CN213739194U - 玻璃壳体内部制备均匀薄膜的镀膜蒸发装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及玻璃壳体镀膜领域，具体涉及玻璃壳体内部制备均匀薄膜的镀膜蒸发装置，包括高度调节机构、真空箱、锥形插套、蒸发舟、支撑架、混气机构、夹紧机构和玻璃壳，高度调节机构固定安装在真空箱的内侧底部，支撑架的顶部穿过锥形插套位于玻璃壳内，蒸发舟位于支撑架的顶部，真空箱包括箱体和箱盖，箱体的底部外缘上开设有一个抽气孔，该玻璃壳体内部制备均匀薄膜的镀膜蒸发装置，本实用新型可实现玻璃壳体内部的均匀镀膜。

Description

玻璃壳体内部制备均匀薄膜的镀膜蒸发装置

技术领域

本实用新型涉及玻璃壳体镀膜领域，具体涉及玻璃壳体内部制备均匀薄膜的镀膜蒸发装置。

背景技术

光电倍增管阴极制备的关键工序，以在玻璃球壳的内表面(尤其是上半部分)形成均匀的一层或者多层功能膜层，提高光电子的转化能力和效率，实现对光信号的探测和光电转换。

玻璃球壳内壁面上形成广电阴极膜层的质量，是影响探测效率的关键因素。传统的方法是设置可旋转的蒸发源或是增添矫正板进而达到均匀镀膜的效果，但对于小尺寸的微通道板型(例如，3英寸、4英寸)的光电倍增管的应用的圆角方形玻璃壳，难以实现快递均匀镀膜。

实用新型内容

本实用新型的目的在于针对现有技术提出的问题，提供玻璃壳体内部制备均匀薄膜的镀膜蒸发装置。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种玻璃壳体内部制备均匀薄膜的镀膜蒸发装置，包括高度调节机构、真空箱、锥形插套、蒸发舟、支撑架、混气机构、夹紧机构和玻璃壳，高度调节机构、锥形插套、蒸发舟、支撑架、混气机构、夹紧机构和玻璃壳均位于真空箱内，高度调节机构固定安装在真空箱的内侧底部，锥形插套固定安装在高度调节机构上，玻璃壳的开口处套设在锥形插套的顶部，支撑架固定安装在真空箱的内侧底部，且支撑架的顶部穿过锥形插套位于玻璃壳内，蒸发舟位于支撑架的顶部，且蒸发舟的两个正负电极穿过支撑架与电源连接，混气机构用于对蒸发舟进行吹气，位于蒸发舟的顶部，夹紧机构能够上下滑动的安装在锥形插套的外缘上，且夹紧机构与支撑架可拆卸连接，真空箱包括箱体和箱盖，箱盖盖设在箱体的顶部，箱体的底部外缘上开设有一个抽气孔。

进一步的，高度调节机构包括环形托板、调节方柱、第一螺栓、螺母、四个导柱和连接条板，锥形插套固定安装在环形托板的顶部，且四个连接条板的一端均固定安装在环形托板的外缘上，且四个连接条板的另一端与箱体的内侧四周壁接触，四个导柱均分别穿过四个连接条板且与箱体的底部固定连接，连接条板上开设有在导柱上滑动的滑孔，第一螺栓位于一个连接条板的正上方，且第一螺栓的底部穿过连接条板与调节方柱连接，调节方柱顶部开设有与第一螺栓连接的螺孔，调节方柱的底部与箱体的底部固定连接，螺母啮合在第一螺栓上，且螺母的顶部与连接条板的底部抵触。

进一步的，支撑架包括支撑管、固定块、和两个延伸管，固定块的底部固定安装在箱体的内侧底部，固定块的顶部穿过锥形插套且与锥形插套共轴线，延伸管固定安装在固定块的内侧顶部，且两个支撑管均分别固定安装在延伸管的顶部，蒸发舟的底部与支撑管的顶部抵触，且蒸发舟的正负极分别穿过两个支撑管和一个延伸管与设置在固定块内的电源线连接。

进一步的，夹紧机构包括套环、固定板、第二螺栓、拉板、四个铰接臂和抵柱，四个抵柱呈竖直位于锥形插套的外侧，四个抵柱均位于锥形插套内，且四个抵柱的底部均分别与四个铰接臂固定连接，锥形插套上开设有四个供铰接臂穿过的条形避让缺口，四个铰接臂的底部均与套环的外缘固定连接，拉板固定安装在套环的外缘上，固定板固定安装在，固定块的外缘上，且第二螺栓的顶部穿过固定板与拉板连接，拉板上开设有与第二螺栓啮合连接的螺孔。

