CN109482557B - 一种掩膜版清洗装置及其清洗方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种掩膜版清洗装置及其清洗方法，包括基台固定架、掩膜版固定架、喷淋冲洗机构、掩膜版固定架旋转驱动机构；掩膜版固定架用于夹持掩膜版，其为矩形状且宽度和长度可根据掩膜版的尺寸做出适应性调节；喷淋冲洗机构包含第一喷淋冲洗机构和第二喷淋冲洗机构，第一喷淋冲洗机构和第二喷淋冲洗机构可选择性的开启对所述掩膜版进行喷淋；掩膜版固定架旋转驱动机构可带动所述掩膜版固定架绕其水平中轴线以设定速度旋转，掩膜版简易清洗装置，单人操作即可完成，因避免了人为的直接接触，避免了掩膜版的二次污染。

Description

一种掩膜版清洗装置及其清洗方法

技术领域

本发明具体地说是涉及一种掩膜版清洗装置及其清洗方法。

背景技术

随着现代3C电子产业的高速发展，手机背板纹理、平板显示器、集成电路板中微纳结构的加工工艺越发关键，掩膜曝光就是其中一种。掩膜曝光中所用的掩膜版通常是在石英玻璃上镀一层铬层，并通过曝光腐蚀工艺制作出所需图案。掩膜版脏污后无法进行曝光实验，否则其上的脏污印记会毫无保留的转移到光刻板上。因此，脏污掩膜版的清洗至关重要。

发明内容

为解决掩膜版清洗问题，本发明涉及了一种掩膜版清洗装置及其清洗方法，能方便且有效的清洗掩膜版。

为解决上述技术问题，本发明的目的是这样实现的：

一种掩膜版清洗装置，包括基台固定架、掩膜版固定架、喷淋冲洗机构、掩膜版固定架旋转驱动机构；

所述掩膜版固定架用于夹持掩膜版，其为矩形状且宽度和长度可根据掩膜版的尺寸做出适应性调节；

所述喷淋冲洗机构包含第一喷淋冲洗机构和第二喷淋冲洗机构，所述第一喷淋冲洗机构和第二喷淋冲洗机构可选择性的开启对所述掩膜版进行喷淋；

所述掩膜版固定架旋转驱动机构可带动所述掩膜版固定架绕其水平中轴线以设定速度旋转。

在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：所述掩膜版固定架由第一掩膜版固定杆、第一固定杆导向架、第二掩膜版固定杆、第二固定杆导向架、第三掩膜版固定杆、第三固定杆导向架依次连接后围合成矩形状，所述第一掩膜版固定杆、第二掩膜版固定杆、第三掩膜版固定杆的内侧均开设有固定卡槽，掩膜版的边缘被接纳在所述固定卡槽内。

在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：还包括锁紧机构，所述第一固定杆导向架、第二固定杆导向架、第三固定杆导向架开设有导向槽，所述第一掩膜版固定杆、第二掩膜版固定杆、第三掩膜版固定杆可分别在其连接端的所述第一固定杆导向架、第二固定杆导向架、第三固定杆导向架内的导向槽内滑动，所述锁紧机构可选择性的限制所述第一固定杆导向架、第二固定杆导向架、第三固定杆导向架的滑动。

在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：所述锁紧机构包含多个锁紧螺钉，所述第一固定杆导向架、第二固定杆导向架、第三固定杆导向架分别在靠近其两端部且一垂直其轴线的侧壁上开设有螺纹孔，所述锁紧螺钉螺纹连接于所述螺纹孔内，旋紧所述锁紧螺钉可将所述第一掩膜版固定杆、第二掩膜版固定杆、第三掩膜版固定杆顶紧在所述导向槽内。

在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：所述第一掩膜版固定杆和第三掩膜版固定杆为直角状且二者相邻，所述第二掩膜版固定杆为条状且位于所述第一掩膜版固定杆和第三掩膜版固定杆的相对侧。

在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：所述第一喷淋冲洗机构和所述第二喷淋冲洗机构均包含沿所述掩膜版固定架长度方向延伸的至少一根喷淋管以及固定在所述喷淋管上的若干喷嘴，所述喷嘴朝向所述掩膜版固定架。

