CN211332558U - 一种用于透射电镜样品研磨的夹具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于透射电镜样品研磨的夹具，包括夹持本体；所述夹持本体包括夹持端和用于固定所述夹持本体的固定端；夹持端的端面为圆平面；圆平面上设置有放置待研磨的透射电镜样品的凹槽；凹槽的长度方向与圆平面的径向一致，且不经过所述圆平面的中心；凹槽的一端的形状与待研磨的透射电镜样品的形状相同。本实用新型能够控制透射电镜样品研磨厚度，且不易磨偏，稳定性高，提高了透射电镜试样制备效率及成品率。

Description

一种用于透射电镜样品研磨的夹具

技术领域

本实用新型属于透射电镜制样控制技术领域，涉及一种用于透射电镜样品研磨的夹具。

背景技术

透射电镜(以下简称TEM)样品制备在显微学研究工作中，起着至关重要的作用。首先需将样品切为直径Φ3mm，厚度约为500um左右的的圆片，然后研磨减薄至60um左右，最后使用离子减薄或电解双喷将试样中央剪透，获得薄区进行观察分析。

目前在TEM样品研磨减薄这一环节，一直采用将直径Φ3mm，厚度约为500um左右的的一个圆片贴到磨具上，手工在砂纸上上进行磨抛，直至到磨到所需厚度。此种方法容易磨偏，造成圆片厚度不一，成品率低，且一次只能磨抛一个试样，效率很低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供了一种用于透射电镜样品研磨的夹具，该夹具能够控制透射电镜样品研磨厚度，且不易磨偏，稳定性高，提高了透射电镜试样制备效率及成品率。

为了达到上述目的，本实用新型采用如下技术方案实现：

一种用于透射电镜样品研磨的夹具，所述夹具包括夹持本体；所述夹持本体包括夹持端和用于固定所述夹持本体的固定端；

所述夹持端的端面为圆平面；所述圆平面上设置有放置待研磨的透射电镜样品的凹槽；

所述凹槽的长度方向与所述圆平面的径向一致，且不经过所述圆平面的中心；所述凹槽的一端的形状与所述待研磨的透射电镜样品的形状相同。

进一步的，所述凹槽包括多个深度不同的凹槽。

进一步的，所述凹槽包括多个深度相同的凹槽。

进一步的，位于同一条所述圆平面的径向上的两凹槽呈对称分布，凹槽对称分布，可使夹具重心稳定，在研磨时不易产生偏心，使样品磨偏。

进一步的，所述夹持本体为圆柱体。

进一步的，所述夹持本体的固定端还设置圆孔；所述圆孔用于自动研磨机上的卡盘顶针顶入。

本实用新型的有益技术效果：

1、本实用新型将切割好的透射电镜样品直接黏贴于夹持本体的凹槽中，通过凹槽的深度，可控制透射电镜样品研磨厚度，且不易磨偏，稳定性高，提高了透射电镜试样制备效率及成品率，易得到预期厚度的TEM试样，特别适用500um厚度的TEM样品。

2、本实用新型通过在夹持本体设置多个深度不同的凹槽，可一次实现多个不同厚度的透射电镜样品试样研磨，制备效率高。

3、本实用新型通过在夹持本体设置多个相同深度的凹槽，可一次实现多个相同厚度的透射电镜样品试样研磨，实现批量研磨，且效率和成本底。

4、本实用新型夹具，可使用手持研磨至预定尺寸，也可固定于自动研磨机上进行研磨。

5、本实用新型夹具结构简单，制造成本低，操作简易，可根据需求加工铝合金圆柱体顶部凹槽的形状及尺寸，适合夹持各种尺寸的试样进行厚度减薄。

附图说明

图1为本实用新型的用于透射电镜样品研磨的夹具结构俯视图；

图2为本实用新型的用于透射电镜样品研磨的夹具结构侧视图。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的具体实施方式作出详细说明。

本实施例给出了一种用于透射电镜样品研磨的夹具，其结构参考图1和2，该夹具包括夹持本体1；该夹持本体1包括夹持端和用于固定夹持本体的固定端。本实施例的夹持本体一般为圆柱体，该圆柱体的材料为铝合金，其尺寸可以根据实际需要设定。手工研磨时，圆柱体更易于手持。自动研磨时，圆柱体更易夹持，不易脱落；圆柱体周边无尖锐棱角，不易划破砂纸或抛光布。

本实施例的夹持端的端面为圆平面；该圆平面上设置有放置待研磨的透射电镜样品的凹槽2。凹槽2的长度方向与圆平面的径向一致，且不经过圆平面的中心；凹槽2的一端的形状与待研磨的透射电镜样品的形状相同，如当待研磨的透射电镜样品为圆片时，则该段为半圆凹槽，其直径与待研磨的透射电镜样品直径相同。根据最终研磨厚度，设定本实施例中凹槽2的深度，可以全部相同，也可以全部不同，或含有部分相同深度和部分不同深度的凹槽。

