CN210536942U - Mems麦克风 - Google Patents

Mems麦克风 Download PDF

Info

Publication number
CN210536942U
CN210536942U CN201921483561.6U CN201921483561U CN210536942U CN 210536942 U CN210536942 U CN 210536942U CN 201921483561 U CN201921483561 U CN 201921483561U CN 210536942 U CN210536942 U CN 210536942U
Authority
CN
China
Prior art keywords
pcb
metal shell
mems microphone
mems
sound hole
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201921483561.6U
Other languages
English (en)
Inventor
袁兆斌
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Goertek Microelectronics Inc
Original Assignee
Goertek Techology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Goertek Techology Co Ltd filed Critical Goertek Techology Co Ltd
Priority to CN201921483561.6U priority Critical patent/CN210536942U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN210536942U publication Critical patent/CN210536942U/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Electrostatic, Electromagnetic, Magneto- Strictive, And Variable-Resistance Transducers (AREA)
  • Details Of Audible-Bandwidth Transducers (AREA)

Abstract

本实用新型提供一种MEMS麦克风,包括由金属外壳和PCB形成的封装结构,所述金属外壳包括第一金属外壳和第二金属外壳,所述第一金属外壳、所述第二金属外壳分别与PCB板的两面相固定;在所述第一金属外壳与所述PCB板形成的封装结构内的PCB板上设置有MEMS芯片,所述第一金属外壳与所述PCB板形成的密闭空间为MEMS麦克风的后腔;在所述PCB板上与所述MEMS芯片相对应的位置设置有第一声孔,在所述第二金属外壳上设置有第二声孔,其中,所述第二金属外壳与所述PCB板形成的空腔为MEMS麦克风的前腔。利用本实用新型,能够解决现有的MEMS麦克风由于采用单个外壳的结构造成电磁屏蔽能力较弱的问题,且由于第一声孔与第二声孔错位设置,可以提升MEMS麦克风的抗吹气能力。

