CN212531576U

CN212531576U - 收放膜装置

Info

Publication number: CN212531576U
Application number: CN202021205621.0U
Authority: CN
Inventors: 程彦; 涂升琳; 杨冬
Original assignee: Dongguan Siwo Intelligent Equipment Co ltd
Current assignee: Dongguan Siwo Intelligent Equipment Co ltd
Priority date: 2020-06-24
Filing date: 2020-06-24
Publication date: 2021-02-12
Anticipated expiration: 2030-06-24

Abstract

本申请公开了一种收放膜装置，包括放膜组件，以及与放膜组件相配合的收膜组件；放膜组件包括放膜立板、转动安装于放膜立板的放膜辊、用于驱动放膜辊转动的放膜驱动机构、转动安装于放膜立板的原料辊、安装于原料辊的第一带轮、安装于放膜立板的电磁刹车片、安装于电磁刹车片上的第二带轮，以及设于第一带轮与第二带轮之间的第一传动带。在放膜立板上设置有与原料辊相配合的电磁刹车片，因此放膜辊转动并通过原料膜拉动原料辊转动时，原料辊会受到一定的阻力，原料辊转动的速度不至于过快，放膜辊与原料辊之间的原料膜可保持张紧状态，进而使得运动至晶圆处的膜较为平整，贴膜良品率高。

Description

收放膜装置

技术领域

本申请涉及贴膜设备领域，尤其涉及一种收放膜装置。

背景技术

晶圆等产品在贴膜的过程中，需要为晶圆提供原料膜，原料膜完成贴膜后切割形成的废料需要收卷回收，上述过程由收放膜装置完成。现有的收放膜装置，在放膜的过程中，转轴较松弛，送膜速度过大，使得膜较为松弛，无法保持张紧状态，后续贴膜的效果较差。

实用新型内容

本申请的目的在于提供一种收放膜装置，旨在解决现有技术中，放膜时原料膜无法保持张紧状态的问题。

为达此目的，本申请实施例采用以下技术方案：

收放膜装置，包括放膜组件，以及与所述放膜组件相配合的收膜组件；所述放膜组件包括放膜立板、转动安装于所述放膜立板的放膜辊、用于驱动所述放膜辊转动的放膜驱动机构、转动安装于所述放膜立板的原料辊、安装于所述原料辊的第一带轮、安装于所述放膜立板的电磁刹车片、安装于所述电磁刹车片上的第二带轮，以及设于所述第一带轮与所述第二带轮之间的第一传动带。

在一个实施例中，所述放膜立板上还安装有放膜压紧机构；所述放膜压紧机构包括安装于所述放膜立板的放膜压紧气缸、安装于所述放膜压紧气缸的活动端的放膜压紧架，以及转动安装于所述放膜压紧架的放膜压紧辊；所述放膜压紧辊与所述放膜辊相对设置。

在一个实施例中，所述放膜组件还包括安装于所述放膜立板上的分膜板、转动安装于放膜立板的覆膜收卷辊，以及用于驱动所述覆膜收卷辊转动的覆膜收卷驱动机构。

在一个实施例中，所述放膜组件还包括安装于所述放膜立板上的覆膜张紧机构；所述覆膜张紧机构包括转动安装于所述放膜立板的覆膜张紧支架、安装于所述覆膜张紧支架的多个覆膜张紧辊，以及用于驱动所述覆膜张紧支架转动的覆膜张紧气缸。

在一个实施例中，所述覆膜收卷驱动机构包括安装于所述放膜立板的覆膜驱动电机、安装于所述覆膜收卷辊的第三带轮、安装于所述覆膜驱动电机的第四带轮，以及设于所述第三带轮与所述第四带轮之间的第二传动带。

在一个实施例中，所述放膜驱动机构包括安装于所述放膜立板的放膜驱动电机、安装于所述放膜辊的第五带轮、安装于所述放膜驱动电机的第六带轮，以及设于所述第五带轮与所述第六带轮之间的第三传动带。

