CN212623374U - 集成光学器件和集成投射模组 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种集成光学器件和集成投射模组。集成光学器件包括依次叠置的保护层、第一胶层、第二胶层和固定层，还包括：衍射结构；匀光结构；其中，衍射结构设置在第一胶层上，匀光结构设置在第二胶层上，衍射结构和匀光结构向固定层的投影不重合；或者衍射结构设置在第二胶层上，匀光结构设置在第一胶层上，衍射结构和匀光结构向固定层的投影不重合。本实用新型解决了现有技术中不同应用场景结构光投射模式与飞行时间投射模式切换困难的问题。

Description

集成光学器件和集成投射模组

技术领域

本实用新型涉及光学成像设备技术领域，具体而言，涉及一种集成光学器件和集成投射模组。

背景技术

随着光学产业的快速发展，3D感测***的功能越来越强大，已成为未来几年的产业大趋势。结构光投射模组用于向外投射结构化的图案，是3D感测***的重要组成部分。该模组主要包括垂直腔面发射激光器和投射端镜头，而镜头又包括准直镜和衍射光学元器件。激光经过准直镜后形成均匀、平行的光束，在经过衍射光学元器件调制，形成散斑点云，投射在被测物体上；不同于结构光投射模组，飞行时间投射模组主要用于向外投射均匀光场，也是新兴的3D感测方案的主要部件。该部件主要由垂直腔面发射激光器和匀光片组成。垂直腔面发射激光器发射的激光通过匀光片调制，形成均匀的光场，投射到物体上。结构光方案与飞行时间方案有各自优劣，不同场景应用不相同，根据不同的应用场景，两种投射模式相互切换难以实现。

也就是说，现有技术中存在结构光投射模式和飞行时间投射模式在不同应用场景下切换困难的问题。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种集成光学器件和集成投射模组，以解决现有技术中不同应用场景结构光投射模式与飞行时间投射模式切换困难的问题。

为了实现上述目的，根据本实用新型的一方面，提供了一种集成光学器件，包括依次叠置的保护层、第一胶层、第二胶层和固定层，还包括：衍射结构；匀光结构；其中，衍射结构设置在第一胶层上，匀光结构设置在第二胶层上，衍射结构和匀光结构向固定层的投影不重合；或者衍射结构设置在第二胶层上，匀光结构设置在第一胶层上，衍射结构和匀光结构向固定层的投影不重合。

进一步地，固定层包括：连接胶层；基底层，第二胶层通过连接胶层与基底层连接。

进一步地，保护层的材料包括聚对苯二甲酸乙二醇酯或玻璃中的一种；和/或基底层的材料包括聚对苯二甲酸乙二醇酯或玻璃中的一种。

进一步地，第一胶层的折射率n1大于第二胶层的折射率n2；和/或第二胶层的折射率n2小于第三胶层的折射率n3。

进一步地，第一胶层的厚度大于等于1微米且小于等于10微米；和/或第二胶层的厚度大于等于10微米且小于等于100微米；和/或连接胶层的厚度大于等于10微米且小于等于100微米。

进一步地，衍射结构是衍射光栅，衍射光栅的线宽大于等于100纳米且小于等于500纳米；和/或衍射光栅的深度大于等于500纳米且小于等于1500纳米。

进一步地，匀光结构设置在第二胶层上，匀光结构包括多个微透镜，多个微透镜设置在第二胶层靠近固定层的一侧上，且微透镜与固定层连接，微透镜的高度大于等于3微米且小于等于50微米；和/或微透镜的直径大于等于3微米且小于等于50微米。

根据本实用新型的另一方面，提供了一种集成投射模组，包括：上述的集成光学器件；激光结构，激光结构设置在集成光学器件的固定层远离集成光学器件的保护层的一侧；透镜，透镜设置在集成光学器件与激光结构之间，且透镜与集成光学器件的衍射结构向激光结构的投影至少部分重合；投射结构，投射结构与激光结构电连接，投射结构用于向物体发射光线和接收物体的反射光线，集成投射模组测量集成投射模组与物体之间的距离L，并将距离L反馈给激光结构，激光结构根据距离L的大小对集成光学器件的匀光结构或衍射结构发射激光。

