CN214442035U - 一种靶材环件校正装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种靶材环件校正装置，所述校正装置包括校正基座、校正夹具和施压组件，所述校正夹具竖直放置于校正基座上；待校正靶材环件由第一固定组件固定于校正夹具的一侧表面，所述靶材环件和校正夹具的中心轴重合，所述靶材环件外壁上设有凸起；所述施压组件位于靶材环件外侧，与靶材环件上的凸起接触，所述施压组件的一端与校正夹具连接。本实用新型通过校正装置的结构设计，尤其是固定组件的设置，能够对变形靶材环件中的不同位置进行快速校正，避免再利用时造成安装困难和使用异常的问题，便于靶材环件的再利用，校正效果好；所述装置结构简单，组装方便，适合于不同种类的靶材环件的校正，能够有效降低半导体产品制备的成本。

Description

一种靶材环件校正装置

技术领域

本实用新型属于半导体技术领域，涉及一种靶材环件校正装置。

背景技术

在半导体芯片的生产过程中，靶材溅射中通常会用到环件，环件在其中也参与溅射。环件在溅射机台上安装后，通过电流通电作用，使周围产生磁场，使靶材上溅射出的粒子通过磁场能够均匀的附着在晶圆上，而且环件安装在机台上，开口位置通电时，其他区域与机台不宜有接触，否则容易出现漏电。

靶材环件在使用过程中，由于腔体温度较高，环件容易出现变形问题，造成后续安装困难，变形后的环件容易因碰到设备金属配件而出现异常导电情况，导致设备无法正常运行，因此需要对变形环件进行校正修复，便于重新利用。

CN 110849248A公开了一种环件角度检具，所述检具包括含有内环面的检测套；所述内环面上沿径向设有多个轴向凹槽，所述轴向凹槽与待测环件上设置的凸块相匹配，所述轴向凹槽用于检验待测环件上的凸块角度，且可将待测环件凸块直接放入轴向凹槽中，单人操作即可实现环件角度检验，同时检具结构简单，加工容易，但该装置主要是对环件上的凸块角度进行匹配性检测，而并未涉及到对变形环件的校正与修复，两者属于不同的应用方向。

CN 108396297A公开了一种溅射机环件，包括环件本体，环件本体具有形成环件端口的第一端部和第二端部，其中，第一端部上设有第一导电凸起，第一导电凸起上与第一端部连接的一端为第一内端，第一导电凸起末端的周向尺寸小于第一内端的周向尺寸；第二端部上设有第二导电凸起，第二导电凸起上与第二端部连接的一端为第二内端，第二导电凸起末端的周向尺寸小于第二内端的周向尺寸；该环件通过增加导电凸起末端与机台之间的距离，减小导电凸起接触到机台的概率，但并未涉及到对环件变形后的修复，两者属于不同的改进方式与方向。

综上所述，对于使用过程中变形的靶材环件，还需要选择合适的校正装置对环件进行修复，方便靶材环件的再利用，降低产品成本。

实用新型内容

针对现有技术存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种靶材环件校正装置，通过校正装置的结构设计，能够对靶材环件中不同的变形位置进行快速校正，并能够有效控制校正程度，便于靶材环件的再利用，相对降低生产成本。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供了一种靶材环件校正装置，所述校正装置包括校正基座、校正夹具和施压组件，所述校正夹具竖直放置于校正基座上；待校正靶材环件由第一固定组件固定于校正夹具的一侧表面，所述靶材环件和校正夹具的中心轴重合，所述靶材环件外壁上设有凸起；所述施压组件位于靶材环件外侧，与靶材环件上的凸起接触，所述施压组件的一端与校正夹具连接。

本实用新型中，所述靶材环件的校正装置主要是针对于靶材环件的结构而设计的，为了便于靶材环件的校正，需要将环件竖直放置，因此在校正装置的设计上，主体结构即为校正夹具，通过第一固定组件的设置将靶材环件纵向固定，但仍能够旋转，通过施压组件对环件的变形区域进行加压校正，而靶材环件上凸起的存在既有助于施压组件对靶材环件的校正，也可避免校正过度的问题；采用该装置可实现变形环件的快速校正与修复，避免再利用时造成安装困难和使用异常的问题，有助于靶材环件的多次利用，降低半导体产品制备的成本。