在一个实施例中，所述放膜立板上还设有检测支架，所述检测支架上安装有用于检测所述原料辊上的原料膜的厚度的超声波传感器。

在一个实施例中，所述收膜组件包括收膜立板、转动安装于所述收膜立板的收膜辊，以及用于驱动所述收膜辊转动的收膜驱动机构。

在一个实施例中，所述收膜驱动机构包括安装于所述收膜立板的收膜驱动电机、安装于所述收膜辊的第七带轮、安装于所述收膜驱动电机的第八带轮，以及设于所述第七带轮与所述第八带轮之间的第四传动带。

在一个实施例中，所述收膜组件还包括安装于所述收膜立板的收膜张紧机构，以及安装于所述收膜立板的静电风扇；所述收膜张紧机构包括转动安装于所述收膜立板的收膜张紧支架、转动安装于所述收膜张紧支架的多个收膜张紧辊，以及用于驱动所述收膜张紧支架转动的收膜张紧气缸；所述收膜张紧气缸与所述收膜张紧支架分别位于所述收膜立板的相对的两侧。

本申请实施例的有益效果：在放膜立板上设置有与原料辊相配合的电磁刹车片，因此放膜辊转动并通过原料膜拉动原料辊转动时，原料辊会受到一定的阻力，原料辊转动的速度不至于过快，放膜辊与原料辊之间的原料膜可保持张紧状态，进而使得运动至晶圆处的膜较为平整，贴膜良品率高。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请的实施例中收放膜装置的第一视角的结构示意图；

图2为本申请的实施例中收放膜装置的第二视角的结构示意图；

图3为本申请的实施例中收放膜装置的第三视角的结构示意图；

图中：

1、放膜组件；11、放膜立板；111、检测支架；1111、超声波传感器；12、放膜辊；13、放膜驱动机构；131、放膜驱动电机；133、第五带轮；134、第三传动带；14、原料辊；15、第一带轮；16、电磁刹车片；17、第二带轮；18、第一传动带；19、覆膜张紧机构；191、覆膜张紧支架；192、覆膜张紧辊；193、覆膜张紧气缸；

2、收膜组件；21、收膜立板；22、收膜辊；23、收膜驱动机构；231、收膜驱动电机；232、第七带轮；234、第四传动带；24、收膜张紧机构；241、收膜张紧支架；242、收膜张紧辊；243、收膜张紧气缸；25、静电风扇；

3、放膜压紧机构；31、放膜压紧气缸；32、放膜压紧架；33、放膜压紧辊；

4、分膜板；

5、覆膜收卷辊；

6、覆膜收卷驱动机构；61、覆膜驱动电机；62、第三带轮；63、第四带轮；64、第二传动带。

具体实施方式

为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

以下结合具体实施例对本申请的实现进行详细的描述。

如图1-图3所示，本申请实施例提出了一种收放膜装置，包括放膜组件1，以及与放膜组件1相配合的收膜组件2；放膜组件1包括放膜立板11、转动安装于放膜立板11的放膜辊12、用于驱动放膜辊12转动的放膜驱动机构13、转动安装于放膜立板11的原料辊14、安装于原料辊14的第一带轮15、安装于放膜立板11的电磁刹车片16、安装于电磁刹车片16上的第二带轮17，以及设于第一带轮15与第二带轮17之间的第一传动带18。

在本申请的实施例中，收放膜装置收放膜过程为：放膜组件1的原料辊14上卷设有原料膜，放膜驱动机构13带动放膜辊12转动，放膜辊12转动时通过拉动原料膜带动原料辊14转动，使得原料膜向靠近收膜组件2的方向运动，原料膜的覆膜与干膜分离后，干膜贴设于晶圆等产品的表面，未贴覆的被切割成废膜，并被收膜组件2收卷。由于在放膜立板11上设置有与原料辊14相配合的电磁刹车片16，因此放膜辊12转动并通过原料膜拉动原料辊14转动时，原料辊14会受到一定的阻力，原料辊14转动的速度不至于过快，放膜辊12与原料辊14之间的原料膜可保持张紧状态，进而使得运动至晶圆处的膜较为平整，贴膜良品率高。

