CN211046891U - 弹性波滤波器 - Google Patents

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Abstract

一种弹性波滤波器，至少具备配置在连结两个输入输出端子的路径上的一个以上的串联臂谐振器，一个以上的串联臂谐振器分别是具有形成在具有压电性的基板上的IDT电极的弹性波谐振器，一个以上的串联臂谐振器的谐振频率位于弹性波滤波器的通带内，IDT电极具有一对由多个电极指和汇流条电极构成的梳形电极，多个电极指在与弹性波传播方向交叉的方向上延伸并相互平行地配置，汇流条电极将构成该多个电极指的电极指的一端彼此连接，第1串联臂谐振器的IDT电极具有不夹着构成一对梳形电极中的一个梳形电极的电极指而配置的两个以上的与任何汇流条电极均不连接的浮动间隔剔除电极，第1串联臂谐振器在一个以上的串联臂谐振器中反谐振频率最低。

Description

弹性波滤波器
技术领域
本实用新型涉及具有间隔剔除电极的弹性波滤波器。
背景技术
作为使用于通信设备等的RF(Radio Frequency，射频)电路的频带滤波器，声表面波滤波器已被实用化。从有效利用用于无线通信的频率资源的观点出发，作为便携式电话机等的通信频带，被分配了许多的频带，因此相邻的频带的间隔变窄。鉴于该频带的分配状况，对于声表面波滤波器，通带低频侧的从通带向衰减带的***损耗的变化率(以后记为低频端的陡峭性)、以及通带高频侧的从通带向衰减带的***损耗的变化率(以后记为高频端的陡峭性)成为重要的设计参数。
在专利文献1公开了一种如下的结构，即，在由串联臂谐振器和并联臂谐振器构成的梯型的声表面波滤波器中，为了改善高频端或者低频端的陡峭性，对全部的串联臂谐振器的IDT(InterDigital Transducer，叉指换能器)电极或者全部的并联臂谐振器的IDT电极实施了基于以给定周期剔除电极指的一部分的、所谓的间隔剔除法的加权。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2004-23611号公报
然而，在上述的间隔剔除法中，虽然高频端或者低频端的陡峭性被改善，但弹性波谐振器的相对带宽变小。由此，难以兼顾通带端部的陡峭性和通带宽度的确保。
实用新型内容
实用新型要解决的课题
因此，本实用新型是为了解决上述课题而完成的，其目的在于，提供一种在由串联臂谐振器以及并联臂谐振器构成的弹性波滤波器中在确保通带宽度的同时通带端部的陡峭性得到改善的弹性波滤波器。
用于解决课题的手段
为了达成上述目的，本实用新型的一个方式涉及的弹性波滤波器是至少具备配置在连结两个输入输出端子的路径上的一个以上的串联臂谐振器的弹性波滤波器，所述一个以上的串联臂谐振器分别是具有形成在具有压电性的基板上的IDT(InterDigitalTransducer，叉指换能器)电极的弹性波谐振器，所述一个以上的串联臂谐振器的谐振频率位于所述弹性波滤波器的通带内，所述IDT电极具有一对由多个电极指和汇流条电极构成的梳形电极，所述多个电极指在与弹性波传播方向交叉的方向上延伸并相互平行地配置，所述汇流条电极将构成该多个电极指的电极指的一端彼此连接，将所述多个电极指中与任何的所述汇流条电极均不连接的电极指定义为浮动间隔剔除电极，第1串联臂谐振器的所述IDT电极具有不夹着构成所述一对梳形电极中的一个梳形电极的电极指而配置的两个以上的所述浮动间隔剔除电极，所述第1串联臂谐振器是所述一个以上的串联臂谐振器中反谐振频率最低的串联臂谐振器。
本实用新型的另一方式涉及的弹性波滤波器是至少具备配置在连结两个输入输出端子的路径与接地之间的一个以上的并联臂谐振器的弹性波滤波器，所述一个以上的并联臂谐振器分别是具有形成在具有压电性的基板上的IDT电极的弹性波谐振器，所述一个以上的并联臂谐振器的反谐振频率位于所述弹性波滤波器的通带内，所述IDT电极具有一对由多个电极指和汇流条电极构成的梳形电极，所述多个电极指在与弹性波传播方向交叉的方向上延伸并相互平行地配置，所述汇流条电极将构成该多个电极指的电极指的一端彼此连接，将所述多个电极指中与任何的所述汇流条电极均不连接的电极指定义为浮动间隔剔除电极，第1并联臂谐振器的所述IDT电极具有不夹着构成所述一对梳形电极中的一个梳形电极的电极指而配置的两个以上的所述浮动间隔剔除电极，所述第1并联臂谐振器是所述一个以上的并联臂谐振器中谐振频率最高的并联臂谐振器。
实用新型效果
根据本实用新型涉及的弹性波滤波器，能够在确保通带宽度的同时改善通带端部的陡峭性。
附图说明
图1是示出实施方式涉及的弹性波滤波器的电路结构的一例的图。
图2A是示意性地表示实施方式涉及的弹性波谐振器的一例的俯视图以及剖视图。
图2B是示意性地表示实施方式的变形例涉及的弹性波谐振器的剖视图。
图3A是对梯型的弹性波滤波器的动作原理进行说明的电路结构图。
图3B是表示梯型的弹性波滤波器的频率特性的曲线图。
图4A是示出构成实施例1涉及的弹性波滤波器的第1串联臂谐振器的IDT电极的结构的一例的概略俯视图。
图4B是对构成实施例1以及以往例涉及的弹性波滤波器的串联臂谐振器的谐振特性进行了比较的曲线图。
图4C是对实施例1以及以往例涉及的弹性波滤波器的通过特性进行了比较的曲线图。
图5A是示出构成实施例2涉及的弹性波滤波器的第1并联臂谐振器的IDT电极的结构的一例的概略俯视图。
图5B是对构成实施例2以及以往例涉及的弹性波滤波器的并联臂谐振器的谐振特性进行了比较的曲线图。
图5C是对实施例2以及以往例涉及的弹性波滤波器的通过特性进行了比较的曲线图。
图6A是示出构成比较例1涉及的弹性波滤波器的串联臂谐振器的IDT电极的结构的一例的概略俯视图。
图6B是对构成比较例1以及以往例涉及的弹性波滤波器的串联臂谐振器的谐振特性进行了比较的曲线图。
图6C是对比较例1以及以往例涉及的弹性波滤波器的通过特性进行了比较的曲线图。
图7A是示出构成比较例2涉及的弹性波滤波器的并联臂谐振器的IDT电极的结构的一例的概略俯视图。
图7B是对构成比较例2以及以往例涉及的弹性波滤波器的并联臂谐振器的谐振特性进行了比较的曲线图。
图7C是对比较例2以及以往例涉及的弹性波滤波器的通过特性进行了比较的曲线图。
图8A是示出构成实施例3涉及的弹性波滤波器的第1并联臂谐振器的IDT电极的结构的一例的概略俯视图。
图8B是对构成实施例3以及以往例涉及的弹性波滤波器的并联臂谐振器的谐振特性进行了比较的曲线图。