进一步地，激光结构包括：第一垂直腔面发射激光器，第一垂直腔面发射激光器与衍射结构向激光结构的投影至少部分重合；第二垂直腔面发射激光器，第二垂直腔面发射激光器与匀光结构向激光结构的投影至少部分重合；其中，距离L大于预设距离L0时，第二垂直腔面发射激光器向匀光结构发射激光，距离L小于预设距离L0时，第一垂直腔面发射激光器向衍射结构发射激光。

进一步地，激光结构包括：激光器；移动装置，激光器设置在移动装置上。

进一步地，投射结构包括：发射端镜头，发射端镜头用于向物体发射光；接收端镜头，接收端镜头用于接收物体反射回来的光；其中，集成投射模组还包括计算模块，计算模块与发射端镜头和接收端镜头电连接，计算模块用于根据发射端镜头的发射光时间和接收端镜头的接收光时间来计算距离L。

应用本实用新型的技术方案，集成光学器件包括依次叠置的保护层、第一胶层、第二胶层和固定层，还包括衍射结构和匀光结构；其中，衍射结构设置在第一胶层上，匀光结构设置在第二胶层上，衍射结构和匀光结构向固定层的投影不重合；或者衍射结构设置在第二胶层上，匀光结构设置在第一胶层上，衍射结构和匀光结构向固定层的投影不重合。

通过在第一胶层上设置衍射结构，第二胶层上设置匀光结构，使得一个集成光学器件既具有衍射功能，又具有匀光功能。这样就使得一个集成光学器件既能进行结构光投射，又能进行飞行时间投射，有效缩小两个器件的体积，使器件满足小型化的要求。衍射结构和匀光结构向固定层的投影不重合，就使得衍射结构和匀光结构是分开设置的，使得衍射结构和匀光结构能够单独使用，避免二者之间的干涉。同时能够在结构光投射和飞行时间投射间的切换更加方便。当然，衍射结构也可以设置在第二胶层上，匀光结构设置在第一胶层上。

附图说明

构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1示出了本实用新型集成光学器件的结构示意图；

图2示出了本实用新型集成投射模组的结构示意图；

图3示出了本实用新型集成光学器件的制作工艺的衍射结构母板的结构示意图；

图4示出了本实用新型集成光学元件的制作工艺的衍射结构母板匀胶的示意图；

图5示出了本实用新型集成光学元件的制作工艺的反压印的示意图意图；

图6示出了本实用新型集成光学元件的制作工艺的衍射结构软膜子板的结构示意图；

图7示出了本实用新型集成光学元件的制作工艺的匀光结构的结构示意图；

图8示出了本实用新型集成光学元件的制作工艺的匀光结构匀胶的示意图；

图9示出了本实用新型集成光学元件的制作工艺的匀胶的匀光结构和衍射结构软膜子板的结合示意图；

图10示出了本实用新型集成光学元件的制作工艺的压印曝光的示意图。

其中，上述附图包括以下附图标记：

10、保护层；20、第一胶层；21、衍射结构；211、衍射结构母版；212、衍射结构软膜子板；30、第二胶层；31、匀光结构；311、微透镜；40、固定层；41、连接胶层；42、基底层；50、集成光学器件；60、透镜；70、激光结构；71、第一垂直腔面发射激光器；72、第二垂直腔面发射激光器；80、投射结构；81、发射端镜头；82、接收端镜头；90、物体。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。

需要指出的是，除非另有指明，本申请使用的所有技术和科学术语具有与本申请所属技术领域的普通技术人员通常理解的相同含义。

在本实用新型中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上、下、顶、底”通常是针对附图所示的方向而言的，或者是针对部件本身在竖直、垂直或重力方向上而言的；同样地，为便于理解和描述，“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内、外，但上述方位词并不用于限制本实用新型。

为了解决现有技术中不同应用场景结构光投射模式与飞行时间投射模式切换困难的问题，本实用新型提供了一种集成器件和投射模组。

如图1所示，集成光学器件包括依次叠置的保护层10、第一胶层20、第二胶层30和固定层40，集成光学器件还包括衍射结构21和匀光结构31；其中，衍射结构21设置在第一胶层20上，匀光结构31设置在第二胶层30上，衍射结构21和匀光结构31向固定层40的投影不重合；或者衍射结构21设置在第二胶层30上，匀光结构31设置在第一胶层20上，衍射结构21和匀光结构31向固定层40的投影不重合。

