CN211693401U - 一种高精度全金属密封真空直线驱动器 - Google Patents
一种高精度全金属密封真空直线驱动器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN211693401U CN211693401U CN201922423040.8U CN201922423040U CN211693401U CN 211693401 U CN211693401 U CN 211693401U CN 201922423040 U CN201922423040 U CN 201922423040U CN 211693401 U CN211693401 U CN 211693401U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- corrugated pipe
- face
- bearing
- bellows
- screw
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Sealing Devices (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种高精度全金属密封真空直线驱动器，包括驱动杆、波纹管和小轴，所述驱动杆的外表面套接有铜套，且铜套的左端面安装有卡簧一，所述波纹管安装于铜套的右端面，且波纹管的外表面设置有螺母管，所述波纹管的右端面焊接有波纹管座，且波纹管座的内部安装有卡簧二，所述卡簧二的右侧设置有轴承一，所述波纹管座的右端面安装有螺钉，所述小轴套接于轴承一的内侧，且小轴右端口的外表面套接有轴承二，所述轴承二的外表面安装有螺杆，且螺杆的外侧安装有。该真空直线驱动器的主要特点是采用高精度的全金属密封代替传统的橡胶密封圈动态密封，可以使得该装置可以使用在高温和低温的环境下，具有较强的适用能力和使用的寿命。
Description
技术领域
本实用新型涉及物理气相沉积技术领域，具体为一种高精度全金属密封真空直线驱动器。
背景技术
真空直线驱动器就是一种应用广泛的真空功能装置，其功能是将真空腔室外部的受力驱动传递到真空腔室内部。传统的真空旋转导入装置多是采用橡胶密封圈动密封的设计方式。动密封中使用橡胶密封圈，是靠给定的拉伸和压缩变形来保证密封性能的，为了减少摩擦阻力，通常压缩量比固定密封小。
目前，橡胶圈的材质和使用特型给此类装置带来不可避免的问题，一是使用环境温度有限，高温环境会熔化，低温环境会硬化，二是使用寿命短，频繁摩擦极易磨损，三是运动阻力大，橡胶密封圈的形变挤压带来很大的摩擦阻力，四是驱动调节无法直观知道真空腔体内部驱动杆的伸缩距离，为此，我们提出一种高精度全金属密封真空直线驱动器。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种高精度全金属密封真空直线驱动器，以解决上述背景技术中提到的橡胶圈的材质和使用特型给此类装置带来不可避免的问题，一是使用环境温度有限，高温环境会熔化，低温环境会硬化，二是使用寿命短，频繁摩擦极易磨损，三是运动阻力大，橡胶密封圈的形变挤压带来很大的摩擦阻力，四是驱动调节无法直观知道真空腔体内部驱动杆的伸缩距离的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高精度全金属密封真空直线驱动器，包括驱动杆、波纹管和小轴，所述驱动杆的外表面套接有铜套，且铜套的左端面安装有卡簧一，所述波纹管安装于铜套的右端面，且波纹管的外表面设置有螺母管，所述波纹管的右端面焊接有波纹管座，且波纹管座的内部安装有卡簧二，所述卡簧二的右侧设置有轴承一，所述波纹管座的右端面安装有螺钉，所述小轴套接于轴承一的内侧，且小轴右端口的外表面套接有轴承二，所述轴承二的外表面安装有螺杆，且螺杆的外侧安装有，所述螺杆的右端面贯穿有螺丝。
优选的，所述螺母管的左端面固定有法兰，且波纹管与驱动杆之间的连接方式为焊接连接，所述法兰的右端面与波纹管之间的连接方式为焊接连接。
优选的，所述波纹管的右端面通过与波纹管座之间的焊接连接构成密封结构，且波纹管座的右端面贴合有挡圈，所述波纹管座与挡圈通过螺钉的螺纹连接构成可拆卸连接。
优选的，所述小轴与卡簧二的接触位置呈凹陷型结构，且卡簧二与轴承一均贯穿于波纹管座的内部。
优选的，所述轴承二与螺杆通过螺丝的螺纹连接相对固定，且小轴与手柄之间的连接方式为固定连接。
优选的，所述手柄和螺母管的外表面均设置有刻度，且手柄与螺母管之间的连接方式为套接连接。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1.该装置采用高精度的全金属密封代替传统的橡胶密封圈动态密封，可以使得该装置可以使用在高温和低温的环境下，具有较强的适用能力和使用的寿命，进而使得该驱动装置的使用更加持久稳定；
2.该装置通过采用套接的驱动结构相较于传统的橡胶密封圈动态密封，极大降低了摩擦力，具有较小的磨损和较小的运动阻力，这样就提高了驱动伸缩的稳定性，内部结构不易发生损坏，便于使用。