在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：所述掩膜版固定架具有第一种工作状态和第二种工作状态，所述第一种工作状态为其与水平面成30-40°夹角静止状态，所述第二种工作状态为掩膜版固定架旋转驱动机构驱动其以设定转速转动，所述掩膜版固定架可在这两种工作状态进行切换。

在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：所述第一喷淋冲洗机构和所述第二喷淋冲洗机构在所述掩膜版固定架处于第一种工作状态或第二种工作状态时选择性的开启。

在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：还包含吹气装置，所述吹气装置包含吹气管和均布在吹气管上的多个出气嘴，所述出气嘴朝向所述掩膜版固定架。

在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：基于上述掩膜版清洗装置的清洗方法，其特征在于：包含以下步骤

S1：将所述掩膜版置于一预定位置，使第一表面朝向清理人员；

S2：采用无尘布沾湿酒精后擦洗掩膜版的第一表面；

S3：旋转掩膜版将第二表面切换至步骤S1中所述的预定位置；

S4：采用无尘布沾湿酒精后擦洗掩膜版的第二表面；

S5：控制所述掩膜版沿其中轴线以设定转速旋转，同时采用去离子水对第一表面和第二表面进行冲洗；

S6：对经过步骤S5处理后的掩膜版通过气流吹干。

本发明相比现有技术突出且有益的技术效果是：掩膜版简易清洗装置，单人操作即可完成，因避免了人为的直接接触，避免了掩膜版的二次污染。

附图说明

图1是本发明的整体结构立体示意图；

图2是本发明的整体结构主视图；

图3是本发明的整体结构左视图；

图4是本发明的整体结构俯视图；

图5是第一掩膜版固定杆、第三掩膜版固定杆结构示意图；

图6是第一掩膜版固定杆、第三掩膜版固定杆另一角度结构示意图；

图7是第二掩膜版固定杆结构示意图；

图8是第二掩膜版固定杆固定卡槽结构示意图。

具体实施方式

为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合实施例中的附图，对实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，

一种掩膜版清洗装置，包括基台固定架10、掩膜版固定架20、喷淋冲洗机构30、掩膜版固定架旋转驱动机构40；

掩膜版固定架20用于夹持掩膜版，其为矩形状且宽度和长度可根据掩膜版的尺寸做出适应性调节；

具体的，本实施例中，掩膜版固定架20由第一掩膜版固定杆21、第一固定杆导向架22、第二掩膜版固定杆23、第二固定杆导向架24、第三掩膜版固定杆25、第三固定杆导向架26依次连接后围合成矩形状，第一掩膜版固定杆21、第二掩膜版固定杆23、第三掩膜版固定杆25的内侧均开设有固定卡槽，掩膜版的边缘被接纳在固定卡槽212/232内，具体的，掩膜版厚度一般为3mm左右，那么所述固定卡槽212/232的宽度不应小于3mm。

还包括锁紧机构50，第一固定杆导向架22、第二固定杆导向架24、第三固定杆导向架26开设有导向槽，第一掩膜版固定杆21、第二掩膜版固定杆23、第三掩膜版固定杆25可分别在其连接端的第一固定杆导向架22、第二固定杆导向架24、第三固定杆导向架26内的导向槽内滑动，如此便可以实现掩膜版固定架20宽度和长度方向进行调节，便于将掩膜版进行装夹和固定，本实施例中优选其可调节范围为20-35cm，适用于7英寸和9英寸的常规掩膜版；锁紧机构50可选择性的限制第一固定杆导向架22、第二固定杆导向架24、第三固定杆导向架26的滑动。

锁紧机构50包含多个锁紧螺钉51，第一固定杆导向架22、第二固定杆导向架24、第三固定杆导向架26分别在靠近其两端部且一垂直其轴线的侧壁上开设有螺纹孔，锁紧螺钉51螺纹连接于螺纹孔内，旋紧锁紧螺钉51可将第一掩膜版固定杆21、第二掩膜版固定杆23、第三掩膜版固定杆25顶紧在导向槽221/241内。

第一掩膜版固定杆21和第三掩膜版固定杆25为直角状且二者相邻，第二掩膜版固定杆23为条状且位于第一掩膜版固定杆21和第三掩膜版固定杆25的相对侧，这样对掩膜版形成三点支撑，包括掩膜版的两个拐角以及相对侧的一条侧边，如此固定结构简单方便，并且稳定性好。