Description

MEMS麦克风
技术领域
本实用新型涉及电声转换技术领域,更为具体地,涉及一种MEMS麦克风。
背景技术
MEMS(Micro electro mechanical Systems,微机电***)麦克风是一种用微机械加工技术制作出来的电能换声器,其具有体积小、频响特性好、噪声低等特点。随着电子设备的小巧化、薄型化发展,MEMS麦克风被越来越广泛地运用到这些设备上。
图1示出了现有的MEMS麦克风的结构,如图1所示,MEMS麦克风包括由外壳1’和PCB板2’形成的封装结构,其中,在封装结构内部的PCB 板2’上设置有ASIC芯片4’和MEMS芯片3’,在PCB板2’上设置有与外部连通的声孔7’,声孔7’与MEMS芯片3’相连通,其中,MEMS芯片3’与PCB板2’形成与外部相连通的前腔13’,外壳1’与PCB板形2’成密闭的后腔14’。
现有的MEMS麦克风采用的单层的金属外壳结构,传统的单层外壳在实际应用中存在屏蔽电磁能力比较弱的问题,为解决上述问题,本实用新型提供了一种新的具有较高电磁屏蔽能力的MEMS麦克风。
实用新型内容
鉴于上述问题,本实用新型的目的是提供一种MEMS麦克风,以解决现有的MEMS麦克风由于采用单个外壳的结构造成电磁屏蔽能力较弱的问题。
本实用新型提供的MEMS麦克风,包括由金属外壳和PCB形成的封装结构,所述金属外壳包括第一金属外壳和第二金属外壳,所述第一金属外壳、所述第二金属外壳分别与PCB板的两面相固定;
在所述第一金属外壳与所述PCB板形成的封装结构内的PCB板上设置有 MEMS芯片,所述第一金属外壳与所述PCB板形成的密闭空间为MEMS麦克风的后腔;
在所述PCB板上与所述MEMS芯片相对应的位置设置有第一声孔,在所述第二金属外壳上设置有第二声孔,其中,所述第二金属外壳与所述PCB板形成的空腔为MEMS麦克风的前腔。
此外,优选的结构是,所述第一声孔与所述第二声孔错位设置,其中,
所述第一声孔用于连通MEMS芯片与所述前腔,所述第二声孔用于连通所述前腔与MEMS麦克风的外部。
此外,优选的结构是,所述PCB板设置有电连接部,所述电连接部位于所述后腔和所述前腔之外的外部环境中;所述MEMS麦克风通过所述电连接部与终端设备电连接。
此外,优选的结构是,所述电连接部上设置有焊盘,所述焊盘用于将所述MEMS麦克风与终端设备电连接。
此外,优选的结构是,所述电连接部为露出部,所述露出部位于所述PCB 板与所述第一金属外壳固定一侧的外部环境中和/或所述PCB板与所述第二金属外壳固定一侧的外部环境中。
此外,优选的结构是,所述电连接部为所述PCB板的侧壁部。
此外,优选的结构是,所述第一金属外壳、所述第二金属外壳分别通过焊锡膏与所述PCB板的正反两面相焊接。
此外,优选的结构是,在所述第一金属外壳与所述PCB板形成的封装结构内的PCB板上还设置有ASIC芯片,其中,所述ASIC芯片、所述MEMS 芯片均通过胶水固定在所述PCB板上。
此外,优选的结构是,所述MEMS芯片与所述ASIC芯片之间通过金属线电连接,并且所述ASIC芯片与所述PCB板之间通过金属线电连接。
从上面的技术方案可知,本实用新型提供的MEMS麦克风,通过采用两个金属外壳将封装结构内部的芯片两侧屏蔽包裹,从而补齐传统结构中PCB 板的电磁屏蔽能力的短板,提高产品的电磁屏蔽能力;通过将两个声孔的位置错开,改变气流的通道,能够避免外部气流直接冲击MEMS芯片的振膜,增强产品的抗吹气能力。
附图说明
通过参考以下结合附图的说明及权利要求书的内容,并且随着对本实用新型的更全面理解,本实用新型的其它目的及结果将更加明白及易于理解。
在附图中:
图1现有的MEMS麦克风结构示意图;
图2为根据本实用新型实施例的MEMS麦克风结构示意图。
其中的附图标记包括:11、第一金属外壳,12、第二金属外壳,2、PCB 板,3、MEMS芯片,4、ASIC芯片,5、金属线,6、金属线,7、第一声孔, 8、胶水,9、焊锡膏,10、焊盘,13、前腔,14、后腔,15、第二声孔,1’、外壳,2’、PCB板,3’、MEMS芯片,4’、ASIC芯片,7’、声孔,13’、前腔,14’、后腔。
在所有附图中相同的标号指示相似或相应的特征或功能。
具体实施方式
针对前述提出的现有的MEMS麦克风由于采用单个外壳的结构造成电磁屏蔽能力较弱的问题,本实用新型提供了一种可以提高产品的电磁屏蔽能力的MEMS麦克风。
