泵对基片吸附的作用，提高基片在转动过程中的稳定性，本申请提供一种旋涂仪托盘和旋涂仪。

本申请提供的一种旋涂仪托盘和旋涂仪，采用如下的技术方案：

一种旋涂仪托盘，其关键在于：包括空心圆柱体以及安装在空心位置处用于装载基片的载片台，所述载片台中间开设有贯通孔，所述空心圆柱体的上端部沿周向均匀间隔开设有3个导向槽，所述导向槽内安装有卡爪，所述卡爪底部设置有螺纹，所述空心圆柱体的下端部开设有环形安装槽，所述环形安装槽与所述导向槽贯通，所述环形安装槽内安装有与所述卡爪的螺纹啮合的等距螺旋槽，以及驱动所述等距螺旋槽转动的锥齿轮组，所述等距螺旋槽转动使得与所述等距螺旋槽啮合的3个所述卡爪同时靠近或远离所述载片台。

通过采用上述技术方案，利用锥齿轮组驱动等距螺旋槽转动，从而带动与等距螺旋槽啮合的3个卡爪在导向槽内实现等速运动，从而实现对安装在载片台上的基片进行对心，并且卡爪的夹紧力与真空吸附机构的吸附力一起固定基片，提高基片在旋转过程中的稳定性。

可选的，所述锥齿轮组包括相互啮合的大锥齿轮以及小锥齿轮，所述大锥齿轮与所述等距螺旋槽固定连接，所述小锥齿轮与所述环形安装槽转动连接，所述小锥齿轮的端部开设有扳手***孔。

通过采用上述技术方案，在放置基片后，利用扳手***小锥齿轮中，驱动小锥齿轮转动，从而带动大锥齿轮转动，进而带动等距螺旋槽转动，驱使3个卡爪向基片等速运动，从而实现对心作用。

可选的，所述小锥齿轮的数量为3个，且在所述环形安装槽内沿周向均匀间隔分布。

通过采用上述技术方案，能够提高大锥齿轮和小锥齿轮啮合的稳定性。

可选的，所述卡爪的工作面上设置有防滑纹，所述卡爪侧壁上形成有翼板。

通过采用上述技术方案，提高了卡爪的夹紧力以及与导向槽配合的稳定性。

可选的，所述空心圆柱体的内表面设置有环形托架，所述环形托架上设置有防护罩，所述导向槽沿径向贯穿所述防护罩。

通过采用上述技术方案，利用防护罩能够防止基片上的胶液在旋转过程中甩出污染托盘的内表面，方便及时取出防护罩进行清理。

可选的，所述旋涂仪托盘还包括下端盖，所述环形安装槽的下端部延伸形成有螺纹段，所述螺纹段与所述下端盖螺纹连接，所述载片台固定连接于所述下端盖上，且所述载片台的所述贯通孔贯穿所述下端盖与真空管道连通。

通过采用上述技术方案，利用下端盖保护托盘的内部结构以及实现载片台中心的贯通孔与真空管道连通，实现真空吸附基片的作用。

一种旋涂仪，包括机体以及安装于所述机体内的前述的旋涂仪托盘。

通过采用上述技术方案，提高了旋涂仪使用的稳定性以及在基片上旋涂制备薄膜的质量。

可选的，所述机体上安装有水平泡，所述机体的底部安装有可调节高度的支撑结构。

通过采用上述技术方案，能够实现旋涂仪的水平调平，提高旋涂仪的适应性。

可选的，所述支撑结构包括4个支脚组件，所述支脚组件包括支座、螺杆、螺母以及螺纹管，所述螺杆与所述支座固定连接，所述螺纹管与所述机体固定连接，所述螺杆与所述螺纹管螺纹连接，所述螺母螺纹连接于所述螺杆上。

通过采用上述技术方案，能够便捷、连续地实现旋涂仪的水平调平。

综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

1.本申请提供的旋涂仪托盘，利用卡爪能够实现基片的自动对心以及夹紧不同尺寸的基片，并且卡爪的夹紧力与真空吸附力共同作用，提高基片在旋转过程中的稳定性，进而提高在基片上旋涂制备薄膜的质量。