具体的，在旋松各个锁紧螺钉51时便可将第一掩膜版固定杆21、第二掩膜版固定杆23、第三掩膜版固定杆25分别沿第一固定杆导向架22、第二固定杆导向架24、第三固定杆导向架26上的导向槽向内推入或者向外拉出从而实现调节掩膜版固定架20的宽度和长度使其与掩膜版相适应，从而使掩膜版卡于固定卡槽中，此时旋紧锁紧螺钉51后限制第一掩膜版固定杆21、第二掩膜版固定杆23、第三掩膜版固定杆25的移动，从而保证掩膜版的两个直角以及相对侧的侧边牢牢卡住不会晃动，完成掩膜版的装夹和固定，其结构简单，装夹方便，使用可靠，设备投入成本低。

喷淋冲洗机构30包含第一喷淋冲洗机构31和第二喷淋冲洗机构32，第一喷淋冲洗机构31和第二喷淋冲洗机构32可选择性的开启对掩膜版进行喷淋；本实施例中，第一喷淋冲洗机构31和第二喷淋冲洗机构32均包含沿掩膜版固定架20长度方向延伸的至少一根喷淋管以及固定在喷淋管上的若干喷嘴，喷嘴朝向掩膜版固定架20。

优选的，第一喷淋冲洗机构31包含有多根喷淋管，每根喷淋管连接在分水器311上，将水泵送出的去离子水分配到第一喷淋冲洗机构的各个喷淋管内，分水器311使多根喷淋管固定在基台固定架10，增加喷淋冲洗效果和覆盖面。

第二喷淋冲洗机构32的喷淋管通过一连通器321与接头322连通，连通器321使喷淋管固定在基台固定架10上。

掩膜版固定架旋转驱动机构40可带动掩膜版固定架20绕其水平中轴线以设定速度旋转。

具体的，本实施例中，掩膜版固定架旋转驱动机构40包含摇柄41、增速器42以及转轴43，转轴43与第二掩膜版固定杆23固定连接；转动摇柄41通过增速器42进行转速比的转换后输出到转轴43，通过转轴43带动掩膜版固定架20绕转轴转动，转轴43轴线与掩膜版固定架20轴线相重合。

进一步的，掩膜版固定架20具有第一种工作状态和第二种工作状态，第一种工作状态为其与水平面成θ夹角静止状态，θ优选为30-40°；第二种工作状态为掩膜版固定架旋转驱动机构40驱动其以设定转速转动，掩膜版固定架20可在这两种工作状态进行切换。

第一喷淋冲洗机构31和第二喷淋冲洗机构32在掩膜版固定架20处于第一种工作状态或第二种工作状态时选择性的开启。

具体的，掩膜版固定架20处于第一种工作状态时，用浸有酒精的无尘布清洗掩膜版，并在擦拭掩膜版时同时开启第二喷淋冲洗机构32，第二喷淋冲洗机构32会喷洒出酒精，实现在擦洗的时候酒精冲洗，优选的，擦拭时掩膜版固定架水平面呈30-45°倾斜，便于水流流动而不会残留脏物；

掩膜版固定架20处于第一种工作状态时，掩膜版固定架旋转驱动机构40带动掩膜版固定架20以25-35r/min旋转速度转动，同时开启第一喷淋冲洗机构31喷洒去离子水冲洗掩膜版，这样可以保证掩膜版两边同时接触水流，使冲洗更加彻底；

最后用氮气吹干即可，为了便于氮气吹干操作，还包括吹气机构33，所述吹气机构包含吹气管和均布在吹气管上的多个出气嘴，在需要氮气吹干的时候将吹气管与氮气压力气源连通，所述出气嘴朝向所述掩膜版固定架20，这样可以将氮气进行均匀的分布，从而使掩膜版被均匀的吹干。

需要说明的是，第一喷淋冲洗机构31和第二喷淋机构32均分别连通有两个水泵，水泵进口分别与装有酒精和去离子水的容器连通，出口分别于第一喷淋冲洗机构31和第二喷淋机构32的接头312以及接头3211连通，开启相应的水泵就可将酒精或者去离子水从第二喷淋机构32和第一喷淋冲洗机构31喷出。

上述实施例仅为本发明的较佳实施例，并非依此限制本发明的保护范围，故：凡依本发明的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本发明的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种掩膜版清洗装置，其特征在于：包括基台固定架（10）、掩膜版固定架（20）、喷淋冲洗机构（30）、掩膜版固定架旋转驱动机构（40）；

