CN211783350U - 调节激光传感器同轴度的装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种调节激光传感器同轴度的装置，包括C型架（1）、固定板（2）、X轴调节机构（3）、Y轴调节机构（8）和Z轴调节机构（4），在该C型架（1）上安装有固定板（2），所述的X轴调节机构（3）和Z轴调节机构（4）连接在一起后，安装在所述的固定板（2）上；所述的Y轴调节机构（8）安装在调节安装板（7）上，该调节安装板（7）固定安装在所述的Z轴调节机构（4）上，激光传感器通过激光器安装板固定安装在所述的Y轴调节机构（8）上。本实用新型的优点是：能够实现X、Y、Z轴方向的微调，从而有利于激光传感器同轴度的调整，确保激光传感器反馈出精确的数值，提高了激光传感器的测量精度，节省了调试时间。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种调节激光传感器同轴度的装置，涉及薄膜制造领域。
背景技术
在薄膜生产过程中，为了控制薄膜的厚度，需要用到激光传感器来测量薄膜厚度数据。为了提高传感器精度，上、下传感器必须保证同轴度。常规设备中，上下激光头只能上下调节，很难保证同轴度。为了保证同轴度，需要设计一个装置能够满足X、Y、Z轴的调节。
发明内容
为克服现有技术的缺陷，本实用新型提供一种调节激光传感器同轴度的装置，本实用新型的技术方案是：
一种调节激光传感器同轴度的装置，包括C型架（1），在该C型架（1）的开口端安装有两个同轴设置的上激光传感器（5）和下激光传感器（6），所述的上激光传感器（5）和下激光传感器（6）均通过调节机构安装在所述的C型架（1）上，所述的调节机构包括固定板（2）、X轴调节机构（3）、Y轴调节机构（8）和Z轴调节机构（4），在该C型架（1）上安装有固定板（2），所述的X轴调节机构（3）和Z轴调节机构（4）连接在一起后，安装在所述的固定板（2）上；所述的Y轴调节机构（8）安装在调节安装板（7）上，该调节安装板（7）固定安装在所述的Z轴调节机构（4）上，上激光传感器或下激光传感器通过激光器安装板固定安装在所述的Y轴调节机构（8）上。
所述的X轴调节机构（3）、Y轴调节机构（8）和Z轴调节机构（4）的结构相同，均包括顶板（3-1）、微调旋钮（3-2）、导向槽（3-3）、底板（3-4）、锁紧螺钉（3-5）、顶块（3-6）和拉簧（3-7），
在所述的底板（3-4）上安装有滑轨，两根滑轨之间形成拉簧安装槽（3-8），所述的顶板（3-1）安装在底板（3-4）的上部，与所述的底板（3-4）滑动配合，在所述的拉簧安装槽（3-8）内安装有一拉簧（3-7），该拉簧的一端连接在底板（3-4）上，另一端连接在顶板（3-1）上；在该底板（3-4）的一侧安装有微调旋钮安装板（3-10），另一侧安装有锁紧螺钉安装板（3-9），所述的微调旋钮（3-2）安装在微调旋钮安装板（3-10）上，与所述的微调旋钮安装板（3-10）螺纹配合；在所述的锁紧螺钉安装板（3-9）上设置有条形孔，所述的锁紧螺钉（3-5）穿过条形孔后，与所述的顶板（3-1）螺纹配合；在所述的顶板（3-1）的一侧安装有一顶块（3-6），该顶块（3-6）接近所述的微调旋钮（3-2），与所述的微调旋钮（3-2）螺纹配合。
所述的C型架为大理石C型架。
本实用新型的优点是：能够实现X、Y、Z轴方向的微调，从而有利于激光传感器同轴度的调整，确保激光传感器反馈出精确的数值，提高了激光传感器的测量精度，节省了调试时间。
附图说明
图1是本实用新型的主体结构示意图。
图2是图1的后视图。
图3是图1中X轴调节机构、Y轴调节机构或Z轴调节机构的结构示意图。
图4是图3去除顶板后的结构示意图。
具体实施方式
下面结合具体实施例来进一步描述本实用新型，本实用新型的优点和特点将会随着描述而更为清楚。但这些实施例仅是范例性的，并不对本实用新型的范围构成任何限制。本领域技术人员应该理解的是，在不偏离本实用新型的精神和范围下可以对本实用新型技术方案的细节和形式进行修改或替换，但这些修改和替换均落入本实用新型的保护范围内。
参见图1至图4，本实用新型涉及一种调节激光传感器同轴度的装置，包括C型架1，在该C型架1的开口端安装有两个同轴设置的上激光传感器5和下激光传感器6，所述的上激光传感器5和下激光传感器6均通过调节机构安装在所述的C型架1上，所述的调节机构包括固定板2、X轴调节机构3、Y轴调节机构8和Z轴调节机构4，在该C型架1上安装有固定板2，所述的X轴调节机构3和Z轴调节机构4连接在一起后，安装在所述的固定板2上；所述的Y轴调节机构8安装在调节安装板7上，该调节安装板7固定安装在所述的Z轴调节机构4上，上激光传感器5或下激光传感器6通过激光器安装板固定安装在所述的Y轴调节机构8上。
所述的X轴调节机构3、Y轴调节机构8和Z轴调节机构4的结构相同，均包括顶板3-1、微调旋钮3-2、导向槽3-3、底板3-4、锁紧螺钉3-5、顶块3-6和拉簧3-7，在所述的底板3-4上安装有滑轨，两根滑轨之间形成拉簧安装槽3-8，所述的顶板3-1安装在底板3-4的上部，与所述的底板3-4滑动配合，在所述的拉簧安装槽3-8内安装有一拉簧3-7，该拉簧的一端连接在底板3-4上，另一端连接在顶板3-1上；在该底板3-4的一侧安装有微调旋钮安装板3-10，另一侧安装有锁紧螺钉安装板3-9，所述的微调旋钮3-2安装在微调旋钮安装板3-10上，与所述的微调旋钮安装板3-10螺纹配合；在所述的锁紧螺钉安装板3-9上设置有条形孔，所述的锁紧螺钉3-5穿过条形孔后，与所述的顶板3-1螺纹配合；在所述的顶板3-1的一侧安装有一顶块3-6，该顶块3-6接近所述的微调旋钮3-2，与所述的微调旋钮3-2螺纹配合。
