CN212883957U - 一种长筒遮板化学除膜槽 - Google Patents
一种长筒遮板化学除膜槽 Download PDFInfo
- Publication number
- CN212883957U CN212883957U CN202021227051.5U CN202021227051U CN212883957U CN 212883957 U CN212883957 U CN 212883957U CN 202021227051 U CN202021227051 U CN 202021227051U CN 212883957 U CN212883957 U CN 212883957U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- shaft
- stirring
- liquid medicine
- tank body
- rotating shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000000126 substance Substances 0.000 title claims abstract description 12
- 238000003756 stirring Methods 0.000 claims abstract description 48
- 239000003814 drug Substances 0.000 claims abstract description 45
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 45
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 28
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims description 5
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 4
- 235000017166 Bambusa arundinacea Nutrition 0.000 claims description 3
- 235000017491 Bambusa tulda Nutrition 0.000 claims description 3
- 241001330002 Bambuseae Species 0.000 claims description 3
- 235000015334 Phyllostachys viridis Nutrition 0.000 claims description 3
- 239000011425 bamboo Substances 0.000 claims description 3
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 abstract description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000002791 soaking Methods 0.000 description 3
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000012800 visualization Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Catching Or Destruction (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种长筒遮板化学除膜槽,包括槽体、药水进入口、药水排放口、搅拌组件、工件旋转组件;所述药水进入口设置于所述槽体内侧壁;所述药水排放口设置于所述槽体内底部;所述搅拌组件包括电机、主传动轴、搅拌轴、搅拌叶片;所述电机设置于所述槽体外侧;所述主传动轴与所述电机的输出端相接,并向下延伸至所述槽体内底部;所述搅拌轴与所述主传动轴传动连接,并横设于所述槽体内的底部;所述搅拌叶片阵列设置于所述搅拌轴上;所述工件旋转组件包括旋转轴、安装支架;所述旋转轴与所述主传动轴传动连接,并位于所述搅拌轴的上方;所述安装支架与所述旋转轴相接,用于装配长筒遮板;本实用新型具有药水用量少,降低生产成本的优点。
Description
技术领域
本实用新型设涉及化学除膜装置技术领域,特别涉及一种长筒遮板化学除膜槽。
背景技术
在半导体制程中,必须定期或不定期地对半导体制程设备的零件进行清洗及再生,以维持半导体制程设备的效能,并可延长设备的使用寿命。清洗的工艺包括有化学试剂清洗,其需要根据不同的遮板基材以及基材上不同种类的镀膜来调配药水,并将遮板浸泡于调配药水中洗去镀膜。现有是将遮板、调配药水放置于化学池中进行浸泡,药水要完全覆盖遮板,当遮板为长筒形状时,因长筒的内侧为空心结构,药水完全覆盖遮板时将会使用过多的药水,这将导致药水利用率不高,单次清洗成本高,也不符合当前社会对环保的需求。因此,需要对现有用于浸泡遮板的化学池进行改进,以解决上述问题。
实用新型内容
本实用新型的目的就在于提供一种长筒遮板化学除膜槽,以解决上述问题。
