CN214528730U - 一种液晶玻璃基板减薄加工用刻蚀液喷淋装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及玻璃基板加工技术领域,具体涉及一种液晶玻璃基板减薄加工用刻蚀液喷淋装置,包括底板和伺服电机,所述底板上设置有可沿水平方向往复移动的支撑板,所述支撑板上设置有用于吸附玻璃基板的真空吸盘,且所述真空吸盘与转动板连接后可进行一定角度的翻转,所述底板上与所述伺服电机相对的一端还设置有防溅罩以及两个支撑杆。本实用新型中,通过将刻蚀液的喷淋以及后续的清洗、连同清洗后玻璃基板的烘干,从而将整个玻璃基板的减薄工艺内缩在一个设备内进行处理,提高了加工效率的同时也降低了多个工序之间进行配合所存在的误差,降低了体力劳动的消耗。
Description
技术领域
本实用新型涉及玻璃基板加工技术领域,具体涉及一种液晶玻璃基板减薄加工用刻蚀液喷淋装置。
背景技术
液晶玻璃基板是构成液晶显示器件的一个基本部件,这是一种表面极其平整的浮法生产薄玻璃片,减薄工艺是玻璃生产过程中的一个较为重要的环节,目前的玻璃减薄工艺多采用化学蚀刻减薄,具体工序是使用含酸碱的蚀刻液喷淋到玻璃表面,利用玻璃的化学性质将其薄化。
由于玻璃在蚀刻后需要及时进行冲洗,如果如果不能及时水洗,表面的酸液有可能过渡蚀刻,导致玻璃质量受损,而现有的蚀刻喷淋装置冲洗过程较为复杂,不能满足实际使用需求,同时,玻璃在冲洗后需要烘干,现有的喷淋装置也无法一次性完成,降低了玻璃基板的生产效率,有待进一步改进。
实用新型内容
为了克服上述的技术问题,本实用新型的目的在于提供一种液晶玻璃基板减薄加工用刻蚀液喷淋装置。
本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现:
一种液晶玻璃基板减薄加工用刻蚀液喷淋装置,包括底板和伺服电机,所述底板上设置有可沿水平方向往复移动的支撑板,所述支撑板上设置有用于吸附玻璃基板的真空吸盘,且所述真空吸盘与转动板连接后可进行一定角度的翻转,所述底板上与所述伺服电机相对的一端还设置有防溅罩以及两个支撑杆,两个所述支撑杆之间设置有多个可沿垂直方向往复移动且能够精确控制喷射位置以及喷射量的蚀刻液喷嘴以及清洗喷嘴,所述防溅罩上还设置有用于烘干玻璃基板的鼓风机。
进一步在于,所述底板顶面相对的两端分别固连有所述伺服电机和转动座,所述伺服电机的输出端固连有螺杆的一端,所述螺杆的另一端与所述转动座转动套接,所述底板的顶面关于所述螺杆对称固连有两个限位轨道和四个L型固定块,其中,相邻的两个所述L型固定块相对镜像设置。
进一步在于,所述螺杆的外壁旋合连接有连接座,所述连接座的两侧均固连有限位块,所述限位块的端部与其相邻的所述限位轨道滑动卡接,所述连接座的顶面固连有所述支撑板。
进一步在于,所述支撑板的一端转动连接有转动块,所述转动块的顶端固连有所述转动板,所述转动板的顶面固连有多个所述真空吸盘,所述支撑板的另一端固连有气缸一,所述气缸一的输出端贯穿所述支撑板的侧壁并固连有推杆,所述推杆的两端均转动连接有连接杆的一端,所述连接杆的另一端转动连接有所述转动板,所述支撑板的顶面对应所述转动板的位置还固连有顶杆。
进一步在于,所述顶杆与所述转动块的高度相等。
进一步在于,所述底板的顶面对应相邻的两个所述L型固定块之间固连有所述支撑杆,所述支撑杆的侧壁开设有滑槽,两个所述支撑杆的顶端之间通过横板连接,所述横板的顶面固连有气缸二。
进一步在于,所述气缸二的输出端贯穿所述横板并固连有中空板一,所述中空板一的一侧壁开设有蚀刻液管口,所述中空板一的另一侧壁等距设置有多个可自由拆卸的所述蚀刻液喷嘴,所述中空板一的底面通过固定块连接有中空板二,所述中空板二的一侧壁开设有水管口,所述中空板二的另一侧壁等距设置有多个可自由拆卸的所述清洗喷嘴。
