CN214781507U - 一种喷淋摇摆装置以及蚀刻*** - Google Patents

Abstract

本实用新型属于蚀刻喷淋技术设备领域，尤其涉及一种喷淋摇摆装置以及蚀刻***。蚀刻摇摆装置，用于向目标物喷洒液体，目标物朝第一方向传送，蚀刻摇摆装置包括喷淋结构和驱动内结构。喷淋结构位于目标物上方，并滑动设置于某一平行第一方向的水平面且用于向下喷洒液体，液体于目标物的传送路径上形成蚀刻区。驱动结构包括驱动器以及传动组件，传动组件的一端连接驱动器的输出轴，传动组件的另一端连接喷淋结构，以驱动喷淋结构于水平面内沿第二方向往复滑动，其中，第一方向和第二方向交错设置。本实用新型通过喷淋结构在往复移动过程中，还可以提高药水分布的均匀性，最终提高了电路板的蚀刻质量。

Description

一种喷淋摇摆装置以及蚀刻***

技术领域

本实用新型属于蚀刻喷淋技术设备领域，尤其涉及一种喷淋摇摆装置以及蚀刻***。

背景技术

目前，玻璃基板是制造平板显示器的主要材料，广泛应用于液晶显示器、等离子显示屏、触控屏、有机发光显示器等领域。随着当今世界高新技术产品飞速发展，对平板显示器的轻薄化要求越来越高，因而玻璃基板的减薄工艺成了终端显示产品能否实现薄型化的核心问题之一。所谓减薄就是用化学药液将玻璃基板均匀蚀刻至目标厚度。目前常见的减薄工艺包括有浸泡式和喷淋式。

喷淋式减薄是通过从动辊轮将电路板输送至喷淋蚀刻区，药水通过喷嘴而喷洒在电路板上。而药水在喷洒过程中，药水的喷洒范围和喷洒的均匀性，都影响电路板的蚀刻质量。如果电路板没有完全位于蚀刻区内，或药水的喷洒不均匀，会导致电路板部分未被蚀刻，或蚀刻量达不到预定要求，从而不利于电路板的整体蚀刻质量。

实用新型内容

本申请实施例的目的在于提供一种喷淋摇摆装置，旨在解决如何提高药水喷洒均匀性的问题。

为实现上述目的，本申请采用的技术方案是：提供一种喷淋摇摆装置，用于向目标物喷洒液体，其中，所述目标物呈板状且平铺设置并朝第一方向传送，所述喷淋摇摆装置包括：

喷淋结构，位于所述目标物上方，并滑动设置于某一平行所述第一方向的水平面且用于向下喷洒所述液体，所述液体于所述目标物的传送路径上形成蚀刻区，所述目标物沿所述第一方向传送且经过所述蚀刻区；以及

驱动结构，包括驱动器以及传动组件，所述传动组件的一端连接所述驱动器的输出轴，所述传动组件的另一端连接所述喷淋结构，以驱动所述喷淋结构于所述水平面内沿第二方向往复滑动，其中，所述第一方向和所述第二方向交错设置。

在一个实施例中，所述传动组件包括主动轴和偏心机构，所述主动轴的轴向竖直设置，且所述主动轴的一端连接所述偏心机构并驱动所述偏心机构进行偏心运转，所述偏心机构连接所述喷淋结构，以驱动所述喷淋结构往复滑动。

在一个实施例中，所述偏心机构包括偏心轮、连接所述偏心轮的传动环以及一端连接所述传动环的从动轴，所述从动轴的另一端连接所述喷淋结构，所述偏心轮转动设置于所述传动环内，所述从动轴连接所述传动环的环侧面。

在一个实施例中，所述喷淋结构包括喷淋框、设置于所述喷淋框内的喷淋管以及连接所述喷淋框边缘的转接板，所述转接板与所述从动轴铰接。

在一个实施例中，所述转接板竖直设置，且其板面开设有转接槽，所述转接槽的槽壁开设有定位孔，所述定位孔的孔深方向竖直设置，所述从动轴的一端位于所述转接槽且对应所述定位孔的位置开设有转接孔，所述驱动结构还包括定位销，所述定位销的一端穿设所述定位孔并转动设置于所述转接孔。

在一个实施例中，所述定位销和所述偏心轮分别位于所述喷淋结构的两端。

在一个实施例中，所述喷淋结构还包括滑轮，所述滑轮成对设置，且所述喷淋框的两端分别设置有一对所述滑轮，位于同一对的两所述滑轮沿所述第二方向间隔设置，所述喷淋结构还包括支撑板，所述支撑板设置有两个，且两对所述滑轮分别滑动连接两所述支撑板。