图9A是示出构成实施例4涉及的弹性波滤波器的第1并联臂谐振器的IDT电极的结构的一例的概略俯视图。
图9B是对构成实施例4以及以往例涉及的弹性波滤波器的并联臂谐振器的谐振特性进行了比较的曲线图。
附图标记说明
5 基板；
10、10A、10B、10C、10D、500A、500B 弹性波滤波器；
51 高声速支承基板；
52 低声速膜；
53 压电膜；
54 IDT电极；
55 保护层；
57 压电单晶基板；
100 弹性波谐振器；
100a、100b、101a、101b、201a、201b、301a、301b、401a、401b、501a、501b、601a、601b梳形电极；
101、102、103、104、105、501 串联臂谐振器；
141、241、341、441、541、641 反射器；
150a、150b、151a、151b、251a、251b、351a、351b、451a、451b、551a、551b、552、651a、651b、652 电极指；
152、252、352、452 浮动间隔剔除电极；
160a、160b、161a、161b、261a、261b、361a、361b、461a、461b、561a、561b、661a、661b汇流条电极；
201、202、203、204、301、401、601 并联臂谐振器；
310、320 输入输出端子；
540 密接层；
542 主电极层。
具体实施方式
以下，利用实施方式以及附图对本实用新型的实施方式详细地进行说明。另外，以下说明的实施方式均示出总括性的或具体的例子。在以下的实施方式中示出的数值、形状、材料、构成要素、构成要素的配置以及连接方式等是一例，其主旨不在于限定本实用新型。关于以下的实施方式中的构成要素之中未记载于独立权利要求的构成要素，作为任意的构成要素来说明。此外，附图所示的构成要素的大小或大小之比未必严密。
(实施方式)
[1弹性波滤波器的电路结构]
图1是示出实施方式涉及的弹性波滤波器10的电路结构的一例的图。如该图所示，弹性波滤波器10具备：串联臂谐振器101、102、103、104以及105、并联臂谐振器201、202、203以及204、和输入输出端子310以及320。
串联臂谐振器101～105配置在连结两个输入输出端子310以及320的路径上，相互被串联连接。此外，并联臂谐振器201～204配置在上述路径上的节点与接地端子之间。连接了并联臂谐振器201、202以及203的接地端子被公共化。通过串联臂谐振器101～105以及并联臂谐振器201～204的上述连接结构，弹性波滤波器10构成了梯型的带通滤波器。
另外，连接了并联臂谐振器201、202、203以及204的接地端子的公共化以及单独化不限定于图1所示的连接方式，从调整弹性波滤波器10的衰减极的观点出发，可以任意地设定。
此外，构成弹性波滤波器10的串联臂谐振器的数目不限定于图1所示的5个，只要为一个以上即可。此外，构成弹性波滤波器10的并联臂谐振器的数目不限定于图1所示的4个，只要为一个以上即可。
此外，也可以在串联臂谐振器101～105、并联臂谐振器201～204、和输入输出端子310以及320之间***电感器以及电容器等电路元件和纵耦合型谐振器等。在该情况下，弹性波滤波器10例如可以由串联臂谐振器101和纵耦合型谐振器构成，或者，也可以由并联臂谐振器201和纵耦合型谐振器构成。即，弹性波滤波器10只要具备一个以上的串联臂谐振器以及一个以上的并联臂谐振器的至少任一者即可。
以下，对构成弹性波滤波器10的串联臂谐振器以及并联臂谐振器的基本构造进行说明。
[2.弹性波谐振器的构造]
图2A是示意性地表示本实施方式涉及的弹性波谐振器的一例的概略图，(a)是俯视图，(b)以及(c)是(a)所示的单点划线处的剖视图。在图2A中例示了具有构成弹性波滤波器10的串联臂谐振器101～105以及并联臂谐振器201～204的基本构造的弹性波谐振器100。另外，图2A所示的弹性波谐振器100用于说明弹性波谐振器的典型的构造，构成电极的电极指的根数以及长度等不限定于此。
弹性波谐振器100由具有压电性的基板5、和梳形电极100a以及100b构成。
如图2A所示，在基板5上形成有相互对置的一对梳形电极100a以及100b。梳形电极100a由相互平行地配置的多个电极指150a、和将构成多个电极指150a的电极指的一端彼此连接的汇流条电极160a构成。此外，梳形电极100b由相互平行地配置的多个电极指150b、和将构成多个电极指150b的电极指的一端彼此连接的汇流条电极160b构成。多个电极指150a以及150b被形成为在与弹性波传播方向(X轴方向)交叉的方向上延伸。
此外，如图2A的(b)所示，由多个电极指150a以及150b和汇流条电极160a以及160b构成的IDT(InterDigital Transducer，叉指换能器)电极54成为密接层540和主电极层542的层叠构造。
密接层540是用于使基板5和主电极层542的密接性提高的层，例如可使用Ti作为材料。密接层540的膜厚例如为12nm。
主电极层542例如可使用含有1％的Cu的Al作为材料。主电极层542的膜厚例如为162nm。
保护层55被形成为覆盖梳形电极100a以及100b。保护层55是以保护主电极层542不受外部环境影响、调整频率温度特性、以及提高耐湿性等为目的的层，例如是以二氧化硅为主成分的电介质膜。保护层55的厚度例如为25nm。
另外，构成密接层540、主电极层542以及保护层55的材料不限定于上述的材料。进而，IDT电极54也可以不是上述层叠构造。IDT电极54例如可以由Ti、Al、Cu、Pt、Au、Ag、Pd等金属或者合金构成，此外，也可以由上述的金属或者合金所构成的多个层叠体构成。此外，保护层55可以如图2A的(b)那样成为凹凸形状以使得对应于IDT电极54的形成的有无而成为固定的膜厚，也可以不对应于IDT电极54的形成的有无而保护层55的上表面成为平面。进而，也可以不形成保护层55。
其次，对基板5的层叠构造进行说明。
如图2A的(c)所示，基板5具备高声速支承基板51、低声速膜52、和压电膜53，具有高声速支承基板51、低声速膜52以及压电膜53被依次层叠的构造。
压电膜53例如由50°Y切割X传播LiTaO3压电单晶或者压电陶瓷(是在将以X轴为中心轴从Y轴旋转了50°的轴作为法线的面进行了切断的钽酸锂单晶、或者陶瓷，且是声表面波在X轴方向上传播的单晶或者陶瓷)构成。压电膜53例如厚度为600nm。另外，可根据各滤波器的要求规格而适当选择作为压电膜53被使用的压电单晶的材料以及切割角。
