CN211840843U - 翻盖机构和器件制造*** - Google Patents

Abstract

公开了一种翻盖机构和器件制造***，翻盖机构通过第一驱动装置和第二驱动装置驱动压合装置向预定方向移动使得压合装置的压合随动器移动带动载具翻盖翻转，并在载具翻盖翻转过程中使得压合随动器可以随滑动板与固定组件相对移动，使得翻盖机构以缓冲贴合的方式圧动载具翻盖翻转，提高了产品良率，降低了备品消耗。

Description

翻盖机构和器件制造***

技术领域

本实用新型涉及精密器件的自动化设备技术领域，具体涉及一种翻盖机构和器件制造***。

背景技术

随着电子加工产业的自动化发展，精密微小型产品的多种制程装配在自动化生产过程中需要使用载具对精密微小型产品进行承载实现流动。当将精密微小型产品放置到载具后需要用载具翻盖来盖住产品，进而确保产品可以进行下步工序。现有的翻盖机构在对载具翻盖进行翻盖动作时，通过气缸直接从载具翻盖的背面顶住翻盖使其盖住产品，由于气缸直接下压载具翻盖的下压力度不可控，容易压伤产品或者撞伤产品，增加了备用产品的消耗。

实用新型内容

有鉴于此,本实用新型提供了一种翻盖机构和器件制造***，所述翻盖机构以缓冲贴合的方式圧动载具翻盖翻转，提高了产品良率，降低了备品消耗。

第一方面，本实用新型实施例提供了一种翻盖机构，用于带动载具翻盖翻转，其特征在于，所述翻盖机构包括：

压合装置，受控移动带动所述载具翻盖翻转；

第一驱动装置，与所述压合装置连接，所述第一驱动装置受控驱动所述压合装置沿第一方向移动；

第二驱动装置，与所述第一驱动装置连接，所述第二驱动装置受控驱动所述第一驱动装置和所述压合装置沿第二方向移动；

其中，所述压合装置包括固定组件、压合组件以及设置于所述固定组件和所述压合组件之间的滑动组件，所述压合组件通过所述滑动组件以能够相对所述固定组件移动的方式与所述固定组件连接；

其中，所述压合组件包括：

滑动板，与所述滑动组件固定连接；

压合随动器，与所述滑动板转动连接，所述压合随动器受控移动以带动所述载具翻盖翻转。

进一步地，所述压合装置还包括：

压合连接板，与所述固定组件固定连接；

至少一个弹性件，一端与所述压合组件连接，另一端与所述压合连接板连接，所述压合组件与所述固定组件相对移动以压动所述弹性件从第一状态转换为第二状态。

进一步地，所述压合连接板具有导向孔；

所述压合装置还包括导向杆，所述导向杆的第一端的直径大于第二端的直径，且所述第一端的直径大于所述导向孔的孔径，所述导向杆的第二端穿过所述导向孔与所述压合组件固定连接，所述压合组件带动所述导向杆沿所述导向孔相对移动。