以下作为本实用新型优选的技术方案，但不作为本实用新型提供的技术方案的限制，通过以下技术方案，可以更好地达到和实现本实用新型的技术目的和有益效果。

作为本实用新型优选的技术方案，所述校正夹具的纵向截面呈圆缺形，所述圆缺形的圆心角为270～320度，例如270度、280度、290度、300度、310 度或320度等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

作为本实用新型优选的技术方案，所述校正夹具的圆缺形截面部分设置凸台，与校正基座上设置的凹陷部分相匹配，将校正夹具和校正基座的相对位置固定。

本实用新型中，所述校正夹具的固定需要以校正基座为基础，因此校正夹具的底面设计为平面形，方便与校正底座的接触，所述校正夹具底面的部分还可设置凸台，使之能够与校正基座形成卡接，起到固定作用，或者直接采用焊接固定、螺纹连接等方式，避免校正夹具不稳定的问题。

作为本实用新型优选的技术方案，所述第一固定组件由一个平板面和两个纵向分支构成；所述第一固定组件的两个纵向分支分别位于靶材环件的内侧和外侧，所述纵向分支的一端与校正夹具连接，另一端与平板面固定连接，所述纵向分支垂直于校正夹具和平板面。

本实用新型中，所述第一固定组件是基于靶材环件厚度较薄的结构，采用两个纵向分支分别位于靶材环件内外的结构将靶材环件的位置固定下来，校正夹具上与两个纵向分支接触连接的位置设有凹槽，起到固定作用，避免第一固定组件容易脱落的问题。

作为本实用新型优选的技术方案，所述第一固定组件的数量至少为4个，例如4个、5个、6个或7个等，所述靶材环件的端口两侧附近分别设有1个第一固定组件。

对于正常的封闭圆环，一般3个固定组件均匀设置就可以起到固定作用，而本实用新型中的靶材环件上设有端口，而且还需要进行校正，为避免造成较大的变形，端口两侧均需要设置固定组件进行固定，以其中一个作为总体均匀布置组建中的一个，因此至少需要设置4个。

作为本实用新型优选的技术方案，所述靶材环件的凸起呈环形空心状，所述凸起的数量至少为4个，例如4个、5个、6个或7个等，所述靶材环件的端口两侧附近分别设有1个凸起。

同理，本实用新型中，靶材环件上凸起的设置方式与第一固定组件类似，施压组件通过作用于凸起进行校正，因此凸起也需要均匀布置，而端口两侧均需设置1个。

作为本实用新型优选的技术方案，所述施压组件与校正夹具的连接端由校正夹具上设置的圆柱形支柱和施压组件上设置的孔洞组成，所述圆柱形支柱位于靶材环件的外侧，所述施压组件套设于圆柱形支柱上，以圆柱形支柱为轴转动。

本实用新型中，为了方便施压组件进行施压校正，需要将其一端进行固定，但不影响施压组件的转动，因此在校正夹具表面靶材环件的外侧设置圆柱形支柱，在施压组件上设置孔洞。

作为本实用新型优选的技术方案，所述靶材环件的凸起上还安装有缓冲组件，所述施压组件施压时与缓冲组件直接接触，旋转靶材环件，分别对靶材环件不同位置的凸起施压校正。

本实用新型中，为了对靶材环件上的凸起进行保护，避免因受力过大而损伤，在凸起上安装缓冲组件，与其环形空心状结构相匹配，缓冲组件与施压组件的接触面可以设置为弧形，起到缓冲作用；靶材环件固定于校正夹具上之后，在竖直方向内不能移动，但可以进行转动，因而便于对靶材环件的不同位置进行校正，同时不会造成其他较大的变形，方便操作。

作为本实用新型优选的技术方案，所述校正装置还包括第二固定组件，所述第二固定组件包括设置于校正夹具上的两个圆柱形凸起，两个圆柱形凸起位于靶材环件同一直径方向上，分别位于靶材环件的内侧和外侧，并与靶材环件的内壁和外壁接触。