进一步的，铰接臂包括弧形滑板、连接杆、两个第一铰接板、第二铰接板、滚轮和固定螺钉，弧形滑板的内表面与锥形插套的外表面贴合，抵柱固定安装在弧形滑板的顶部，两个第一铰接板固定安装在弧形滑板的内侧，且两个第一铰接板的外侧均与锥形插套上的条形避让缺口的两侧贴合，连接杆位于两个第一铰接板之间，且连接杆的顶端与两个第一铰接板铰接，两个第二铰接板固定安装在套环上，且连接杆位于两个第二铰接板之间，且连接杆与两个第二铰接板铰接，两个滚轮分别位于两个第一铰接板的外侧，且两个滚轮的外缘均与锥形插套的内缘接触，且两个固定螺钉均分别穿过两个滚轮与两个第一铰接板固定连接。

进一步的，混气机构包括吹风机构、传动轴、驱动箱和两个轴承，吹风机构位于蒸发舟的顶部，传动轴的顶部穿过蒸发舟与吹风机构固定连接，传动轴的底部穿过延伸管和箱体与驱动箱传动连接，驱动箱固定安装在箱体的底部，两个轴承的内侧与传动轴转动连接，两个轴承均固定安装在延伸管上，延伸管上开设有供两个轴承安装的安装孔。

进一步的，所述箱体和箱盖均为透明材料制成。

与现有技术相比，本实用新型镀膜装置，可实现在小尺寸光电倍增管的圆角方形的玻璃壳体的内部进行均匀镀膜，操作过程简单方便，而且效率高。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对本实用新型实施例中所需要使用的附图作简单地介绍。

图1为本实用新型的镀膜装置的结构示意图；

图2为高度调节机构的立体结构示意图；

图3为支撑架的立体结构示意图；

图4为夹紧机构的立体结构示意图；

图5为铰接臂的立体结构示意图；

图6为固定块的立体结构示意图；

图7为混气机构的立体结构示意图；

图中各个标号的含义如下：

1、高度调节机构；1a、导柱；1b、环形托板；1c、连接条板；1d、调节方柱；1e、第一螺栓；1f、螺母；

2、真空箱；2a、箱体；2b、箱盖；2c、抽气口；

3、锥形插套；

4、蒸发舟；

6、支撑架；6a、支撑管；6b、延伸管；6c、固定块；

7、混气机构；7a、吹风机构；7b、传动轴；7c、驱动箱；7d、轴承；

8、夹紧机构；8a、铰接臂；8a1、弧形滑板；8a2、第一铰接板；8a3、第二铰接板；8a4、连接杆；8a5、滚轮；8a6、固定螺钉；8b、抵柱；8c、套环；8d、固定板；8e、第二螺栓； 8f、拉板；

9、玻璃壳。

具体实施方式

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

其中，附图仅用于示例性说明，表示的仅是示意图，而非实物图，不能理解为对本专利的限制；为了更好地说明本实用新型的实施例，附图某些部件会有省略、放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸。

参照图1至图7所示的玻璃壳体内部制备均匀薄膜的镀膜蒸发装置，包括高度调节机构 1、真空箱2、锥形插套3、蒸发舟4、支撑架6、混气机构7、夹紧机构8和玻璃壳9。

结合图示1-3所示，高度调节机构1、锥形插套3、蒸发舟4、支撑架6、混气机构7、夹紧机构8和玻璃壳9均位于真空箱2内，高度调节机构1固定安装在真空箱2的内侧底部，锥形插套3固定安装在高度调节机构1上，玻璃壳9的开口处套设在锥形插套3的顶部。

