CN213546274U - 一种氮气加热器 - Google Patents
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Abstract
本申请涉及一种氮气加热器，具有氮气通过管，且氮气通过管的首尾两端分别为入口接头和出口接头，氮气通过管外具有筒壁，且筒壁沿氮气通过管轴向分别形成隔离腔体和加热腔体，隔离腔体和加热腔体之间通过法兰连接；加热腔体内设置有加热管，所述加热管以螺旋缠绕的方式缠绕在所述氮气通过管外，且加热管两端的接电柱位于所述隔离腔体内。加热管以双股绕线方式进行缠绕，加热管为电阻发热管。本申请的氮气加热器，设置隔离腔体和加热腔体形成两个独立腔体，带电接头位于隔离腔体内，更加安全。同时，加热管以螺旋缠绕的方式缠绕在所述氮气通过管外能够提高热交换效果，使得在更短时间内能够把氮气加热到所需温度。
Description
技术领域
本申请属于晶圆清洗设备技术领域，尤其是涉及一种氮气加热器。
背景技术
晶圆制备过程中，需要进行清洗操作。在晶圆清洗以后，为了避免在晶圆上留下水渍，一般采用浓缩大量氮气的气态的异丙基乙醇(IPA)吹扫晶圆表面进行干燥处理。为了保证异丙基乙醇的雾化，氮气也需加热，干燥时氮气的消耗量非常巨大，所以需要对氮气进行快速加热。
中国专利文献CN 209819883 U公开了用于晶圆干燥工艺中的高纯氮气加热器，包括：整体焊接的石英壳体，其具有进气管和排气管；安装于石英壳体内部的石英螺旋气管，其一端连接所述进气管，另一端位于所述石英壳体内；安装于所述石英壳体内部的碳素加热器，用于对高纯氮气加热，所述碳素加热器的***设置有密封包覆加热丝的石英管。
然而，现有技术中未考虑到带电设备接头处常发生电火花的问题，导致使用不安全，另外，让氮气流通的气道螺旋虽然增加了气体热交换的时间，但却导致气体流通不顺畅，通常需要设置一氮气存储设备。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种氮气加热器。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种氮气加热器，具有氮气通过管，且氮气通过管的首尾两端分别为入口接头和出口接头，氮气通过管外具有筒壁，且筒壁沿氮气通过管轴向分别形成隔离腔体和加热腔体；
加热腔体内设置有加热管，所述加热管以螺旋缠绕的方式缠绕在所述氮气通过管外，且加热管两端的接电柱位于所述隔离腔体内。
优选地，本实用新型的氮气加热器，隔离腔体和加热腔体均为圆筒形。
优选地，本实用新型的氮气加热器，所述隔离腔体顶部盖板由两个半圆形盖板组成。
优选地，本实用新型的氮气加热器，所述隔离腔体内还设有测温传感器，所述测温传感器的测温端伸入到加热腔体之内。
优选地，本实用新型的氮气加热器，隔离腔体的侧壁具有引线过孔，用于电线及测温传感器的通讯线缆引出。
优选地，本实用新型的氮气加热器，加热腔体内塞满保温棉。
优选地，本实用新型的氮气加热器，加热腔体内壁涂覆有镜面材料以反射辐射。
优选地，本实用新型的氮气加热器，隔离腔体和加热腔体之间通过法兰连接。
本实用新型的有益效果是：
附图说明
下面结合附图和实施例对本申请的技术方案进一步说明。
图1是本申请实施例的氮气加热器的结构示意图；
图2是图1中隐藏隔离腔体筒壁后的结构示意图；
图3是图1中隐藏加热腔体筒壁后的结构示意图；
图4是图3的局部放大图。
图中的附图标记为：
1 隔离腔体；
2 加热腔体；
3 氮气通过管；
4 加热管；
8 入口接头；
9 出口接头；
10 引线过孔。
具体实施方式
需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请保护范围的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型创造的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请的技术方案。
实施例
本实施例提供一种氮气加热器，如图1所示，为圆筒形，具有氮气通过管3，且氮气通过管3的首尾两端分别为入口接头8和出口接头9，氮气通过管3外具有筒壁，且筒壁沿氮气通过管3轴向分别形成隔离腔体1和加热腔体2，隔离腔体1和加热腔体2之间通过法兰连接，以便拆装；
加热腔体2内设置有加热管4，所述加热管4以螺旋缠绕的方式缠绕在所述氮气通过管3外，且加热管4两端的接电柱位于所述隔离腔体1内。加热管4以双股绕线方式进行缠绕，加热管4为电阻发热管。
本实施例的氮气加热器，设置隔离腔体1和加热腔体2形成两个独立腔体，带电接头位于隔离腔体1内，更加安全。同时，加热管4以螺旋缠绕的方式缠绕在所述氮气通过管3外能够提高热交换效果，使得在更短时间内能够把氮气加热到所需温度。氮气通过管3为直管的情况下，也能保证氮气流通顺畅。
所述隔离腔体1顶部盖板由两个半圆形盖板组成，并通过螺钉固定在隔离腔体1的筒壁上。
所述隔离腔体1内还设有测温传感器，所述测温传感器的测温端伸入到加热腔体2之内。
隔离腔体1的侧壁具有引线过孔10，用于电线及测温传感器的通讯线缆引出。
加热腔体2内塞满保温棉。
作为进一步地改进，加热腔体2内壁涂覆有镜面材料以反射辐射。
以上述依据本申请的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项申请技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项申请的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
Claims (8)
1.一种氮气加热器，其特征在于，具有氮气通过管(3)，且氮气通过管(3)的首尾两端分别为入口接头(8)和出口接头(9)，氮气通过管(3)外具有筒壁，且筒壁沿氮气通过管(3)轴向分别形成隔离腔体(1)和加热腔体(2)；
加热腔体(2)内设置有加热管(4)，所述加热管(4)以螺旋缠绕的方式缠绕在所述氮气通过管(3)外，且加热管(4)两端的接电柱位于所述隔离腔体(1)内。
2.根据权利要求1所述的氮气加热器，其特征在于，隔离腔体(1)和加热腔体(2)均为圆筒形。
3.根据权利要求1所述的氮气加热器，其特征在于，所述隔离腔体(1)顶部盖板由两个半圆形盖板组成。
4.根据权利要求1所述的氮气加热器，其特征在于，所述隔离腔体(1)内还设有测温传感器，所述测温传感器的测温端伸入到加热腔体(2)之内。
5.根据权利要求1所述的氮气加热器，其特征在于，隔离腔体(1)的侧壁具有引线过孔(10)，用于电线及测温传感器的通讯线缆引出。
6.根据权利要求1所述的氮气加热器，其特征在于，加热腔体(2)内塞满保温棉。
7.根据权利要求6所述的氮气加热器，其特征在于，加热腔体(2)内壁涂覆有镜面材料以反射辐射。
8.根据权利要求1所述的氮气加热器，其特征在于，隔离腔体(1)和加热腔体(2)之间通过法兰连接。
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- 2020-12-30 CN CN202023292110.XU patent/CN213546274U/zh active Active
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