所述掩膜版固定架（20）用于夹持掩膜版，其为矩形状且宽度和长度可根据掩膜版的尺寸做出适应性调节；

所述喷淋冲洗机构（30）包含第一喷淋冲洗机构（31）和第二喷淋冲洗机构（32），所述第一喷淋冲洗机构（31）和第二喷淋冲洗机构（32）可选择性的开启对所述掩膜版进行喷淋；

所述掩膜版固定架旋转驱动机构（40）可带动所述掩膜版固定架（20）绕其水平中轴线以设定速度旋转；

所述掩膜版固定架（20）由第一掩膜版固定杆（21）、第一固定杆导向架（22）、第二掩膜版固定杆（23）、第二固定杆导向架（24）、第三掩膜版固定杆（25）、第三固定杆导向架（26）依次连接后围合成矩形状，所述第一掩膜版固定杆（21）、第二掩膜版固定杆（23）、第三掩膜版固定杆（25）的内侧均开设有固定卡槽，掩膜版的边缘被接纳在所述固定卡槽内；

还包括锁紧机构（50），所述第一固定杆导向架（22）、第二固定杆导向架（24）、第三固定杆导向架（26）开设有导向槽，所述第一掩膜版固定杆（21）、第二掩膜版固定杆（23）、第三掩膜版固定杆（25）可分别在其连接端的所述第一固定杆导向架（22）、第二固定杆导向架（24）、第三固定杆导向架（26）内的导向槽内滑动，所述锁紧机构（50）可选择性的限制所述第一固定杆导向架（22）、第二固定杆导向架（24）、第三固定杆导向架（26）的滑动；

所述锁紧机构（50）包含多个锁紧螺钉（51），所述第一固定杆导向架（22）、第二固定杆导向架（24）、第三固定杆导向架（26）分别在靠近其两端部且一垂直其轴线的侧壁上开设有螺纹孔，所述锁紧螺钉（51）螺纹连接于所述螺纹孔内，旋紧所述锁紧螺钉（51）可将所述第一掩膜版固定杆（21）、第二掩膜版固定杆（23）、第三掩膜版固定杆（25）顶紧在所述导向槽内；

所述掩膜版固定架（20）具有第一种工作状态和第二种工作状态，所述第一种工作状态为其与水平面成30-40°夹角静止状态，所述第二种工作状态为掩膜版固定架旋转驱动机构（40）驱动其以设定转速转动，所述掩膜版固定架（20）可在这两种工作状态进行切换；

所述第一喷淋冲洗机构（31）和所述第二喷淋冲洗机构（32）在所述掩膜版固定架（20）处于第一种工作状态或第二种工作状态时选择性的开启；

还包含吹气装置（33），所述吹气装置（33）包含吹气管（331）和均布在吹气管上的多个出气嘴（332），所述出气嘴（332）朝向所述掩膜版固定架（20）。

2.根据权利要求1所述的一种掩膜版清洗装置，其特征在于：所述第一掩膜版固定杆（21）和第三掩膜版固定杆（25）为直角状且二者相邻，所述第二掩膜版固定杆（23）为条状且位于所述第一掩膜版固定杆（21）和第三掩膜版固定杆（25）的相对侧。

3.根据权利要求1所述的一种掩膜版清洗装置，其特征在于：所述第一喷淋冲洗机构（31）和所述第二喷淋冲洗机构（32）均包含沿所述掩膜版固定架（20）长度方向延伸的至少一根喷淋管以及固定在所述喷淋管上的若干喷嘴，所述喷嘴朝向所述掩膜版固定架（20）。

4.基于权利要求1-3任一所述的一种掩膜版清洗装置的清洗方法，其特征在于：包含以下步骤

S1：将所述掩膜版置于一预定位置，使第一表面朝向清理人员；

S2：采用无尘布沾湿酒精后擦洗掩膜版的第一表面；

S3：旋转掩膜版将第二表面切换至步骤S1中所述的预定位置；

S4：采用无尘布沾湿酒精后擦洗掩膜版的第二表面；

S5：控制所述掩膜版沿其中轴线以设定转速旋转，同时采用去离子水对第一表面和第二表面进行冲洗；

S6：对经过步骤S5处理后的掩膜版通过气流吹干。