支撑架6固定安装在真空箱2的内侧底部，且支撑架6的顶部穿过锥形插套3位于玻璃壳9内。

蒸发舟4位于支撑架6的顶部，且蒸发舟4的两个正负电极穿过支撑架6与电源连接，混气机构7用于对蒸发舟4进行吹气，位于蒸发舟4的顶部。

夹紧机构8能够上下滑动的安装在锥形插套3的外缘上，且夹紧机构8与支撑架6可拆卸连接。

真空箱2包括箱体2a和箱盖2b，箱盖2b盖设在箱体2a的顶部，箱体2a的底部外缘上开设有一个抽气孔。优选地，箱体2a和箱盖2b可为硬质透明塑料或者透明玻璃。

当需要对玻璃壳9内表面进行镀膜时，首先通过将玻璃壳9的开口处***到锥形插套3 上，再通过使用高度调节机构1，进而使得高度调节机构1带动锥形插套3进行向上运动或者向下运动，从而使得蒸发舟4位于玻璃壳9内部合适的高度，便于对玻璃壳9内表面进行全面镀膜，再通过使用夹紧机构8，进而使得夹紧机构8对玻璃壳9的外表面进行夹紧。然后可通过混气机构7和连接在蒸发舟4正负极上的电源，进而使得蒸发舟4上的金属进行蒸发，通过混气机构7对蒸发舟4上进行吹气，使得从蒸发舟4上蒸发的金属能够快速的散开，进而对玻璃壳9的内表面进行均匀镀膜。

结合图2所示的示例性实施例的高度调节机构1包括环形托板1b、调节方柱1d、第一螺栓1e、螺母1f、四个导柱1a和连接条板1c。

锥形插套3固定安装在环形托板1b的顶部，且四个连接条板1c的一端均固定安装在环形托板1b的外缘上，且四个连接条板1c的另一端与箱体2a的内侧四周壁接触，四个导柱1a 均分别穿过四个连接条板1c且与箱体2a的底部固定连接。

连接条板1c上开设有在导柱1a上滑动的滑孔，第一螺栓1e位于一个连接条板1c的正上方，且第一螺栓1e的底部穿过连接条板1c与调节方柱1d连接，调节方柱1d顶部开设有与第一螺栓1e连接的螺孔，调节方柱1d的底部与箱体2a的底部固定连接，螺母1f啮合在第一螺栓1e上，且螺母1f的顶部与连接条板1c的底部抵触。

由此，通过旋动第一螺栓1e，进而使得第一螺栓1e与调节方柱1d上的螺孔进行啮合，进而使得第一螺栓1e和螺母1f带动连接条板1c进行上下运动，进而使得连接条板1c带动环形托板1b和固定在环形托板1b的锥形插套3进行上下运动，通过导柱1a对高度调节机构 1上下运动起到导向的作用。

结合图示示例的支撑架6包括支撑管6a、固定块6c、和两个延伸管6b。固定块6c的底部固定安装在箱体2a的内侧底部，固定块6c的顶部穿过锥形插套3且与锥形插套3共轴线，延伸管6b固定安装在固定块6c的内侧顶部，且两个支撑管6a均分别固定安装在延伸管6b 的顶部，蒸发舟4的底部与支撑管6a的顶部抵触，且蒸发舟4的正负极分别穿过两个支撑管 6a和一个延伸管6b与设置在固定块6c内的电源线连接。通过两个延伸管6b对蒸发舟4的底部起到支撑的作用。

结合图示的夹紧机构8包括套环8c、固定板8d、第二螺栓8e、拉板8f、四个铰接臂8a和抵柱8b。四个抵柱8b呈竖直位于锥形插套3的外侧，四个抵柱8b均位于锥形插套3内，且四个抵柱8b的底部均分别与四个铰接臂8a固定连接。

锥形插套3上开设有四个供铰接臂8a穿过的条形避让缺口，四个铰接臂8a的底部均与套环8c的外缘固定连接，拉板8f固定安装在套环8c的外缘上，固定板8d固定安装在，固定块6c的外缘上，且第二螺栓8e的顶部穿过固定板8d与拉板8f连接，拉板8f上开设有与第二螺栓8e啮合连接的螺孔。

由此，通过夹紧机构8对玻璃壳9的外表面进行夹紧，通过拧动第二螺栓8e，进而使得第二螺栓8e与拉板8f上的螺孔进行啮合，从而使得拉板8f带动套环8c进行下移。再通过铰接臂8a，进而使得铰接臂8a带动抵柱8b进行上滑，通过四个抵柱8b的作用，进而将玻璃壳9的外缘卡紧，且当下一个玻璃壳9再需要进行镀膜时，不需要在调动夹紧机构8。

结合图示的示例性实施例的铰接臂8a包括弧形滑板8a1、连接杆8a4、两个第一铰接板 8a2、第二铰接板8a3、滚轮8a5和固定螺钉8a6，弧形滑板8a1的内表面与锥形插套3的外表面贴合。

抵柱8b固定安装在弧形滑板8a1的顶部，两个第一铰接板8a2固定安装在弧形滑板8a1 的内侧，且两个第一铰接板8a2的外侧均与锥形插套3上的条形避让缺口的两侧贴合。

