CN210897187U

CN210897187U - 用于电子显微镜的电子枪

Info

Publication number: CN210897187U
Application number: CN201922335040.2U
Authority: CN
Inventors: 李传林; 陆广烈; 李自立; 姚莉
Original assignee: Suzhou Youbo Photoelectric Technology Co ltd
Current assignee: Suzhou Youbo Photoelectric Technology Co ltd
Priority date: 2019-12-23
Filing date: 2019-12-23
Publication date: 2020-06-30
Anticipated expiration: 2029-12-23

Abstract

本实用新型涉及一种用于电子显微镜的电子枪，包括壳体、耐压件、绝缘件、阴极、聚焦极及填充件；壳体包括外壳及连接外壳的保护盖；外壳与耐压件的内侧围设形成密封腔；绝缘件的一端抵接保护盖，另一端抵接耐压件的外侧；阴极及聚焦极分别从耐压件延伸至密封腔；填充件用于填充绝缘件及耐压件的外侧以固定阴极及聚焦极。本用于电子显微镜的电子枪通过外壳与耐压件形成密封腔，填充件填充绝缘件及耐压件围设的空间，既确保良好的绝缘及密封，又便于拆卸；本用于电子显微镜的电子枪结构简单、生产方便、降低生产成本。

Description

用于电子显微镜的电子枪

技术领域

本实用新型涉及电子加速器技术领域，特别是涉及一种用于电子显微镜的电子枪。

背景技术

电子显微镜的电子枪是电子直线加速器中一个十分重要部件，其工作参数和技术指标对加速器性能影响极大。电子显微镜的电子枪是产生高压的地方，有几万伏到几十万伏，所以既要绝缘又要密封，而且，电子枪是电真空器件，成本高昂，对生产加工要求较高。目前，国产电子显微镜都是需要高温下密封作业，容易烫坏绝缘零件；而且，密封有问题后，不容易拆卸，只能报废，生产成本高。

实用新型内容

基于此，有必要针对上述问题，提供一种结构简单、使用方便的用于电子显微镜的电子枪。

一种用于电子显微镜的电子枪，包括壳体、耐压件、绝缘件、阴极、聚焦极及填充件；所述壳体包括外壳及连接所述外壳的保护盖；所述外壳与耐压件的内侧围设形成密封腔；所述绝缘件的一端抵接所述保护盖，另一端抵接所述耐压件的外侧；所述阴极及聚焦极分别从所述耐压件延伸至密封腔；所述填充件用于填充所述绝缘件及耐压件的外侧以固定所述阴极及聚焦极。

在其中一个实施例中，还包括安装于所述外壳与耐压件之间的第一密封件。

在其中一个实施例中，所述外壳的内侧设置凸台；所述耐压件安装于凸台上；所述凸台用于容置所述第一密封件。

在其中一个实施例中，所述耐压件包括安装座及连接所述安装座的凸环；所述凸环抵接凸台。

在其中一个实施例中，还包括第二密封件；所述第二密封件安装于所述耐压件的外侧；所述阴极及聚焦极穿设所述第二密封件。

在其中一个实施例中，所述绝缘件包括固定部及连接所述固定部的连接部；所述固定部的外侧连接所述外壳的内侧；所述固定部的一端抵接所述耐压件的外侧，另一端与所述外壳平齐；所述连接部抵接所述外壳的外侧。

在其中一个实施例中，所述壳体还包括底壳、及连接所述底壳的固定件；所述底壳连接所述外壳；所述固定件用于固定所述底壳及外壳。

在其中一个实施例中，所述壳体还包括连接所述底壳的连接管；所述连接管的一端连通所述密封腔，另一端连通外部的抽气设备。

在其中一个实施例中，所述外壳、耐压件及绝缘件同轴设置。

在其中一个实施例中，所述密封腔为真空。

本实用新型的有益效果：

本实用新型的用于电子显微镜的电子枪通过外壳与耐压件形成密封腔，填充件填充绝缘件及耐压件围设的空间，既确保良好的绝缘及密封，又便于拆卸；本用于电子显微镜的电子枪结构简单、生产方便、降低生产成本。

附图说明

图1为本实用新型的一实施例的用于电子显微镜的电子枪的组装结构示意图；

图2为图1所示的用于电子显微镜的电子枪中耐压件、绝缘件、阴极、聚焦极及第二密封件的结构示意图。

附图标注说明：

用于电子显微镜的电子枪100；

壳体10、外壳11、凸台111、密封腔112、保护盖12、底壳13、孔槽131、固定件14、连接管15、耐压件20、安装座21、凸环22；

绝缘件30、固定部31、通孔310、连接部32、阴极40、阴极线缆41、聚焦极50、聚焦极线缆51、填充件60、第一密封件70、第二密封件80。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型，下面将对本实用新型进行更全面的描述。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容的理解更加透彻全面。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。

请参阅图1与图2，为本实用新型一实施方式的用于电子显微镜的电子枪100，包括壳体10、耐压件20、绝缘件30、阴极40、聚焦极50及填充件60；壳体10与耐压件20的内侧围设形成密封腔112；本实用新型的用于电子显微镜的电子枪100通过壳体10与耐压件20形成密封腔112，填充件60填充绝缘件 30及耐压件20围设的空间，既确保良好的绝缘及密封，又便于拆卸。