2.本申请提供的一种旋涂仪托盘，利用锥齿轮组驱动，结构简单，集成度高，方便操作。

3.本申请提供的一种旋涂仪，提高了旋涂仪使用的稳定性以及在基片上旋涂制备薄膜的质量。

附图说明

图1是本申请实施例的旋涂仪的结构示意图；

图2是本申请实施例的旋涂仪托盘的结构示意图；

图3是本申请实施例的旋涂仪托盘的半剖视图；

图4是本申请实施例的旋涂仪托盘的***结构示意图。

附图标记说明：1、空心圆柱体；11、导向槽；12、环形安装槽；13、环形托架；2、载片台；21、贯通孔；3、卡爪；31、防滑纹；32、翼板；4、等距螺旋槽；5、锥齿轮组；51、大锥齿轮；52、小锥齿轮；6、防护罩；7、下端盖；8、机体；9、水平泡；10、支撑结构；101、支座；102、螺杆；103、螺母；104、螺纹管。

具体实施方式

以下结合附图1-4对本申请作进一步详细说明。

本申请实施例公开一种旋涂仪托盘及旋涂仪。参照图1、图2，一种旋涂仪，包括机体8以及安装于机体8内的旋涂仪托盘。机体8上安装有水平泡9，底部安装有可调节高度的支撑结构10。支撑结构10包括4个设置于机体8底部的支脚组件，支脚组件包括支座101、螺杆102、螺母103以及螺纹管104，螺杆102与支座101固定连接，螺纹管104与机体8的底部固定连接，螺杆102与螺纹管104螺纹连接，螺母103螺纹连接于螺杆102上。通过分别转动支脚组件的螺杆102，使得螺杆102在螺纹管104中上升或者下降，直至水平泡9的水泡调整至中心，实现旋涂仪的水平调平。前述的固定方式可以为焊接、粘接、一体成型等。在其他实施例中，支脚组件可以采用支座101，支撑组件的数量可以为1个以上。

参照图2-4，旋涂仪托盘包括空心圆柱体1以及安装在空心位置处用于装载基片的载片台2，载片台2位于空心圆柱体1的中心位置。空心圆柱体1的上端部沿周向均匀间隔开设有3个导向槽11，3个导向槽的中心线相交于载片台2的中心线上，导向槽11沿径向贯穿空心圆柱体1，导向槽11内安装有卡爪3，卡爪3可以采用插接的方式安装于导向槽11内，使得卡爪3能够在导向槽11内朝向载片台2移动，从而夹紧载片台2上放置的基片。

卡爪3底部设置有螺纹，空心圆柱体1的下端部开设有环形安装槽12，环形安装槽12与导向槽11贯通。环形安装槽12邻接于导向槽11的端部安装有与卡爪3的螺纹啮合的等距螺旋槽4，并且环形安装槽12内安装有驱动等距螺旋槽4转动的锥齿轮组5。锥齿轮组5驱动等距螺旋槽4转动，使得与等距螺旋槽4啮合的3个卡爪3同时靠近载片台2，实现基片的自对心。

锥齿轮组5包括相互啮合的大锥齿轮51以及小锥齿轮52，大锥齿轮固定连接于等距螺旋槽4的下端面，小锥齿轮52与环形安装槽12转动连接。本实施例中，小锥齿轮52的数量为3个，以提高大锥齿轮51以及小锥齿轮52啮合、安装的稳定性。小锥齿轮52转动连接于环形安装槽12的外端部上开设有扳手***孔521。基片放置到载片台2上以后，将扳手***到扳手***孔521中，转动小锥齿轮52，小锥齿轮52转动进而带动啮合的大锥齿轮51转动，从而驱动等距螺旋槽4转动，驱使3个卡爪3同时靠近载片台2，实现基片的自动对心以及夹紧的作用。卡爪3的工作面上设置有防滑纹31，用于提高夹紧力，卡爪3侧壁上形成有翼板32，对应的导向槽11的几何尺寸与之适配，以提高卡爪3和导向槽11的结合力。大锥齿轮51固定连接于等距螺旋槽4的方式可以是一体成型、粘接、螺栓连接、键配合、插接、焊接等方式。在其他实施例中，小锥齿轮52的数量可以为2个以上。