高声速支承基板51是对低声速膜52、压电膜53和IDT电极54进行支承的基板。进而，高声速支承基板51是高声速支承基板51中的体波(Bulk wave)的声速与在压电膜53传播的表面波以及边界波等弹性波相比成为高速的基板，其发挥作用以使得将声表面波陷获在压电膜53以及低声速膜52被层叠的部分，不会泄漏到比高声速支承基板51更靠下方。高声速支承基板51例如为硅基板，厚度例如为200μm。
低声速膜52是低声速膜52中的体波的声速与在压电膜53传播的体波相比成为低速的膜，配置在压电膜53与高声速支承基板51之间。通过该构造、和弹性波的能量本质上集中于低声速的介质这样的性质，可抑制声表面波能量向IDT电极外的泄漏。低声速膜52例如是以二氧化硅为主成分的膜，厚度例如为670nm。
另外，根据基板5的上述层叠构造，与以单层使用压电基板的以往的构造相比较，能够大幅地提高谐振频率以及反谐振频率下的Q值。即，能够构成Q值高的弹性波谐振器，因此能够使用该弹性波谐振器构成***损耗小的滤波器。
此外，可设想如下情况，即，若为了改善弹性波滤波器10的通带低频端以及通带高频端的陡峭性，如后述那样在弹性波谐振器应用浮动间隔剔除电极，则根据间隔剔除率而弹性波谐振器的Q值等效地变小。然而，根据上述基板的层叠构造，能够将弹性波谐振器100的Q值维持在高的值。因而，能够形成通带内的低损耗得到维持的弹性波滤波器10。
另外，高声速支承基板51也可以具有支承基板、和所传播的体波的声速与在压电膜53传播的表面波以及边界波等弹性波相比成为高速的高声速膜被层叠的构造。在该情况下，支承基板能够使用蓝宝石、钽酸锂、铌酸锂、石英等压电体、矾土、氧化镁、氮化硅、氮化铝、碳化硅、氧化锆、堇青石、莫来石、块滑石、镁橄榄石等各种陶瓷、玻璃等电介质或者硅、氮化镓等半导体以及树脂基板等。此外，高声速膜能够使用氮化铝、氧化铝、碳化硅、氮化硅、氮氧化硅、DLC膜或者金刚石、以上述材料为主成分的介质、以上述材料的混合物为主成分的介质等各种各样的高声速材料。
此外，图2B是示意性地表示实施方式的变形例1涉及的弹性波谐振器的剖视图。在图2A所示的弹性波谐振器100中示出了IDT电极54形成在具有压电膜53的基板5上的例子，但形成该IDT电极54的基板可以是如图2B所示由压电体层的单层构成的压电单晶基板57。压电单晶基板57例如由LiNbO3的压电单晶构成。本变形例涉及的弹性波谐振器100由LiNbO3的压电单晶基板57、IDT电极54、和形成在压电单晶基板57上以及IDT电极54上的保护层55构成。
上述的压电膜53以及压电单晶基板57可以根据弹性波滤波器装置的要求通过特性等而适当变更层叠构造、材料、切割角以及厚度。即使是使用了具有上述的切割角以外的切割角的LiTaO3压电基板等的弹性波谐振器100，也能够发挥与使用了上述的压电膜53的弹性波谐振器100同样的效果。
此外，形成IDT电极54的基板也可以具有支承基板、能量陷获层和压电膜被依次层叠的构造。在压电膜上形成IDT电极54。压电膜例如可使用LiTaO3压电单晶或者压电陶瓷。支承基板是对压电膜、能量陷获层、以及IDT电极54进行支承的基板。
能量陷获层由一层或者多层构成，在其至少一个层传播的弹性体波的声速与在压电膜附近传播的弹性波的声速相比为高速。例如，也可以成为低声速层和高声速层的层叠构造。低声速层是低声速层中的体波的声速与在压电膜传播的体波的声速相比成为低速的膜。高声速层是高声速层中的体波的声速与在压电膜传播的弹性波的声速相比成为高速的膜。另外，也可以将支承基板作为高声速层。
此外，能量陷获层电可以是具有声阻抗相对低的低声阻抗层和声阻抗相对高的高声阻抗层被交替地层叠的结构的声阻抗层。
在此，对构成弹性波谐振器100的IDT电极的电极参数的一例进行说明。
所谓弹性波谐振器的波长，由构成图2A的(b)所示的IDT电极54的多个电极指150a或者150b的重复周期即波长λ来规定。此外，电极间距为波长λ的1/2，在将构成梳形电极100a以及100b的电极指150a以及150b的线宽度设为W，将相邻的电极指150a与电极指150b之间的间隔宽度设为S的情况下，用(W+S)定义。此外，如图2A的(a)所示，一对梳形电极100a以及100b的交叉宽度L是电极指150a和电极指150b在从弹性波传播方向(X轴方向)观察的情况下的重复的电极指长度。此外，各弹性波谐振器的电极占空比是多个电极指150a以及150b的线宽度占有率，是该线宽度相对于多个电极指150a以及150b的线宽度与间隔宽度的相加值的比例，用W/(W+S)定义。此外，将梳形电极100a以及100b的高度设为h。
[3.弹性波滤波器的动作原理]
其次，对本实施方式涉及的梯型的弹性波滤波器的动作原理进行说明。
图3A是对梯型的弹性波滤波器的动作原理进行说明的电路结构图，图3B是表示梯型的弹性波滤波器的频率特性的曲线图。
图3A所示的弹性波滤波器是由一个串联臂谐振器101以及一个并联臂谐振器201构成的基本的梯型滤波器。如图3B所示，并联臂谐振器201在谐振特性中具有谐振频率frp以及反谐振频率fap(＞frp)。此外，串联臂谐振器101在谐振特性中具有谐振频率frs以及反谐振频率fas(＞frs＞frp)。
在使用梯型的弹性波谐振器构成带通滤波器时，使并联臂谐振器201的反谐振频率fap和串联臂谐振器101的谐振频率frs接近。由此，并联臂谐振器201的阻抗接近0的谐振频率frp附近成为低频侧阻带。此外，若频率变得比其高，则在反谐振频率fap附近，并联臂谐振器201的阻抗变高，并且，在谐振频率frs附近，串联臂谐振器101的阻抗接近0。由此，在反谐振频率fap～谐振频率frs的附近，在从输入输出端子310向输入输出端子320的信号路径中成为信号通带。进而，若频率变高而成为反谐振频率fas附近，则串联臂谐振器101的阻抗变高，成为高频侧阻带。
另外，由并联臂谐振器以及串联臂谐振器构成的谐振级的级数可根据要求规格适当最优化。一般地，在由多个谐振级构成弹性波滤波器的情况下，使多个并联臂谐振器的反谐振频率fap大体一致，使多个串联臂谐振器的反谐振频率fas大体一致。
在具有上述动作原理的弹性波滤波器中，若从输入输出端子310输入高频信号，则在输入输出端子310与基准端子之间产生电位差，由此，压电体层形变，从而产生在X轴方向上传播的声表面波。在此，通过预先使IDT电极54的波长λ和通带的波长大体一致，由此只有具有想使得通过的频率分量的高频信号通过该弹性波滤波器。
