CN213631201U - 玻璃基板干燥室 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种玻璃基板干燥室，包括干燥室本体，干燥室本体设有干燥腔室，玻璃基板在干燥腔室中进行干燥，干燥腔室中设有真空烘干设备和输送机构，玻璃基板通过输送机构从干燥腔室转移至真空烘干设备中。本实用新型的玻璃基板干燥室将真空烘干设备设置在干燥腔室中，玻璃基板在干燥腔室内被干燥后，输送机构再将玻璃基板转移至真空烘干设备中烘干，大大减少了玻璃基板的转移时间，提高了干燥效率，转移路径的缩短也降低了玻璃基板在转移过程中的受损风险。由于真空烘干设备设置在干燥腔室中，也使得本实用新型的玻璃基板干燥室的结构紧凑，占地面积小，方便进行布置。

Description

玻璃基板干燥室

技术领域

本实用新型涉及显示器制造技术领域，尤其涉及一种玻璃基板干燥室。

背景技术

显示器中的玻璃基板在进行蒸镀等加工之前需要进行清洗以去除表面附着的杂质，清洗后再进行干燥，确保后续工序中不会有水汽产生。现有的干燥流程是首先用惰性气体吹干玻璃基板，然后再用叉车或其他运输工具将吹干后玻璃基板转移到真空设备内进行烘干。由于干燥过程在两个不同的设备中进行，造成了干燥设备占地面积较大，干燥效率较低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种玻璃基板干燥室，占地面积较小且具有较高的干燥效率。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

提供一种玻璃基板干燥室，包括干燥室本体，所述干燥室本体设有干燥腔室，玻璃基板在所述干燥腔室中进行干燥，所述干燥腔室中设有真空烘干设备和输送机构，所述玻璃基板通过所述输送机构从所述干燥腔室转移至所述真空烘干设备中。

作为本实用新型的一种优选方案，所述输送机构包括导轨和至少一个机械手，所述机械手包括底座、承载臂和连接臂，所述底座活动设置在所述导轨上，所述连接臂的一端与所述底座铰接，所述连接臂的另一端与所述承载臂铰接。

作为本实用新型的一种优选方案，所述连接臂包括第一铰接臂和第二铰接臂，所述第一铰接臂的一端与所述底座铰接，所述第一铰接臂的另一端与所述第二铰接臂的一端铰接，所述第二铰接臂远离所述第一铰接臂的一端与所述承载臂铰接。

作为本实用新型的一种优选方案，所述导轨包括至少一条竖直设置的竖直轨道和若干水平设置的水平轨道，所述竖直轨道与各个所述水平轨道连接。

作为本实用新型的一种优选方案，所述导轨包括两条所述竖直轨道，所述水平轨道的两端与分别与一个所述竖直轨道连接，所述机械手的数量大于两个。

作为本实用新型的一种优选方案，所述玻璃基板干燥室还包括若干支撑架，所述支撑架水平设置在所述干燥腔室内，所述机械手将所述玻璃基板放置在所述支撑架上；

或，所述机械手将所述玻璃基板从所述支撑架转移至所述真空烘干设备。

作为本实用新型的一种优选方案，所述干燥室本体呈长方体状，所述支撑架的一端固定在所述干燥室本体的一个内侧壁上，所述导轨设置在与所述支撑架相邻的另一个内侧壁上。

作为本实用新型的一种优选方案，所述真空烘干设备设置在所述干燥室本体的地面上，且所述真空烘干设备设置在所述支撑架的正下方。

作为本实用新型的一种优选方案，所述玻璃基板干燥室还包括门体，所述干燥室本体上设有开口，所述门体选择性封闭所述开口。

作为本实用新型的一种优选方案，所述玻璃基板通过所述开口输送至所述输送机构，所述输送机构通过所述开口将所述玻璃基板输送至所述干燥室本体之外。

本实用新型的有益效果：

本实用新型的玻璃基板干燥室将真空烘干设备设置在干燥腔室中，玻璃基板在干燥腔室内被干燥后，输送机构再将玻璃基板转移至真空烘干设备中烘干，大大减少了玻璃基板的转移时间，提高了干燥效率，转移路径的缩短也降低了玻璃基板在转移过程中的受损风险。由于真空烘干设备设置在干燥腔室中，也使得本实用新型的玻璃基板干燥室的结构紧凑，占地面积小，方便进行布置。