在一个实施例中，所述喷淋管呈非直线设置。

在一个实施例中，所述喷淋管开设有进液口和出液口，所述喷淋摇摆装置还包括设置于所述出液口处的喷嘴。

本申请的另一目的还在于提供一种蚀刻***，其包括如上所述的喷淋摇摆装置。

本申请的有益效果在于：通过驱动器将动力传递至传动组件，再经传动组件驱动喷淋结构于某一水平面上沿第二方向往复滑动，从而使得从喷淋结构喷洒出来的药水，形成一个动态的蚀刻区，不但扩大了蚀刻区的蚀刻范围，而且喷淋结构在往复移动过程中，还可以提高药水分布的均匀性，最终提高了电路板的蚀刻质量。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请一实施例所提供的喷淋摇摆装置的立体结构图；

图2为本申请另一实施例所提供的喷淋摇摆装置的立体结构图；

图3是图2的喷淋摇摆装置的***示意图；

图4是图3的A处的局部放大图。

其中，图中各附图标记：

100、喷淋摇摆装置；10、喷淋结构；11、喷淋框；12、喷淋管；13、转接板；20、驱动结构；21、驱动器；22、传动组件；221、主动轴；222、偏心轮； 223、传动环；224、从动轴；228、偏心机构；14、滑轮；15、进液口；16、出液口；25、定位销；225、转接孔；227、转动环槽；132、定位孔；131、转接槽；

具体实施方式

为了使本申请所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

请参阅图1及图3，本申请实施例提供了一种喷淋摇摆装置100，用于向目标物喷洒液体，目标物呈板状且平铺设置。可选地，目标物可以为电路板、玻璃基板、铁片等。本实施例中目标物为电路板。电路板由传送辊轮带动并朝第一方向传送。可以理解的是，第一方向与水平面平行设置。喷淋摇摆装置100 包括喷淋结构10和驱动结构20。喷淋结构10位于电路板上方，并滑动设置于某一平行第一方向的水平面且用于向下喷洒液体。可以理解的是，输入值喷淋结构10的药水液体，经喷淋结构10而相向喷洒，使液体于电路板的传送路径上形成蚀刻区，在电路板沿第一方向传送且经过蚀刻区时，药水液体对电路板进行蚀刻。驱动结构20包括驱动器21以及传动组件22，可选地，本实施例中，驱动器21为伺服电机。传动组件22的一端连接驱动器21的输出轴，传动组件 22的另一端连接喷淋结构10，以驱动喷淋结构10于水平面内沿第二方向往复滑动，扩大了药水的喷洒范围，进而扩大了蚀刻区的范围。其中，第一方向和第二方向交错设置。可选地，本实施例中第一方向和第二方向正交设置。

通过驱动器21将动力传递至传动组件22，再经传动组件22驱动喷淋结构 10于某一水平面上沿第二方向往复滑动，从而使得从喷淋结构10喷洒出来的药水，形成一个动态的蚀刻区，不但扩大了蚀刻区的蚀刻范围，而且喷淋结构 10在往复移动过程中，还可以提高药水分布的均匀性，最终提高了电路板的蚀刻质量。

在一个实施例中，传动组件22包括主动轴221和偏心机构228，主动轴221 的轴向竖直设置，且主动轴221的一端连接偏心机构228并驱动偏心机构228 进行偏心运转，偏心机构228连接喷淋结构10，以驱动喷淋结构10往复滑动。可选地，驱动器21驱动偏心机构228运转，通过偏心机构228的运转从而实现喷淋结构10的往复滑动。可以理解的是，主动轴221的另一端通过轴承定位设置，从而主动轴221可以在驱动器21的驱动下定位转动，并带动偏心机构228 运动。

在一个实施例中，偏心机构228包括偏心轮222、连接偏心轮222的传动环223以及一端连接传动环223的从动轴224，从动轴224的另一端连接喷淋结构10，偏心轮222转动设置于传动环223内，从动轴224连接传动环223的环侧面。主动轴221与偏心轮222固定连接，且带动偏心轮222于传动环223 内进行偏心旋转。可选地，偏心轮222的周侧面开设有转动环槽227，转动环槽227的横截面形状为L形，传动环223外套偏心轮222并抵接转动环槽227的槽底。通过传动环223而带动从动轴224的往复移动。

在一个实施例中，喷淋结构10包括喷淋框11、设置于喷淋框11内的喷淋管12以及连接喷淋框11边缘的转接板13，转接板13与从动轴224铰接。通过转接板13与从动轴224的铰接，从而便于驱动器21驱动喷淋结构10的往复滑动。可选地，喷淋框11由四块侧板首尾相连而成。

在一个实施例中，转接板13竖直设置，且其板面开设有转接槽131，转接槽131的槽壁开设有定位孔132，定位孔132的孔深方向竖直设置，从动轴224 的一端位于转接槽131且对应定位孔132的位置开设有转接孔225，驱动结构 20还包括定位销25，定位销25的一端穿设定位孔132并转动设置于转接孔225。通过定位销25和从动轴224的配合，从而实现从动轴224与转接板13的铰接，连接过程简单，且传动效率高。