另外，在弹性波滤波器由纵耦合型谐振器和串联臂谐振器构成的情况下，使串联臂谐振器的谐振频率frs位于通带内。由此，在谐振频率frs附近，串联臂谐振器的阻抗接近0。由此，在谐振频率frs的附近，成为信号通带。进而，若频率变高而成为反谐振频率fas附近，则串联臂谐振器的阻抗变高，成为高频侧阻带。
此外，在弹性波滤波器由纵耦合型谐振器和并联臂谐振器构成的情况下，使并联臂谐振器的反谐振频率fap位于通带内。并联臂谐振器的阻抗接近0的谐振频率frp附近成为低频侧阻带。此外，在反谐振频率fap附近，并联臂谐振器的阻抗变高，成为信号通带。
[4.实施例1以及2涉及的弹性波滤波器的电极结构以及通过特性]
其次，关于作为本实施方式涉及的弹性波滤波器10的特征性结构的IDT电极结构以及通过特性，例示并说明实施例涉及的弹性波滤波器的IDT电极结构以及通过特性。
图4A是示出构成实施例1涉及的弹性波滤波器10A的串联臂谐振器101的IDT电极的结构的一例的概略俯视图。实施例1涉及的弹性波滤波器10A与图1所示的实施方式涉及的弹性波滤波器10相比较，呈相同的电路结构，弹性波谐振器的IDT电极结构被具体化。
另外，实施例1涉及的弹性波滤波器10A使用LiNbO3的压电单晶作为具有压电性的基板，将所谓的LN瑞利波作为主模式来利用。
在实施例1涉及的弹性波滤波器10A中，串联臂谐振器101～105各自的谐振频率frs位于弹性波滤波器10A的通带内。此外，串联臂谐振器101是串联臂谐振器101～105中反谐振频率fas最低的第1串联臂谐振器。
另外，在本说明书中，在弹性波谐振器所具有的IDT电极中，将在与弹性波传播方向交叉的方向上延伸的多个电极指中与任何的汇流条电极均不连接的电极指定义为浮动间隔剔除电极。
如图4A所示，串联臂谐振器101的IDT电极由一对梳形电极101a以及101b、两个浮动间隔剔除电极152、和配置在一对梳形电极的两端的反射器141构成。梳形电极101a由多个电极指151a和连接了多个电极指151a的一端的汇流条电极161a构成。梳形电极101b由多个电极指151b和连接了多个电极指151b的一端的汇流条电极161b构成。
在实施例1涉及的弹性波滤波器10A中，如图4A所示，串联臂谐振器101(第1串联臂谐振器)的IDT电极具有不夹着构成一对梳形电极101a以及101b中的一个梳形电极101b的电极指151b并且夹着构成一对梳形电极中的另一个梳形电极101a的一根电极指151a而配置的两个浮动间隔剔除电极152。此外，虽然未图示，但在串联臂谐振器102～105以及并联臂谐振器201～204中，未配置如上述那样的两个浮动间隔剔除电极152。
另外，反谐振频率fas最低的第1串联臂谐振器可以不是串联臂谐振器101，可以是串联臂谐振器102～105的任一个。即，反谐振频率fas最低的第1串联臂谐振器与是否配置为靠近输入输出端子310或者320没有关系。
图4B是对构成实施例1以及以往例涉及的弹性波滤波器的串联臂谐振器的谐振特性进行了比较的曲线图。在该图中示出构成实施例1涉及的弹性波滤波器10A的串联臂谐振器101、以及构成以往例涉及的弹性波滤波器的串联臂谐振器的谐振特性(通过特性)。
另外，以往例涉及的弹性波滤波器与实施例1涉及的弹性波滤波器10A相比较，虽然具有图1所示的电路结构，但在全部的串联臂谐振器中反谐振频率最低的串联臂谐振器未配置浮动间隔剔除电极以及间隔剔除电极。即，在全部的串联臂谐振器以及全部的并联臂谐振器未配置浮动间隔剔除电极以及间隔剔除电极。
如图4B所示，在构成实施例1涉及的弹性波滤波器10A的串联臂谐振器101中，在谐振频率frs和反谐振频率fas之间，产生了出现新的***损耗的极小点以及极大点的模式(图4B的虚线框内)。此外，与构成以往例涉及的弹性波滤波器的串联臂谐振器相比较，谐振频率frs以及反谐振频率fas几乎未进行频率移动。
在实施例1涉及的弹性波滤波器10A的串联臂谐振器101中，在谐振频率frs和反谐振频率fas之间产生的上述的新的模式可认为是通过以两个浮动间隔剔除电极152为边界将串联臂谐振器101的IDT电极分割成两个而产生的模式。
图4C是对实施例1以及以往例涉及的弹性波滤波器的通过特性进行了比较的曲线图。如该图所示，实施例1涉及的弹性波滤波器10A与以往例涉及的弹性波滤波器相比较，通带内的***损耗以及通带低频端的陡峭性虽然大致相同，但通带高频端的陡峭性变好(图4C的虚线框内)。
即，根据弹性波滤波器10A，能够在确保通带宽度的同时改善通带高频端的陡峭性。
另外，在实施例1涉及的弹性波滤波器10A中，虽然设为仅在反谐振频率fas最低的串联臂谐振器101配置了两个浮动间隔剔除电极152的结构，但也可以在其他串联臂谐振器102～105也配置两个浮动间隔剔除电极152。
另外，在实施例1涉及的弹性波滤波器10A中，也可以是，两个浮动间隔剔除电极152相对于IDT电极的弹性波传播方向上的中心而非对称地配置。即，在图4A中，比两个浮动间隔剔除电极152更靠声表面波传播方向侧的电极指根数、和比两个浮动间隔剔除电极152更靠与声表面波传播方向相反方向侧的电极指根数可以不同。
图5A是示出构成实施例2涉及的弹性波滤波器10B的并联臂谐振器201的IDT电极的结构的一例的概略俯视图。实施例2涉及的弹性波滤波器10B与图1所示的实施方式涉及的弹性波滤波器10相比较，呈相同的电路结构，弹性波谐振器的IDT电极结构被具体化。
另外，实施例2涉及的弹性波滤波器10B使用LiNbO3的压电单晶作为具有压电性的基板，将所谓的LN瑞利波作为主模式来利用。
在实施例2涉及的弹性波滤波器10B中，并联臂谐振器201～204各自的反谐振频率fap位于弹性波滤波器10B的通带内。此外，并联臂谐振器201是并联臂谐振器201～204中谐振频率frp最高的第1并联臂谐振器。
如图5A所示，并联臂谐振器201的IDT电极由一对梳形电极201a以及201b、两个浮动间隔剔除电极252、和配置在一对梳形电极的两端的反射器241构成。梳形电极201a由多个电极指251a和连接了多个电极指251a的一端的汇流条电极261a构成。梳形电极201b由多个电极指251b和连接了多个电极指251b的一端的汇流条电极261b构成。
在实施例2涉及的弹性波滤波器10B中，如图5A所示，并联臂谐振器201的IDT电极具有不夹着构成一对梳形电极中的一个梳形电极201b的电极指251b并且夹着构成一对梳形电极中的另一个梳形电极201a的一根电极指251a而配置的两个浮动间隔剔除电极252。此外，虽然未图示，但在串联臂谐振器101～105以及并联臂谐振器202～204中，未配置如上述那样的两个浮动间隔剔除电极252。