通过在第一胶层20上设置衍射结构21，第二胶层30上设置匀光结构31，使得一个集成光学器件既具有衍射功能，又具有匀光功能。这样就使得一个集成光学器件既能进行结构光投射，又能进行飞行时间投射，有效缩小两个器件的体积，使器件满足小型化的要求。衍射结构21和匀光结构31向固定层40的投影不重合，就使得衍射结构21和匀光结构31是分开设置的，使得衍射结构21和匀光结构31能够单独使用，避免二者之间的干涉。同时能够在结构光投射和飞行时间投射间的切换更加方便。当然，衍射结构21也可以设置在第二胶层30上，匀光结构31设置在第一胶层20上。

具体的，固定层40包括连接胶层41和基底层42，第二胶层30通过连接胶层41与基底层42连接。通过设置连接胶层41，使得第二胶层30与基底层42的连接更加牢固，增加整体结构强度，同时起到承接器件的作用，使器件在使用过程中更加稳定，减小第二胶层30与基底层42脱离的风险。

具体的，保护层10的材料包括聚对苯二甲酸乙二醇酯或玻璃中的一种。通过将保护层10的材料为聚对苯二甲酸乙二醇酯或玻璃，可使聚对苯二甲酸乙二醇酯或玻璃对器件起到承载和保护的作用，使得器件更加牢固，能够有效减少对第一胶层20的磨损，有效延长器件使用寿命，同时减少了封装工序，节约了加工时间。当然保护层10也可以是由具有承载和保护作用的其他材质构成的。

具体的，基底层42的材料包括聚对苯二甲酸乙二醇酯或玻璃中的一种。通过将基底层42的材料为聚对苯二甲酸乙二醇酯或玻璃，使得基底层42能够起到承载器件的作用，可以有效固定器件，使器件在使用过程中更加稳定。当然基底层42也可以是由具有承载器件的其他材质构成的。

具体的，第一胶层20的折射率n1大于第二胶层30的折射率n2。通过控制第一胶层20的折射率n1与第二胶层30的折射率n2的差值，能够保证有效光线全部射入到衍射结构21中，使得衍射结构21具有良好的衍射性能，从而能够保证集成光学器件50具有良好的结构光投射性能。

具体的，第二胶层30的折射率n2小于连接胶层41的折射率n3。通过控制第二胶层30的折射率n2与连接胶层41的折射率n3的差值，能够保证有效光线全部射入到匀光结构31中，使得匀光结构31具有良好的匀光性能，从而能够保证集成光学器件50具有良好的飞行时间投射性能。

具体的，第一胶层20的厚度大于等于1微米且小于等于10微米。若第一胶层20的厚度小于1微米，使得衍射结构21不易装配到第一胶层20中，同时也不能起到连接保护层10与第二胶层30的作用，若第一胶层20的厚度大于10微米，使得第一胶层20的厚度增加，易使第一胶层20对光线的传输造成影响，同时不能满足小型化的要求。将第一胶层20的厚度限制在1微米至10微米的范围内，可以保证衍射结构21可以稳定装配到第一胶层20中的同时起到连接保护层10与第二胶层30的作用。

具体的，第二胶层30的厚度大于等于10微米且小于等于100微米。若第二胶层30的厚度小于10微米，使得匀光结构31不易装配到第二胶层30中，同时也不能起到连接第一胶层20与连接胶层41的作用，若第二胶层30的厚度大于100微米，使得第二胶层30的厚度增加，易使第二胶层30对光线的传输造成影响，同时不能满足小型化的要求。将第二胶层30的厚度限制在10微米至100微米的范围内，可以保证匀光结构31可以稳定装配到第二胶层30中的同时起到连接第一胶层20与连接胶层41的作用。

具体的，连接胶层41的厚度大于等于10微米且小于等于100微米。若连接胶层41的厚度小于10微米，不能起到连接第二胶层30与基底层42的作用，若连接胶层41的厚度大于100微米，使连接胶层的厚度增加，易使连接胶层41对光线的传输造成影响，同时不能满足小型化的要求。将连接胶层41的厚度限制在10微米至100微米的范围内，可有效保证光线在连接胶层41中的传输的同时起到连接第二胶层30与基底层42的作用。