进一步地，所述固定组件包括：

第一固定板；

第二固定板，与所述第一固定板连接，所述第二固定板的底面与所述第一驱动装置固定连接；

加强板，与所述第一固定板和所述第二固定板固定连接；

所述滑动组件包括第一滑动部和与所述第一滑动部相对移动的第二滑动部，所述第一滑动部与所述第一固定板固定连接，所述第二滑动部与所述压合组件固定连接。

进一步地，所述第一滑动部或所述第二滑动部的底部具有限位件。

进一步地，所述压合随动器部分伸出所述滑动板的底部。

进一步地，所述固定组件的第一侧面与所述滑动组件固定连接，所述固定组件的第二侧面与所述第一驱动装置固定连接。

进一步地，所述翻盖机构还包括气缸连接板，所述第一驱动装置和所述第二驱动装置通过所述气缸连接板相互垂直连接。

进一步地，所述翻盖机构还包括基板，所述基板与所述第二驱动装置固定连接。

第二方面，本实用新型实施例还提供了一种器件制造***，所述***包括：

多个载具，包括承载槽和与所述承载槽配合的载具翻盖；

如第一方面所述的翻盖机构，用于带动所述载具翻盖翻转；

翻盖机构流道，设置于所述载具的一侧，所述翻盖机构设置于所述翻盖机构流道内，所述翻盖机构沿所述翻盖机构流道移动以带动所述载具的载具翻盖翻转。

本实施例的翻盖机构通过第一驱动装置和第二驱动装置驱动压合装置向预定方向移动使得压合装置的压合随动器移动带动载具翻盖翻转，并在载具翻盖翻转过程中使得压合随动器可以随滑动板与固定组件相对移动，使得翻盖机构以缓冲贴合的方式圧动载具翻盖翻转，提高了产品良率，降低了备品消耗。

附图说明

通过以下参照附图对本实用新型实施例的描述，本实用新型的上述以及其它目的、特征和优点将更为清楚，在附图中：

图1是本实用新型实施例的翻盖机构的结构示意图一；

图2是本实用新型实施例的翻盖机构的***示意图；

图3是本实用新型实施例的压合装置的***示意图；

图4是本实用新型实施例的第一驱动装置的结构示意图；

图5是本实用新型实施例的第二驱动装置的结构示意图；

图6是本实用新型实施例的压合组件的另一结构示意图；

图7-图11是本实用新型实施例的压合装置压合载具翻盖翻转的过程示意图；

图12是本实用新型实施例的翻盖机构的驱动方向和载具翻盖的翻转方向的示意图；

图13是本实用新型另一实施例的器件制造***的结构示意图。

具体实施方式

以下基于实施例对本实用新型进行描述，但是本实用新型并不仅仅限于这些实施例。在下文对本实用新型的细节描述中，详尽描述了一些特定的细节部分。对本领域技术人员来说没有这些细节部分的描述也可以完全理解本实用新型。为了避免混淆本实用新型的实质，公知的方法、过程、流程、元件和电路并没有详细叙述。

此外，本领域普通技术人员应当理解，在此提供的附图都是为了说明的目的，并且附图不一定是按比例绘制的。

除非上下文明确要求，否则在说明书的“包括”、“包含”等类似词语应当解释为包含的含义而不是排他或穷举的含义；也就是说，是“包括但不限于”的含义。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。此外，在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

图1-图5是本实施例的翻盖机构的结构示意图。如图1-图5所示，所述翻盖机构B包括压合装置1、第一驱动装置2和第二驱动装置3。其中，压合装置1和第一驱动装置2连接，第一驱动装置2用于驱动压合装置1沿第一方向移动。第一驱动装置2和第二驱动装置3连接，第二驱动装置3用于驱动第一驱动装置2和压合装置1同时沿第二方向移动。具体地，所述第一方向和第二方向相互垂直，分别用于调节压合装置1在横向和纵向上与载具翻盖A1之间的距离，以使得压合装置1可以与载具翻盖A1接触并翻转载具翻盖A1，使得载具翻盖A1可以盖住产品后进行下一步工序。在本实施例中，所述第一方向和第二方向形成的平面与所述载具翻盖A1旋转形成的平面平行或重合，亦即第一方向、第二方向、载具翻盖A1旋转的转轴彼此正交。

具体地，所述压合装置1包括固定组件11、压合组件12和滑动组件13，如图3所示。其中，固定组件11与第一驱动装置2固定连接，并与压合组件12相对设置。滑动组件13设置于固定组件11和压合组件12之间，所述压合组件12可以通过滑动组件13与固定组件11实现相对移动。当压合组件12压动所述载具翻盖A1翻转时，载具翻盖A1向压合组件12施加一个反向作用力，压合组件12在反向作用力的作用下通过滑动组件13向远离载具翻盖A1的方向与固定组件11相对移动，使得压合组件12在压合载具翻盖A1时可以达到柔性缓冲的作用，使得载具翻盖A1压合产品时不会撞伤产品。