3.该装置在螺母管和手柄的外表面均圆周分布的刻度，这样便于法直观的识别到真空腔体内部驱动杆的伸缩距离，进而便于伸缩距离的把控，结构设计合理，便于使用。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
图2为本实用新型挡圈处侧视结构示意图；
图3为本实用新型左视结构示意图。
图中：1、驱动杆；2、法兰；3、铜套；4、波纹管；5、螺母管；6、卡簧二；7、轴承一；8、挡圈；9、手柄；10、螺杆；11、轴承二；12、小轴； 13、螺丝；14、螺钉；15、波纹管座；16、卡簧一。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种高精度全金属密封真空直线驱动器，包括驱动杆1、波纹管4和小轴12，驱动杆1的外表面套接有铜套3，且铜套3的左端面安装有卡簧一16，波纹管4安装于铜套3的右端面，且波纹管4的外表面设置有螺母管5，波纹管4的右端面焊接有波纹管座15，且波纹管座15的内部安装有卡簧二6，卡簧二6的右侧设置有轴承一7，波纹管座15的右端面安装有螺钉14，小轴12套接于轴承一7的内侧，且小轴12右端口的外表面套接有轴承二11，轴承二11的外表面安装有螺杆10，且螺杆10的外侧安装有手柄9，螺杆10的右端面贯穿有螺丝13，螺母管5 的左端面固定有法兰2，且波纹管4与驱动杆1之间的连接方式为焊接连接，法兰2的右端面与波纹管4之间的连接方式为焊接连接，波纹管4的右端面通过与波纹管座15之间的焊接连接构成密封结构，且波纹管座15的右端面贴合有挡圈8，波纹管座15与挡圈8通过螺钉14的螺纹连接构成拆卸连接，其作用是该装置采用高精度的全金属密封代替传统的橡胶密封圈动态密封，可以使得该装置可以使用在高温和低温的环境下，具有较强的适用能力和使用的寿命，进而使得该驱动装置的使用更加持久稳定；
小轴12与卡簧二6的接触位置呈凹陷型结构，且卡簧二6与轴承一7均贯穿于波纹管座15的内部，轴承二11与螺杆10通过螺丝13的螺纹连接相对固定，且小轴12与手柄9之间的连接方式为固定连接，其作用是该装置通过采用套接的驱动结构相较于传统的橡胶密封圈动态密封，极大降低了摩擦力，具有较小的磨损和较小的运动阻力，这样就提高了驱动伸缩的稳定性，内部结构不易发生损坏，便于使用；
手柄9和螺母管5的外表面均设置有刻度，且手柄9与螺母管5之间的连接方式为套接连接，其作用是该装置在螺母管5和手柄9的外表面均圆周分布的刻度，这样便于法直观的识别到真空腔体内部驱动杆1的伸缩距离，进而便于伸缩距离的把控，结构设计合理，便于使用。
工作原理：对于这类的真空直线驱动器，该装置主要由驱动杆1、波纹管 4和小轴12组成，该装置整体采用拼接式螺纹结构，左端采用波纹管4与波纹管座15和驱动杆1的焊接连接相对固定同时将螺母管5焊接在法兰2的外表面，并利用铜套3左端面的卡簧一16防止铜套3发生左右的位移，将贯穿安装在波纹管座15的内部，并利用轴承一7与小轴12之间的套接连接相对安装；
同时将挡圈8贴合在轴承一7的右端面，然后将塞入螺钉14使得利用挡圈8将轴承一7稳定的固定在波纹管座15的内部即可，这样在小轴12发生旋转时，通过小轴12与轴承一7的旋转结构使得波纹管座15可以左右保持平稳的移动，小轴12右半区域通过螺丝13贯穿在手柄9的右端面实现螺杆10与手柄9之间的固定，进而实现该装置整体结构的安装，且保持密封效果；
当转动手柄9时，与手柄9通过螺丝13固定连接的螺杆10随之转动，相对于其配合的螺母管5进行旋转和直线的位移，螺杆10带动小轴12进行直线的位移，且小轴12则带动密封在波纹管4内部的驱动杆1进行直线位移，并且在手柄9的前端面圆周分布的刻度线，同样螺母管5的轴向同样随之有长度刻度线，通过刻度线的标识配合便于识别驱动杆1的实际位移距离。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种高精度全金属密封真空直线驱动器，包括驱动杆(1)、波纹管(4)和小轴(12)，其特征在于：所述驱动杆(1)的外表面套接有铜套(3)，且铜套(3)的左端面安装有卡簧一(16)，所述波纹管(4)安装于铜套(3)的右端面，且波纹管(4)的外表面设置有螺母管(5)，所述波纹管(4)的右端面焊接有波纹管座(15)，且波纹管座(15)的内部安装有卡簧二(6)，所述卡簧二(6)的右侧设置有轴承一(7)，所述波纹管座(15)的右端面安装有螺钉(14)，所述小轴(12)套接于轴承一(7)的内侧，且小轴(12)右端口的外表面套接有轴承二(11)，所述轴承二(11)的外表面安装有螺杆(10)，且螺杆(10)的外侧安装有手柄(9)，所述螺杆(10)的右端面贯穿有螺丝(13)。
2.根据权利要求1所述的一种高精度全金属密封真空直线驱动器，其特征在于：所述螺母管(5)的左端面固定有法兰(2)，且波纹管(4)与驱动杆(1)之间的连接方式为焊接连接，所述法兰(2)的右端面与波纹管(4)之间的连接方式为焊接连接。