另外，谐振频率frp最高的第1并联臂谐振器可以不是并联臂谐振器201，可以是并联臂谐振器201～204的任一个。即，谐振频率frp最高的第1并联臂谐振器与是否配置为靠近输入输出端子310或者320没有关系。
图5B是对构成实施例2以及以往例涉及的弹性波滤波器的并联臂谐振器的谐振特性进行了比较的曲线图。在该图中示出构成实施例2涉及的弹性波滤波器10B的并联臂谐振器201、以及构成以往例涉及的弹性波滤波器的并联臂谐振器的谐振特性(通过特性)。
另外，以往例涉及的弹性波滤波器与实施例2涉及的弹性波滤波器10B相比较，虽然具有图1所示的电路结构，但在全部的并联臂谐振器中谐振频率最高的并联臂谐振器未配置浮动间隔剔除电极以及间隔剔除电极。即，在全部的串联臂谐振器以及全部的并联臂谐振器未配置浮动间隔剔除电极以及间隔剔除电极。
如图5B所示，在构成实施例2涉及的弹性波滤波器10B的并联臂谐振器201中，在谐振频率frp和反谐振频率fap之间，产生了出现新的***损耗的极小点以及极大点的模式(图5B的虚线框内)。此外，与构成以往例涉及的弹性波滤波器的并联臂谐振器相比较，谐振频率frp以及反谐振频率fap几乎未进行频率移动。
在实施例2涉及的弹性波滤波器10B的并联臂谐振器201中，在谐振频率frp和反谐振频率fap之间产生的上述的新的模式可认为是通过以两个浮动间隔剔除电极252为边界将并联臂谐振器201的IDT电极分割成两个而产生的模式。
图5C是对实施例2以及以往例涉及的弹性波滤波器的通过特性进行了比较的曲线图。如该图所示，实施例2涉及的弹性波滤波器10B与以往例涉及的弹性波滤波器相比较，通带内的***损耗以及通带高频端的陡峭性虽然大致相同，但通带低频端的陡峭性变好(图5C的虚线框内)。
即，根据弹性波滤波器10B，能够在确保通带宽度的同时改善通带低频端的陡峭性。
另外，在实施例2涉及的弹性波滤波器10B中，虽然设为仅在谐振频率frp最高的并联臂谐振器201配置了两个浮动间隔剔除电极252的结构，但也可以在其他并联臂谐振器202～204也配置两个浮动间隔剔除电极252。
另外，在实施例2涉及的弹性波滤波器10B中，也可以是，两个浮动间隔剔除电极252相对于IDT电极的弹性波传播方向上的中心而非对称地配置。即，在图5A中，比两个浮动间隔剔除电极252更靠声表面波传播方向侧的电极指根数、和比两个浮动间隔剔除电极252更靠与声表面波传播方向相反方向侧的电极指根数可以不同。
图6A是示出构成比较例1涉及的弹性波滤波器500A的串联臂谐振器501的IDT电极的结构的一例的概略俯视图。比较例1涉及的弹性波滤波器500A与实施例1涉及的弹性波滤波器10A相比较，反谐振频率fas最低的串联臂谐振器501的IDT电极结构不同。即，比较例1涉及的弹性波滤波器500A具备：串联臂谐振器501、102、103、104以及105、并联臂谐振器201、202、203以及204、和输入输出端子310以及320。
在比较例1涉及的弹性波滤波器500A中，串联臂谐振器501、102～105各自的谐振频率frs、以及并联臂谐振器201～204各自的反谐振频率fap位于弹性波滤波器500A的通带内。此外，串联臂谐振器501是串联臂谐振器501以及102～105中反谐振频率fas最低的弹性波谐振器。
如图6A所示，串联臂谐振器501的IDT电极由一对梳形电极501a以及501b、和配置在一对梳形电极的两端的反射器541构成。梳形电极501a由多个电极指551a、电极指552、和连接了多个电极指551a以及电极指552的一端的汇流条电极561a构成。梳形电极501b由多个电极指551b、和连接了多个电极指551b的一端的汇流条电极561b构成。与连接于汇流条电极561a的电极指552相邻的电极指同样连接至汇流条电极561a。即，电极指552原本根据电极指的规律性是与汇流条电极561b连接的，但却与汇流条电极561a连接。即，电极指552是根据电极指的规律性应与汇流条电极561b连接的电极指被间隔剔除的间隔剔除电极。即，在比较例1涉及的弹性波滤波器500A中，反谐振频率fas最低的串联臂谐振器501的IDT电极具有一根间隔剔除电极(电极指552)。
另外，反谐振频率fas最低的串联臂谐振器可以不是串联臂谐振器501，可以是串联臂谐振器102～105的任一个。即，反谐振频率fas最低的串联臂谐振器与是否配置为靠近输入输出端子310或者320没有关系。
图6B是对构成比较例1以及以往例涉及的弹性波滤波器的串联臂谐振器的谐振特性进行了比较的曲线图。在该图中示出构成比较例1涉及的弹性波滤波器500A的串联臂谐振器501、以及构成以往例涉及的弹性波滤波器的串联臂谐振器的谐振特性(通过特性)。
另外，以往例涉及的弹性波滤波器与比较例1涉及的弹性波滤波器500A相比较，虽然具有图1所示的电路结构，但在全部的串联臂谐振器中反谐振频率最低的串联臂谐振器未配置间隔剔除电极以及浮动间隔剔除电极。即，在全部的串联臂谐振器以及全部的并联臂谐振器未配置间隔剔除电极以及浮动间隔剔除电极。
如图6B所示，在构成比较例1涉及的弹性波滤波器500A的串联臂谐振器501中，与构成以往例涉及的弹性波滤波器的串联臂谐振器相比较，虽然谐振频率frs未移动，但反谐振频率fas向低频侧移动。此外，没有产生在实施例1涉及的弹性波滤波器10A的串联臂谐振器101观察到的、谐振频率frs和反谐振频率fas之间的新的模式。另外，在如比较例1涉及的弹性波滤波器500A的串联臂谐振器501那样具有仅一根间隔剔除电极(电极指552)或者仅一根浮动间隔剔除电极的结构中，不产生上述的新的模式。进而，即使具有多个浮动间隔剔除电极，在一对梳形电极的一方的电极指以及一对梳形电极的另一方的电极指双方配置于两个浮动间隔剔除电极之间的结构中，也不产生有用的上述的新的模式。
图6C是对比较例1以及以往例涉及的弹性波滤波器的通过特性进行了比较的曲线图。如该图所示，比较例1涉及的弹性波滤波器500A与以往例涉及的弹性波滤波器相比较，通带低频端的陡峭性虽然大致相同，但通带高频端的陡峭性变好(图6C的虚线框内)。然而，通带内的高频端的***损耗变差(图6C的虚线框内)。可理解为这是起因于为使通带高频端的陡峭性变好，在串联臂谐振器501的IDT电极配置一根间隔剔除电极(电极指552)，由此减小了串联臂谐振器501的谐振频率frs和反谐振频率fas的间隔(相对带宽)。