在本实施例中，所述固定组件11包括第一固定板111、第二固定板112和加强板113。第一固定板111和第二固定板112固定连接，两者连接形成L形结构。所述加强板113设置于第一固定板111和第二固定板112之间，加强板113分别与第一固定板111和第二固定板112固定连接，用于加强固定组件11整体的强度，提高使用寿命。其中，所述第一固定板111与所述压合组件12相对平行设置。所述第二固定板112与所述第一固定板111垂直连接。所述第一固定板111、第二固定板112和加强板113的形状不受附图限制，任意可以连接形成外侧具有相互垂直的第一侧面11a和第二侧面11b的形状即可。

所述第一固定板111的侧面11a与滑动组件13的第一滑动部131固定连接，所述第二固定板112的底面11b与所述第一驱动装置2固定连接。第一驱动装置2通过驱动第二固定板112移动以带动压合装置1整体实现移动。

在其它可选实现方式中，所述固定组件11可以设置为横截面为任意形状的直棱柱或多面体，所述直棱柱或多面体存在至少两个相邻垂直的平面即可，其中一个平面(即第一侧面11a)与滑动组件13的第一滑动部131固定连接，另一个平面(即第二侧面11b，所述第二侧面11b与第一侧面11a相互垂直)与第一驱动装置2固定连接。

所述滑动组件13包括第一滑动部131和第二滑动部132。所述第一滑动部131与第一固定板111(第一侧面11a)固定连接，所述第二滑动部132与压合组件12固定连接。所述压合组件12通过所述第一滑动部131和第二滑动部132与所述第一固定板111相对移动。在本实施例中，所述第一滑动部131为直线滑轨，所述第二滑动部132为与所述直线滑轨相配合运动的直线滑槽。在其它可选实现中，所述第一滑动部131可以设置为直线滑槽，所述第二滑动部132设置为与所述直线滑槽相配合运动的直线滑轨。在本实施例中，所述滑动组件13还包括限位件(图中未示出)。所述限位件可以设置于第一滑动部131或第二滑动部132的底部，以防止第一滑动部131和第二滑动部132相对移动时，所述第一滑动部131和第二滑动部132脱开，影响翻盖机构的正常使用和使用者的安全。

在自然状态下，所述第二滑动部132位于所述第一滑动部131的底部位置。所述自然状态是指所述第二滑动部132不受外力而仅受自身重力的情况。当压合组件12压动所述载具翻盖A1翻转时，载具翻盖A1向压合组件12施加一个反向作用力，压合组件12在反向作用力的作用下，通过与其固定连接的第二滑动部132沿与固定组件11固定连接的第一滑动部131向上移动，使得压合组件12在压合载具翻盖A1时可以达到柔性缓冲的作用，使得载具翻盖A1压合产品时不会撞伤产品。

所述压合组件12包括滑动板121和压合随动器122。所述滑动板121的内侧平面(即面对第二滑动部132的一面)与第二滑动部132固定连接。所述滑动板121的底部外侧通过转轴123与压合随动器122转动连接。所述压合随动器122的部分圆柱表面从所述滑动板121的底部伸出。所述压合随动器122的圆柱表面用于与载具翻盖A1接触并压动所述载具翻盖A1翻转。本实施例压合组件1通过转动的圆柱表面与载具翻盖A1接触，所述圆柱表面和载具翻盖A1之间为滚动摩擦，可以减少与载具翻盖A1之间静摩擦力，进而减少对产品表面的伤害。优选地，所述压合随动器122为滚轮、凸轮或轴承等。在本实施例中，所述压合随动器122采用高精度耐磨材料制成，可以降低备品的消耗。