以下将结合附图对本实用新型的具体实施例进行详细描述。
为了说明本实用新型提供的MEMS麦克风的结构,图2示出了根据本实用新型实施例的MEMS麦克风的结构。
如图2所示,本实用新型提供的MEMS麦克风,包括由金属外壳和PCB 板2形成的封装结构,金属外壳包括第一金属外壳11和第二金属外壳12,第一金属外壳11、第二金属外壳12分别与PCB板2的两面相固定;即:第一金属外壳11、第二金属外壳12分别通过焊锡膏9与PCB板2的正反两面焊接固定。
在本实用新型的实施例中,通过采用第一金属外壳11、第二金属外壳12 将内部的MEMS芯片3与ASIC芯片4完全包裹住,这种结构设计补齐了传统结构中PCB的电磁屏蔽能力的短板,可提供MEMS麦克风的电磁屏蔽能力。
在本实用新型的实施例中,在第一金属外壳11与PCB板2形成的封装结构内的PCB板2上设置有MEMS芯片3,第一金属外壳11与PCB板2形成的密闭空间为MEMS麦克风的后腔14。
其中,在PCB板2上与MEMS芯片3相对应的位置设置有第一声孔7,在第二金属外壳12上设置有第二声孔15,其中,第二金属外壳12与PCB板 2形成的空腔为MEMS麦克风的前腔13。
形成后腔14的第一金属外壳11上无任何开口,形成前腔13的第二金属外壳12上设置了一个与外界相连通的第二声孔15,并且第一声孔7与第二声孔15错位设置,其中,第一声孔7用于连通MEMS芯片3的背腔与前腔13,第二声孔15用于连通前腔13与MEMS麦克风的外部。
在本实用新型的实施例中,上述这种两个声孔错位设置的结构,与传统的MEMS麦克风结构相比,改变了气流的通道,传统通道只有一个直接与 MEMS芯片相连通的声孔,现在两个声孔错开设置的结构,避免外部气流直接冲击MEMS芯片的振膜,增大了MEMS麦克风的抗吹气能力。
在图2所示的实施例中,PCB板2设置有电连接部,电连接部位于后腔 14和前腔13之外的外部环境中;MEMS麦克风通过电连接部与终端设备电连接。或者,在电连接部上设置有焊盘10,焊盘10用于将MEMS麦克风与终端设备电连接。
其中,电连接部为露出部,露出部位于PCB板2与第一金属外壳11固定一侧的外部环境中和/或PCB板2与第二金属外壳12固定一侧的外部环境中;其中,电连接部为PCB板2的侧壁部。
在本实用新型的实施例中,在PCB板2未与金属外壳封装的位置设置有焊盘10,焊盘10用于终端设备电连接。如图2所示,在PCB的一端,并且未与金属外壳(第一金属外壳11和第二金属外壳12)焊接的位置,可设置与终端设备电连接的焊盘10,焊盘可放置在PCB板2正反面的任意一侧,在实际应用中,根据需求自行设定,这种设计形式,相比较于传统的只设置在PCB 板的底部的形式,增大了产品的装配灵活性。
此外,在本实用新型的实施例中,在第一金属外壳11与PCB板2形成的封装结构内的PCB板上2还设置有ASIC芯片4,其中,ASIC芯片4、MEMS 芯片3均通过胶水8固定在PCB板2上。MEMS芯片3与ASIC芯片4之间通过金属线5电连接,并且所ASIC芯片4与PCB板2之间通过金属线6电连接。
在本实用新型的实施例中,声音通过第二声孔15进入前腔,又通过第一声孔7作用于MEMS芯片3;MEMS芯片3将接收到的声音信号转换成模拟信号,并通过金属线5传递至ASIC芯片4;ASIC芯片4将接收到的模拟信号转换成数字信号,并进行信号放大及校准等处理,将处理后的数字信号通过金属线6传输至PCB板2,由于在PCB板2上设置有焊盘10,焊盘10与终端设备电连接,信号通过焊盘10传输出来。
通过上述实施方式可以看出,本实用新型提供的MEMS麦克风,通过采用两个金属外壳将封装结构内部的芯片两侧屏蔽包裹,从而补齐传统结构中 PCB板的电磁屏蔽能力的短板,提高产品的电磁屏蔽能力。通过将两个声孔的位置错开,改变气流的通道,能够避免外部气流直接冲击MEMS芯片的振膜,增强产品的抗吹气能力;同时,焊盘可以设置在PCB正反面的任意一侧,较传统结构,增大了产品的装配灵活性。
如上参照附图以示例的方式描述了根据本实用新型提出的MEMS麦克风。但是,本领域技术人员应当理解,对于上述本实用新型所提出的MEMS 麦克风,还可以在不脱离本实用新型内容的基础上做出各种改进。因此,本实用新型的保护范围应当由所附的权利要求书的内容确定。