具体的，衍射结构21是衍射光栅，衍射光栅的线宽大于等于100纳米且小于等于500纳米。若衍射光栅的线宽小于100纳米，使得衍射结果亮度不明显不易观察，若衍射光栅的线宽大于500纳米，使得衍射结果亮度分布不均匀。将衍射光栅的线宽限制在100纳米与500纳米的范围内，可以得到亮度明显且分布均匀的衍射结果，保证了衍射结构21的性能。

具体的，衍射光栅的深度大于等于500纳米且小于等于1500纳米。若衍射光栅的深度小于500纳米，使得衍射光栅不宜加工，增加加工成本，若衍射光栅的深度大于1500纳米，会影响衍射结构21与第一胶层20的组立性。将衍射光栅的深度限制在500纳米与等于1500纳米的范围内，可使衍射结构21稳定装配在第一胶层20中，同时降低了加工难度。

需要说明的是，衍射光栅在第一胶层20上是均匀分布的。

具体的，匀光结构31设置在第二胶层30上，匀光结构31包括多个微透镜311，多个微透镜311设置在第二胶层30的靠近固定层40的一侧上，且微透镜311与固定层40连接。通过将微透镜311与固定层40连接，使得固定层40对微透镜311起到承载与保护的作用，增加了结构的稳定性。

需要说明的是，多个微透镜311在第二胶层30上是均匀连续分布的。

具体的，微透镜311的高度大于等于3微米且小于等于50微米。若微透镜311的高度小于3微米，使得微透镜的加工难度增大，若微透镜311的高度大于50微米，使得微透镜311与第二胶层30的装配难度增加。将微透镜311的高度限制在3微米与50微米的范围内，可保证微透镜311在第二胶层30上的稳定性的同时减小加工难度，进而提高微透镜311的性能稳定性。

需要说明的是，微透镜311的高度是指微透镜311与所述固定层40之间的最远距离。

具体的，微透镜311的直径大于等于3微米且小于等于50微米。若微透镜311的直径小于3微米，使得微透镜的加工难度增大，若微透镜311的直径大于50微米，使得微透镜311与第二胶层30的装配难度增加，同时使得匀光结构31的匀光效果较差。将微透镜311的直径限制在3微米与50微米的范围内，可保证微透镜311在第二胶层30上的稳定性的同时减小加工难度，进而提高微透镜311的性能稳定性保证匀光结构31的匀光效果。

如图2所示，集成投射模组包括上述的集成光学器件50、激光结构70、透镜60和投射结构80，激光结构70设置在集成光学器件50的固定层40远离保护层10的一侧；透镜60设置在集成光学器件50与激光结构70之间，且透镜60与集成光学器件50的衍射结构21向激光结构70的投影至少部分重合投射结构80与激光结构70电连接，投射结构80用于物体90发射光线和接收物体90的反射光线，集成投射模组测量集成投射模组与物体90之间的距离L，并将距离L反馈给激光结构70，激光结构70根据距离L的大小对集成光学器件50的匀光结构31或衍射结构21发射激光。通过在集成投射模组中设置集成光学器件50，使得结构光投射模式和飞行时间投射模式可以相互切换，使用起来更加方便，同时可以保证集成投射模组的小型化。通过将透镜60设置在集成光学器件50与激光结构70之间，且透镜60与集成光学器件50的衍射结构21向激光结构70的投影至少部分重合，使得激光结构70发射的激光通过透镜60可以达到集成光学器件50的衍射结构21上，从而通过衍射结构21可以成像，以实现结构光投射模式。通过设置投射结构80与激光结构70电连接，使得投射结构80可以向物体90发射光线和接收物体90的反射光线，以使得集成投射模组能够根据投射结构80发射光线和接收光线的时间差来测量距离L，并将距离L反馈到激光结构70中，来根据距离L实现激光结构70对集成光学器件50的匀光结构31或衍射结构21发射激光，进而实现结构光投射模式与飞行时间投射模式的相互切换。