所述滑动板121可以包括第一部分121a和第二部分121b，所述第二部分121b的宽度小于第一部分121a的宽度，上述结构可以减轻整体的重量，达到轻量化，如图1所示，上述宽度是指沿第一部分121a、第二部分121b第一方向的尺寸。所述第一部分121a的内侧平面与第二滑动部132固定连接，所述第二部分121b的底部通过转轴123与压合随动器122转动连接。在其它可选实现方式中，所述滑动板121还可以通过设置多个轻量孔，实现滑动板121整体重量的轻量化。在其它可选实现方式中，压合随动器122可以设置为轴向较长的滚轮或轴承，可以同时对并排设置的多个载具翻盖A1完成联动翻盖动作，提高工作效率。

在其它可选实现方式中，所述滑动板121的底部可以延伸设置有相对平行的两个连接臂。压合随动器122以可转动地设置于两个连接臂之间，压合随动器122的圆柱表面伸出所述连接臂，所述压合随动器122受控移动以带动所述载具翻盖A1翻转，如图6所示。

所述压合装置1还包括压合连接板14、弹性件15和导向杆16。所述压合连接板14设置于所述固定组件11和压合组件12的顶部。所述压合连接板14的一端与所述固定组件11的顶部固定连接，另一端延伸至压合组件12的上方，压合连接板14通过弹性件15和导向杆16与压合组件连接。

具体地，所述压合连接板14具有两端连通的导向孔141。所述导向杆16的第一端16a的直径大于第二端16b的直径，且第一端16a的直径大于导向孔141的孔径。所述导向杆16的第二端16b从导向孔141的顶部穿过与滑动板121的顶部固定连接，以使得所述滑动板121可以带动导向杆16沿导向孔141与所述压合连接板14相对移动。在本实施例中，所述滑动板121的顶部具有第一安装孔121c，第一安装孔121c的位置与所述导向孔141相对设置，以使得导向杆16的第二端16b可以插接固定在第一安装孔121c内。优选地，所述导向杆16的第二端16b可以设置有外螺纹，对应地，第一安装孔121c设置为与第二端16b螺纹连接的内螺纹孔。所述压合组件12可以通过导向杆16引导与所述压合连接板14固定连接的固定组件11相对移动。

所述弹性件15可以设置为任意数量，分别设置于压合连接板14和滑动板121之间。优选地，本实施例的压合装置1具有两个弹性件15，分别对称地设置于所述导向杆16的两侧。

在本实施例中，所述滑动板121的顶部设置有第二安装孔121d，压合连接板14设置有与所述第二安装孔121d相对设置的第三安装孔(图中未示出)。所述弹性件15的两端分别固定于所述第二安装孔121d和对应地第三安装孔14a内。所述弹性件15可以为弹簧、硅胶或者记忆合金等弹性物质。

当滑动板121受到向上的反作用力时，滑动板121与固定组件11相对向上移动，从而压动弹性件15从第一状态转换为第二状态。当弹性件15处于第二状态时，弹性件15根据自身的反向弹力向滑动板121施加向下的推力，再次推动滑动板121向下移动。当翻盖机构在圧动载具翻盖A1进行翻盖的过程中，滑动板121在载具翻盖A1和弹性件15的作用下实现上下多次往复移动(也即柔性浮动作用)，可以防止直接撞击载具翻盖A1，对产品造成损伤，同时还可以使得翻盖机构与载具翻盖A1达到最佳的压合状态。

图7-图11为本实施例的翻盖机构B压合载具翻盖A1进行翻转的过程示意图。请一并参阅图1、7-图11，首先控制翻盖机构B的第二驱动装置3驱动压合装置12向下移动，使得压合装置12在纵向上靠近载具翻盖A1(如图7所示)；然后控制第一驱动装置2驱动压合装置12向左移动(如图8所示)，使得压合装置12与载具翻盖A1接触；然后继续控制第一驱动装置2驱动压合装置12向左移动，使得压合装置12对载具翻盖A1可实现碾压动作使得载具翻盖A1和产品紧密相贴，在碾压过程中，所述压合装置12存在多次柔性浮动作用，可以避免直接撞击载具翻盖A1，如图9-图10所示；最后控制压合装置12继续向左移动，使得压合装置12与载具翻盖A1分离，完成翻盖，如图11所示。所述翻盖机构B压合载具翻盖A1进行翻转的过程不仅仅上述的移动过程，具体可以根据压合装置距离载具翻盖A1的距离进行设置。