本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的:
一种长筒遮板化学除膜槽,包括槽体、药水进入口、药水排放口、搅拌组件、工件旋转组件;所述药水进入口设置于所述槽体内侧壁;所述药水排放口设置于所述槽体内底部;所述搅拌组件包括电机、主传动轴、搅拌轴、搅拌叶片;所述电机设置于所述槽体外侧;所述主传动轴与所述电机的输出端相接,并向下延伸至所述槽体内底部;所述搅拌轴与所述主传动轴传动连接,并横设于所述槽体内的底部;所述搅拌叶片阵列设置于所述搅拌轴上;所述工件旋转组件包括旋转轴、安装支架;所述旋转轴与所述主传动轴传动连接,并位于所述搅拌轴的上方;所述安装支架与所述旋转轴相接,用于装配长筒遮板。
进一步的,所述槽体为一封闭腔体,其前部设有可视化窗口,其上部设有排风口。
进一步的,所述药水进入口连接有主管道、喷头;所述主管道以所述药水进入口的方向延伸至所述槽体内;所述喷头阵列设置于所述主管道上。
进一步的,所述搅拌轴、所述旋转轴均通过圆锥齿轮副进行传动;所述圆锥齿轮副包括直齿锥齿轮、斜齿锥齿轮;所述直齿锥齿轮设置于所述主传动轴上;所述斜齿锥齿轮设置于所述搅拌轴、所述旋转轴上。
进一步的,所述旋转轴由若干段连接而成,两者之间通过螺纹联接筒进行相接。
进一步的,所述安装支架包括轴体连接套、伸缩杆;所述轴体连接套设置于所述旋转轴上,其外壁阵列环绕设有若干安装槽;所述伸缩杆设置于所述安装槽上。
本实用新型的有益效果在于,药水用量少,降低生产成本;本实用新型通过同轴设置了搅拌组件、工件旋转组件,搅拌叶片能充分搅拌药水,使其更好的与遮板进行接触,工件旋转组件能使得遮板在药水使用量不多的情况下充分浸泡药水,保证充分的接触,具有药水用量少,降低生产成本,减少环境负担的优点。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图;
图2为本实用新型隐藏外壳后的局部结构示意图;
图3为本实用新型中搅拌组件、工件旋转组件的结构示意图;
图4为本实用新型的药水进入口的结构示意图;
图5为本实用新型的安装支架的结构示意图。
10、槽体;11、可视化窗口;12、排风口;20、药水进入口;21、主管道;22、喷头;30、药水排放口;40、搅拌组件;41、电机;42、主传动轴;43、搅拌轴;44、搅拌叶片;50、工件旋转组件;51、旋转轴;52、安装支架;53、螺纹联接筒;54、轴体连接套;55、伸缩杆;56、安装槽;60、圆锥齿轮副;61、直齿锥齿轮;62、斜齿锥齿轮。
具体实施方式
为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。需说明的是,本实用新型附图均采用简化的形式并均使用非精准的比列,仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
如图1~图5所示,一种长筒遮板化学除膜槽,包括槽体10、药水进入口20、药水排放口30、搅拌组件40、工件旋转组件50;
所述槽体10为一封闭腔体,其前部设有可视化窗口11,其上部设有排风口12;
所述药水进入口20设置于所述槽体10内侧壁;所述药水排放口30设置于所述槽体10内底部;所述药水进入口20连接有主管道21、喷头22;所述主管道21以所述药水进入口20的方向延伸至所述槽体10内;所述喷头22阵列设置于所述主管道21上;
所述搅拌组件40包括电机41、主传动轴42、搅拌轴43、搅拌叶片44;所述电机41设置于所述槽体10外侧;所述主传动轴42与所述电机41的输出端相接,并向下延伸至所述槽体10内底部;所述搅拌轴43与所述主传动轴42传动连接,并横设于所述槽体10内的底部;所述搅拌叶片44阵列设置于所述搅拌轴43上;
所述工件旋转组件50包括旋转轴51、安装支架52;所述旋转轴51与所述主传动轴42传动连接,并位于所述搅拌轴43的上方;所述安装支架52与所述旋转轴51相接,用于装配长筒遮板;所述旋转轴51由若干段连接而成,两者之间通过螺纹联接筒53进行相接;所述安装支架52包括轴体连接套54、伸缩杆55;所述轴体连接套54设置于所述旋转轴51上,其外壁阵列环绕设有若干安装槽56;所述伸缩杆55设置于所述安装槽56上;
所述搅拌轴43、所述旋转轴51均通过圆锥齿轮副60进行传动;所述圆锥齿轮副60包括直齿锥齿轮61、斜齿锥齿轮62;所述直齿锥齿轮61设置于所述主传动轴42上;所述斜齿锥齿轮62设置于所述搅拌轴43、所述旋转轴51上。
工作原理:首先,打开槽体10腔门,使用安装支架52固定好长筒遮板后,将安装支架52与旋转轴51使用螺纹联接筒53进行相接,随后关闭槽体10腔门,将调配好的药水往药水进入口20中加入,药水量只需泡过长筒遮板底部的内外壁即可,无须使用过量的药水,随后电机41驱动主传动轴42进行转动,同时联动搅拌轴43、旋转轴51分别带动搅拌叶片44、安装支架52进行转动,搅拌叶片44能充分搅拌药水,使其更好的与遮板进行接触,而遮板能随着安装支架52进行转动,使得遮板能均匀浸泡药水,保证充分的接触。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其效物界定。
Claims (6)