为了能同时研磨不同厚度的透射电镜样品，满足不同需求，提高工作效率。本实施例的圆平面上设置有多个深度不同的凹槽2。如将切割后的Φ3mm试样先黏贴于深度为0.3mm的凹槽2中，若有需要，可以同一条凹槽2中放入两个以上试样，即可进行透射电镜试样的研磨减薄，当研磨至于与凹槽2高度相同时，取下黏贴的试样，翻面，将其再粘贴于深度为0.1mm的凹槽2中，反面进行研磨抛光，直至到预定高度，得到两面抛光质量相同的，厚度约为100nm左右的TEM试样圆片。

为了能同时研磨不同厚度的透射电镜样品，实现大批量研磨相同厚度的透，本实施例的圆平面上设置有多个深度相同的凹槽2。当然为了保证研磨过程中的平稳性，不易磨偏，本实施例将位于同一条圆平面的径向上的深度相同的两个凹槽对称分布，且靠近圆平面中心的一端不相通，凹槽对称分布，可使夹具重心稳定，在研磨时不易产生偏心，使样品磨偏。

为了方便固定本实施例的夹具，本实施例在夹持本体的固定端还设置有用于夹具固定的圆孔，该圆孔用于自动研磨机上的卡盘顶针顶入。该圆孔可设置在固定端的侧面或地面，该圆孔使得卡盘顶针顶入，以保证夹具更加牢固固定，不易脱落。适用于自动研磨时，圆柱体侧面设有与自动研磨机卡盘顶针相同直径、深度的圆孔。可使顶针顶入夹具圆孔，使之固定更加牢固，不易脱落。

下面介绍本实施例的使用过程：首先，将Φ3mm样品试样黏贴于深度为0.3mm的凹槽2中，试样圆边紧靠顶端半圆；如有多个样品试样，可以沿第一个试样旁继续黏贴其他需要研磨减薄的样品试样；将黏贴好样品试样的夹具手持或固定于自动研磨机上在砂纸上进行减薄；将磨至0.3mm的样品试样用取下，翻面粘贴至深度为0.1mm的凹槽中后；最后，将黏贴好试样的夹具手持或固定于自动研磨机上在砂纸上进行减薄。直至磨至预定厚度后取下。

本实施例将切割好的透射电镜样品直接黏贴于夹持本体的凹槽中，通过凹槽的深度，可控制透射电镜样品研磨厚度，且不易磨偏，稳定性高，提高了透射电镜试样制备效率及成品率，易得到预期厚度的TEM试样，特别适用500um厚度的TEM样品；本实施例通过在夹持本体设置多个深度不同的凹槽，可一次实现多个不同厚度的透射电镜样品试样研磨，制备效率高；本实施例通过在夹持本体设置多个相同深度的凹槽，可一次实现多个相同厚度的透射电镜样品试样研磨，实现批量研磨，且效率和成本底；本实施例的夹具，可使用手持研磨至预定尺寸，也可固定于自动研磨机上进行研磨；本实施例夹具结构简单，制造成本低，操作简易，可根据需求加工铝合金圆柱体顶部凹槽的形状及尺寸，适合夹持各种尺寸的试样进行厚度减薄。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型实施例不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型实施例的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型实施例。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型实施例的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化涵括在本实用新型实施例内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。此外，显然“包括”一词不排除其他单元或步骤，单数不排除复数。***、装置或终端权利要求中陈述的多个单元、模块或装置也可以由同一个单元、模块或装置通过软件或者硬件来实现。第一，第二等词语用来表示名称，而并不表示任何特定的顺序。

最后应说明的是，以上实施方式仅用以说明本实用新型实施例的技术方案而非限制，尽管参照以上较佳实施方式对本实用新型实施例进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本实用新型实施例的技术方案进行修改或等同替换都不应脱离本实用新型实施例的技术方案的精神和范围。

Claims (6)

1.一种用于透射电镜样品研磨的夹具，其特征在于，所述夹具包括夹持本体；所述夹持本体包括夹持端和用于固定所述夹持本体的固定端；

所述夹持端的端面为圆平面；所述圆平面上设置有放置待研磨的透射电镜样品的凹槽；

所述凹槽的长度方向与所述圆平面的径向一致，且不经过所述圆平面的中心；所述凹槽的一端的形状与所述待研磨的透射电镜样品的形状相同。

2.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述凹槽包括多个深度不同的凹槽。

3.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述凹槽包括多个深度相同的凹槽。

4.根据权利要求2或3所述的夹具，其特征在于，位于同一条所述圆平面的径向上的两个凹槽呈对称分布。

5.根据权利要求1～3任意一项所述的夹具，其特征在于，所述夹持本体为圆柱体。

6.根据权利要求1～3任意一项所述的夹具，其特征在于，所述夹持本体的固定端还设置圆孔；所述圆孔用于自动研磨机上的卡盘顶针顶入。

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