相对于此，在实施例1涉及的弹性波滤波器10A中，为使通带高频端的陡峭性变好，在串联臂谐振器101的IDT电极配置了两根浮动间隔剔除电极152，但串联臂谐振器101的谐振频率frs和反谐振频率fas的间隔(相对带宽)没有变小。因而，弹性波滤波器10A的通带宽度没有变窄。此外，通带高频端的陡峭性的变好可通过在串联臂谐振器101的谐振频率frs和反谐振频率fas之间产生的新的模式来实现。
图7A是示出构成比较例2涉及的弹性波滤波器500B的并联臂谐振器601的IDT电极的结构的一例的概略俯视图。比较例2涉及的弹性波滤波器500B与实施例2涉及的弹性波滤波器10B相比较，谐振频率frp最高的并联臂谐振器601的IDT电极结构不同。即，比较例2涉及的弹性波滤波器500B具备：串联臂谐振器101、102、103、104以及105、并联臂谐振器601、202、203以及204、和输入输出端子310以及320。
在比较例2涉及的弹性波滤波器500B中，串联臂谐振器101～105各自的谐振频率frs、以及并联臂谐振器601、202～204各自的反谐振频率fap位于弹性波滤波器500B的通带内。此外，并联臂谐振器601是并联臂谐振器601以及202～204中谐振频率frp最高的弹性波谐振器。
如图7A所示，并联臂谐振器601的IDT电极由一对梳形电极601a以及601b、和配置在一对梳形电极的两端的反射器641构成。梳形电极601a由多个电极指651a、电极指652、和连接了多个电极指651a的一端的汇流条电极661a构成。梳形电极601b由多个电极指651b、和连接了多个电极指651b的一端的汇流条电极661b构成。与连接于汇流条电极661a的电极指652相邻的电极指同样连接至汇流条电极661a。即，电极指652原本根据电极指的规律性是与汇流条电极661b连接的，但却与汇流条电极661a连接。即，电极指652是根据电极指的规律性应与汇流条电极661b连接的电极指被间隔剔除的间隔剔除电极。即，在比较例2涉及的弹性波滤波器500B中，谐振频率frp最高的并联臂谐振器601的IDT电极具有一根间隔剔除电极(电极指652)。
另外，谐振频率frp最高的并联臂谐振器可以不是并联臂谐振器601，可以是并联臂谐振器202～204的任一个。即，谐振频率frp最高的并联臂谐振器与是否配置为靠近输入输出端子310或者320没有关系。
图7B是对构成比较例2以及以往例涉及的弹性波滤波器的并联臂谐振器的谐振特性进行了比较的曲线图。在该图中示出构成比较例2涉及的弹性波滤波器500B的并联臂谐振器601、以及构成以往例涉及的弹性波滤波器的并联臂谐振器的谐振特性(通过特性)。
另外，以往例涉及的弹性波滤波器与比较例2涉及的弹性波滤波器500B相比较，虽然具有图1所示的电路结构，但在全部的并联臂谐振器中谐振频率最高的并联臂谐振器未配置间隔剔除电极以及浮动间隔剔除电极。即，在全部的串联臂谐振器以及全部的并联臂谐振器未配置间隔剔除电极以及浮动间隔剔除电极。
如图7B所示，在构成比较例2涉及的弹性波滤波器500B的并联臂谐振器601中，与构成以往例涉及的弹性波滤波器的并联臂谐振器相比较，谐振频率frp向高频侧移动。
图7C是对比较例2以及以往例涉及的弹性波滤波器的通过特性进行了比较的曲线图。如该图所示，比较例2涉及的弹性波滤波器500B与以往例涉及的弹性波滤波器相比较，通带高频端的陡峭性虽然大致相同，但通带低频端的陡峭性变好(图7C的虚线框内)。然而，通带内的低频端的***损耗变差(图7C的虚线框内)。可理解为这是起因于为使通带低频端的陡峭性变好，在并联臂谐振器601的IDT电极配置一根间隔剔除电极(电极指652)，由此减小了并联臂谐振器601的谐振频率frp和反谐振频率fap的间隔(相对带宽)。
相对于此，在实施例2涉及的弹性波滤波器10B中，为使通带低频端的陡峭性变好，在并联臂谐振器201的IDT电极配置了两根浮动间隔剔除电极252，但并联臂谐振器201的谐振频率frp和反谐振频率fap的间隔(相对带宽)没有变小。因而，弹性波滤波器10B的通带宽度没有变窄。此外，通带低频端的陡峭性的变好可通过在并联臂谐振器201的谐振频率frp和反谐振频率fap之间新产生的谐振模式来实现。
以上，实施例1涉及的弹性波滤波器10A具备配置在连结两个输入输出端子310以及320的路径上的一个以上的串联臂谐振器101～105。一个以上的串联臂谐振器101～105分别是具有形成在具有压电性的基板上的IDT电极的弹性波谐振器，一个以上的串联臂谐振器101～105的谐振频率frs位于弹性波滤波器的通带内。上述IDT电极具有一对梳形电极，梳形电极由在与弹性波传播方向交叉的方向上延伸并相互平行地配置的多个电极指、和将构成该多个电极指的电极指的一端彼此连接的汇流条电极构成，一个以上的串联臂谐振器101～105中反谐振频率fas最低的串联臂谐振器101的IDT电极具有不夹着构成一对梳形电极中的一个梳形电极的电极指而配置的两个以上的浮动间隔剔除电极。
由此，通过配置在串联臂谐振器101的IDT电极的两根浮动间隔剔除电极，以不减小谐振频率和反谐振频率的间隔的状态、即不缩窄串联臂谐振器101的相对带宽的状态，在谐振频率与反谐振频率之间产生新的谐振模式。因而，能够不缩窄弹性波滤波器的通带宽度地使通带高频端的陡峭性变好。即，能够在确保通带宽度的同时改善通带高频端的陡峭性。
此外，实施例2涉及的弹性波滤波器10B具备配置在连结两个输入输出端子310以及320的路径与接地之间的一个以上的并联臂谐振器201～204。一个以上的并联臂谐振器201～204分别是具有形成在具有压电性的基板上的IDT电极的弹性波谐振器，一个以上的并联臂谐振器201～204的反谐振频率fap位于弹性波滤波器的通带内。上述IDT电极具有一对梳形电极，梳形电极由在与弹性波传播方向交叉的方向上延伸并相互平行地配置的多个电极指、和将构成该多个电极指的电极指的一端彼此连接的汇流条电极构成，一个以上的并联臂谐振器201～204中谐振频率frp最高的并联臂谐振器201的IDT电极具有不夹着构成一对梳形电极中的一个梳形电极的电极指而配置的两个以上的浮动间隔剔除电极。
由此，通过配置在并联臂谐振器201的IDT电极的两根浮动间隔剔除电极，以不减小谐振频率和反谐振频率的间隔的状态、即不缩窄并联臂谐振器201的相对带宽的状态，在谐振频率与反谐振频率之间产生新的谐振模式。因而，能够不缩窄弹性波滤波器的通带宽度地使通带低频端的陡峭性变好。即，能够在确保通带宽度的同时改善通带端部的陡峭性。