进一步在于,所述中空板一和所述中空板二的两端均固连有与所述滑槽相配合的滑块,所述滑块与所述滑槽滑动套接。
进一步在于,所述底板的顶面与所述支撑杆相邻的位置固连有防溅罩,所述防溅罩的顶面固连有所述鼓风机,所述鼓风机的输出端套接固定有导风块,所述导风块的侧壁开设有多个出风口。
进一步在于,所述防溅罩的顶面对应所述导风块开设有出风口的侧壁开设有便于出风的矩形缺口。
本实用新型的有益效果:
1、通过将刻蚀液的喷淋以及后续的清洗、连同清洗后玻璃基板的烘干,从而将整个玻璃基板的减薄工艺内缩在一个设备内进行处理,提高了加工效率的同时也降低了多个工序之间进行配合所存在的误差,降低了体力劳动的消耗;
2、通过在刻蚀液喷嘴的下方设置有清洗喷嘴,当对玻璃基板喷淋刻蚀液后,可以根据减薄厚度的需要选择在何时对玻璃基板进行清洗,避免了水洗不及时,玻璃基板可能受损的问题。
附图说明
下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。
图1是本实用新型的整体结构示意图;
图2是本实用新型的侧面结构示意图;
图3是本实用新型中伺服电机的结构示意图;
图4是本实用新型中连接座的结构示意图;
图5是本实用新型中支撑板的侧面结构示意图;
图6是本实用新型中支撑板和防溅罩的结构示意图;
图7是本实用新型中气缸二的结构示意图;
图8是本实用新型中滑块的结构示意图;
图9是本实用新型中矩形缺口的结构示意图;
图10是本实用新型中导风块的结构示意图。
图中:1、底板;11、转动座;12、限位轨道;13、L型固定块;2、伺服电机;21、螺杆;22、连接座;23、限位块;3、支撑板;31、转动块;32、转动板;33、真空吸盘;34、气缸一;35、推杆;36、连接杆;37、顶杆;4、支撑杆;41、滑槽;5、气缸二;51、中空板一;52、蚀刻液管口;53、蚀刻液喷嘴;54、固定块;55、中空板二;56、水管口;57、清洗喷嘴;58、滑块;6、防溅罩;61、鼓风机;62、导风块;63、矩形缺口。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本实用新型保护的范围。
如图1和图2所示,一种液晶玻璃基板减薄加工用刻蚀液喷淋装置,包括底板1和伺服电机2,底板1上设置有可沿水平方向往复移动的支撑板3,支撑板3上设置有用于吸附玻璃基板的真空吸盘33,且真空吸盘33与转动板32连接后可进行一定角度的翻转,底板1上与伺服电机2相对的一端还设置有防溅罩6以及两个支撑杆4,两个支撑杆4之间设置有多个可沿垂直方向往复移动且能够精确控制喷射位置以及喷射量的蚀刻液喷嘴53以及清洗喷嘴57,防溅罩6上还设置有用于烘干玻璃基板的鼓风机61。
根据所需固定的玻璃基板的大小以及重量,真空吸盘33的数量以及型号可以进行调整,防溅罩6与支撑杆4密切连接,避免在冲洗过程中有液体溅出。
如图3所示,底板1顶面相对的两端分别固连有伺服电机2和转动座11,伺服电机2的输出端固连有螺杆21的一端,螺杆21的另一端与转动座11转动套接,底板1的顶面关于螺杆21对称固连有两个限位轨道12和四个L型固定块13,其中,相邻的两个L型固定块13相对镜像设置,如图4所示,螺杆21的外壁旋合连接有连接座22,连接座22的两侧均固连有限位块23,限位块23的端部与其相邻的限位轨道12滑动卡接,连接座22的顶面固连有支撑板3。
通过启动伺服电机2,螺杆21可以带动连接座22移动,与限位轨道12滑动卡接的限位块23可以避免连接座22在移动的过程中发生晃动,当玻璃基板清洗完毕后,可以反转伺服电机2,螺杆21带动连接座22实现复位,完成一整个加工过程。