如图1所示，在本实施例中，壳体10包括外壳11及连接外壳11的保护盖 12；外壳11的内侧设置凸台111；可选地，凸台111下凹设有安装槽(图未标)；外壳11与耐压件20的内侧围设形成密封腔112；进一步地，外壳11为圆筒状；密封腔112为真空；外壳11与保护盖12通过螺钉固定。壳体10还包括底壳13、及连接底壳13的固定件14；底壳13连接外壳11以围设成密封腔112；固定件 14用于固定底壳13及外壳11。可选地，底壳13远离保护盖12的一端设有孔槽131，孔槽131用于连通外部的透镜。为了确保密封腔112为真空状态，壳体 10还包括连接底壳13的连接管15；连接管15的一端连通密封腔112，另一端连通外部的抽气设备。

请一并参阅图2，耐压件20安装于凸台111上以牢固连接；可选地，耐压件20包括安装座21及连接安装座21的凸环22；凸环22抵接凸台111。进一步地，耐压件20为高压瓷瓶。为了确保绝缘性，绝缘件30的一端抵接保护盖 12，另一端抵接耐压件20的外侧；可选地，绝缘件30包括固定部31及连接固定部31的连接部32；固定部31的外侧连接外壳11的内侧；固定部31的一端抵接耐压件20的外侧，另一端与外壳11平齐；连接部32抵接外壳11的外侧，以卡接外壳11。进一步地，固定部31的中部设有通孔310；外壳11、耐压件 20及绝缘件30同轴设置。在一实施例中，阴极40及聚焦极50分别从耐压件 20延伸至密封腔112；可选地，阴极40为高压阴极；聚焦极50为灯丝极。进一步地，阴极40还包括阴极线缆41，聚焦极50还包括聚焦极线缆51；阴极线缆41及聚焦极线缆51均经连接部3延伸至固定部31的通孔310。

在一实施例中，填充件60用于填充绝缘件30及耐压件20的外侧以固阴极 40及聚焦极50。可选地，填充件60用于填充耐压件20的外侧及固定部31的通孔310围设的空间。进一步地，填充件为60硅胶，既防止高压爬电，又容易加工，避免高温作业对绝缘零件造成损伤；而且，密封有问题后，容易拆卸，降低生产成本，避免直接报废造成浪费。为了确保密封腔112的密封性，本用于电子显微镜的电子枪100还包括安装于外壳11与耐压件20之间的第一密封件70；可选地，凸台111的安装槽用于容置第一密封件70；第一密封件70为O 型密封圈。进一步地，本用于电子显微镜的电子枪100还包括第二密封件80；第二密封件80安装于耐压件20的外侧；阴极40及聚焦极50穿设第二密封件 80，以确保密封性；可选地，第二密封件80为密封橡皮。

生产时，在耐压件20及外壳11的凸台111间安装好第一密封件70，在耐压件20上安装好第二密封件80以供阴极40及聚焦极50穿设；接着，启动抽气设备抽真空，使密封腔112达到真空要求后，再往固定部31的通孔310浇注填充件60；若浇注后出现不良情况，拆卸后重新浇注。

本实用新型的用于电子显微镜的电子枪100通过外壳11与耐压件20形成密封腔112，填充件60填充绝缘件30及耐压件20围设的空间，既确保良好的绝缘及密封，又便于拆卸；本用于电子显微镜的电子枪100结构简单、生产方便、降低生产成本。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims

1.一种用于电子显微镜的电子枪，其特征在于，包括壳体、耐压件、绝缘件、阴极、聚焦极及填充件；所述壳体包括外壳及连接所述外壳的保护盖；所述外壳与耐压件的内侧围设形成密封腔；所述绝缘件的一端抵接所述保护盖，另一端抵接所述耐压件的外侧；所述阴极及聚焦极分别从所述耐压件延伸至密封腔；所述填充件用于填充所述绝缘件及耐压件的外侧以固定所述阴极及聚焦极。

2.根据权利要求1所述的用于电子显微镜的电子枪，其特征在于，还包括安装于所述外壳与耐压件之间的第一密封件。

3.根据权利要求2所述的用于电子显微镜的电子枪，其特征在于，所述外壳的内侧设置凸台；所述耐压件安装于凸台上；所述凸台用于容置所述第一密封件。

4.根据权利要求3所述的用于电子显微镜的电子枪，其特征在于，所述耐压件包括安装座及连接所述安装座的凸环；所述凸环抵接凸台。

5.根据权利要求1所述的用于电子显微镜的电子枪，其特征在于，还包括第二密封件；所述第二密封件安装于所述耐压件的外侧；所述阴极及聚焦极穿设所述第二密封件。

6.根据权利要求1所述的用于电子显微镜的电子枪，其特征在于，所述绝缘件包括固定部及连接所述固定部的连接部；所述固定部的外侧连接所述外壳的内侧；所述固定部的一端抵接所述耐压件的外侧，另一端与所述外壳平齐；所述连接部抵接所述外壳的外侧。

7.根据权利要求1所述的用于电子显微镜的电子枪，其特征在于，所述壳体还包括底壳、及连接所述底壳的固定件；所述底壳连接所述外壳；所述固定件用于固定所述底壳及外壳。

8.根据权利要求7所述的用于电子显微镜的电子枪，其特征在于，所述壳体还包括连接所述底壳的连接管；所述连接管的一端连通所述密封腔，另一端连通外部的抽气设备。

9.根据权利要求1所述的用于电子显微镜的电子枪，其特征在于，所述外壳、耐压件及绝缘件同轴设置。

10.根据权利要求1所述的用于电子显微镜的电子枪，其特征在于，所述密封腔为真空。