本实用新型中，设置第二固定组件的作用在于能够在校正过程中进一步固定环件，不会造成环件其他位置校正时发生变形。

作为本实用新型优选的技术方案，所述校正装置还包括校正模板，所述校正模板上设有圆槽，所述圆槽的尺寸与未变形的靶材环件的尺寸相同。

本实用新型中，所述靶材环件进行校正后，校正效果往往难以直接准确观察，为明确其校正效果，另外设置校正模板，其中设有圆槽，圆槽的大小与未变形的靶材环件的尺寸相同，以准确判断校正后的靶材环件是否达到正常使用的要求。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

(1)本实用新型通过校正装置的结构设计，尤其是校正夹具上固定组件的设置，能够对变形靶材环件中的不同位置进行快速校正，避免再利用时造成安装困难和使用异常的问题，便于靶材环件的再利用，校正效果好，校正后的靶材环件圆度降低至0.2mm以下；

(2)本实用新型所述装置结构简单，组装方便，适合于不同种类的靶材环件的校正，能够有效降低半导体产品制备的成本。

附图说明

图1是本实用新型实施例1提供的靶材环件校正装置的结构示意图；

其中，1-校正基座，2-校正夹具，3-靶材环件，31-凸起，4-第一固定组件， 5-施压组件，6-圆柱形支柱，7-缓冲组件，8-第二固定组件。

具体实施方式

为更好地说明本实用新型，便于理解本实用新型的技术方案，下面对本实用新型进一步详细说明，但下述的实施例仅是本实用新型的简易例子，并不代表或限制本实用新型的权利保护范围，本实用新型保护范围以权利要求书为准。

本实用新型具体实施方式部分提供了一种靶材环件校正装置，所述校正装置包括校正基座1、校正夹具2和施压组件5，所述校正夹具2竖直放置于校正基座1上；待校正靶材环件3由第一固定组件4固定于校正夹具2的一侧表面，所述靶材环件3和校正夹具2的中心轴重合，所述靶材环件3外壁上设有凸起 31；所述施压组件5位于靶材环件3外侧，与靶材环件3上的凸起31接触，所述施压组件5的一端与校正夹具2连接。

以下为本实用新型典型但非限制性实施例：

实施例1：

本实施例提供了一种靶材环件校正装置，所述校正装置的结构示意图如图1 所示，包括校正基座1、校正夹具2和施压组件5，所述校正夹具2竖直放置于校正基座1上；待校正靶材环件3由第一固定组件4固定于校正夹具2的一侧表面，所述靶材环件3和校正夹具2的中心轴重合，所述靶材环件3外壁上设有凸起31；所述施压组件5位于靶材环件3外侧，与靶材环件3上的凸起31接触，所述施压组件5的一端与校正夹具2连接。

所述校正夹具2的纵向截面呈圆缺形，所述圆缺形的圆心角为300度。

所述校正夹具2的圆缺形截面部分设置凸台，与校正基座1上设置的凹陷部分相匹配，并通过螺纹连接的方式将校正夹具2和校正基座1的相对位置固定。

所述第一固定组件4由一个平板面和两个纵向分支构成，所述第一固定组件4的两个纵向分支分别位于靶材环件3的内侧和外侧，所述纵向分支的一端与校正夹具2连接，另一端与平板面固定连接，所述纵向分支垂直于校正夹具2 和平板面。

所述第一固定组件4的数量为5个，所述靶材环件3的端口两侧分别设有1 个第一固定组件4。

所述靶材环件3的凸起31呈环形空心状，所述凸起31的数量为5个，所述靶材环件3的端口两侧分别设有1个凸起31。

所述施压组件5与校正夹具2的连接端由校正夹具2上设置的圆柱形支柱6 和施压组件5上设置的孔洞组成，所述圆柱形支柱6位于靶材环件3的外侧，所述施压组件5套设于圆柱形支柱6上，以圆柱形支柱6为轴转动。

所述靶材环件3的凸起31上还安装有缓冲组件7，所述施压组件5施压时与缓冲组件7直接接触，旋转靶材环件3，分别对靶材环件3不同位置的凸起 31施压校正。

所述校正装置还包括第二固定组件8，所述第二固定组件8包括设置于校正夹具2上的两个圆柱形凸起，两个圆柱形凸起位于靶材环件3同一直径方向上，分别位于靶材环件3的内侧和外侧，并与靶材环件3的内壁和外壁接触。