附图说明

图1为本实用新型实施例的玻璃基板干燥室的立体示意图；

图2为本实用新型一实施例的玻璃基板干燥室的剖面示意图之一；

图3为本实用新型一实施例的玻璃基板干燥室的剖面示意图之二；

图4为本实用新型一实施例的玻璃基板干燥室的剖面示意图之三；

图5为本实用新型一实施例的玻璃基板干燥室的剖面示意图之四；

图6为本实用新型一实施例的玻璃基板干燥室的剖面示意图之五；

图7为本实用新型一实施例的玻璃基板干燥室的剖面示意图之六。

图中：

1、干燥室本体；2、门体；3、真空烘干设备；4、输送机构；41、导轨；411、竖直轨道；412、水平轨道；42、机械手；421、底座；422、连接臂；4221、第一铰接臂；4222、第二铰接臂；423、承载臂；5、支撑架；100、玻璃基板。

具体实施方式

参考下面结合附图详细描述的实施例，本实用新型的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而，本实用新型不限于以下公开的实施例，而是可以以各种不同的形式来实现，提供本实施例仅仅是为了完成本实用新型的公开并且使本领域技术人员充分地了解本实用新型的范围，并且本实用新型仅由权利要求的范围限定。相同的附图标记在整个说明书中表示相同的构成要素。

以下，参照附图来详细描述本实用新型。

如图1和图2所示，一实施例的玻璃基板干燥室包括干燥室本体1和门体2，干燥室本体1设有干燥腔室，玻璃基板100在干燥腔室中进行干燥，干燥室本体1上设有开口，门体2选择性封闭开口，干燥腔室中设有真空烘干设备3和输送机构4，玻璃基板100通过输送机构4从干燥腔室转移至真空烘干设备3中。

本实施例的玻璃基板干燥室将真空烘干设备3设置在干燥腔室中，玻璃基板100在干燥腔室内被干燥后，输送机构4再将玻璃基板100转移至真空烘干设备3中烘干，大大减少了玻璃基板100的转移时间，提高了干燥效率，转移路径的缩短也降低了玻璃基板100在转移过程中的受损风险。由于真空烘干设备3设置在干燥腔室中，也使得本实用新型的玻璃基板干燥室的结构紧凑，占地面积小，方便进行布置。

输送机构4包括导轨41和两个机械手42，机械手42的数量并不限定为两个，在其他实施例中，机械手42的数量为一个或三个以上，较多数量的机械手42具有较高的输送效率。机械手42包括底座421、连接臂422和承载臂423，底座421活动设置在导轨41上，连接臂422的一端与底座421铰接，连接臂422的另一端与承载臂423铰接。承载臂423用于托举玻璃基板100，当承载臂423上有玻璃基板100存在时，承载臂423处于水平状态以防止玻璃基板100滑动，整个机械手42可以沿导轨41进行运动，从而实现对玻璃基板100的搬运。

连接臂422用于增加机械手42的灵活度，在本实施例中，连接臂422包括第一铰接臂4221和第二铰接臂4222，第一铰接臂4221的一端与底座421铰接，第一铰接臂4221的另一端与第二铰接臂4222的一端铰接，第二铰接臂4222远离第一铰接臂4221的一端与承载臂423铰接。此种设置使机械手42能呈现出多种不同的姿态，适合在较小的空间内实现对玻璃基板100的搬运工作。

如图3所示，在本实施例中，导轨41包括两条竖直设置的竖直轨道411和四条水平设置的水平轨道412，竖直轨道411与各个水平轨道412连接。由于本实施例中的机械手42有两个，为了避免两个机械手42在导轨41上移动时发生干涉的情况，设置了两条竖直轨道411，使得机械手42可以在导轨41上回转，避免两个机械手42发生干涉。

当机械手42的数量只有一个时，则可以只设置一条竖直轨道411。

玻璃基板干燥室还包括若干支撑架5，支撑架5水平设置在干燥腔室内，机械手42将玻璃基板100放置在支撑架5上；

或，机械手42将玻璃基板100从支撑架5转移至真空烘干设备3。

机械手42通过改变自身姿态以及在导轨41上移动，可以将玻璃基板100平稳地放置在支撑架5上，也可以将玻璃基板100从支撑架5上平稳地转移至真空烘干设备3。

在本实施例中，干燥室本体1呈长方体状，支撑架5的一端固定在干燥室本体1的一个内侧壁上，导轨41设置在与支撑架5相邻的另一个内侧壁上。此种设置使机械手42上的各个铰接轴都相互平行，机械手42各个部件只发生平面上的位移或旋转，不需要做复杂的立体运动，使机械手42的结构较为简单，可靠性高且成本较低。

