CN213858733U - 一种化学机械抛光保持环 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种化学机械抛光保持环，涉及化学机械抛光技术领域，包括抛光保持环本体，所述抛光保持环本体包括金属部本体、粘结层、非金属部、第一耐高温层、第一耐磨层、第一防护层、第二耐高温层、第二耐磨层和第二防护层，所述金属部本体的顶部与粘结层的底部固定连接，所述粘结层的顶部与非金属部的底部固定连接，所述非金属部的顶部与第一耐高温层的底部固定连接。该化学机械抛光保持环，通过抛光保持环本体、第一耐高温层、第一耐磨层、第二耐高温层和第二耐磨层的结构，可以使抛光保持环本体具有耐高温和耐磨的性能，提高抛光保持环本体的使用寿命。

Description

一种化学机械抛光保持环

技术领域

本实用新型涉及化学机械抛光技术领域，具体为一种化学机械抛光保持环。

背景技术

化学机械抛光是一种全局平整化的超精密表面加工技术，这种抛光方法通常将基板吸合于承载头的下部，基板具有沉积层的底面抵接于旋转的抛光垫，承载头在驱动部件的带动下与抛光垫同向旋转并给予基板向下的载荷，同时，抛光液供给于抛光垫与基板之间，在化学和机械的共同作用下实现基板的材料去除。

在中国已授权实用新型专利申请公开说明书CN211163459U中公开的一种化学机械抛光保持环，该专利保持环的金属部的顶面、内侧面和外侧面设置有耐涂层，其可有效保护保持环的金属部，防止金属部与其他部件发生磕碰而产生金属离子污染，避免金属离子污染对化学机械抛光生产的影响，但是，实际中保持环工作时会产生摩擦，进而摩擦产生热量，但目前的保持环的耐磨性能和耐高温性能较差，使保持环的使用寿命较短。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种化学机械抛光保持环，解决了上述背景技术中提出的现有的化学机械抛光保持环的耐磨性能和耐高温性能较差的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：

一种化学机械抛光保持环，包括抛光保持环本体，所述抛光保持环本体包括金属部本体、粘结层、非金属部、第一耐高温层、第一耐磨层、第一防护层、第二耐高温层、第二耐磨层和第二防护层，所述金属部本体的顶部与粘结层的底部固定连接，所述粘结层的顶部与非金属部的底部固定连接，所述非金属部的顶部与第一耐高温层的底部固定连接，所述第一耐高温层的顶部与第一耐磨层的底部固定连接，所述第一耐磨层的顶部与第一防护层的底部固定连接。

进一步的，所述金属部本体的底部与第二耐高温层的顶部固定连接，所述第二耐高温层和第一耐高温层均是由碳化硅材料制成的。

进一步的，所述第二耐高温层的底部与第二耐磨层的顶部固定连接，所述第二耐磨层与第一耐磨层均是由高分子聚乙烯材料制成的。

进一步的，所述第二耐磨层的底部与第二防护层的顶部固定连接，所述第二防护层和第一防护层均是由聚对二甲苯材料制成的。

进一步的，所述抛光保持环本体的底部开设有多个凹槽，所述抛光保持环本体的中部设置有多个螺纹套。

(三)有益效果

本实用新型提供了一种化学机械抛光保持环，具备以下有益效果：

(1)、该化学机械抛光保持环，通过抛光保持环本体、第一耐高温层、第一耐磨层、第二耐高温层和第二耐磨层的结构，可以使抛光保持环本体具有耐高温和耐磨的性能，提高抛光保持环本体的使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型化学机械抛光保持环的截面的结构示意图；

图2为本实用新型化学机械抛光保持环的正视结构示意图；

图3为本实用新型化学机械抛光保持环的俯视结构示意图；

图4为本实用新型化学机械抛光保持环的立体结构示意图。

图中：1、抛光保持环本体；2、金属部本体；3、粘结层；4、非金属部； 5、第一耐高温层；6、第一耐磨层；7、第一防护层；8、第二耐高温层；9、第二耐磨层；10、第二防护层；11、凹槽；12、螺纹套。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：

一种化学机械抛光保持环，包括抛光保持环本体1，抛光保持环本体1的底部开设有多个凹槽11，抛光保持环本体1的中部设置有多个螺纹套12，抛光保持环本体1包括金属部本体2、粘结层3、非金属部4、第一耐高温层5、第一耐磨层6、第一防护层7、第二耐高温层8、第二耐磨层9和第二防护层 10，金属部本体2的底部与第二耐高温层8的顶部固定连接，第二耐高温层8 和第一耐高温层5均是由碳化硅材料制成的，第二耐高温层8的底部与第二耐磨层9的顶部固定连接，第二耐磨层9与第一耐磨层6均是由高分子聚乙烯材料制成的，第二耐磨层9的底部与第二防护层10的顶部固定连接，第二防护层10和第一防护层7均是由聚对二甲苯材料制成的，金属部本体2的顶部与粘结层3的底部固定连接，粘结层3的顶部与非金属部4的底部固定连接，非金属部4的顶部与第一耐高温层5的底部固定连接，第一耐高温层5 的顶部与第一耐磨层6的底部固定连接，第一耐磨层6的顶部与第一防护层7 的底部固定连接，通过抛光保持环本体1、第一耐高温层5、第一耐磨层6、第二耐高温层8和第二耐磨层9的结构，可以使抛光保持环本体1具有耐高温和耐磨的性能，提高抛光保持环本体1的使用寿命。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种化学机械抛光保持环，包括抛光保持环本体(1)，其特征在于，所述抛光保持环本体(1)包括金属部本体(2)、粘结层(3)、非金属部(4)、第一耐高温层(5)、第一耐磨层(6)、第一防护层(7)、第二耐高温层(8)、第二耐磨层(9)和第二防护层(10)，所述金属部本体(2)的顶部与粘结层(3)的底部固定连接，所述粘结层(3)的顶部与非金属部(4)的底部固定连接，所述非金属部(4)的顶部与第一耐高温层(5)的底部固定连接，所述第一耐高温层(5)的顶部与第一耐磨层(6)的底部固定连接，所述第一耐磨层(6)的顶部与第一防护层(7)的底部固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光保持环，其特征在于，

所述金属部本体(2)的底部与第二耐高温层(8)的顶部固定连接，所述第二耐高温层(8)和第一耐高温层(5)均是由碳化硅材料制成的。

3.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光保持环，其特征在于，

所述第二耐高温层(8)的底部与第二耐磨层(9)的顶部固定连接，所述第二耐磨层(9)与第一耐磨层(6)均是由高分子聚乙烯材料制成的。

4.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光保持环，其特征在于，

所述第二耐磨层(9)的底部与第二防护层(10)的顶部固定连接，所述第二防护层(10)和第一防护层(7)均是由聚对二甲苯材料制成的。

5.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光保持环，其特征在于，

所述抛光保持环本体(1)的底部开设有多个凹槽(11)，所述抛光保持环本体(1)的中部设置有多个螺纹套(12)。

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