Claims (9)

1.一种MEMS麦克风,包括由金属外壳和PCB形成的封装结构,其特征在于,所述金属外壳包括第一金属外壳和第二金属外壳,所述第一金属外壳、所述第二金属外壳分别与PCB板的两面相固定;
在所述第一金属外壳与所述PCB板形成的封装结构内的PCB板上设置有MEMS芯片,所述第一金属外壳与所述PCB板形成的密闭空间为MEMS麦克风的后腔;
在所述PCB板上与所述MEMS芯片相对应的位置设置有第一声孔,在所述第二金属外壳上设置有第二声孔,其中,所述第二金属外壳与所述PCB板形成的空腔为MEMS麦克风的前腔。
2.如权利要求1所述的MEMS麦克风,其特征在于,
所述第一声孔与所述第二声孔错位设置,其中,
所述第一声孔用于连通MEMS芯片与所述前腔,所述第二声孔用于连通所述前腔与MEMS麦克风的外部。
3.如权利要求1所述的MEMS麦克风,其特征在于,
所述PCB板设置有电连接部,所述电连接部位于所述后腔和所述前腔之外的外部环境中;所述MEMS麦克风通过所述电连接部与终端设备电连接。
4.如权利要求3所述的MEMS麦克风,其特征在于,
所述电连接部上设置有焊盘,所述焊盘用于将所述MEMS麦克风与终端设备电连接。
5.如权利要求3或4所述的MEMS麦克风,其特征在于,
所述电连接部为露出部,所述露出部位于所述PCB板与所述第一金属外壳固定一侧的外部环境中和/或所述PCB板与所述第二金属外壳固定一侧的外部环境中。
6.如权利要求3或4所述的MEMS麦克风,其特征在于,
所述电连接部为所述PCB板的侧壁部。
7.如权利要求1所述的MEMS麦克风,其特征在于,
所述第一金属外壳、所述第二金属外壳分别通过焊锡膏与所述PCB板的正反两面相焊接。
8.如权利要求1所述的MEMS麦克风,其特征在于,
在所述第一金属外壳与所述PCB板形成的封装结构内的PCB板上还设置有ASIC芯片,其中,所述ASIC芯片、所述MEMS芯片均通过胶水固定在所述PCB板上。
9.如权利要求8所述的MEMS麦克风,其特征在于,
所述MEMS芯片与所述ASIC芯片之间通过金属线电连接,并且所述ASIC芯片与所述PCB板之间通过金属线电连接。
CN201921483561.6U 2019-09-06 2019-09-06 Mems麦克风 Active CN210536942U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201921483561.6U CN210536942U (zh) 2019-09-06 2019-09-06 Mems麦克风

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201921483561.6U CN210536942U (zh) 2019-09-06 2019-09-06 Mems麦克风

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN210536942U true CN210536942U (zh) 2020-05-15

Family

ID=70604907

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201921483561.6U Active CN210536942U (zh) 2019-09-06 2019-09-06 Mems麦克风

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN210536942U (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2022067897A1 (zh) * 2020-09-29 2022-04-07 瑞声声学科技(深圳)有限公司 一种超声麦克风及移动终端

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2022067897A1 (zh) * 2020-09-29 2022-04-07 瑞声声学科技(深圳)有限公司 一种超声麦克风及移动终端

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1169886B2 (en) Microphone for a hearing aid
CN109413554B (zh) 一种指向性mems麦克风
KR20160096207A (ko) Mems­온­리드 마이크로폰용 인터포저
CN110868682B (zh) 一种mems麦克风
CN102223593A (zh) 具有对电磁干扰的屏蔽的封装式声学换能器装置
CN213186551U (zh) Mems麦克风的封装结构和电子设备
CN203788459U (zh) Mems麦克风
CN211056708U (zh) 硅麦克风封装结构
CN210536942U (zh) Mems麦克风
US20130195294A1 (en) Hearing instrument and method for manufacturing a hearing instrument
CN110662148B (zh) Mems麦克风
CN112714388B (zh) 指向性麦克风和电子设备
CN210958792U (zh) 一种mems麦克风及电子设备
CN210112276U (zh) 硅麦克风封装结构
CN111083622A (zh) 一种新型防射频干扰的微机电***麦克风
CN109068250B (zh) 一种麦克风和电子设备
CN110769357A (zh) 一种采用引线框架塑料壳的麦克风封装结构
CN112714389B (zh) 麦克风和电子设备
CN215935100U (zh) 一种麦克风结构、封装结构及电子设备
CN110526199A (zh) 硅麦克风封装结构及其封装方法
CN215835560U (zh) 一种mems麦克风
CN212588513U (zh) Mems麦克风
CN209882089U (zh) 一种指向性防尘硅麦克风
CN210807650U (zh) 一种防水防尘防振硅材料麦克风
CN211089969U (zh) 麦克风封装结构以及电子设备

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
TR01 Transfer of patent right
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20200610

Address after: 266104 room 103, 396 Songling Road, Laoshan District, Qingdao, Shandong Province

Patentee after: Goer Microelectronics Co.,Ltd.

Address before: 266100 Qingdao, Laoshan District, North House Street investment service center room, Room 308, Shandong

Patentee before: GOERTEK TECHNOLOGY Co.,Ltd.