所述校正装置还包括校正模板，所述校正模板上设有圆槽，所述圆槽的尺寸与未变形的靶材环件3的尺寸相同。

实施例2：

本实施例提供了一种靶材环件校正装置，所述校正装置包括校正基座1、校正夹具2和施压组件5，所述校正夹具2竖直放置于校正基座1上；待校正靶材环件3由第一固定组件4固定于校正夹具2的一侧表面，所述靶材环件3和校正夹具2的中心轴重合，所述靶材环件3外壁上设有凸起31；所述施压组件5 位于靶材环件3外侧，与靶材环件3上的凸起31接触，所述施压组件5的一端与校正夹具2连接。

所述校正夹具2的纵向截面呈圆缺形，所述圆缺形的圆心角为270度。

所述校正夹具2的圆缺形截面部分设置凸台，与校正基座1上设置的凹陷部分相匹配，并通过卡接方式将校正夹具2和校正基座1的相对位置固定。

所述第一固定组件4由一个平板面和两个纵向分支构成，所述第一固定组件4的两个纵向分支分别位于靶材环件3的内侧和外侧，所述纵向分支的一端与校正夹具2连接，另一端与平板面固定连接，所述纵向分支垂直于校正夹具2 和平板面。

所述第一固定组件4的数量为7个，所述靶材环件3的端口两侧分别设有1 个第一固定组件4。

所述靶材环件3的凸起31呈环形空心状，所述凸起31的数量为6个，所述靶材环件3的端口两侧分别设有1个凸起31。

所述施压组件5与校正夹具2的连接端由校正夹具2上设置的圆柱形支柱6 和施压组件5上设置的孔洞组成，所述圆柱形支柱6位于靶材环件3的外侧，所述施压组件5套设于圆柱形支柱6上，以圆柱形支柱6为轴转动。

所述靶材环件3的凸起31上还安装有缓冲组件7，所述施压组件5施压时与缓冲组件7直接接触，旋转靶材环件3，分别对靶材环件3不同位置的凸起31施压校正。

所述校正装置还包括校正模板，所述校正模板上设有圆槽，所述圆槽的尺寸与未变形的靶材环件3的尺寸相同。

实施例3：

本实施例提供了一种靶材环件校正装置，所述校正装置包括校正基座1、校正夹具2和施压组件5，所述校正夹具2竖直放置于校正基座1上；待校正靶材环件3由第一固定组件4固定于校正夹具2的一侧表面，所述靶材环件3和校正夹具2的中心轴重合，所述靶材环件3外壁上设有凸起31；所述施压组件5 位于靶材环件3外侧，与靶材环件3上的凸起31接触，所述施压组件5的一端与校正夹具2连接。

所述校正夹具2的纵向截面呈圆缺形，所述圆缺形的圆心角为320度。

所述校正夹具2的圆缺形截面部分设置凸台，与校正基座1上设置的凹陷部分相匹配，并通过焊接方式将校正夹具2和校正基座1的相对位置固定。

所述第一固定组件4由一个平板面和两个纵向分支构成，所述第一固定组件4的两个纵向分支分别位于靶材环件3的内侧和外侧，所述纵向分支的一端与校正夹具2连接，另一端与平板面固定连接，所述纵向分支垂直于校正夹具2 和平板面。

所述第一固定组件4的数量为4个，所述靶材环件3的端口两侧分别设有1 个第一固定组件4。

所述靶材环件3的凸起31呈环形空心状，所述凸起31的数量为4个，所述靶材环件3的端口两侧分别设有1个凸起31。

所述施压组件5与校正夹具2的连接端由校正夹具2上设置的圆柱形支柱6 和施压组件5上设置的孔洞组成，所述圆柱形支柱6位于靶材环件3的外侧，所述施压组件5套设于圆柱形支柱6上，以圆柱形支柱6为轴转动。

所述靶材环件3的凸起31上还安装有缓冲组件7，所述施压组件5施压时与缓冲组件7直接接触，旋转靶材环件3，分别对靶材环件3不同位置的凸起 31施压校正。

所述校正装置还包括第二固定组件8，所述第二固定组件8包括设置于校正夹具2上的两个圆柱形凸起，两个圆柱形凸起位于靶材环件3同一直径方向上，分别位于靶材环件3的内侧和外侧，并与靶材环件3的内壁和外壁接触。