在一个实施例中，定位销25和偏心轮222分别位于喷淋结构10的两端。可以理解的是，通过将从动轴224横跨喷淋框11，从而便于偏心机构228驱动喷淋框11稳定滑动，提高蚀刻质量。

在一个实施例中，喷淋结构10还包括滑轮14，滑轮14成对设置，且喷淋框11的两端分别设置有一对滑轮14，位于同一对的两滑轮14沿第二方向间隔设置，喷淋结构10还包括支撑板，支撑板设置有两个，且两对滑轮14分别滑动连接两支撑板。可以理解的是，竖直设置的两支撑板用于支撑混轮水平滚动，从而使得喷淋结构10可以向蚀刻区内均匀喷洒药水。

在一个实施例中，喷淋管12开设有进液口15和出液口16，喷淋摇摆装置 100还包括设置于出液口16处的喷嘴。可选地，喷嘴设置有多个，多个喷嘴共同向蚀刻区喷洒药水。

在一个实施例中，喷淋管12呈非直线设置。可选地，喷淋管12呈波浪形设置，从而使得各喷嘴的喷洒范围相互重叠，提高药水喷洒的均匀性。

本实用新型还提出了一种蚀刻***，该蚀刻***包括喷淋摇摆装置100，该喷淋摇摆装置100的具体结构参照上述实施例，由于本蚀刻***采用了上述所有实施例的全部技术方案，因此同样具有上述实施例的技术方案所带来的所有有益效果，在此不再一一赘述。

在一个实施例中，蚀刻***还包括进液管和出液管，进液管的一端连接进液口15，出液管的一端连接出液口16。

以上仅为本申请的较佳实施例而已，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种喷淋摇摆装置，用于向目标物喷洒液体，其中，所述目标物呈板状且平铺设置并朝第一方向传送，其特征在于，所述喷淋摇摆装置包括：

喷淋结构，位于所述目标物上方，并滑动设置于某一平行所述第一方向的水平面且用于向下喷洒所述液体，并将所述液体于所述目标物的传送路径上形成蚀刻区，所述目标物沿所述第一方向传送且经过所述蚀刻区；以及

驱动结构，包括驱动器以及传动组件，所述传动组件的一端连接所述驱动器的输出轴，所述传动组件的另一端连接所述喷淋结构，以驱动所述喷淋结构于所述水平面内沿第二方向往复滑动，其中，所述第一方向和所述第二方向交错设置。

2.如权利要求1所述的喷淋摇摆装置，其特征在于：所述传动组件包括主动轴和偏心机构，所述主动轴的轴向竖直设置，且所述主动轴的一端连接所述偏心机构并驱动所述偏心机构进行偏心运转，所述偏心机构连接所述喷淋结构，以驱动所述喷淋结构往复滑动。

3.如权利要求2所述的喷淋摇摆装置，其特征在于：所述偏心机构包括偏心轮、连接所述偏心轮的传动环以及一端连接所述传动环的从动轴，所述从动轴的另一端连接所述喷淋结构，所述偏心轮转动设置于所述传动环内，所述从动轴连接所述传动环的环侧面。

4.如权利要求3所述的喷淋摇摆装置，其特征在于：所述喷淋结构包括喷淋框、设置于所述喷淋框内的喷淋管以及连接所述喷淋框边缘的转接板，所述转接板与所述从动轴铰接。

5.如权利要求4所述的喷淋摇摆装置，其特征在于：所述转接板竖直设置，且其板面开设有转接槽，所述转接槽的槽壁开设有定位孔，所述定位孔的孔深方向竖直设置，所述从动轴的一端位于所述转接槽且对应所述定位孔的位置开设有转接孔，所述驱动结构还包括定位销，所述定位销的一端穿设所述定位孔并转动设置于所述转接孔。

6.如权利要求5所述的喷淋摇摆装置，其特征在于：所述定位销和所述偏心轮分别位于所述喷淋结构的两端。

7.如权利要求4所述的喷淋摇摆装置，其特征在于：所述喷淋结构还包括滑轮，所述滑轮成对设置，且所述喷淋框的两端分别设置有一对所述滑轮，位于同一对的两所述滑轮沿所述第二方向间隔设置，所述喷淋结构还包括支撑板，所述支撑板设置有两个，且两对所述滑轮分别滑动连接两所述支撑板。

8.如权利要求4所述的喷淋摇摆装置，其特征在于：所述喷淋管呈非直线设置。

9.如权利要求4-8任意一项所述的喷淋摇摆装置，其特征在于：所述喷淋管开设有进液口和出液口，所述喷淋摇摆装置还包括设置于所述出液口处的喷嘴。

10.一种蚀刻***，其特征在于，包括如权利要求1-9任意一项所述的喷淋摇摆装置。

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