在其它可选实现方式中，所述压合连接板14还可以设置于第一滑动部131的上方，压合连接板14与所述固定组件11的第一侧面11a固定连接，另一端延伸至压合组件12的上方。

在本实施例中，第一驱动装置2和第二驱动装置3结构相同，所述第一驱动装置2和第二驱动装置3为精密滑台气缸，与现有的精密滑台气缸结构相同。

具体地，第一驱动装置2包括第一气缸21和第一滑台22。第一气缸21包括第一气腔211和设置于第一气腔211内的第一活塞杆212。所述第一活塞杆212可以沿第一气腔211移动。第一滑台22包括第一连接板221和第二连接板222。所述第一连接板221和第二连接板222的端部相互垂直固定连接。在本实施例中，所述第一连接板221与活塞杆212移动的方向垂直，第二连接板222与第一活塞杆212移动的方向平行。第一连接板221与活塞杆212固定连接。所述第二连接板222具有第一滑槽223，第一气缸21的顶部具有与所述第一滑槽223相适配地第一滑轨213，所述第一滑轨213与活塞杆212平行。当控制驱动第一活塞杆212向外移动时，第一活塞杆212带动与其固定连接的第一滑台22沿第一滑轨213相对移动。

在本实施例中，所述固定组件11的第二固定板112与第一驱动装置2的第二连接板222固定连接，也即压合装置1和第一驱动装置2的第二连接板222固定连接。通过驱动第一活塞杆212移动进而带动与其固定连接的第一滑台22和固定组件11移动，也即通过驱动第一活塞杆212驱动压合装置1移动。

第二驱动装置3包括第二气缸31和第二滑台32。第二气缸31包括第二气腔311和设置于第二气腔311内的第二活塞杆312。第二滑台32包括第三连接板321和第四连接板322。所述第三连接板321和第四连接板322的端部相互垂直固定连接。在本实施例中，所述第三连接板321与第二活塞杆312移动的方向垂直，第四连接板322与第二活塞杆312移动的方向平行。第三连接板321与第二活塞杆312固定连接。第四连接板322具有第二滑槽323，第二气缸31的顶部具有与所述第二滑槽323相适配地第二滑轨313，所述第二滑轨313与第二活塞杆312平行。当控制驱动第二活塞杆312向外移动时，第二活塞杆312带动与其固定连接的第二滑台32沿第二滑轨313相对移动。

本实施例的翻盖机构B还包括气缸连接板4。所述第一驱动装置2和第二驱动装置3通过所述气缸连接板4相互垂直连接，也即第一驱动装置2的驱动方向和第二驱动装置3的驱动方向垂直。具体地，所述第一驱动装置2的第一气缸21的底部与气缸连接板4固定连接，所述第二驱动装置3的第三连接板321与气缸连接板4固定连接，第二驱动装置3驱动气缸连接板4和第一驱动装置2移动，进一步地驱动与第一驱动装置2连接的压合装置1移动。

在其它可选实现方式中，第一驱动装置2的第一连接板221与压合装置1的第二固定板112固定连接。所述第一驱动装置2的第一气缸21的底部与气缸连接板4固定连接，所述第二驱动装置3的第四连接板322与气缸连接板4固定连接，第四连接板322与第一气缸21垂直。第二驱动装置3驱动气缸连接板4和第一驱动装置2移动，进一步地驱动与第一驱动装置2连接的压合装置1移动。