另外，实施例1以及实施例2涉及的弹性波滤波器具有仅在串联臂谐振器以及并联臂谐振器的任一方配置了上述的两个浮动间隔剔除电极的结构，但本实施方式涉及的弹性波滤波器也可以具有在串联臂谐振器以及并联臂谐振器的双方配置了上述的两个浮动间隔剔除电极的结构。
由此，通过配置在串联臂谐振器以及并联臂谐振器的双方的IDT电极的两根浮动间隔剔除电极，以不减小谐振频率和反谐振频率的间隔的状态，在谐振频率与反谐振频率之间产生新的谐振模式。因而，能够不缩窄弹性波滤波器的通带宽度地使通带低频端以及高频端的陡峭性变好。
[5.实施例3以及4涉及的弹性波滤波器的电极结构以及通过特性]
图gA是示出构成实施例3涉及的弹性波滤波器10C的并联臂谐振器301的IDT电极的结构的一例的概略俯视图。实施例3涉及的弹性波滤波器10C与实施例2涉及的弹性波滤波器10B相比较，谐振频率frp最高的并联臂谐振器301的IDT电极结构不同。即，实施例3涉及的弹性波滤波器10C具备：串联臂谐振器101、102、103、104以及105、并联臂谐振器301、202、203以及204、和输入输出端子310以及320。
在实施例3涉及的弹性波滤波器10C中，并联臂谐振器301、202～204各自的反谐振频率fap位于弹性波滤波器10C的通带内。此外，并联臂谐振器301是并联臂谐振器301以及202～204中谐振频率frp最高的弹性波谐振器。
如图8A所示，并联臂谐振器301的IDT电极由一对梳形电极301a以及301b、3个浮动间隔剔除电极352、和配置在一对梳形电极的两端的反射器341构成。梳形电极301a由多个电极指351a、和连接了多个电极指351a的一端的汇流条电极361a构成。梳形电极301b由多个电极指351b、和连接了多个电极指351b的一端的汇流条电极361b构成。
在实施例3涉及的弹性波滤波器10C中，如图gA所示，并联臂谐振器301(第1并联臂谐振器)的IDT电极具有不夹着构成一对梳形电极301a以及301b中的一个梳形电极301b的电极指351b并且不夹着构成另一个梳形电极301a的电极指351a而连续地配置的3个浮动间隔剔除电极352。此外，虽然未图示，但在串联臂谐振器101～105以及并联臂谐振器202～204中，未配置如上述那样的3个连续的浮动间隔剔除电极352。
另外，谐振频率frp最高的并联臂谐振器可以不是并联臂谐振器301，可以是并联臂谐振器202～204的任一个。即，谐振频率frp最高的并联臂谐振器与是否配置为靠近输入输出端子310或者320没有关系。
图8B是对构成实施例3以及以往例涉及的弹性波滤波器的并联臂谐振器的谐振特性进行了比较的曲线图。在该图中示出构成实施例3涉及的弹性波滤波器10C的并联臂谐振器301、以及构成以往例涉及的弹性波滤波器的并联臂谐振器的谐振特性(通过特性)。
另外，以往例涉及的弹性波滤波器与实施例3涉及的弹性波滤波器10C相比较，虽然具有图1所示的电路结构，但在全部的并联臂谐振器中谐振频率最高的并联臂谐振器未配置浮动间隔剔除电极以及间隔剔除电极。即，在全部的串联臂谐振器以及全部的并联臂谐振器未配置浮动间隔剔除电极以及间隔剔除电极。
如图8B所示，在构成实施例3涉及的弹性波滤波器10C的并联臂谐振器301中，在谐振频率frp和反谐振频率fap之间产生了出现新的***损耗的极小点以及极大点的模式(图8B的虚线框内)。此外，与构成以往例涉及的弹性波滤波器的并联臂谐振器相比较，谐振频率frp以及反谐振频率fap几乎未进行频率移动。由此，在弹性波滤波器10C中，能够在确保通带宽度的同时改善通带低频端的陡峭性。
在实施例3涉及的弹性波滤波器10C的并联臂谐振器301中，在谐振频率frp和反谐振频率fap之间产生的上述的新的模式可认为是通过以3个连续的浮动间隔剔除电极352为边界将并联臂谐振器301的IDT电极分割成两个而产生的模式。
另外，在实施例3涉及的弹性波滤波器10C中，虽然设为仅在谐振频率frp最高的并联臂谐振器301配置了3个连续的浮动间隔剔除电极352的结构，但也可以在其他并联臂谐振器202～204也配置3个连续的浮动间隔剔除电极352。
此外，配置在谐振频率frp最高的并联臂谐振器301的浮动间隔剔除电极352不限定于连续3个，可以连续两个，此外，也可以连续4个以上。
此外，在实施例3涉及的弹性波滤波器10C中，虽然设为仅在谐振频率frp最高的并联臂谐振器301配置了3个连续的浮动间隔剔除电极352的结构，但也可以在反谐振频率fas最低的串联臂谐振器101配置3个连续的浮动间隔剔除电极。由此，能够在确保通带宽度的同时改善通带高频端的陡峭性。此外，配置在反谐振频率fas最低的串联臂谐振器101的浮动间隔剔除电极不限定于连续3个，可以连续2个，此外，也可以连续4个以上。
另外，在实施例3涉及的弹性波滤波器10C中，也可以是，3个浮动间隔剔除电极352相对于IDT电极的弹性波传播方向上的中心而非对称地配置。即，在图8A中，比3个浮动间隔剔除电极352更靠声表面波传播方向侧的电极指根数、和比3个浮动间隔剔除电极352更靠与声表面波传播方向相反方向侧的电极指根数可以不同。
图9A是示出构成实施例4涉及的弹性波滤波器10D的并联臂谐振器401的IDT电极的结构的一例的概略俯视图。实施例4涉及的弹性波滤波器10D与实施例2涉及的弹性波滤波器10B相比较，谐振频率frp最高的并联臂谐振器401的IDT电极结构不同。即，实施例4涉及的弹性波滤波器10D具备：串联臂谐振器101、102、103、104以及105、并联臂谐振器401、202、203以及204、和输入输出端子310以及320。
在实施例4涉及的弹性波滤波器10D中，并联臂谐振器401、202～204各自的反谐振频率fap位于弹性波滤波器10D的通带内。此外，并联臂谐振器401是并联臂谐振器401以及202～204中谐振频率frp最高的弹性波谐振器。
如图9A所示，并联臂谐振器401的IDT电极由一对梳形电极401a以及401b、3个浮动间隔剔除电极452、和配置在一对梳形电极的两端的反射器441构成。梳形电极401a由多个电极指451a、和连接了多个电极指451a的一端的汇流条电极461a构成。梳形电极401b由多个电极指451b、和连接了多个电极指451b的一端的汇流条电极461b构成。