连接杆8a4位于两个第一铰接板8a2之间，且连接杆8a4的顶端与两个第一铰接板8a2 铰接，两个第二铰接板8a3固定安装在套环8c上，且连接杆8a4位于两个第二铰接板8a3之间，且连接杆8a4与两个第二铰接板8a3铰接。

两个滚轮8a5分别位于两个第一铰接板8a2的外侧，且两个滚轮8a5的外缘均与锥形插套3的内缘接触，且两个固定螺钉8a6均分别穿过两个滚轮8a5与两个第一铰接板8a2固定连接。

由此，结合图示5，当套环8c向下移动的过程中，进而带动第二铰接板8a3向下移动，进而使得第二铰接板8a3拉动连接杆8a4，从而使得连接杆8a4拉动第一铰接板8a2，进而使得弧形滑板8a1沿着锥形插套3的外缘向上运动，进而通过弧形滑板8a1带动抵柱8b向上运动，再通过滚轮8a5与锥形插套3的内缘贴合，进而对弧形滑板8a1在锥形插套3上的运动起到导向的作用。

混气机构7包括吹风机构7a(譬如扇叶)、传动轴7b、驱动箱7c和两个轴承7d，吹风机构7a位于蒸发舟4的顶部。传动轴7b的顶部穿过蒸发舟4与吹风机构7a固定连接，传动轴7b的底部穿过延伸管6b和箱体2a与驱动箱7c传动连接，驱动箱7c固定安装在箱体2a的底部。

两个轴承7d的内侧与传动轴7b转动连接，两个轴承7d均固定安装在延伸管6b上，延伸管6b上开设有供两个轴承7d安装的安装孔。

由此，通过混气机构7对蒸发舟4上进行吹气，驱动箱7c带动传动轴7b的运动，进而使得传动轴7b带动吹风机构7a进行旋转，进而使得吹风机构7a对蒸发舟4的顶部进行吹气。

虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本发明。本发明所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作各种的更动与润饰。因此，本发明的保护范围当视权利要求书所界定者为准。

Claims (7)

1.玻璃壳体内部制备均匀薄膜的镀膜蒸发装置，其特征在于，所述镀膜蒸发装置包括高度调节机构（1）、真空箱（2）、锥形插套（3）、蒸发舟（4）、支撑架（6）、混气机构（7）、夹紧机构（8）和玻璃壳（9），其中：

所述高度调节机构（1）、锥形插套（3）、蒸发舟（4）、支撑架（6）、混气机构（7）、夹紧机构（8）和玻璃壳（9）均位于真空箱（2）内；

高度调节机构（1）固定安装在真空箱（2）的内侧底部；

锥形插套（3）固定安装在高度调节机构（1）上；

玻璃壳（9）的开口处套设在锥形插套（3）的顶部；

支撑架（6）固定安装在真空箱（2）的内侧底部，且支撑架（6）的顶部穿过锥形插套（3）位于玻璃壳（9）内；

蒸发舟（4）位于支撑架（6）的顶部，且蒸发舟（4）的两个正负电极穿过支撑架（6）与电源连接；

混气机构（7）用于对蒸发舟（4）进行吹气，位于蒸发舟（4）的顶部；

夹紧机构（8）能够上下滑动的安装在锥形插套（3）的外缘上，且夹紧机构（8）与支撑架（6）可拆卸连接；

真空箱（2）包括箱体（2a）和箱盖（2b），箱盖（2b）盖设在箱体（2a）的顶部，箱体（2a）的底部外缘上开设有一个抽气孔。

2.根据权利要求1所述的玻璃壳体内部制备均匀薄膜的镀膜蒸发装置，其特征在于，所述高度调节机构（1）包括环形托板（1b）、调节方柱（1d）、第一螺栓（1e）、螺母（1f）、四个导柱（1a）和连接条板（1c），锥形插套（3）固定安装在环形托板（1b）的顶部，且四个连接条板（1c）的一端均固定安装在环形托板（1b）的外缘上，四个连接条板（1c）的另一端与箱体（2a）的内侧四周壁接触；