在实际使用过程中，翻盖机构B放置的位置可以使得第一驱动装置2的驱动方向为X轴方向，第二驱动装置3的驱动方向为Z轴方向，所述X轴和Z轴形成的平面与载具翻盖A1旋转方向R形成的平面平行，亦即，X轴、Z轴、载具翻盖A1旋转轴正交，如图12所示。通过驱动第一驱动装置2和第二驱动装置3分别在X轴方向和Z轴方向的移动距离，驱动压合装置1的压合随动器122接触并推动载具翻盖A1翻转，并在翻盖后驱动压合组件12向前继续移动一段距离，以使得压合组件12的圧合随动器122对载具翻盖A1可实现一个碾压动作使得载具翻盖A1和产品紧密相贴，以便于对产品的后续工序起到良好有效的贴合作用，所述载具翻盖A1的翻转过程如图7-图11所示。

所述翻盖机构B还包括基板5，与所述第二驱动装置3的第二气缸31固定连接。所述翻盖机构B通过基板5设置在翻盖机构流道内，沿翻盖机构流道移动以带动所述载具A的载具翻盖A1翻转。在本实施例中，所述翻盖机构流道的移动方向与第一驱动装置2和第二驱动装置3的驱动方向均垂直。

在本实施例中，所有的固定连接方式均采用螺栓或螺钉固定连接，也即在上述所有的连接件和被连接件上均设置有一一对应地螺纹孔，通过螺栓或螺钉实现固定连接。当某一零件损坏时，可以快速地实现更换零件。可选地，所述螺纹孔的个数不限，即连接件和被连接件能够固定连接即可。在其它可选实现方式中，所述固定连接方式还可以采用焊接方式进行固定连接。

本实施例的翻盖机构通过两个相互垂直的驱动装置驱动压合装置接触并推动载具翻盖翻转，并在翻盖后驱动压合装置向前继续移动一段距离，使得压合装置对载具翻盖可实现一个碾压动作使得载具翻盖和产品紧密相贴，以便于对产品的后续工序起到良好有效的贴合作用，同时在压合装置驱动翻盖的过程中，压合装置通过滑动组件使得滑动板在弹性件的作用下实现柔性浮动作用，可以防止压合装置直接撞击载具翻盖对产品造成损伤。

本实用新型的另一实施例还公开了一种器件制造***，所述***包括载具A、翻盖机构B和翻盖机构流道C，如图12所示。其中，翻盖机构B与上一实施例的翻盖机构B的结构相同，在此不再赘述。载具A包括承载槽A2和载具翻盖A1。所述载具翻盖A1设置于所述承载槽A2的上方，与承载槽A2的一侧转动连接。承载槽A2用于承载放置产品，载具翻盖A1用于盖住产品进行下一步工序。在本实施例中，所述载具A上可以具有多个并排设置的承载槽A2和载具翻盖A1，可以同时承载多个产品。

翻盖机构流道C设置于载具A的一侧，与载具翻盖A1的轴向平行。翻盖机构B设置于所述翻盖机构流道C内，可以沿翻盖机构流道C移动以带动载具A上的多个载具翻盖A1翻转。同时多个载具A也可以同时并排设置，翻盖机构B通过沿翻盖机构流道C移动实现对多个载具A上的多个载具翻盖A1翻转。

本实施例的器件制造***的翻盖机构通过两个相互垂直的驱动装置驱动压合装置接触并推动载具翻盖翻转，并在翻盖后驱动压合装置向前继续移动一段距离，使得压合装置对载具翻盖可实现一个碾压动作使得载具翻盖和产品紧密相贴，以便于对产品的后续工序起到良好有效的贴合作用，同时在压合装置驱动翻盖的过程中，压合装置通过滑动组件使得滑动板在弹性件的作用下实现柔性浮动作用，可以防止压合装置直接撞击载具翻盖对产品造成损伤。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并不用于限制本实用新型，对于本领域技术人员而言，本实用新型可以有各种改动和变化。凡在本实用新型的精神和原理之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种翻盖机构(B)，用于带动载具翻盖(A1)翻转，其特征在于，所述翻盖机构(B)包括：