进一步的，真空烘干设备3设置在干燥室本体1的地面上，且真空烘干设备3设置在支撑架5的正下方。由于真空烘干设备3设置在支撑架5的正下方，机械手42可以通过沿竖直轨道411快速从支撑架5的一侧运动到真空烘干设备3的一侧，实现玻璃基板100的快速转移。

下面结合附图来说明本实施例的玻璃基板干燥室的工作流程。

如图2所示，图2中左侧的机械手42可以视为正处于从外界接收玻璃基板100的状态，也可以视为机械手42正处于将玻璃基板100运出干燥腔室的状态，此时门体2处于开启的状态，机械手42通过调整自身的姿态，可伸出干燥腔室之外，实现玻璃基板100的输入或输出。图2中右侧的机械手42则正在将玻璃基板100放置在支撑架5上。

如图3所示，图中的两个机械手42均处于将玻璃基板100放置在支撑架5的过程中，为了避免两个机械手42在同时作业时发生干涉，两个机械手42在竖直方向上间隔有一定距离。

如图4所示，两个机械手42进行了一定程度的收缩并移动至竖直轨道411上，此时机械手42正在向真空烘干设备3移动。在图5中，处于下方的机械手42正在将玻璃基板100放入真空烘干设备3中。在图6中，已经将玻璃基板100放入真空烘干设备3的机械手42移动到了另一条竖直轨道411上，从而为另一个机械手42腾出位置。如图7所示，位于右侧竖直轨道411上的机械手42已经在对剩余的玻璃基板100进行搬运操作，位于左侧竖直轨道411上的机械手42也将运动到右侧竖直轨道411上对玻璃基板100进行搬运。

尽管上面已经参考附图描述了本实用新型的实施例，但是本实用新型不限于以上实施例，而是可以以各种形式制造，并且本领域技术人员将理解，在不改变本实用新型的技术精神或基本特征的情况下，可以以其他特定形式来实施本实用新型。因此，应该理解，上述实施例在所有方面都是示例性的而不是限制性的。

Claims (10)

1.一种玻璃基板干燥室，包括干燥室本体，所述干燥室本体设有干燥腔室，玻璃基板在所述干燥腔室中进行干燥，其特征在于，还包括真空烘干设备和输送机构，所述真空烘干设备和所述输送机构设置在所述干燥腔室中，所述玻璃基板通过所述输送机构从所述干燥腔室转移至所述真空烘干设备中。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板干燥室，其特征在于，所述输送机构包括导轨和至少一个机械手，所述机械手包括底座、承载臂和连接臂，所述底座活动设置在所述导轨上，所述连接臂的一端与所述底座铰接，所述连接臂的另一端与所述承载臂铰接。

3.根据权利要求2所述的玻璃基板干燥室，其特征在于，所述连接臂包括第一铰接臂和第二铰接臂，所述第一铰接臂的一端与所述底座铰接，所述第一铰接臂的另一端与所述第二铰接臂的一端铰接，所述第二铰接臂远离所述第一铰接臂的一端与所述承载臂铰接。

4.根据权利要求2所述的玻璃基板干燥室，其特征在于，所述导轨包括至少一条竖直设置的竖直轨道和若干水平设置的水平轨道，所述竖直轨道与各个所述水平轨道连接。

5.根据权利要求4所述的玻璃基板干燥室，其特征在于，所述导轨包括两条所述竖直轨道，所述水平轨道的两端与分别与一个所述竖直轨道连接，所述机械手的数量大于两个。

6.根据权利要求2至5任一项所述的玻璃基板干燥室，其特征在于，所述玻璃基板干燥室还包括若干支撑架，所述支撑架水平设置在所述干燥腔室内，所述机械手将所述玻璃基板放置在所述支撑架上；

或，所述机械手将所述玻璃基板从所述支撑架转移至所述真空烘干设备。

7.根据权利要求6所述的玻璃基板干燥室，其特征在于，所述干燥室本体呈长方体状，所述支撑架的一端固定在所述干燥室本体的一个内侧壁上，所述导轨设置在与所述支撑架相邻的另一个内侧壁上。

8.根据权利要求6所述的玻璃基板干燥室，其特征在于，所述真空烘干设备设置在所述干燥室本体的地面上，且所述真空烘干设备设置在所述支撑架的正下方。

9.根据权利要求1至5任一项所述的玻璃基板干燥室，其特征在于，所述玻璃基板干燥室还包括门体，所述干燥室本体上设有开口，所述门体选择性封闭所述开口。

10.根据权利要求9所述的玻璃基板干燥室，其特征在于，所述玻璃基板通过所述开口输送至所述输送机构，所述输送机构通过所述开口将所述玻璃基板输送至所述干燥室本体之外。

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