CN211332748U - 一种单晶硅片抛光机用夹具装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种单晶硅片抛光机用夹具装置，包括基板，所述基板上并排设有左竖直板和右竖直板，所述左竖直板和右竖直板之间设有夹持组件，所述夹持组件用于夹持单晶硅片；所述基板上在左竖直板的一侧设有用于驱动夹持组件转动的动力组件；该夹具装置不仅结构简单，而且操作方便，一次性能实现多个单晶硅片的夹持。

Description

一种单晶硅片抛光机用夹具装置

技术领域

本实用新型属于单晶硅片抛光技术领域，尤其涉及一种单晶硅片抛光机用夹具装置。

背景技术

单晶硅片是一种具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料。单晶硅片制作好之后由于表面较为粗糙，通常需要对单晶硅片的表面进行打磨抛光。为了便于打磨抛光需要对单晶硅片进行固定，常规的固定方式类似于台虎钳的夹紧方式，通过丝杆带动一个夹块将单晶硅片夹紧。该种固定方式一次只能固定一个单晶硅片，因此严重影响单晶硅片打磨抛光的效率。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

本实用新型的目的是提供一种单晶硅片抛光机用夹具装置，其不仅结构简单，而且操作方便，一次性能实现多个单晶硅片的夹持。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种单晶硅片抛光机用夹具装置，包括基板，所述基板上并排设有左竖直板和右竖直板，所述左竖直板和右竖直板之间设有夹持组件，所述夹持组件用于夹持单晶硅片；所述基板上在左竖直板的一侧设有用于驱动夹持组件转动的动力组件；所述夹持组件包括转动连接在左竖直板和右竖直板之间的转轴，所述转轴上固定安装有横截面为正方形的夹持块体，所述夹持块体周围的四个侧面上均设有左端开口的夹持槽；所述转轴上滑动连接有压紧板，所述压紧板位于夹持块体和左竖直板之间；所述转轴上套接有压紧弹簧，所述压紧弹簧位于压紧板和左竖直板之间用于迫使所述压紧板压向夹持块体。

通过上述技术方案，该单晶硅片抛光机用夹具装置在工作时，首先向左竖直板方向移动压紧板并且压缩压紧弹簧，然后将四个单晶硅片放置到四个夹持槽内，接着松开压紧板，压紧板在压紧弹簧的作用下将四个单晶硅片压紧在夹持槽内；然后通过动力组件带动转轴转动，使得其中一个单晶硅片处于水平位置，从而便于用抛光机对单晶硅片进行打磨抛光；当其中一个单晶硅片处理好之后，通过动力组件控制转轴继续转动，进而带动另一个单晶硅片处于水平位置，然后便于用抛光机对该单晶硅片进行打磨抛光，依次操作通过动力组件控制转轴转动直到将夹持块体上的单晶硅片全部处理完毕；在需要取出单晶硅片时，再次向左竖直板方向移动压紧板并且压缩压紧弹簧，即可将单晶硅片从夹持槽内取出；该夹具装置不仅结构简单，而且操作方便，一次性能实现多个单晶硅片的夹持。

进一步的技术方案中，所述动力组件包括蜗轮、蜗杆、转轮，所述蜗轮固定安装在转轴伸出左竖直板的一端，所述基板上在蜗轮的两侧沿竖直方向各设有一支撑板，所述蜗杆转动连接在两个支撑板之间，且与蜗轮啮合。

通过上述技术方案，动力组件工作时，通过转轮带动蜗杆转动，蜗杆转动时驱动蜗轮转动，进而带动转轴转动，采用蜗轮和蜗杆能够防止在对单晶硅片抛光时转轴发生转动。

进一步的技术方案中，所述夹持块体在靠近左竖直板的一端设有定位杆，所述压紧板上设有与定位杆配合的定位孔；通过定位杆和定位孔的配合能够防止压紧板与转轴发生相对转动。

进一步的技术方案中，所述压紧板在朝向夹持块体的面上设有向夹持槽内延伸的凸块，所述凸块上设有压紧斜面，所述夹持槽内在远离凸块的侧面上设有卡接斜面；该设置通过压紧斜面和卡接斜面的配合，能够进一步将单晶硅片压紧在夹持槽内。

进一步的技术方案中，其中一个支撑板的侧面固定安装有向蜗轮圆心方向延伸的指针，所述蜗轮在远离左竖直板的端面设有指示刻度线；该设置通过指针和指示刻度线的配合能够实现单晶硅片精准的水平定位。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型的技术方案具有以下优点：

该单晶硅片抛光机用夹具装置在工作时，首先向左竖直板方向移动压紧板并且压缩压紧弹簧，然后将四个单晶硅片放置到四个夹持槽内，接着松开压紧板，压紧板在压紧弹簧的作用下将四个单晶硅片压紧在夹持槽内；然后通过动力组件带动转轴转动，使得其中一个单晶硅片处于水平位置，从而便于用抛光机对单晶硅片进行打磨抛光；当其中一个单晶硅片处理好之后，通过动力组件控制转轴继续转动，进而带动另一个单晶硅片处于水平位置，然后便于用抛光机对该单晶硅片进行打磨抛光，依次操作通过动力组件控制转轴转动直到将夹持块体上的单晶硅片全部处理完毕；在需要取出单晶硅片时，再次向左竖直板方向移动压紧板并且压缩压紧弹簧，即可将单晶硅片从夹持槽内取出；该夹具装置不仅结构简单，而且操作方便，一次性能实现多个单晶硅片的夹持。