如图4和图5所示,支撑板3的一端转动连接有转动块31,转动块31的顶端固连有转动板32,转动板32的顶面固连有多个真空吸盘33,支撑板3的另一端固连有气缸一34,气缸一34的输出端贯穿支撑板3的侧壁并固连有推杆35,推杆35的两端均转动连接有连接杆36的一端,连接杆36的另一端转动连接有转动板32,支撑板3的顶面对应转动板32的位置还固连有顶杆37,顶杆37与转动块31的高度相等。
当支撑板3位于伺服电机2一侧时,支撑板3处于初始的水平状态,此时可以将玻璃基板横放在真空吸盘33上,通过真空吸盘33的吸力,对应的玻璃基板得以保持稳定状态,当连接座22带动支撑板3向着防溅罩6移动时,气缸一34启动,气缸一34的输出端推动推杆35移动,与推杆35转动连接的连接杆36带动转动板32翻转,转动板32绕转动块31转动,待转动板32转动90°后,气缸一34关闭,此时,玻璃基板的端面与蚀刻液喷嘴53以及清洗喷嘴57刚好相对,同时,也可以根据需要减薄的玻璃基板的尺寸大小,选择转动板32的转动角度,从而可以使蚀刻液喷嘴53以及清洗喷嘴57能以最佳位置对玻璃基板的端面进行喷淋。
如图3和图6所示,底板1的顶面对应相邻的两个L型固定块13之间固连有支撑杆4,支撑杆4的侧壁开设有滑槽41,两个支撑杆4的顶端之间通过横板连接,横板的顶面固连有气缸二5,如图7和图8所示,气缸二5的输出端贯穿横板并固连有中空板一51,中空板一51的一侧壁开设有蚀刻液管口52,中空板一51的另一侧壁等距设置有多个可自由拆卸的蚀刻液喷嘴53,中空板一51的底面通过固定块54连接有中空板二55,中空板二55的一侧壁开设有水管口56,中空板二55的另一侧壁等距设置有多个可自由拆卸的清洗喷嘴57,中空板一51和中空板二55的两端均固连有与滑槽41相配合的滑块58,滑块58与滑槽41滑动套接。
当玻璃基板到位后,可以将刻蚀液以及清水分别通过管道与蚀刻液管口52以及水管口56相连,同时,由于蚀刻液喷嘴53和清洗喷嘴57都是可拆卸的活动连接,根据事先计算所得的喷淋密度,可以选择中空板一51和中空板二55端面的蚀刻液喷嘴53以及清洗喷嘴57进行拆卸或组装,保证喷淋效果的同时也兼顾了资源的节省,符合节能减排的生产理念,通过启动气缸二5,可以使蚀刻液喷嘴53和清洗喷嘴57自上向下往复移动,达到全面喷淋的效果,待刻蚀液喷淋结束后,可以根据化学反应时间选择在何时对于玻璃基板进行清洁,这些通过实现导入的程序数据可以自动完成,不需要人工操作。
如图9和图10所示,底板1的顶面与支撑杆4相邻的位置固连有防溅罩6,防溅罩6的顶面固连有鼓风机61,鼓风机61的输出端套接固定有导风块62,导风块62的侧壁开设有多个出风口,防溅罩6的顶面对应导风块62开设有出风口的侧壁开设有便于出风的矩形缺口63。
当玻璃基板清洗完毕后,反转伺服电机2,连接座22沿着螺杆21复位,当支撑板3移动至防溅罩6时,鼓风机61启动,鼓风机61的输出端自导风块62将风力吹至防溅罩6内部的玻璃基板上,达到玻璃基板的清洗烘干一体化,提高了玻璃基板减薄工序的加工效率,避免玻璃基板在多个工序之间移动时,可能发生的破损事故。
在本说明书的描述中,参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
以上内容仅仅是对本实用新型所作的举例和说明,所属本技术领域的技术人员对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代,只要不偏离实用新型或者超越本权利要求书所定义的范围,均应属于本实用新型的保护范围。
Claims (10)