优选地，透镜60与集成光学器件50的衍射结构21向激光结构70的投影完全重合。当然，也可以是透镜60位于集成光学器件50的衍射结构21向激光结构70的投影内。

具体的，激光结构70包括第一垂直腔面发射激光器71和第二垂直腔面发射激光器72，第一垂直腔面发射激光器71与衍射结构21向激光结构70的投影至少部分重合；第二垂直腔面发射激光器72与匀光结构31向激光结构70的投影至少部分重合；其中，距离L大于预设距离L0时，第二垂直腔面发射激光器72向匀光结构31发射激光，距离L小于预设距离L0时，第一垂直腔面发射激光器71向衍射结构21发射激光。通过设置第一垂直腔面发射激光器71与衍射结构21向激光结构70的投影至少部分重合，使得第一垂直腔面发射激光器71发射的激光照射到衍射结构21上，从而构成结构光投射模组。通过设置第二垂直腔面发射激光器72与匀光结构31向激光结构70的投影至少部分重合，使得第二垂直腔面发射激光器72发射的激光照射到匀光结构31上，从而构成飞行时间投射模组。当距离L大于预设距离L0，使得第二垂直腔面发射激光器72向匀光结构31发射激光，此时为飞行时间投射模组。当距离L小于预设距离L0，使得第一垂直腔面发射激光器71向衍射结构21发射激光，此时为结构光投射模组。通过判断距离L与预设距离L0的大小关系，来实现飞行时间投射模组与结构光投射模组间的相互切换，使得集成投射模组应用更加广泛，实用性更强。

需要说明的是，在本实施例中，是通过控制第一垂直腔面发射激光器71和第二垂直腔面发射激光器72的工作情况来实现的飞行时间投射模组与结构光投射模组间的切换。

具体的，投射结构80包括发射端镜头81和接收端镜头82，发射端镜头81用于向物体90发射光；接收端镜头82用于接收物体90反射回来的光；其中，集成投射模组还包括计算模块与发射端镜头81和接收端镜头82电连接，计算模块用于根据发射端镜头81的发射光时间和接收端镜头82的接收光时间来计算距离L。同时在得知距离L后，计算模块会判断距离L与预设距离L0之间的关系，以控制第一垂直腔面发射激光器71和第二垂直腔面发射激光器72的工作情况。

如图3至图10所示，集成光学器件的制作工艺包括上述集成光学器件50由集成光学器件50的制作工艺制作而成，集成光学器件50的制作工艺包括以下步骤：在衍射结构母版211上涂覆胶水形成第一胶层20；在涂覆有胶水的衍射结构母版211上设置保护层10；反向压印衍射结构母版211，将第一胶层20和保护层10从衍射结构母版211上脱离，得到衍射结构软膜子板212；匀光结构31连接在固定层40上；在匀光结构31上涂覆胶水形成第二胶层30；将衍射结构软膜子板212连接在第二胶层30远离固定层40的一侧，并压印曝光以形成集成光学器件50。采用集成光学器件的制作工艺制作出具有飞行时间投射模组与结构光投射模组切换功能的集成光学器件50。

实施例二

与实施例一的区别是，激光结构70的具体结构不同。

在本实施例中，激光结构70包括激光器和移动装置，激光器设置在移动装置上，移动装置根据距离L来改变移动装置的位置，距离L大于预设距离L0时，移动装置将激光器送到匀光结构31的下方，距离L小于预设距离L0时，移动装置将激光器送到衍射结构21的下方。通过将激光器设置在移动装置上，使得移动装置可以根据距离L来改变移动装置的位置，从而实现结构光投射模式与飞行时间投射模式间的相互切换，只采用一个激光器，减少了成本。在本实施例中，是通过移动装置的位置的改变来调整的飞行时间投射模组与结构光投射模组的切换。

显然，上述所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本实用新型保护的范围。

需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、工作、器件、组件和/或它们的组合。

需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施方式能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (11)

1.一种集成光学器件，其特征在于，包括依次叠置的保护层(10)、第一胶层(20)、第二胶层(30)和固定层(40)，所述集成光学器件还包括：

衍射结构(21)；

匀光结构(31)；

其中，所述衍射结构(21)设置在所述第一胶层(20)上，所述匀光结构(31)设置在第二胶层(30)上，所述衍射结构(21)和所述匀光结构(31)向所述固定层(40)的投影不重合；或者所述衍射结构(21)设置在所述第二胶层(30)上，所述匀光结构(31)设置在第一胶层(20)上，所述衍射结构(21)和所述匀光结构(31)向所述固定层(40)的投影不重合。