压合装置(1)，受控移动带动所述载具翻盖(A1)翻转；

第一驱动装置(2)，与所述压合装置(1)连接，所述第一驱动装置(2)受控驱动所述压合装置(1)沿第一方向移动；

第二驱动装置(3)，与所述第一驱动装置(2)连接，所述第二驱动装置(3)受控驱动所述第一驱动装置(2)和所述压合装置(1)沿第二方向移动；

其中，所述压合装置(1)包括固定组件(11)、压合组件(12)以及设置于所述固定组件(11)和所述压合组件(12)之间的滑动组件(13)，所述压合组件(12)通过所述滑动组件(13)以能够相对所述固定组件(11)移动的方式与所述固定组件(11)连接；

其中，所述压合组件(12)包括：

滑动板(121)，与所述滑动组件(13)固定连接；

压合随动器(122)，与所述滑动板(121)转动连接，所述压合随动器(122)受控移动以带动所述载具翻盖(A1)翻转。

2.根据权利要求1所述的翻盖机构，其特征在于，所述压合装置(1)还包括：

压合连接板(14)，与所述固定组件(11)固定连接；

至少一个弹性件(15)，一端与所述压合组件(12)连接，另一端与所述压合连接板(14)连接，所述压合组件(12)与所述固定组件(11)相对移动以压动所述弹性件(15)从第一状态转换为第二状态。

3.根据权利要求2所述的翻盖机构，其特征在于，所述压合连接板(14)具有导向孔(141)；

所述压合装置(1)还包括导向杆(16)，所述导向杆(16)的第一端(16a)的直径大于第二端(16b)的直径，且所述第一端(16a)的直径大于所述导向孔(141)的孔径，所述导向杆(16)的第二端(16b)穿过所述导向孔(141)与所述压合组件(12)固定连接，所述压合组件(12)带动所述导向杆(16)沿所述导向孔(141)相对移动。

4.根据权利要求1所述的翻盖机构，其特征在于，所述固定组件(11)包括：

第一固定板(111)；

第二固定板(112)，与所述第一固定板(111)连接，所述第二固定板(112)的底面与所述第一驱动装置(2)固定连接；

加强板(113)，与所述第一固定板(111)和所述第二固定板(112)固定连接；

所述滑动组件(13)包括第一滑动部(131)和与所述第一滑动部(131)相对移动的第二滑动部(132)，所述第一滑动部(131)与所述第一固定板(111)固定连接，所述第二滑动部(132)与所述压合组件(12)固定连接。

5.根据权利要求4所述的翻盖机构，其特征在于，所述第一滑动部(131)或所述第二滑动部(132)的底部具有限位件。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的翻盖机构，其特征在于，所述压合随动器(122)部分伸出所述滑动板(121)的底部。

7.根据权利要求1-5中任一项所述的翻盖机构，其特征在于，所述固定组件(11)的第一侧面(11a)与所述滑动组件(13)固定连接，所述固定组件(11)的第二侧面(11b)与所述第一驱动装置(2)固定连接。

8.根据权利要求1-5中任一项所述的翻盖机构，其特征在于，所述翻盖机构还包括气缸连接板(4)，所述第一驱动装置(2)和所述第二驱动装置(3)通过所述气缸连接板(4)相互垂直连接。

9.根据权利要求1-5中任一项所述的翻盖机构，其特征在于，所述翻盖机构还包括基板(5)，所述基板(5)与所述第二驱动装置(3)固定连接。

10.一种器件制造***，其特征在于，所述***包括：

多个载具(A)，包括承载槽(A2)和与所述承载槽(A2)配合的载具翻盖(A1)；

如权利要求1-9中任一项所述的翻盖机构(B)，用于带动所述载具翻盖(A1)翻转；

翻盖机构流道(C)，设置于所述载具(A)的一侧，所述翻盖机构(B)设置于所述翻盖机构流道(C)内，所述翻盖机构(B)沿所述翻盖机构流道(C)移动以带动所述载具(A)的载具翻盖(A1)翻转。

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