所述校正装置还包括校正模板，所述校正模板上设有圆槽，所述圆槽的尺寸与未变形的靶材环件3的尺寸相同。

采用上述实施例中的校正装置进行变形靶材环件的校正，具体包括：

按照所述校正装置的结构组装完成后，将靶材环件3放置到校正夹具2的相应位置，将靶材环件3上的变形位置旋转到施压组件5处，施压组件5对该位置的凸起31进行下压校正，多次操作，使靶材环件3基本恢复到圆的状态，然后将其放置到校正模板中，根据与圆槽的匹配程度检验靶材环件是否已恢复到初始状态，如未达到要求，则再次采用校正夹具2进行校正，至校正后的靶材环件3圆度降低至0.2mm以下，能够顺利安装到溅射设备正常使用。

综合上述实施例可以看出，本实用新型通过校正装置的结构设计，尤其是校正夹具上固定组件的设置，能够对变形靶材环件中的不同位置进行快速校正，避免再利用时造成安装困难和使用异常的问题，便于靶材环件的再利用，校正效果好，校正后的靶材环件圆度降低至0.2mm以下；所述装置结构简单，组装方便，适合于不同种类的靶材环件的校正，能够有效降低半导体产品制备的成本。

申请人声明，本实用新型通过上述实施例来说明本实用新型的详细装置，但本实用新型并不局限于上述详细装置，即不意味着本实用新型必须依赖上述详细装置才能实施。所属技术领域的技术人员应该明了，对本实用新型的任何改进，对本实用新型装置的等效替换及辅助装置的添加、具体方式的选择等，均落在本实用新型的保护范围和公开范围之内。

Claims (10)

1.一种靶材环件校正装置，其特征在于，所述校正装置包括校正基座、校正夹具和施压组件，所述校正夹具竖直放置于校正基座上；待校正靶材环件由第一固定组件固定于校正夹具的一侧表面，所述靶材环件和校正夹具的中心轴重合，所述靶材环件外壁上设有凸起；所述施压组件位于靶材环件外侧，与靶材环件上的凸起接触，所述施压组件的一端与校正夹具连接。

2.根据权利要求1所述的靶材环件校正装置，其特征在于，所述校正夹具的纵向截面呈圆缺形，所述圆缺形的圆心角为270～320度。

3.根据权利要求2所述的靶材环件校正装置，其特征在于，所述校正夹具的圆缺形截面部分设置凸台，与校正基座上设置的凹陷部分相匹配，将校正夹具和校正基座的相对位置固定。

4.根据权利要求1所述的靶材环件校正装置，其特征在于，所述第一固定组件由一个平板面和两个纵向分支构成；所述第一固定组件的两个纵向分支分别位于靶材环件的内侧和外侧，所述纵向分支的一端与校正夹具连接，另一端与平板面固定连接，所述纵向分支垂直于校正夹具和平板面。

5.根据权利要求1所述的靶材环件校正装置，其特征在于，所述第一固定组件的数量至少为4个，所述靶材环件的端口两侧分别设有1个第一固定组件。

6.根据权利要求1所述的靶材环件校正装置，其特征在于，所述靶材环件的凸起呈环形空心状，所述凸起的数量至少为4个，所述靶材环件的端口两侧分别设有1个凸起。

7.根据权利要求6所述的靶材环件校正装置，其特征在于，所述施压组件与校正夹具的连接端由校正夹具上设置的圆柱形支柱和施压组件上设置的孔洞组成，所述圆柱形支柱位于靶材环件的外侧，所述施压组件套设于圆柱形支柱上，以圆柱形支柱为轴转动。

8.根据权利要求7所述的靶材环件校正装置，其特征在于，所述靶材环件的凸起上还安装有缓冲组件，所述施压组件对靶材环件校正施压时与缓冲组件直接接触。

9.根据权利要求1所述的靶材环件校正装置，其特征在于，所述校正装置还包括第二固定组件，所述第二固定组件包括设置于校正夹具上的两个圆柱形凸起，两个圆柱形凸起位于靶材环件同一直径方向上，分别位于靶材环件的内侧和外侧，并与靶材环件的内壁和外壁接触。

10.根据权利要求1所述的靶材环件校正装置，其特征在于，所述校正装置还包括校正模板，所述校正模板上设有圆槽，所述圆槽的尺寸与未变形的靶材环件的尺寸相同。

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