四个导柱（1a）均分别穿过四个连接条板（1c）且与箱体（2a）的底部固定连接；

所述连接条板（1c）上开设有在导柱（1a）上滑动的滑孔；

所述第一螺栓（1e）位于一个连接条板（1c）的正上方，且第一螺栓（1e）的底部穿过连接条板（1c）与调节方柱（1d）连接，调节方柱（1d）顶部开设有与第一螺栓（1e）连接的螺孔，调节方柱（1d）的底部与箱体（2a）的底部固定连接，螺母（1f）啮合在第一螺栓（1e）上，且螺母（1f）的顶部与连接条板（1c）的底部抵触。

3.根据权利要求2所述的玻璃壳体内部制备均匀薄膜的镀膜蒸发装置，其特征在于，所述支撑架（6）包括支撑管（6a）、固定块（6c）、和两个延伸管（6b），固定块（6c）的底部固定安装在箱体（2a）的内侧底部，固定块（6c）的顶部穿过锥形插套（3）且与锥形插套（3）共轴线，延伸管（6b）固定安装在固定块（6c）的内侧顶部，且两个支撑管（6a）均分别固定安装在延伸管（6b）的顶部，蒸发舟（4）的底部与支撑管（6a）的顶部抵触，且蒸发舟（4）的正负极分别穿过两个支撑管（6a）和一个延伸管（6b）与设置在固定块（6c）内的电源线连接。

4.根据权利要求3所述的玻璃壳体内部制备均匀薄膜的镀膜蒸发装置，其特征在于，所述夹紧机构（8）包括套环（8c）、固定板（8d）、第二螺栓（8e）、拉板（8f）、四个铰接臂（8a）和抵柱（8b）；

四个抵柱（8b）呈竖直位于锥形插套（3）的外侧，四个抵柱（8b）均位于锥形插套（3）内，且四个抵柱（8b）的底部均分别与四个铰接臂（8a）固定连接；

锥形插套（3）上开设有四个供铰接臂（8a）穿过的条形避让缺口，四个铰接臂（8a）的底部均与套环（8c）的外缘固定连接，拉板（8f）固定安装在套环（8c）的外缘上，固定板（8d）固定安装在固定块（6c）的外缘上，且第二螺栓（8e）的顶部穿过固定板（8d）与拉板（8f）连接，拉板（8f）上开设有与第二螺栓（8e）啮合连接的螺孔。

5.根据权利要求4所述的玻璃壳体内部制备均匀薄膜的镀膜蒸发装置，其特征在于，铰接臂（8a）包括弧形滑板（8a1）、连接杆（8a4）、两个第一铰接板（8a2）、第二铰接板（8a3）、滚轮（8a5）和固定螺钉（8a6）；

弧形滑板（8a1）的内表面与锥形插套（3）的外表面贴合；

抵柱（8b）固定安装在弧形滑板（8a1）的顶部；

两个第一铰接板（8a2）固定安装在弧形滑板（8a1）的内侧，且两个第一铰接板（8a2）的外侧均与锥形插套（3）上的条形避让缺口的两侧贴合；

连接杆（8a4）位于两个第一铰接板（8a2）之间，且连接杆（8a4）的顶端与两个第一铰接板（8a2）铰接；

两个第二铰接板（8a3）固定安装在套环（8c）上，且连接杆（8a4）位于两个第二铰接板（8a3）之间，连接杆（8a4）与两个第二铰接板（8a3）铰接；

两个滚轮（8a5）分别位于两个第一铰接板（8a2）的外侧，且两个滚轮（8a5）的外缘与锥形插套（3）的内缘接触，且两个固定螺钉（8a6）均分别穿过两个滚轮（8a5）与两个第一铰接板（8a2）固定连接。

6.根据权利要求5所述的玻璃壳体内部制备均匀薄膜的镀膜蒸发装置，其特征在于，混气机构（7）包括吹风机构（7a）、传动轴（7b）、驱动箱（7c）和两个轴承（7d），吹风机构（7a）位于蒸发舟（4）的顶部，其中：

所述传动轴（7b）的顶部穿过蒸发舟（4）与吹风机构（7a）固定连接，传动轴（7b）的底部穿过延伸管（6b）和箱体（2a）与驱动箱（7c）传动连接，驱动箱（7c）固定安装在箱体（2a）的底部，两个轴承（7d）的内侧与传动轴（7b）转动连接，两个轴承（7d）均固定安装在延伸管（6b）上，延伸管（6b）上开设有供两个轴承（7d）安装的安装孔。

7.根据权利要求1所述的玻璃壳体内部制备均匀薄膜的镀膜蒸发装置，其特征在于，所述箱体（2a）和箱盖（2b）均为透明材料制成。

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