在实施例4涉及的弹性波滤波器10D中，如图9A所示，并联臂谐振器401的IDT电极具有不夹着构成一对梳形电极中的一个梳形电极401b的电极指451b并且夹着构成一对梳形电极中的另一个梳形电极401a的一根电极指451a而配置的3个浮动间隔剔除电极452。即，在3个浮动间隔剔除电极452中相邻的浮动间隔剔除电极452之间配置有一根电极指451a。此外，虽然未图示，但在串联臂谐振器101～105以及并联臂谐振器202～204中，未配置如上述那样的3个浮动间隔剔除电极452。
另外，谐振频率frp最高的并联臂谐振器可以不是并联臂谐振器401，可以是并联臂谐振器202～204的任一个。即，谐振频率frp最高的并联臂谐振器与是否配置为靠近输入输出端子310或者320没有关系。
图9B是对构成实施例4以及以往例涉及的弹性波滤波器的并联臂谐振器的谐振特性进行了比较的曲线图。在该图中示出构成实施例4涉及的弹性波滤波器10D的并联臂谐振器401、以及构成以往例涉及的弹性波滤波器的并联臂谐振器的谐振特性(通过特性)。
另外，以往例涉及的弹性波滤波器与实施例4涉及的弹性波滤波器10D相比较，虽然具有图1所示的电路结构，但在全部的并联臂谐振器中谐振频率最高的并联臂谐振器未配置浮动间隔剔除电极以及间隔剔除电极。即，在全部的串联臂谐振器以及全部的并联臂谐振器未配置浮动间隔剔除电极以及间隔剔除电极。
如图9B所示，在构成实施例4涉及的弹性波滤波器10D的并联臂谐振器401中，在谐振频率frp和反谐振频率fap之间产生了出现新的***损耗的极小点以及极大点的模式(图9B的虚线框内)。此外，与构成以往例涉及的弹性波滤波器的并联臂谐振器相比较，谐振频率frp以及反谐振频率fap几乎未进行频率移动。由此，在弹性波滤波器10D中，能够在确保通带宽度的同时改善通带低频端的陡峭性。
在实施例4涉及的弹性波滤波器10D的并联臂谐振器401中，在谐振频率frp和反谐振频率fap之间产生的上述的新的模式可认为是通过以3个浮动间隔剔除电极452为边界将并联臂谐振器401的IDT电极分割成两个而产生的模式。
另外，在实施例4涉及的弹性波滤波器10D中，虽然设为仅在谐振频率frp最高的并联臂谐振器401配置了3个浮动间隔剔除电极452的结构，但也可以在其他并联臂谐振器202～204也配置3个浮动间隔剔除电极452。
此外，配置在谐振频率frp最高的并联臂谐振器401的浮动间隔剔除电极452不限定为3个，可以为4个以上。
此外，在实施例4涉及的弹性波滤波器10D中，虽然设为仅在谐振频率frp最高的并联臂谐振器401配置了3个浮动间隔剔除电极452的结构，但也可以在反谐振频率fas最低的串联臂谐振器101配置上述的3个浮动间隔剔除电极。由此，能够在确保通带宽度的同时改善通带高频端的陡峭性。此外，配置在反谐振频率fas最低的串联臂谐振器101的浮动间隔剔除电极不限定为3个，也可以为4个以上。
另外，在实施例4涉及的弹性波滤波器10D中，也可以是，3个浮动间隔剔除电极452相对于IDT电极的弹性波传播方向上的中心而非对称地配置。即，在图9A中，比3个浮动间隔剔除电极452更靠声表面波传播方向侧的电极指根数、和比3个浮动间隔剔除电极452更靠与声表面波传播方向相反方向侧的电极指根数可以不同。
(其他变形例等)
以上，关于本实用新型的实施方式涉及的弹性波滤波器，列举实施方式以及实施例进行了说明，但本实用新型的弹性波滤波器不限定于上述实施方式以及实施例。将上述实施方式以及实施例中的任意的构成要素组合而实现的其它的实施方式、对上述实施方式以及实施例在不脱离本实用新型的主旨的范围内实施本领域技术人员想到的各种变形而得到的变形例、内置了本实用新型的实施方式以及实施例涉及的弹性波滤波器的各种设备电包含于本实用新型。
工业实用性
本实用新型作为能够适用于被多频段化以及多模式化的频率标准的陡峭性高的弹性波滤波器，能够广泛利用于便携式电话等通信设备。

Claims (6)

1.一种弹性波滤波器，至少具备配置在连结两个输入输出端子的路径上的一个以上的串联臂谐振器，其特征在于，
所述一个以上的串联臂谐振器分别是具有形成在具有压电性的基板上的叉指换能器IDT电极的弹性波谐振器，
所述一个以上的串联臂谐振器的谐振频率位于所述弹性波滤波器的通带内，
所述IDT电极具有一对由多个电极指和汇流条电极构成的梳形电极，所述多个电极指在与弹性波传播方向交叉的方向上延伸并相互平行地配置，所述汇流条电极将构成该多个电极指的电极指的一端彼此连接，
将所述多个电极指中与任何的所述汇流条电极均不连接的电极指定义为浮动间隔剔除电极，
第1串联臂谐振器的所述IDT电极具有不夹着构成所述一对梳形电极中的一个梳形电极的电极指而配置的两个以上的所述浮动间隔剔除电极，所述第1串联臂谐振器是所述一个以上的串联臂谐振器中反谐振频率最低的串联臂谐振器。
2.一种弹性波滤波器，至少具备配置在连结两个输入输出端子的路径与接地之间的一个以上的并联臂谐振器，其特征在于，
所述一个以上的并联臂谐振器分别是具有形成在具有压电性的基板上的IDT电极的弹性波谐振器，
所述一个以上的并联臂谐振器的反谐振频率位于所述弹性波滤波器的通带内，
所述IDT电极具有一对由多个电极指和汇流条电极构成的梳形电极，所述多个电极指在与弹性波传播方向交叉的方向上延伸并相互平行地配置，所述汇流条电极将构成该多个电极指的电极指的一端彼此连接，
将所述多个电极指中与任何的所述汇流条电极均不连接的电极指定义为浮动间隔剔除电极，
第1并联臂谐振器的所述IDT电极具有不夹着构成所述一对梳形电极中的一个梳形电极的电极指而配置的两个以上的所述浮动间隔剔除电极，所述第1并联臂谐振器是所述一个以上的并联臂谐振器中谐振频率最高的并联臂谐振器。
3.根据权利要求1或2所述的弹性波滤波器，其特征在于，
所述两个以上的所述浮动间隔剔除电极夹着构成所述一对梳形电极中的另一个梳形电极的一个电极指而配置。
4.根据权利要求1或2所述的弹性波滤波器，其特征在于，
所述两个以上的所述浮动间隔剔除电极不夹着构成所述一对梳形电极中的另一个梳形电极的电极指而连续地配置。
5.根据权利要求1或2所述的弹性波滤波器，其特征在于，
所述两个以上的所述浮动间隔剔除电极相对于所述IDT电极的所述弹性波传播方向上的中心而非对称地配置。
6.根据权利要求1或2所述的弹性波滤波器，其特征在于，
所述基板具备：
压电膜，在一个面上形成了所述IDT电极；
高声速支承基板，所传播的体波声速与在所述压电膜传播的弹性波声速相比为高速；和
低声速膜，配置在所述高声速支承基板与所述压电膜之间，所传播的体波声速与在所述压电膜传播的体波声速相比为低速。
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