1.一种液晶玻璃基板减薄加工用刻蚀液喷淋装置,包括底板(1)和伺服电机(2),其特征在于,所述底板(1)上设置有可沿水平方向往复移动的支撑板(3),所述支撑板(3)上设置有用于吸附玻璃基板的真空吸盘(33),且所述真空吸盘(33)与转动板(32)连接后可进行一定角度的翻转,所述底板(1)上与所述伺服电机(2)相对的一端还设置有防溅罩(6)以及两个支撑杆(4),两个所述支撑杆(4)之间设置有多个可沿垂直方向往复移动且能够精确控制喷射位置以及喷射量的蚀刻液喷嘴(53)以及清洗喷嘴(57),所述防溅罩(6)上还设置有用于烘干玻璃基板的鼓风机(61)。
2.根据权利要求1所述的一种液晶玻璃基板减薄加工用刻蚀液喷淋装置,其特征在于,所述底板(1)顶面相对的两端分别固连有所述伺服电机(2)和转动座(11),所述伺服电机(2)的输出端固连有螺杆(21)的一端,所述螺杆(21)的另一端与所述转动座(11)转动套接,所述底板(1)的顶面关于所述螺杆(21)对称固连有两个限位轨道(12)和四个L型固定块(13),其中,相邻的两个所述L型固定块(13)相对镜像设置。
3.根据权利要求2所述的一种液晶玻璃基板减薄加工用刻蚀液喷淋装置,其特征在于,所述螺杆(21)的外壁旋合连接有连接座(22),所述连接座(22)的两侧均固连有限位块(23),所述限位块(23)的端部与其相邻的所述限位轨道(12)滑动卡接,所述连接座(22)的顶面固连有所述支撑板(3)。
4.根据权利要求3所述的一种液晶玻璃基板减薄加工用刻蚀液喷淋装置,其特征在于,所述支撑板(3)的一端转动连接有转动块(31),所述转动块(31)的顶端固连有所述转动板(32),所述转动板(32)的顶面固连有多个所述真空吸盘(33),所述支撑板(3)的另一端固连有气缸一(34),所述气缸一(34)的输出端贯穿所述支撑板(3)的侧壁并固连有推杆(35),所述推杆(35)的两端均转动连接有连接杆(36)的一端,所述连接杆(36)的另一端转动连接有所述转动板(32),所述支撑板(3)的顶面对应所述转动板(32)的位置还固连有顶杆(37)。
5.根据权利要求4所述的一种液晶玻璃基板减薄加工用刻蚀液喷淋装置,其特征在于,所述顶杆(37)与所述转动块(31)的高度相等。
6.根据权利要求2所述的一种液晶玻璃基板减薄加工用刻蚀液喷淋装置,其特征在于,所述底板(1)的顶面对应相邻的两个所述L型固定块(13)之间固连有所述支撑杆(4),所述支撑杆(4)的侧壁开设有滑槽(41),两个所述支撑杆(4)的顶端之间通过横板连接,所述横板的顶面固连有气缸二(5)。
7.根据权利要求6所述的一种液晶玻璃基板减薄加工用刻蚀液喷淋装置,其特征在于,所述气缸二(5)的输出端贯穿所述横板并固连有中空板一(51),所述中空板一(51)的一侧壁开设有蚀刻液管口(52),所述中空板一(51)的另一侧壁等距设置有多个可自由拆卸的所述蚀刻液喷嘴(53),所述中空板一(51)的底面通过固定块(54)连接有中空板二(55),所述中空板二(55)的一侧壁开设有水管口(56),所述中空板二(55)的另一侧壁等距设置有多个可自由拆卸的所述清洗喷嘴(57)。
8.根据权利要求7所述的一种液晶玻璃基板减薄加工用刻蚀液喷淋装置,其特征在于,所述中空板一(51)和所述中空板二(55)的两端均固连有与所述滑槽(41)相配合的滑块(58),所述滑块(58)与所述滑槽(41)滑动套接。
9.根据权利要求8所述的一种液晶玻璃基板减薄加工用刻蚀液喷淋装置,其特征在于,所述底板(1)的顶面与所述支撑杆(4)相邻的位置固连有防溅罩(6),所述防溅罩(6)的顶面固连有所述鼓风机(61),所述鼓风机(61)的输出端套接固定有导风块(62),所述导风块(62)的侧壁开设有多个出风口。
10.根据权利要求9所述的一种液晶玻璃基板减薄加工用刻蚀液喷淋装置,其特征在于,所述防溅罩(6)的顶面对应所述导风块(62)开设有出风口的侧壁开设有便于出风的矩形缺口(63)。
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