旋涂仪托盘还包括下端盖7，环形安装槽12的下端部延伸形成有螺纹段，螺纹段与下端盖7螺纹连接。载片台2固定连接于下端盖7的中心位置，载片台2的中心开设有贯通孔21，且贯通孔21贯穿下端盖7，与机体8的电机轴心位置的真空管道连通。

环形安装槽12的内表面一体成型有环形托架13，环形托架13上设置有防护罩6，用于防止基片2上的胶液甩出时污染托盘的内表面。导向槽11径向贯穿防护罩6，使得卡爪3移动时能够穿过防护罩靠近载片台2上放置的基片。工作时，卡爪3将防护罩6压紧在环形托架13，停止工作后，将卡爪3退出防护罩6，即可取下防护罩6进行清理。

以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的机构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种旋涂仪托盘，其特征在于：包括空心圆柱体(1)以及安装在空心位置处用于装载基片的载片台(2)，所述载片台(2)中间开设有贯通孔(21)，所述空心圆柱体(1)的上端部沿周向均匀间隔开设有3个导向槽(11)，所述导向槽(11)内安装有卡爪(3)，所述卡爪(3)底部设置有螺纹，所述空心圆柱体(1)的下端部开设有环形安装槽(12)，所述环形安装槽(12)与所述导向槽(11)贯通，所述环形安装槽(12)内安装有与所述卡爪(3)的螺纹啮合的等距螺旋槽(4)，以及驱动所述等距螺旋槽(4)转动的锥齿轮组(5)，所述等距螺旋槽(4)转动使得与所述等距螺旋槽(4)啮合的3个所述卡爪(3)同时靠近或远离所述载片台(2)。

2.根据权利要求1所述的旋涂仪托盘，其特征在于：所述锥齿轮组(5)包括相互啮合的大锥齿轮(51)以及小锥齿轮(52)，所述大锥齿轮(51)与所述等距螺旋槽(4)固定连接，所述小锥齿轮(52)与所述环形安装槽(12)转动连接，所述小锥齿轮(52)的端部开设有扳手***孔(521)。

3.根据权利要求2所述的旋涂仪托盘，其特征在于：所述小锥齿轮(52)的数量为3个，且在所述环形安装槽(12)内沿周向均匀间隔分布。

4.根据权利要求1所述的旋涂仪托盘，其特征在于：所述卡爪(3)的工作面上设置有防滑纹(31)，所述卡爪侧壁上形成有翼板(32)。

5.根据权利要求1所述的旋涂仪托盘，其特征在于：所述空心圆柱体(1)的内表面设置有环形托架(13)，所述环形托架(13)上设置有防护罩(6)，所述导向槽(11)沿径向贯穿所述防护罩(6)。

6.根据权利要求1所述的旋涂仪托盘，其特征在于：所述旋涂仪托盘还包括下端盖(7)，所述环形安装槽(12)的下端部延伸形成有螺纹段，所述螺纹段与所述下端盖(7)螺纹连接，所述载片台(2)固定连接于所述下端盖(7)上，且所述载片台(2)的所述贯通孔(21)贯穿所述下端盖(7)与真空管道连通。

7.一种旋涂仪，其特征在于：包括机体(8)以及安装于所述机体(8)内的如权利要求1-6任一项所述的旋涂仪托盘。

8.根据权利要求7所述的旋涂仪，其特征在于：所述机体(8)上安装有水平泡(9)，所述机体(8)的底部安装有可调节高度的支撑结构(10)。

9.根据权利要求8所述的旋涂仪，其特征在于：所述支撑结构(10)包括4个支脚组件，所述支脚组件包括支座(101)、螺杆(102)、螺母(103)以及螺纹管(104)，所述螺杆(102)与所述支座(101)固定连接，所述螺纹管(104)与所述机体(8)固定连接，所述螺杆(102)与所述螺纹管(104)螺纹连接，所述螺母(103)螺纹连接于所述螺杆(102)上。

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