请参阅图1-图2，作为本申请提供的收放膜装置的另一种具体实施方式，放膜立板11上还安装有放膜压紧机构3；放膜压紧机构3包括安装于放膜立板11的放膜压紧气缸31、安装于放膜压紧气缸31的活动端的放膜压紧架32，以及转动安装于放膜压紧架32的放膜压紧辊33；放膜压紧辊33与放膜辊12相对设置。放膜压紧辊33可和放膜辊12将原料膜压紧，使得放膜辊12转动时可顺畅的拉动原料辊14转动。

请参阅图1-图2，作为本申请提供的收放膜装置的另一种具体实施方式，放膜组件1还包括安装于放膜立板11上的分膜板4、转动安装于放膜立板11的覆膜收卷辊5，以及用于驱动覆膜收卷辊5转动的覆膜收卷驱动机构6。原料膜在分膜板4处被分为干膜及覆膜，干膜上有胶，并用于贴附于晶圆的表面，覆膜被覆膜收卷辊5收卷回收。

请参阅图1-图2，作为本申请提供的收放膜装置的另一种具体实施方式，放膜组件1还包括安装于放膜立板11上的覆膜张紧机构19；覆膜张紧机构19包括转动安装于放膜立板11的覆膜张紧支架191、安装于覆膜张紧支架191的多个覆膜张紧辊192，以及用于驱动覆膜张紧支架191转动的覆膜张紧气缸193。覆膜张紧气缸193带动覆膜张紧支架191转动时，可实现将覆膜张紧支架191上的覆膜张紧辊192也移动一定的角度，并将绕设于覆膜张紧辊192的覆膜压紧。

请参阅图1-图2，作为本申请提供的收放膜装置的另一种具体实施方式，覆膜收卷驱动机构6包括安装于放膜立板11的覆膜张紧电机覆膜驱动电机61、安装于覆膜收卷辊5的第三带轮62、安装于覆膜张紧电机覆膜驱动电机61的第四带轮63，以及设于第三带轮62与第四带轮63之间的第二传动带64。覆膜驱动电机61带动第四带轮63转动，第四带轮63通过第二传动带64带动第三带轮62转动，进而实现带动覆膜收卷辊5转动。

请参阅图1-图2，作为本申请提供的收放膜装置的另一种具体实施方式，放膜驱动机构13包括安装于放膜立板11的放膜驱动电机131、安装于放膜辊12的第五带轮133、安装于放膜驱动电机131的第六带轮，以及设于第五带轮133与第六带轮之间的第三传动带134。放膜驱动电机131带动第六带轮转动，第六带轮通过第三传动带134带动第五带轮133转动，进而实现带动放膜辊12转动。

请参阅图1-图2，作为本申请提供的收放膜装置的另一种具体实施方式，放膜立板11上还设有检测支架111，检测支架111上安装有用于检测原料辊14上的原料膜的厚度的超声波传感器1111，以实时检测原料辊14上的原料膜的余量。

请参阅图1-图2，作为本申请提供的收放膜装置的另一种具体实施方式，收膜组件2包括收膜立板21、转动安装于收膜立板21的收膜辊22，以及用于驱动收膜辊22转动的收膜驱动机构23。收膜驱动机构23带动收膜辊22转动，将从晶圆的边缘切割出的废膜收卷。

请参阅图1-图2，作为本申请提供的收放膜装置的另一种具体实施方式，收膜驱动机构23包括安装于收膜立板21的收膜驱动电机231、安装于收膜辊22的第七带轮232、安装于收膜驱动电机231的第八带轮，以及设于第七带轮232与第八带轮之间的第四传动带234。收膜驱动电机231带动第八带轮转动，第八带轮通过第四传动带234带动第七带轮232转动，进而带动收膜辊22转动。

请参阅图2-图3，作为本申请提供的收放膜装置的另一种具体实施方式，收膜组件2还包括安装于收膜立板21的收膜张紧机构24，以及安装于收膜立板21的静电风扇25，可去除废膜表面的静电，便于后续的收卷操作；收膜张紧机构24包括转动安装于收膜立板21的收膜张紧支架241、转动安装于收膜张紧支架241的多个收膜张紧辊242，以及用于驱动收膜张紧支架241转动的收膜张紧气缸243；收膜张紧气缸243与收膜张紧支架241分别位于收膜立板21的相对的两侧。收膜张紧气缸243带动收膜张紧支架241转动，收膜张紧辊242随着收膜张紧支架241转动，进而将废膜张紧，使得收膜辊22可较好的将废膜收卷。

