CN213357807U - 一种大尺寸硅单晶分段加热装置 - Google Patents

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张新峰
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Jiangsu Zhuoyuan Semiconductor Co ltd
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Abstract

本实用新型公开了一种大尺寸硅单晶分段加热装置,包括电机、外箱和滚筒,所述电机的一侧固定安装有外箱,所述第一加热管的一侧固定安装有第二加热管,所述第二加热管的一侧固定安装有第三加热管,所述外箱的表面固定安装有控制器,所述外箱的顶部固定安装有进料口,所述外箱的一侧固定安装有出料口,所述外箱的内部通过连接杆固定安装有轴承,所述转动轴的***通过固定支架固定安装有滚筒。本实用新型通过设置有一系列的结构使本装置在使用的过程中能够先利用进料口将物料置入到滚筒内,之后再通过启动电机,使滚筒进行转动,最后利用控制器分别对第一加热管、第二加热管和第三加热管进行不同的温度控制。

Description

一种大尺寸硅单晶分段加热装置
技术领域
本实用新型涉及硅单晶技术领域,具体为一种大尺寸硅单晶分段加热装置。
背景技术
硅单晶,即硅的单晶体,是一种比较活泼的非金属元素,具有基本完整的点阵结构的晶体,不同的方向具有不同的性质,是一种良好的半导材料,是晶体材料的重要组成部分,处于新材料发展的前沿,其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等,用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成,而硅单晶对于加热过程中的要求较高,因此需要一种大尺寸硅单晶分段加热装置。
现有的硅单晶加热装置存在的缺陷是:
1、硅单晶加热装置通常都是整体化加热,从而不能进行分段式加热。
2、硅单晶加热装置在加热过程中容易导致受热不均匀,为此我们提出一种大尺寸硅单晶分段加热装置来解决现有的问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种大尺寸硅单晶分段加热装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种大尺寸硅单晶分段加热装置,包括电机、外箱和滚筒,所述电机的一侧固定安装有外箱,所述外箱的内部固定安装有第一加热管,所述第一加热管的一侧固定安装有第二加热管,所述第二加热管的一侧固定安装有第三加热管,所述外箱的表面固定安装有控制器,所述外箱的顶部固定安装有进料口,所述外箱的一侧固定安装有出料口,所述外箱的内部通过连接杆固定安装有轴承,所述电机与轴承之间活动安装有转动轴,所述转动轴的***通过固定支架固定安装有滚筒。
优选的,所述控制器与外箱之间固定安装有隔热板,且隔热板与外箱之间固定安装有连接螺栓。
优选的,所述外箱底部的两侧固定安装有支撑座,且支撑座的两端固定安装有支撑杆。
优选的,所述电机的底部固定安装有支撑架,支撑架与外箱之间固定安装有连接板,且连接板的两端固定安装有固定销。
优选的,所述进料口的顶部通过铰链轴活动安装有顶盖,且顶盖的表面设置有防滑纹。
优选的,所述连接杆顶部和底部与外箱之间固定安装有支撑板,且支撑板的两侧固定安装有固定螺栓。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
1、本实用新型通过在外箱的表面固定安装有控制器,通过控制器利用导线分别对电机、第一加热管、第二加热管和第三加热管电性连接,之后通过编程人员对控制器进行编程,分别对控制器、第一加热管、第二加热管和第三加热管进行控制,第一加热管的一侧固定安装有第二加热管,第二加热管的一侧固定安装有第三加热管,其中每个加热管通过控制器都设置有不同的温度,使硅单晶进行分隔加热,从而提高硅单晶的生产质量。
2、本实用新型通过在电机与轴承之间活动安装有转动轴,通过连接杆将轴承连接,使转动轴可以在轴承内转动,转动轴的***通过固定支架固定安装有滚筒,固定支架具有将转动轴支撑在滚筒内部的作用,提高转动轴的稳定性,通过电机带动转动轴转动,并带动滚筒进行转动,从而使滚筒内的硅单晶受热均匀,提高产品的生产质量。
附图说明
图1为本实用新型的内视图。
图2为本实用新型的主视图。
图3为本实用新型的滚筒局部结构示意图。
图4为本实用新型的电机局部结构示意图。
图中:1、电机;101、转动轴;102、固定支架;2、外箱;201、顶盖;202、进料口;3、第一加热管;4、第二加热管;5、第三加热管;6、滚筒;7、支撑架;8、连接板;801、固定销;9、支撑座;901、支撑杆;10、出料口;11、轴承;1101、支撑板;1102、固定螺栓;1103、连接杆;12、隔热板;1201、连接螺栓;13、控制器。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
在本实用新型的描述中,需要说明的是,术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“设置有”、“连接”等,应做广义理解,例如“连接”,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
请参阅图1-4,本实用新型提供的一种实施例:一种大尺寸硅单晶分段加热装置,包括电机1、外箱2和滚筒6,电机1的一侧固定安装有外箱2,此电机1采用DM的型号,外箱2的内部固定安装有第一加热管3,此第一加热管3、第二加热管4和第三加热管5皆采用AL-C101的型号,第一加热管3的一侧固定安装有第二加热管4,第二加热管4的一侧固定安装有第三加热管5,其中每个加热管都设置有不同的温度,从而使硅单晶更好的加热,提高硅单晶的生产质量,外箱2的表面固定安装有控制器13,此控制器13采用SD6786B的型号,通过控制器13利用导线分别对电机1、第一加热管3、第二加热管4和第三加热管5电性连接,之后通过编程人员对控制器13进行编程,分别对控制器13、第一加热管3、第二加热管4和第三加热管5进行控制,从而方便对硅单晶进行分段加热,外箱2的顶部固定安装有进料口202,进料口202具有将物料置入滚筒6内的作用,外箱2的一侧固定安装有出料口10,出料口10具有将加热好的硅单晶置出的作用,外箱2的内部通过连接杆1103固定安装有轴承11,电机1与轴承11之间活动安装有转动轴101,通过连接杆1103将轴承11连接,使转动轴101可以在轴承11内转动,转动轴101的***通过固定支架102固定安装有滚筒6,固定支架102具有将转动轴101支撑在滚筒6内部的作用,提高转动轴101的稳定性,通过电机1带动转动轴101转动,并带动滚筒6进行转动,从而使滚筒6内的硅单晶受热均匀,提高产品的生产质量。
进一步,控制器13与外箱2之间固定安装有隔热板12,且隔热板12与外箱2之间固定安装有连接螺栓1201,隔热板12具有隔热的作用,防止控制器13因受热而损坏,连接螺栓1201具有将隔热板12与外箱2固定的作用,从而加强隔热板12的稳定性。
进一步,外箱2底部的两侧固定安装有支撑座9,且支撑座9的两端固定安装有支撑杆901,支撑座9具有将整个装置支撑住的作用,通过支撑杆901可加强整个装置的稳定性。
进一步,电机1的底部固定安装有支撑架7,支撑架7与外箱2之间固定安装有连接板8,且连接板8的两端固定安装有固定销801,支撑架7具有将电机1支撑的作用,通过支撑架7与连接板8固定,之后在利用固定销801将连接板8固定在外箱2上,从而加强电机1的稳定性。
进一步,进料口202的顶部通过铰链轴活动安装有顶盖201,且顶盖201的表面设置有防滑纹,铰链轴具有转动的作用,通过铰链轴可带动顶盖201进行转动,防滑纹具有防滑的作用,从而便于使用人员对顶盖201的开启和闭合。
进一步,连接杆1103顶部和底部与外箱2之间固定安装有支撑板1101,且支撑板1101的两侧固定安装有固定螺栓1102,通过固定螺栓1102可将支撑板1101固定在外箱2内,从而加强整个装置的稳定性。
工作原理:使用时通过进料口202将物料置入到滚筒6内,之后再通过控制器13将电机1启动,从而使滚筒6进行转动,最后再利用控制器13分别对第一加热管3、第二加热管4和第三加热管5进行不同的温度控制,从而完成对硅晶单进行分段加热。
对于本领域技术人员而言,显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (6)

1.一种大尺寸硅单晶分段加热装置,包括电机(1)、外箱(2)和滚筒(6),其特征在于:所述电机(1)的一侧固定安装有外箱(2),所述外箱(2)的内部固定安装有第一加热管(3),所述第一加热管(3)的一侧固定安装有第二加热管(4),所述第二加热管(4)的一侧固定安装有第三加热管(5),所述外箱(2)的表面固定安装有控制器(13),所述外箱(2)的顶部固定安装有进料口(202),所述外箱(2)的一侧固定安装有出料口(10),所述外箱(2)的内部通过连接杆(1103)固定安装有轴承(11),所述电机(1)与轴承(11)之间活动安装有转动轴(101),所述转动轴(101)的***通过固定支架(102)固定安装有滚筒(6)。
2.根据权利要求1所述的一种大尺寸硅单晶分段加热装置,其特征在于:所述控制器(13)与外箱(2)之间固定安装有隔热板(12),且隔热板(12)与外箱(2)之间固定安装有连接螺栓(1201)。
3.根据权利要求1所述的一种大尺寸硅单晶分段加热装置,其特征在于:所述外箱(2)底部的两侧固定安装有支撑座(9),且支撑座(9)的两端固定安装有支撑杆(901)。
4.根据权利要求1所述的一种大尺寸硅单晶分段加热装置,其特征在于:所述电机(1)的底部固定安装有支撑架(7),支撑架(7)与外箱(2)之间固定安装有连接板(8),且连接板(8)的两端固定安装有固定销(801)。
5.根据权利要求1所述的一种大尺寸硅单晶分段加热装置,其特征在于:所述进料口(202)的顶部通过铰链轴活动安装有顶盖(201),且顶盖(201)的表面设置有防滑纹。
6.根据权利要求1所述的一种大尺寸硅单晶分段加热装置,其特征在于:所述连接杆(1103)顶部和底部与外箱(2)之间固定安装有支撑板(1101),且支撑板(1101)的两侧固定安装有固定螺栓(1102)。
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