附图说明

图1为实施例中抛光机的立体结构示意图；

图2为实施例中抛光机的主视图；

图3为实施例中抛光机的左视图；

图4为图3中B-B处的剖视图；

图5为图4中A处放大结构示意图；

图6为实施例中夹紧块体的立体结构；

图7为实施例中压紧板的立体结构。

具体实施方式

请参阅图1-7所示，一种单晶硅片抛光机用夹具装置，包括基板1，所述基板1上并排设有左竖直板2a和右竖直板2b，所述左竖直板2a和右竖直板 2b之间设有夹持组件，所述夹持组件用于夹持单晶硅片；所述基板1上在左竖直板2a的一侧设有用于驱动夹持组件转动的动力组件；所述夹持组件包括转动连接在左竖直板2a和右竖直板2b之间的转轴13，所述转轴13上固定安装有横截面为正方形的夹持块体14，所述夹持块体14周围的四个侧面上均设有左端开口的夹持槽1401；所述转轴13上滑动连接有压紧板15，所述压紧板15位于夹持块体14和左竖直板2a之间；所述转轴13上套接有压紧弹簧 16，所述压紧弹簧16位于压紧板15和左竖直板2a之间用于迫使所述压紧板 15压向夹持块体14。

所述动力组件包括蜗轮17、蜗杆18、转轮19，所述蜗轮17固定安装在转轴13伸出左竖直板2a的一端，所述基板1上在蜗轮17的两侧沿竖直方向各设有一支撑板20，所述蜗杆18转动连接在两个支撑板20之间，且与蜗轮 17啮合。

所述夹持块体14在靠近左竖直板2a的一端设有定位杆21，所述压紧板 15上设有与定位杆21配合的定位孔1501，通过定位杆21和定位孔1501的配合能够防止压紧板15与转轴13发生相对转动。所述压紧板15在朝向夹持块体14的面上设有向夹持槽1401内延伸的凸块1502，所述凸块1502上设有压紧斜面1503，所述夹持槽1401内在远离凸块1502的侧面上设有卡接斜面 1402，该设置通过压紧斜面1503和卡接斜面1402的配合，能够进一步将单晶硅片压紧在夹持槽1401内。其中一个支撑板20的侧面固定安装有向蜗轮 17圆心方向延伸的指针22，所述蜗轮17在远离左竖直板2a的端面设有指示刻度线1701，该设置通过指针22和指示刻度线1701的配合能够实现单晶硅片精准的水平定位。

该单晶硅片抛光机用夹具装置在工作时，首先向左竖直板2a方向移动压紧板15并且压缩压紧弹簧16，然后将四个单晶硅片放置到四个夹持槽1401 内，接着松开压紧板15，压紧板15在压紧弹簧16的作用下，通过凸块1502 及凸块1502上的压紧斜面1503将四个单晶硅片压紧在夹持槽1401内。接着通过转轮19带动蜗杆18转动，蜗杆18转动时驱动蜗轮17转动，进而带动转轴13转动，当指针22对准指示刻度线1701时，停止转动转轮19，此时位于其中一个夹持槽1401内的单晶硅片处于水平位置，从而便于用抛光机对单晶硅片进行打磨抛光。

当其中一个单晶硅片处理好之后，再次通过转轮19带动蜗杆18转动，蜗杆18转动时驱动蜗轮17转动，进而带动转轴13转动，当指针22对准下一个指示刻度线1701时，停止转动转轮19，此时位于另一个夹持槽1401内的另一个单晶硅片处于水平位置；然后再次用抛光机对单晶硅片进行打磨抛光，依次操作直到将夹持块体14上的所有单晶硅片全部处理完毕。在需要取出单晶硅片时，向左竖直板2a方向移动压紧板15并且压缩压紧弹簧16，即可将单晶硅片从夹持槽1401内取出。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (5)

1.一种单晶硅片抛光机用夹具装置，包括基板，其特征在于，所述基板上并排设有左竖直板和右竖直板，所述左竖直板和右竖直板之间设有夹持组件，所述夹持组件用于夹持单晶硅片；所述基板上在左竖直板的一侧设有用于驱动夹持组件转动的动力组件；所述夹持组件包括转动连接在左竖直板和右竖直板之间的转轴，所述转轴上固定安装有横截面为正方形的夹持块体，所述夹持块体周围的四个侧面上均设有左端开口的夹持槽；所述转轴上滑动连接有压紧板，所述压紧板位于夹持块体和左竖直板之间；所述转轴上套接有压紧弹簧，所述压紧弹簧位于压紧板和左竖直板之间用于迫使所述压紧板压向夹持块体。

2.根据权利要求1所述的单晶硅片抛光机用夹具装置，其特征在于，所述动力组件包括蜗轮、蜗杆、转轮，所述蜗轮固定安装在转轴伸出左竖直板的一端，所述基板上在蜗轮的两侧沿竖直方向各设有一支撑板，所述蜗杆转动连接在两个支撑板之间，且与蜗轮啮合。

3.根据权利要求1所述的单晶硅片抛光机用夹具装置，其特征在于，所述夹持块体在靠近左竖直板的一端设有定位杆，所述压紧板上设有与定位杆配合的定位孔。

4.根据权利要求1所述的单晶硅片抛光机用夹具装置，其特征在于，所述压紧板在朝向夹持块体的面上设有向夹持槽内延伸的凸块，所述凸块上设有压紧斜面，所述夹持槽内在远离凸块的侧面上设有卡接斜面。

5.根据权利要求2所述的单晶硅片抛光机用夹具装置，其特征在于，其中一个支撑板的侧面固定安装有向蜗轮圆心方向延伸的指针，所述蜗轮在远离左竖直板的端面设有指示刻度线。

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