CN211669102U

CN211669102U - 基板检查装置

Info

Publication number: CN211669102U
Application number: CN201922078255.0U
Authority: CN
Inventors: 张喜童; 朴智雄
Original assignee: Top Engineering Co Ltd
Current assignee: Top Engineering Co Ltd
Priority date: 2019-05-10
Filing date: 2019-11-27
Publication date: 2020-10-13
Anticipated expiration: 2029-11-27

Abstract

本实用新型的实施例的基板检查装置可以包括：工作台，支承具有曲面的基板；相机，与支承于工作台的基板相对布置，并构成为拍摄基板表面；相机旋转单元，使相机以使相机与基板的曲面的任意一个位置相对的方式旋转；以及相机驱动单元，使相机以使相机与一个位置靠近或远离的方式移动。

Description

基板检查装置

技术领域

本实用新型涉及检查具有曲面的基板表面的基板检查装置。

背景技术

一般而言，用于平板显示器的液晶显示面板、有机电致发光显示器面板、无机电致发光显示器面板、透射投影基板、反射投影基板等使用从玻璃之类脆性母玻璃面板(以下，称为“基板”)切割成预定尺寸的单位玻璃面板。

这种基板在应用于产品之前，执行检查基板表面的工艺。为了检查基板表面，使用基板检查装置。现有的基板检查装置包括与基板表面相对布置的相机，通过分析由相机拍摄的基板表面的图像，检查基板的缺陷。这种基板检查装置构成为使相机在沿与放置基板的面平行的方向(水平方向)移动的同时拍摄基板的一面。

但是，在通过基板检查装置要检查的基板具有曲面的情况下，在相机相对于基板水平移动时，在基板表面上的多个位置上基板表面与相机之间的距离发生改变。因此，存在为了获得在基板上多个位置上的准确图像而需要随着基板表面与相机之间的距离变化而变更相机自身的透镜焦距或倍率的问题。另外，由于相机以相对于基板的曲面倾斜的状态存在，存在无法准确检查基板表面的问题。

实用新型内容

本实用新型用于解决现有技术的问题，本实用新型的目的在于提供一种使基板表面与相机之间的距离在基板表面上的诸多位置保持一定并使相机沿基板表面的法线方向与基板表面相对从而能够精密且准确地检查基板表面的基板检查装置。

用于达到上述目的的本实用新型的实施例的基板检查装置可以包括：工作台，支承具有曲面的基板；相机，与支承于工作台的基板相对布置，并构成为拍摄基板表面；相机旋转单元，使相机以使相机与基板的曲面的任意一个位置相对的方式旋转；以及相机驱动单元，使相机以使相机与一个位置靠近或远离的方式移动。

可以是，本实用新型的实施例的基板检查装置还包括曲率测定单元，曲率测定单元测定基板的曲面的曲率。

工作台可以具有安放基板的支承面，支承面可以具有与基板的曲面的曲率相同的曲率。

可以是，工作台包括多个支承部件，多个支承部件以与基板的曲面的曲率对应的凸出高度凸出而支承基板。

可以是，本实用新型的实施例的基板检查装置还包括工作台旋转单元，工作台旋转单元使工作台以使相机与基板的曲面的任意一个位置相对的方式旋转。

可以是，本实用新型的实施例的基板检查装置还包括工作台驱动单元，工作台驱动单元使工作台以使相机与基板的曲面的任意一个位置靠近或远离的方式使工作台移动。

本实用新型的实施例的基板检查装置具备使相机以与基板的曲面的任意一个位置的法线垂直的轴为中心旋转的相机旋转单元和使相机沿着法线移动的相机驱动单元。因此，通过使基板表面与相机之间的距离在基板表面上的诸多位置保持一定，在不变更相机自身的透镜焦距或倍率的情况下也能够精密地检查基板表面。另外，由于相机能够在基板表面上的任一位置沿基板表面的法线方向与基板表面相对，能够准确地检查基板表面。

附图说明

图1是简要示出本实用新型的第一实施例的基板检查装置的图。

图2是本实用新型的第一实施例的基板检查装置的控制框图。

图3至图5是简要示出本实用新型的第一实施例的基板检查装置的运转过程的图。

图6是简要示出本实用新型的第二实施例的基板检查装置的图。

图7是简要示出本实用新型的第三实施例的基板检查装置的图。

图8是简要示出本实用新型的第四实施例的基板检查装置的图。

图9及图10是简要示出本实用新型的第四实施例的基板检查装置的运转过程的图。

图11是简要示出本实用新型的第五实施例的基板检查装置的图。

附图标记说明

10：工作台；20：支承架；30：移动单元；40：相机；50：相机旋转单元；60：相机驱动单元；70：工作台旋转单元；79：工作台驱动单元。

具体实施方式

以下，参照附图，说明本实用新型的实施例的基板检查装置。

参照图1，将与放置基板S的面平行的面定义为X-Y平面，将与X-Y平面垂直的方向定义为Z轴方向。

如图1及图2所示，本实用新型的第一实施例的基板检查装置可以包括：支承具有曲面的基板S的工作台10；位于工作台10的上方并沿X轴方向延伸的支承架20；设置于支承架20并跟随支承架20沿X轴方向移动的移动单元30；构成为拍摄支承于工作台10的基板S的表面的相机40；使相机40以与对基板S表面的任意一个位置的法线L垂直的轴(Y轴)为中心旋转的相机旋转单元50；使相机40沿着对一位置的法线L移动的相机驱动单元60；以及控制基板检查装置的构成要件的控制单元80。

在工作台10安放有具有向上方凹陷的曲率的基板S。工作台10具有安放基板S的支承面11。支承面11具有与基板S的曲面的曲率相同的曲率。因此，基板S能够稳定地安放于支承面11。另外，基板S能够以基板S的曲率不变更的状态安放于支承面11。

在工作台10的支承面11可以形成有多个吸附孔12，多个吸附孔12可以与真空泵之类负压源19连接。若在基板S安放于工作台10的支承面11的状态下运转负压源19，则在多个吸附孔12作用有负压，由此，基板S能够吸附于支承面11。

支承架20可以安装于设置在底座B上的支承架移送单元23。支承架移送单元23可以构成为将支承架20沿Y轴方向移送。例如，支承架移送单元23可以由在气压或液压下工作的致动器、在电磁相互作用下运转的线性马达或滚珠螺杆机构之类直线移送机构构成。随着支承架20通过支承架移送单元23沿Y轴方向移送，连接于支承架20的相机40能够沿Y轴方向移动，由此，能够决定相机40对基板S在Y轴方向上的位置。用于决定相机40对基板S在Y轴方向上的位置的结构不限定于支承架20沿Y轴方向移送的结构，可以适用工作台10沿Y轴方向移送的结构。作为其它例，可以适用组合支承架20沿Y轴方向移送的结构与工作台10沿Y轴方向移送的结构的结构。

在支承架20可以设置有沿X轴方向延伸的导轨21。移动单元30可以跟随导轨21沿X轴方向移动。移动单元30可以由在气压或液压下工作的致动器、在电磁相互作用下运转的线性马达或滚珠螺杆机构之类直线移送机构构成。

相机40可以通过相机旋转单元50及相机驱动单元60连接于移动单元30。随着移动单元30沿X轴方向移动，相机40能够沿X轴方向移动。因此，能够决定相机40对基板S在X轴方向上的位置。用于决定相机40对基板S在X轴方向上的位置的结构不限定于移动单元30沿X轴方向移动的结构，可以适用工作台10沿X轴方向移动的结构。作为其它例，可以适用组合移动单元30沿X轴方向移动的结构与工作台10沿X轴方向移动的结构的结构。

作为一例，相机40可以构成为一次性拍摄基板S的整体表面。作为其它例，相机40可以构成为拍摄基板S表面中的一部分。

相机旋转单元50可以设置于移动单元30。例如，相机旋转单元50可以由旋转马达构成。例如，相机旋转单元50可以通过相机驱动单元60与相机40连接。

相机驱动单元60可以设置于相机旋转单元50。相机驱动单元60可以由在气压或液压下工作的致动器、在电磁相互作用下运转的线性马达或滚珠螺杆机构之类直线移送机构构成。相机驱动单元60构成为使相机40沿着对基板S表面上的任一位置的法线L移动。

另一方面，本实用新型的第一实施例的基板检查装置可以还包括测定基板S的曲面曲率的曲率测定单元90。曲率测定单元90可以以能够沿X轴方向移动的方式设置于支承架20。为此，在曲率测定单元90与支承架20之间可以设置有在气压或液压下工作的致动器、在电磁相互作用下运转的线性马达或滚珠螺杆机构之类直线移送机构。

作为一例，曲率测定单元90可以包括与基板S相对设置的位移传感器91。位移传感器91包括发射光(例如，激光)的发光部及接收光的受光部，通过检查从发光部发射并在基板S的表面反射之后被受光部接收的光在受光部上的光点位置，测定位移传感器91与基板S表面之间在基板S上多个位置的距离。因此，基于位移传感器91与基板S表面之间在基板S上多个位置的距离，测定基板S的表面的曲率。

基于通过曲率测定单元90测定的基板S的表面的曲率，控制单元80能够控制移动单元30、相机40、相机旋转单元50以及相机驱动单元60。

以下，参照图3至图5，说明本实用新型的第一实施例的基板检查装置的运转过程。

如图3所示，具有曲面的基板S通过预定的传送机构安放于工作台10的支承面11上。而且，通过负压源19的运转，基板S吸附于支承面11。

在这种状态下，曲率测定单元90相对于基板S沿X轴方向及/或Y轴方向相对移动，由此，能够测定基板S的表面的曲率。

而且，如图4所示，基于基板S的表面的曲率，控制单元80控制相机旋转单元50及相机驱动单元60。因此，通过相机旋转单元50的运转，相机40旋转而能够与基板S的表面上的任一位置相对。另外，通过相机驱动单元60的运转，能够在基板S的表面上的任一位置调节相机40与基板S表面之间的距离。

因此，通过相机旋转单元50的运转，相机40能够与基板S的表面上的诸多位置相对，通过相机驱动单元60的运转，能够在基板S的表面上的诸多位置均匀地调节相机40与基板S的表面之间的距离。

如此，本实用新型的第一实施例的基板检查装置具备使相机40以与基板S的曲面的任意一个位置的法线L垂直的轴(Y轴)为中心旋转的相机旋转单元50和使相机40沿着法线L移动的相机驱动单元60。因此，通过使相机40与基板S的表面之间的距离在基板S的表面上的诸多位置保持一定，在不变更相机40自身的透镜焦距或倍率的情况下也能够精密地检查基板S的表面。另外，由于相机40能够在基板S表面上的任一位置沿基板S的表面的法线方向与基板S表面相对，能够准确地检查基板S表面。

以下，参照图6，说明本实用新型的第二实施例的基板检查装置。对与在前述的本实用新型的第一实施例中说明的部分相同的部分标注相同的附图标记，省略对其的详细说明。

如图6所示，本实用新型的第二实施例的基板检查装置可以在曲率测定单元90与相机40组装为一体之后安装于移动单元30。由此，曲率测定单元90的位移传感器91及相机40能够通过移动单元30一起跟随导轨21沿X轴方向移动。

根据本实用新型的第二实施例的基板检查装置，由于曲率测定单元90与相机40一起安装于移动单元30，因此与单独设置曲率测定单元90和相机40的结构相比，能够简化基板检查装置的结构。

以下，参照图7，说明本实用新型的第三实施例的基板检查装置。对与在前述的本实用新型的第一实施例及第二实施例中说明的部分相同的部分标注相同的附图标记，省略对其的详细说明。

如图7所示，在本实用新型的第三实施例的基板检查装置中，在工作台10形成有多个容纳孔13，在各个容纳孔13内可以容纳有支承基板S的底面的支承部件14。

多个支承部件14可以分别从工作台10的容纳孔13凸出。多个支承部件14可以分别以与基板S的曲面的曲率对应的高度凸出。

另一方面，多个支承部件14可以分别与支承部件升降组件15连接。例如，支承部件升降组件15可以由在气压或液压下工作的致动器、在电磁相互作用下运转的线性马达或滚珠螺杆机构之类直线移送机构构成。多个支承部件14通过支承部件升降组件15沿Z轴方向升降，由此，多个支承部件14能够以与基板S的曲面的曲率对应的高度凸出。

根据本实用新型的第三实施例的基板检查装置，通过多个支承部件14，能够保持基板S的曲面的曲率。另外，通过调节多个支承部件14的凸出高度，能够在保持具有不同曲率的多种基板S的曲率的同时支承具有不同曲率的多种基板S，因此能够顺畅地执行对多种基板S的检查。