2.根据权利要求1所述的集成光学器件，其特征在于，所述固定层(40)包括：

连接胶层(41)；

基底层(42)，所述第二胶层(30)通过所述连接胶层(41)与所述基底层(42)连接。

3.根据权利要求2所述的集成光学器件，其特征在于，

所述保护层(10)的材料包括聚对苯二甲酸乙二醇酯或玻璃中的一种；和/或

所述基底层(42)的材料包括聚对苯二甲酸乙二醇酯或玻璃中的一种。

4.根据权利要求2所述的集成光学器件，其特征在于，

所述第一胶层(20)的折射率n1大于所述第二胶层(30)的折射率n2；和/或

所述第二胶层(30)的折射率n2小于所述连接胶层(41)的折射率n3。

5.根据权利要求2所述的集成光学器件，其特征在于，

所述第一胶层(20)的厚度大于等于1微米且小于等于10微米；和/或

所述第二胶层(30)的厚度大于等于10微米且小于等于100微米；和/或

所述连接胶层(41)的厚度大于等于10微米且小于等于100微米。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的集成光学器件，其特征在于，所述衍射结构(21)是衍射光栅，

所述衍射光栅的线宽大于等于100纳米且小于等于500纳米；和/或

所述衍射光栅的深度大于等于500纳米且小于等于1500纳米。

7.根据权利要求1至5中任一项所述的集成光学器件，其特征在于，所述匀光结构(31)设置在所述第二胶层(30)上，所述匀光结构(31)包括多个微透镜(311)，多个所述微透镜(311)设置在所述第二胶层(30)靠近所述固定层(40)的一侧上，且所述微透镜(311)与所述固定层(40)连接，

所述微透镜(311)的高度大于等于3微米且小于等于50微米；和/或

所述微透镜(311)的直径大于等于3微米且小于等于50微米。

8.一种集成投射模组，其特征在于，包括：

权利要求1至7中任一项所述的集成光学器件(50)；

激光结构(70)，所述激光结构(70)设置在所述集成光学器件(50)的固定层(40)远离所述集成光学器件(50)的保护层(10)的一侧；

透镜(60)，所述透镜(60)设置在所述集成光学器件(50)与所述激光结构(70)之间，且所述透镜(60)与所述集成光学器件(50)的衍射结构(21)向所述激光结构(70)的投影至少部分重合；

投射结构(80)，所述投射结构(80)与所述激光结构(70)电连接，所述投射结构(80)用于向物体(90)发射光线和接收所述物体(90)的反射光线，所述集成投射模组测量所述集成投射模组与所述物体(90)之间的距离L，并将所述距离L反馈给所述激光结构(70)，所述激光结构(70)根据所述距离L的大小对所述集成光学器件(50)的匀光结构(31)或所述衍射结构(21)发射激光。

9.根据权利要求8所述的集成投射模组，其特征在于，所述激光结构(70)包括：

第一垂直腔面发射激光器(71)，所述第一垂直腔面发射激光器(71)与所述衍射结构(21)向所述激光结构(70)的投影至少部分重合；

第二垂直腔面发射激光器(72)，所述第二垂直腔面发射激光器(72)与所述匀光结构(31)向所述激光结构(70)的投影至少部分重合；

其中，所述距离L大于预设距离L0时，所述第二垂直腔面发射激光器(72)向所述匀光结构(31)发射激光，所述距离L小于所述预设距离L0时，所述第一垂直腔面发射激光器(71)向所述衍射结构(21)发射激光。

10.根据权利要求8所述的集成投射模组，其特征在于，所述激光结构(70)包括：

激光器；

移动装置，所述激光器设置在所述移动装置上。

11.根据权利要求8至10中任一项所述的集成投射模组，其特征在于，所述投射结构(80)包括：

发射端镜头(81)，所述发射端镜头(81)用于向所述物体(90)发射光；

接收端镜头(82)，所述接收端镜头(82)用于接收所述物体(90)反射回来的光；

其中，所述集成投射模组还包括计算模块，所述计算模块与所述发射端镜头(81)和所述接收端镜头(82)电连接，所述计算模块用于根据所述发射端镜头(81)的发射光时间和所述接收端镜头(82)的接收光时间来计算所述距离L。

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