当微调旋钮3-2右旋时，微调旋钮3-2的顶杆会顶住顶块3-6，从而使顶板3-1和底板3-4相对运动。当微调旋钮3-2左旋时，微调旋钮3-2的顶杆就回缩回，顶板3-1和底板3-4在拉簧3-7的作用下，产生相对运动。从而实现了正负两个方向的运动。当顶板3-1运动至预设位置时，为防止松动，通过拧紧锁紧螺钉（3-5）对顶板进行锁紧。
所述的C型架为大理石C型架。
本实用新型的工作原理是：当需要调节上、下激光传感器的同轴度时，在两个激光传感器中间放一张白纸，通过上、下激光传感器放射到白纸上的光斑，可以判断同轴度的偏差。如果X轴出现偏差，那就调节X轴调节机构3的微调旋钮，调节后，拧紧锁紧螺钉。如果Y轴出现偏差，那就调节Y轴调节机构8的微调旋钮，调节后，拧紧锁紧螺钉。如果两个激光传感器上、下间距偏高或者偏低，那就调节Z轴调节机构4的微调旋钮，调节后，拧紧锁紧螺钉。
Claims (3)
1.一种调节激光传感器同轴度的装置，其特征在于，包括C型架（1），在该C型架（1）的开口端安装有两个同轴设置的上激光传感器（5）和下激光传感器（6），所述的上激光传感器（5）和下激光传感器（6）均通过调节机构安装在所述的C型架（1）上，所述的调节机构包括
固定板（2）、X轴调节机构（3）、Y轴调节机构（8）和Z轴调节机构（4），在该C型架（1）上安装有固定板（2），所述的X轴调节机构（3）和Z轴调节机构（4）连接在一起后，安装在所述的固定板（2）上；所述的Y轴调节机构（8）安装在调节安装板（7）上，该调节安装板（7）固定安装在所述的Z轴调节机构（4）上，上激光传感器（5）或下激光传感器（6）通过激光器安装板固定安装在所述的Y轴调节机构（8）上。
2.根据权利要求1所述的一种调节激光传感器同轴度的装置，其特征在于，所述的X轴调节机构（3）、Y轴调节机构（8）和Z轴调节机构（4）的结构相同，均包括顶板（3-1）、微调旋钮（3-2）、导向槽（3-3）、底板（3-4）、锁紧螺钉（3-5）、顶块（3-6）和拉簧（3-7），
在所述的底板（3-4）上安装有滑轨，两根滑轨之间形成拉簧安装槽（3-8），所述的顶板（3-1）安装在底板（3-4）的上部，与所述的底板（3-4）滑动配合，在所述的拉簧安装槽（3-8）内安装有一拉簧（3-7），该拉簧的一端连接在底板（3-4）上，另一端连接在顶板（3-1）上；在该底板（3-4）的一侧安装有微调旋钮安装板（3-10），另一侧安装有锁紧螺钉安装板（3-9），所述的微调旋钮（3-2）安装在微调旋钮安装板（3-10）上，与所述的微调旋钮安装板（3-10）螺纹配合；在所述的锁紧螺钉安装板（3-9）上设置有条形孔，所述的锁紧螺钉（3-5）穿过条形孔后，与所述的顶板（3-1）螺纹配合；在所述的顶板（3-1）的一侧安装有一顶块（3-6），该顶块（3-6）接近所述的微调旋钮（3-2），与所述的微调旋钮（3-2）螺纹配合。
3.根据权利要求1或2所述的一种调节激光传感器同轴度的装置，其特征在于，所述的C型架为大理石C型架。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202020658206.4U CN211783350U (zh) | 2020-04-27 | 2020-04-27 | 调节激光传感器同轴度的装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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| CN202020658206.4U CN211783350U (zh) | 2020-04-27 | 2020-04-27 | 调节激光传感器同轴度的装置 |
Publications (1)
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| CN211783350U true CN211783350U (zh) | 2020-10-27 |
Family
ID=72956807
Family Applications (1)
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| CN202020658206.4U Active CN211783350U (zh) | 2020-04-27 | 2020-04-27 | 调节激光传感器同轴度的装置 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN211783350U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115597504A (zh) * | 2022-12-15 | 2023-01-13 | 杭州百子尖科技股份有限公司（Cn） | 用于机器视觉量测的激光同轴度的校准装置及校准方法 |
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2020
- 2020-04-27 CN CN202020658206.4U patent/CN211783350U/zh active Active
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115597504A (zh) * | 2022-12-15 | 2023-01-13 | 杭州百子尖科技股份有限公司（Cn） | 用于机器视觉量测的激光同轴度的校准装置及校准方法 |
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