3.根据权利要求1所述的一种高精度全金属密封真空直线驱动器，其特征在于：所述波纹管(4)的右端面通过与波纹管座(15)之间的焊接连接构成密封结构，且波纹管座(15)的右端面贴合有挡圈(8)，所述波纹管座(15)与挡圈(8)通过螺钉(14)的螺纹连接构成可拆卸连接。
4.根据权利要求1所述的一种高精度全金属密封真空直线驱动器，其特征在于：所述小轴(12)与卡簧二(6)的接触位置呈凹陷型结构，且卡簧二(6)与轴承一(7)均贯穿于波纹管座(15)的内部。
5.根据权利要求1所述的一种高精度全金属密封真空直线驱动器，其特征在于：所述轴承二(11)与螺杆(10)通过螺丝(13)的螺纹连接相对固定，且小轴(12)与手柄(9)之间的连接方式为固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种高精度全金属密封真空直线驱动器，其特征在于：所述手柄(9)和螺母管(5)的外表面均设置有刻度，且手柄(9)与螺母管(5)之间的连接方式为套接连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201922423040.8U CN211693401U (zh) | 2019-12-29 | 2019-12-29 | 一种高精度全金属密封真空直线驱动器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201922423040.8U CN211693401U (zh) | 2019-12-29 | 2019-12-29 | 一种高精度全金属密封真空直线驱动器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN211693401U true CN211693401U (zh) | 2020-10-16 |
Family
ID=72796151
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201922423040.8U Active CN211693401U (zh) | 2019-12-29 | 2019-12-29 | 一种高精度全金属密封真空直线驱动器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN211693401U (zh) |
-
2019
- 2019-12-29 CN CN201922423040.8U patent/CN211693401U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6067868A (en) | Anti-rotation mechanism in a screw type linear actuator | |
| CN211693401U (zh) | 一种高精度全金属密封真空直线驱动器 | |
| CN116423484A (zh) | 一种多轴定位机械臂及机器人 | |
| CN212430105U (zh) | 一种单法兰可伸缩传力接头 | |
| CN215093677U (zh) | 一种针筒式无尘金具 | |
| CN206169730U (zh) | 一种迷宫式密封结构动力头 | |
| CN211315461U (zh) | 一种卡接密封玻璃钢管道 | |
| CN210240471U (zh) | 一种新式油润滑伺服缸 | |
| CN211209497U (zh) | 伺服电动缸 | |
| CN213839112U (zh) | 一种液压油缸及其活塞总成 | |
| CN206140544U (zh) | 一种机器人舵机防呆连接结构及机器人 | |
| CN202203560U (zh) | 飞机用液压转动接头 | |
| CN210423802U (zh) | 三通切换阀 | |
| CN221127045U (zh) | 一种内置压力传感器的电缸 | |
| CN221347262U (zh) | 一种拼接式的单螺旋螺杆胶套 | |
| CN114607859B (zh) | 一种卡压连接头和控制方法 | |
| CN215634572U (zh) | 一种防尘型浮动式制动器浮动机构 | |
| CN219140135U (zh) | 一种通风椭圆波纹管接头 | |
| CN221374914U (zh) | 多功能波纹补偿器 | |
| CN209743585U (zh) | 一种电动推杆密封单元及电动推杆 | |
| CN218582503U (zh) | 一种密封性强的金属管 | |
| CN218972155U (zh) | 一种管道机器人 | |
| CN213393539U (zh) | 一种机械密封装置 | |
| CN220037373U (zh) | 一种组装式双向高精度滚珠丝杆 | |
| CN219101925U (zh) | 一种气弹簧 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |