CN211359436U - 一种新型旋涂设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提出一种新型旋涂设备，包括：外壳，外壳内设置有容纳槽；真空装置，位于容纳槽底部，真空装置包括与容纳槽底部连接的真空泵，以及位于真空泵上方与真空泵连接的真空吸盘，真空吸盘用于吸附基片；旋转装置，连接于真空泵与真空吸盘之间；密封板，位于真空吸盘上方与容纳槽的槽壁连接，真空吸盘上方的密封板上开设有涂胶口；防护装置，位于密封板与密封板连接；滴胶装置，位于密封板上方与容纳槽的槽壁连接；胶液回收装置，位于密封板下方与涂胶口连接，胶液回收装置包括与涂胶口连接的回收壳，以及位于回收壳底端与回收壳连通的回收桶。本实用新型能够防止胶液回收管堵塞，防止空气中的灰尘会污染基片。

Description

一种新型旋涂设备

技术领域

本实用新型属于纳米压印技术领域，尤其涉及一种新型旋涂设备。

背景技术

纳米压印技术通过机械转移的手段达到了超高的分辨率，是一种新型的微纳加工技术。纳米压印的基本步骤包括在基片上涂覆胶液，压印，固化，分离等。压印胶的涂覆方式有旋涂、滴胶、滚涂、喷雾等方式，其中旋涂最为常见。旋涂原理即在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，厚度视不同胶液，旋转速度，旋转时间和基片间的粘滞系数而不同。

市场上的旋涂设备品牌众多，良莠不齐，用户在选择旋涂设备时，除了观察旋转速度，控制精度，还会观察真空构造。

CN209156285U公开了一种旋涂胶液回收***，包括旋涂装置，真空抽液装置，真空集液装置，液体冲刷装置和气体冲刷装置等。但是在回收胶液的过程中，胶体可能在回收管122或者第一导气管232固化进而导致管道堵塞，并且旋涂带动空气流动，空气中的灰尘会污染基片，胶体会挥发出刺激性气体，有效的净化旋涂设备内部的灰尘和刺激性气体也是要解决的技术问题。

发明内容

本实用新型针对上述的技术问题，提出一种能够防止胶液回收管堵塞，防止空气中的灰尘会污染基片的新型旋涂设备。

为了达到上述目的，本实用新型采用的技术方案为：

一种新型旋涂设备，包括：

外壳，所述外壳内设置有容纳槽；

真空装置，位于所述容纳槽底部，所述真空装置包括与容纳槽底部连接的真空泵，以及位于所述真空泵上方与所述真空泵连接的真空吸盘，所述真空吸盘用于吸附基片；

旋转装置，连接于所述真空泵与所述真空吸盘之间可驱动所述真空吸盘旋转；

密封板，位于所述真空吸盘上方与所述容纳槽的槽壁连接，所述真空吸盘上方的密封板上开设有涂胶口；

防护装置，与所述密封板连接可打开或关闭所述涂胶口；

滴胶装置，位于所述密封板上方与所述容纳槽的槽壁连接，所述滴胶装置可相对于所述涂胶口转动，通过涂胶口向所述真空吸盘吸附的基片滴加压印胶；

胶液回收装置，位于所述密封板下方与所述涂胶口连接，所述胶液回收装置包括与所述涂胶口连接的回收壳，以及位于所述回收壳底端与所述回收壳连通的回收桶；

当所述防护盖盖住所述涂胶口时，所述真空吸盘在所述旋转装置驱动下转动，基片上的压印胶在所述真空吸盘离心力的作用下，均匀涂布在所述基片上，多余的压印胶甩向所述回收壳内壁，压印胶从所述回收壳内壁流至所述回收桶内。

作为优选的，上述新型旋涂设备，所述旋涂设备还包括设置于所述外壳顶部与容纳槽连通的空气净化装置，以及设置在所述密封板及容纳槽底部的排气孔。

作为优选的，上述新型旋涂设备，所述旋涂设备还包括控制器，所述控制器与所述空气净化装置、所述真空装置、所述旋转装置、所述防护装置以及所述滴胶装置电性连接。

作为优选的，上述新型旋涂设备，所述空气净化装置包括设置在所述外壳顶部的风机，以及设置于所述风机的进风口内侧的过滤网，所述风机从所述外壳外部引入气流经过所述过滤网进入所述容纳槽内并通过所述排气孔排出。

作为优选的，上述新型旋涂设备，所述真空吸盘上表面设置有卡槽，基片的上表面高于所述真空吸盘上表面的高度。

作为优选的，上述新型旋涂设备，所述真空吸盘包括吸盘以及底座，所述底座中心设置有空心腔，所述真空泵通过气管穿过所述空心腔与所述吸盘连接。

作为优选的，上述新型旋涂设备，所述旋转装置为放置在所述真空泵上方的电机，所述电机的动力输出轴与所述真空吸盘的底座连接。

作为优选的，上述新型旋涂设备，所述防护装置包括电机，所述电机的动力输出轴上连接有盖板，所述电机驱动所述盖板打开或关闭所述涂胶口。

作为优选的，上述新型旋涂设备，所述滴胶装置包括与所述容纳槽的槽壁连接的伺服电机，与所述伺服电机的输出轴上连接的滴胶机械臂，连接在所述外壳外壁上的蠕动泵，与蠕动泵连通的胶瓶，以及设置在所述滴胶机械臂远离所述伺服电机一端的滴胶嘴，所述滴胶嘴与所述胶瓶通过胶管连通。

作为优选的，上述新型旋涂设备，所述回收壳内壁上设置有聚四氟乙烯涂层。

与现有技术相比，本实用新型的优点和积极效果在于：

1、当防护装置盖住涂胶口时，空气中的灰尘不会污染基片，真空吸盘在旋转装置驱动下转动，基片上的压印胶在真空吸盘离心力的作用下，均匀涂布在基片上，多余的压印胶甩向回收壳内壁，压印胶胶液可以很顺畅的从回收壳内壁流至回收桶内，避免了胶液可能在胶液回收管道内堵塞。

2、空气净化装置从外壳外侧将空气吸入并过滤送入容纳槽内，过滤后的洁净空气匀速送至容纳槽内，容纳槽内微粒和胶液在旋涂以及加热过程中挥发出的气体被送入的空气通过密封板上的排气孔吹到所述容纳槽下部，再由容纳槽底部的排气孔进一步排除。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型工作过程图一；

图2为本实用新型工作过程图二；

图3为图1的局部结构示意图；

图4为本实用新型的横截面俯视图；

图5为图3中A部分的局部放大图；

图6为图4中B部分的局部放大图。

具体实施方式

下面，通过示例性的实施方式对本实用新型进行具体描述。然而应当理解，在没有进一步叙述的情况下，一个实施方式中的元件、结构和特征也可以有益地结合到其他实施方式中。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

参见图1至6，一种新型旋涂设备，包括：

外壳1，外壳1内设置有容纳槽11，外壳1的顶部连接有防护板12，在防护板12上开设有通风口121；

真空装置2，位于容纳槽11底部，真空装置2包括与容纳槽11底部连接的真空泵21，以及位于真空泵21上方与真空泵21连接的真空吸盘22，真空吸盘22用于吸附基片8，真空吸盘22上表面上开设有真空槽221以及位于真空槽内与真空泵21通过气管连接的真空孔222，真空泵21为现有技术，不再赘述，通过真空吸盘22将基片8牢牢固定在真空吸盘22上；

旋转装置3，连接于真空泵21与真空吸盘22之间可驱动真空吸盘22旋转用于在真空吸盘22上产生离心力；

密封板4，位于真空吸盘22上方与容纳槽11的槽壁连接，真空吸盘22上方的密封板4上开设有涂胶口41；

防护装置5，位于密封板4上与密封板4连接可打开或关闭涂胶口41，避免在旋涂过程中空气中的灰尘污染基片8；

滴胶装置6，位于密封板4上方与容纳槽11的槽壁连接，滴胶装置6可相对于涂胶口41转动，通过涂胶口41向真空吸盘22吸附的基片8滴加压印胶；

胶液回收装置7，位于密封板4下方与涂胶口41连接，胶液回收装置7包括与涂胶口41连接的回收壳71，以及位于回收壳71底端与回收壳71连通的回收桶72，回收壳71口部一端与涂胶口41连接，口部另一端与旋转装置3与真空泵21连接的固定部分连接，回收壳71的下半部为漏斗形，在回收壳71底部开设有回收孔711，回收桶72与回收孔711连通；

当防护装置5盖住涂胶口41时，空气中的灰尘不会污染基片8，真空吸盘22在旋转装置3驱动下转动，基片8上的压印胶在真空吸盘22离心力的作用下，均匀涂布在基片8上，多余的压印胶甩向回收壳71内壁，压印胶胶液可以很顺畅的从回收壳71内壁流至回收桶72内，避免了胶液可能在胶液回收管道内堵塞。

为了避免在旋涂过程中胶液挥发出刺激性气体，旋涂设备还包括设置于外壳1顶部通风口121与容纳槽11连通的空气净化装置9，以及设置在密封板4及容纳槽11底部的排气孔42、111，容纳槽11底部的排气孔111内侧或外侧加设过滤网并与外壳1外部的管路连接将气体进一步排放，空气净化装置9从外壳1外侧将空气吸入并过滤送入容纳槽11内，过滤后的洁净空气匀速送至容纳槽11内，容纳槽11内微粒和胶液在旋涂以及加热过程中挥发出的气体被送入的空气通过密封板4上的排气孔42吹到所述容纳槽11下部，再由容纳槽11底部的排气孔111进一步排除。

旋涂设备还包括控制器，控制器为MCU或PLC，控制器与空气净化装置、真空装置、旋转装置、防护装置以及滴胶装置电性连接。

空气净化装置9包括设置在外壳1顶部通风口121上的风机91，以及设置于风机91的进风口内侧的过滤网92，过滤网92设置有两级过滤，风机91从外壳1外部引入气流经过过滤网92进入容纳槽11内并通过排气孔42、111排出。

真空吸盘22上表面设置有卡槽223，基片8的上表面高于真空吸盘22上表面的高度，通过卡槽223的定位能够实现对基片8更好的固定。

真空吸盘22包括吸盘224以及底座225，底座225中心设置有空心腔2251，空心腔与真空孔222连通，真空泵21通过气管穿过空心腔2251与吸盘224上的真空孔222连通。

旋转装置3为放置在真空泵21上方的电机31，电机31的动力输出轴与真空吸盘22的底座225连接。

防护装置5包括电机51，电机51的动力输出轴上连接有盖板52，电机51驱动盖板52打开或关闭涂胶口41。

滴胶装置6包括与容纳槽11的槽壁连接的伺服电机61，与伺服电机61的输出轴上连接的滴胶机械臂62，连接在外壳1外壁上的蠕动泵63，与蠕动泵63连通的胶瓶64，以及设置在滴胶机械臂62远离伺服电机61一端的滴胶嘴65，滴胶嘴65与胶瓶64通过胶管连通。

回收壳71内壁上设置有聚四氟乙烯涂层712，聚四氟乙烯涂层712具有抗酸抗碱、抗各种有机溶剂的特点，几乎不溶于所有的溶剂，摩擦系数极低，有利于胶液流动，使用完设备后清洗胶液回收装置7，用喷壶喷撒有机溶剂到回收壳71内壁即可，有机溶剂溶解胶液并沿回收壳71内壁流至回收孔711，然后进入回收桶72。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种新型旋涂设备，其特征在于，包括：

外壳，所述外壳内设置有容纳槽；

真空装置，位于所述容纳槽底部，所述真空装置包括与容纳槽底部连接的真空泵，以及位于所述真空泵上方与所述真空泵连接的真空吸盘，所述真空吸盘用于吸附基片；

旋转装置，连接于所述真空泵与所述真空吸盘之间可驱动所述真空吸盘旋转；

密封板，位于所述真空吸盘上方与所述容纳槽的槽壁连接，所述真空吸盘上方的密封板上开设有涂胶口；

防护装置，与所述密封板连接可打开或关闭所述涂胶口；

滴胶装置，位于所述密封板上方与所述容纳槽的槽壁连接，所述滴胶装置可相对于所述涂胶口转动，通过涂胶口向所述真空吸盘吸附的基片滴加压印胶；

胶液回收装置，位于所述密封板下方与所述涂胶口连接，所述胶液回收装置包括与所述涂胶口连接的回收壳，以及位于所述回收壳底端与所述回收壳连通的回收桶。

2.根据权利要求1所述的新型旋涂设备，其特征在于：所述旋涂设备还包括设置于所述外壳顶部与容纳槽连通的空气净化装置，以及设置在所述密封板及容纳槽底部的排气孔。

3.根据权利要求2所述的新型旋涂设备，其特征在于：所述旋涂设备还包括控制器，所述控制器与所述空气净化装置、所述真空装置、所述旋转装置、所述防护装置以及所述滴胶装置电性连接。

4.根据权利要求2所述的新型旋涂设备，其特征在于：所述空气净化装置包括设置在所述外壳顶部的风机，以及设置于所述风机的进风口内侧的过滤网，所述风机从所述外壳外部引入气流经过所述过滤网进入所述容纳槽内并通过所述排气孔排出。

5.根据权利要求1所述的新型旋涂设备，其特征在于：所述真空吸盘上表面设置有卡槽，基片的上表面高于所述真空吸盘上表面的高度。

6.根据权利要求1所述的新型旋涂设备，其特征在于：所述真空吸盘包括吸盘以及底座，所述底座中心设置有空心腔，所述真空泵通过气管穿过所述空心腔与所述吸盘连接。

7.根据权利要求1所述的新型旋涂设备，其特征在于：所述旋转装置为放置在所述真空泵上方的电机，所述电机的动力输出轴与所述真空吸盘的底座连接。

8.根据权利要求1所述的新型旋涂设备，其特征在于：所述防护装置包括电机，所述电机的动力输出轴上连接有盖板，所述电机驱动所述盖板打开或关闭所述涂胶口。

9.根据权利要求1所述的新型旋涂设备，其特征在于：所述滴胶装置包括与所述容纳槽的槽壁连接的伺服电机，与所述伺服电机的输出轴上连接的滴胶机械臂，连接在所述外壳外壁上的蠕动泵，与蠕动泵连通的胶瓶，以及设置在所述滴胶机械臂远离所述伺服电机一端的滴胶嘴，所述滴胶嘴与所述胶瓶通过胶管连通。

10.根据权利要求1所述的新型旋涂设备，其特征在于：所述回收壳内壁上设置有聚四氟乙烯涂层。

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