可以理解的是，另一种具体实施方式中的方案可为在其他实施例的基础上进一步改进的可实现的实施方案。

显然，本申请的上述实施例仅仅是为了清楚说明本申请所作的举例，而并非是对本申请的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本申请的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本申请权利要求的保护范围之内。

Claims

1.收放膜装置，其特征在于，包括放膜组件，以及与所述放膜组件相配合的收膜组件；所述放膜组件包括放膜立板、转动安装于所述放膜立板的放膜辊、用于驱动所述放膜辊转动的放膜驱动机构、转动安装于所述放膜立板的原料辊、安装于所述原料辊的第一带轮、安装于所述放膜立板的电磁刹车片、安装于所述电磁刹车片上的第二带轮，以及设于所述第一带轮与所述第二带轮之间的第一传动带。

2.根据权利要求1所述的收放膜装置，其特征在于，所述放膜立板上还安装有放膜压紧机构；所述放膜压紧机构包括安装于所述放膜立板的放膜压紧气缸、安装于所述放膜压紧气缸的活动端的放膜压紧架，以及转动安装于所述放膜压紧架的放膜压紧辊；所述放膜压紧辊与所述放膜辊相对设置。

3.根据权利要求1所述的收放膜装置，其特征在于，所述放膜组件还包括安装于所述放膜立板上的分膜板、转动安装于放膜立板的覆膜收卷辊，以及用于驱动所述覆膜收卷辊转动的覆膜收卷驱动机构。

4.根据权利要求3所述的收放膜装置，其特征在于，所述放膜组件还包括安装于所述放膜立板上的覆膜张紧机构；所述覆膜张紧机构包括转动安装于所述放膜立板的覆膜张紧支架、安装于所述覆膜张紧支架的多个覆膜张紧辊，以及用于驱动所述覆膜张紧支架转动的覆膜张紧气缸。

5.根据权利要求3所述的收放膜装置，其特征在于，所述覆膜收卷驱动机构包括安装于所述放膜立板的覆膜驱动电机、安装于所述覆膜收卷辊的第三带轮、安装于所述覆膜驱动电机的第四带轮，以及设于所述第三带轮与所述第四带轮之间的第二传动带。

6.根据权利要求1所述的收放膜装置，其特征在于，所述放膜驱动机构包括安装于所述放膜立板的放膜驱动电机、安装于所述放膜辊的第五带轮、安装于所述放膜驱动电机的第六带轮，以及设于所述第五带轮与所述第六带轮之间的第三传动带。

7.根据权利要求1所述的收放膜装置，其特征在于，所述放膜立板上还设有检测支架，所述检测支架上安装有用于检测所述原料辊上的原料膜的厚度的超声波传感器。

8.根据权利要求1-7任一项所述的收放膜装置，其特征在于，所述收膜组件包括收膜立板、转动安装于所述收膜立板的收膜辊，以及用于驱动所述收膜辊转动的收膜驱动机构。

9.根据权利要求8所述的收放膜装置，其特征在于，所述收膜驱动机构包括安装于所述收膜立板的收膜驱动电机、安装于所述收膜辊的第七带轮、安装于所述收膜驱动电机的第八带轮，以及设于所述第七带轮与所述第八带轮之间的第四传动带。

10.根据权利要求8所述的收放膜装置，其特征在于，所述收膜组件还包括安装于所述收膜立板的收膜张紧机构，以及安装于所述收膜立板的静电风扇；所述收膜张紧机构包括转动安装于所述收膜立板的收膜张紧支架、转动安装于所述收膜张紧支架的多个收膜张紧辊，以及用于驱动所述收膜张紧支架转动的收膜张紧气缸；所述收膜张紧气缸与所述收膜张紧支架分别位于所述收膜立板的相对的两侧。