以下，参照图8至图10，说明本实用新型的第四实施例的基板检查装置。对与在前述的本实用新型的第一实施例至第三实施例中说明的部分相同的部分标注相同的附图标记，省略对其的详细说明。

如图8所示，本实用新型的第四实施例的基板检查装置可以还包括工作台旋转单元70，工作台旋转单元70使工作台10以使相机40与基板S的曲面的任意一个位置相对的方式旋转。

工作台旋转单元70可以包括：连接于工作台10并以与基板S的曲面的曲率对应的曲率弯曲的齿条71；与齿条71啮合的小齿轮72；以及使小齿轮72旋转的马达73。通过使用以与基板S的曲面的曲率对应的曲率弯曲的齿条71，能够使基板S与基板S的曲面的曲率对应地旋转。

根据这种结构，如图9及图10所示，随着小齿轮72通过马达73旋转，齿条71沿着弯曲的路径移动，由此，工作台10能够以使相机40与基板S的曲面的任意一个位置相对的方式旋转。

因此，通过工作台旋转单元70的运转，工作台10旋转，相机40能够与基板S的表面上的任一位置相对。而且，通过相机驱动单元60的运转，能够在基板S的表面上的任一位置调节相机40与基板S的表面之间的距离。

如此，通过工作台旋转单元70的运转，相机40能够与基板S的表面上的诸多位置相对，通过相机驱动单元60的运转，能够在基板S的表面上的诸多位置均匀地调节相机40与基板S的表面之间的距离。因此，在不变更相机40自身的透镜焦距或倍率的情况下也能够精密地检查基板S的表面。

以下，参照图11，说明本实用新型的第五实施例的基板检查装置。对与在前述的本实用新型的第一实施例至第四实施例中说明的部分相同的部分标注相同的附图标记，省略对其的详细说明。

如图11所示，本实用新型的第五实施例的基板检查装置可以包括工作台驱动单元79，工作台驱动单元79以使相机40与基板S上的一位置靠近或远离的方式使工作台10移动。例如，工作台驱动单元79可以由在气压或液压下工作的致动器、在电磁相互作用下运转的线性马达或滚珠螺杆机构之类直线移送机构构成。

根据这种结构，通过工作台旋转单元70的运转，工作台10旋转，相机40能够与基板S的表面上的任一位置相对。而且，通过工作台驱动单元79的运转，能够在基板S的表面上的任一位置调节相机40与基板S的表面之间的距离。

如此，通过工作台旋转单元70的运转，相机40能够与基板S的表面上的任一位置相对，通过工作台驱动单元79的运转，能够在基板S的表面上的诸多位置均匀地调节相机40与基板S的表面之间的距离。因此，在不变更相机40自身的透镜焦距或倍率的情况下也能够精密地检查基板S的表面。

例示性地说明了本实用新型的优选实施例，但是本实用新型的范围不限定于这种特定实施例，可以在权利要求书中记载的范围内适当地变更。

Claims

1.一种基板检查装置，包括：

工作台，支承具有曲面的基板；

相机，与支承于所述工作台的所述基板相对布置，并构成为拍摄所述基板的表面；

相机旋转单元，使所述相机以使所述相机与所述基板的曲面的任意一个位置相对的方式旋转；以及

相机驱动单元，使所述相机以使所述相机与所述一个位置靠近或远离的方式移动。

2.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，

所述基板检查装置还包括曲率测定单元，所述曲率测定单元测定所述基板的曲面的曲率。

3.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，

所述工作台具有安放所述基板的支承面，所述支承面具有与所述基板的曲面的曲率相同的曲率。

4.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，

所述工作台包括多个支承部件，所述多个支承部件以与所述基板的曲面的曲率对应的凸出高度凸出而支承所述基板。

5.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，

所述基板检查装置还包括工作台旋转单元，所述工作台旋转单元使所述工作台以使所述相机与所述基板的曲面的任意一个位置相对的方式旋转。

6.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，

所述基板检查装置还包括工作台驱动单元，所述工作台驱动单元使所述工作台以使所述相机与所述基板的曲面的任意一个位置靠近或远离的方式移动。

7.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，

所述相机沿着对所述位置的法线方向而指向所述基板的曲面上的所述位置，并且所述相机沿着所述法线移动。