1.一种长筒遮板化学除膜槽,其特征在于:包括槽体、药水进入口、药水排放口、搅拌组件、工件旋转组件;所述药水进入口设置于所述槽体内侧壁;所述药水排放口设置于所述槽体内底部;所述搅拌组件包括电机、主传动轴、搅拌轴、搅拌叶片;所述电机设置于所述槽体外侧;所述主传动轴与所述电机的输出端相接,并向下延伸至所述槽体内底部;所述搅拌轴与所述主传动轴传动连接,并横设于所述槽体内的底部;所述搅拌叶片阵列设置于所述搅拌轴上;所述工件旋转组件包括旋转轴、安装支架;所述旋转轴与所述主传动轴传动连接,并位于所述搅拌轴的上方;所述安装支架与所述旋转轴相接,用于装配长筒遮板。
2.根据权利要求1所述的一种长筒遮板化学除膜槽,其特征在于:所述槽体为一封闭腔体,其前部设有可视化窗口,其上部设有排风口。
3.根据权利要求1所述的一种长筒遮板化学除膜槽,其特征在于:所述药水进入口连接有主管道、喷头;所述主管道以所述药水进入口的方向延伸至所述槽体内;所述喷头阵列设置于所述主管道上。
4.根据权利要求1所述的一种长筒遮板化学除膜槽,其特征在于:所述搅拌轴、所述旋转轴均通过圆锥齿轮副进行传动;所述圆锥齿轮副包括直齿锥齿轮、斜齿锥齿轮;所述直齿锥齿轮设置于所述主传动轴上;所述斜齿锥齿轮设置于所述搅拌轴、所述旋转轴上。
5.根据权利要求1所述的一种长筒遮板化学除膜槽,其特征在于:所述旋转轴由若干段连接而成,两者之间通过螺纹联接筒进行相接。
6.根据权利要求1所述的一种长筒遮板化学除膜槽,其特征在于:所述安装支架包括轴体连接套、伸缩杆;所述轴体连接套设置于所述旋转轴上,其外壁阵列环绕设有若干安装槽;所述伸缩杆设置于所述安装槽上。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202021227051.5U CN212883957U (zh) | 2020-06-29 | 2020-06-29 | 一种长筒遮板化学除膜槽 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202021227051.5U CN212883957U (zh) | 2020-06-29 | 2020-06-29 | 一种长筒遮板化学除膜槽 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN212883957U true CN212883957U (zh) | 2021-04-06 |
Family
ID=75281167
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202021227051.5U Expired - Fee Related CN212883957U (zh) | 2020-06-29 | 2020-06-29 | 一种长筒遮板化学除膜槽 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN212883957U (zh) |
-
2020
- 2020-06-29 CN CN202021227051.5U patent/CN212883957U/zh not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN215486861U (zh) | 一种潜水泵过滤组件及潜水泵 | |
CN212883957U (zh) | 一种长筒遮板化学除膜槽 | |
CN219848440U (zh) | 一种纺织染色机污水处理机构 | |
CN217989062U (zh) | 无机矿物环保防火涂料制备设备 | |
CN217248399U (zh) | 一种双螺旋锥形混合机 | |
CN217962340U (zh) | 一种便于清理的粉末涂料混料装置 | |
CN216323595U (zh) | 一种轮毂加工过程中外表面清洗装置 | |
CN212855770U (zh) | 一种内部方便清洗的分散型抗氧化剂专用反应釜 | |
CN210080196U (zh) | 一种齿轮加工喷吹装置 | |
CN214716598U (zh) | 一种具有加热功能的自清理式搅拌釜 | |
CN210729510U (zh) | 一种便于控温的化工用反应釜 | |
CN218012330U (zh) | 一种具有清洗结构的防腐涂料生产用混合装置 | |
CN219399957U (zh) | 一种金属切削液浓度配比装置 | |
CN219482633U (zh) | 一种方便清洗的石油化工用反应釜 | |
CN221062686U (zh) | 一种氧化剂预处理反应釜 | |
CN216095400U (zh) | 高压旋转三维清洗器 | |
CN217314965U (zh) | 一种玻璃水生产用上料辅助装置 | |
CN219186899U (zh) | 一种便于清洗的调速器油生产用反应釜 | |
CN219051145U (zh) | 一种搅拌处理装置 | |
CN221131836U (zh) | 一种高浓度次氯酸水制造设备 | |
CN220738719U (zh) | 一种汽车零件清洗装置 | |
CN220328355U (zh) | 一种乳膏生产用乳化罐 | |
CN218871959U (zh) | 一种封箱泥条生产用搅拌机 | |
CN217746866U (zh) | 一种防止内壁粘黏的涂料生产用刮除装置 | |
CN221208011U (zh) | 一种化工反应釜防污清洗结构 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20210406 |