CN210443541U

CN210443541U - 基板夹持装置

Info

Publication number: CN210443541U
Application number: CN201921834854.4U
Authority: CN
Inventors: 宋光辉; 李俊丽; 章富平; 徐兵; 廖飞红
Original assignee: Shanghai Micro Electronics Equipment Co Ltd
Current assignee: Shanghai Micro Electronics Equipment Co Ltd
Priority date: 2019-10-29
Filing date: 2019-10-29
Publication date: 2020-05-01
Anticipated expiration: 2029-10-29

Abstract

本实用新型提供了一种基板夹持装置，包括支撑结构、承载板以及夹持组件；所述支撑结构用于支撑所述承载板；所述承载板用于承载基板；所述夹持组件设置在所述支撑结构上，用于夹持放置于所述承载板上的基板。本实用新型提供的基板夹持装置的稳定性较好，以及，采用本实用新型中的基板夹持装置夹持基板以对基板进行测量时，测量精度较高。

Description

基板夹持装置

技术领域

本实用新型涉及半导体领域，特别涉及一种基板夹持装置。

背景技术

在半导体制造领域中制作基板时难免会使得基板产生缺陷(例如表面不连续性、线状缺陷、条纹、结石、气泡或者基板体的光学不均匀等缺陷)。因此通常需要对基板进行检测，来确定其是否存在缺陷。

相关技术中，基板夹持装置通常包括有承载板、滑动设置在承载板上的夹持组件、以及测量机台。其中，所述夹持组件围绕设置在所述承载板的边缘，并且在将基板放置于所述承载板后，会控制所述夹持组件朝靠近所述基板的方向运动，使得所述夹持组件抵触至所述基板的边沿，从而夹持住所述基板，以便后续利用测量装置对基板进行测量。

但是，相关技术中，所述基板夹持装置的测量精度较低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种基板夹持装置，以解决利用现有的基板夹持装置测量基板时测量精度不高的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种基板夹持装置，包括支撑结构、承载板以及夹持组件；

所述支撑结构用于支撑所述承载板；所述承载板用于承载基板；所述夹持组件设置在所述支撑结构上，用于夹持放置于所述承载板上的基板。

可选的，所述承载板的宽度尺寸等于基板的宽度尺寸。

可选的，所述夹持组件包括多个第一夹持件，所述第一夹持件可移动安装在所述支撑结构上，并且，所述多个第一夹持件围绕在所述承载板的外周，以在所述基板的外周夹持所述基板；

其中，当承载板上放置有所述基板时，各个第一夹持件均朝靠近所述承载板的方向移动，以抵触至所述承载板的边缘，且各个第一夹持件的顶端高于所述承载板，以夹持放置于承载板上的基板。

可选的，所述承载板的宽度尺寸大于基板的宽度尺寸。

可选的，所述承载板还以承载板的中心线划分为第一载台和第二载台，所述第一载台和所述第二载台分别用于承载半张基板；

所述第一载台靠近所述第二载台的一侧为第一载台的第一边缘，所述第一载台中与所述第一边缘相对的一侧为第一载台的第二边缘，所述第二载台靠近所述第一载台的一侧为第二载台的第三边缘，所述第二载台中与所述第三边缘相对的一侧为第二载台的第四边缘，以及，所述第一边缘、第二边缘、第三边缘和第四边缘上均设置有通孔，所述夹持组件包括多个第二夹持件，所述第二夹持件用于穿过所述通孔以夹持放置于承载板上的基板或半张基板；

以及，所述夹持组件还包括多个第一夹持件，所述多个第一夹持件可移动安装在所述支撑结构上，并且，所述多个第一夹持件围绕在所述承载板的外周，以夹持放置于承载板上基板或所述半张基板。

可选的，所述第二夹持件可升降安装在所述支撑结构上，其中，当所述第二夹持件处于上升状态时，所述第二夹持件的顶端高于所述承载板的表面；当所述第二夹持件处于下降状态时，所述第二夹持件的顶端低于所述承载板；

以及，当所述基板放置在所述承载板时，对应于所述第一边缘和第三边缘的第二夹持件处于下降状态，所述基板覆盖所述第一边缘和所述第三边缘，并且，对应于所述第二边缘和第四边缘的第二夹持件处于上升状态，以利用对应于所述第二边缘和第四边缘的第二夹持件，和围绕在承载板外周的第一夹持件夹持所述基板；

当所述半张基板放置在所述第一载台时，对应于所述第一边缘的第二夹持件处于下降状态，所述半张基板覆盖所述第一边缘，以及对应于所述第二边缘和所述第三边缘的第二夹持件均处于上升状态，以利用对应于所述第二边缘和第三边缘的第二夹持件，和围绕在第一载台外周的部分第一夹持件夹持所述半张基板；或者，对应于所述第二边缘的第二夹持件处于下降状态，所述半张基板覆盖所述第二边缘，对应于所述第一边缘的第二夹持件处于上升状态，以利用对应于所述第一边缘的第二夹持件，和围绕在第一载台外周的第一夹持件夹持所述半张基板；

当所述半张基板放置在所述第二载台时，对应于所述第三边缘的第二夹持件处于下降状态，所述半张基板覆盖所述第三边缘，对应于所述第一边缘和所述第四边缘的第二夹持件均处于上升状态，以利用对应于所述第一边缘和第四边缘的第二夹持件，和围绕在第二载台外周的部分第一夹持件夹持所述半张基板；或者，对应于所述第四边缘的第二夹持件处于下降状态，所述半张基板覆盖所述第四边缘，对应于所述第三边缘的第二夹持件处于上升状态，以利用对应于所述第三边缘的第二夹持件，和围绕在第二载台外周的第一夹持件夹持所述半张基板。

其中，所述第一载台靠近所述第二载台的一侧为第一载台的第一边缘，所述第一载台中与所述第一边缘相对的一侧为第一载台的第二边缘，所述第二载台靠近所述第一载台的一侧为第二载台的第三边缘，所述第二载台中与所述第三边缘相对的一侧为第二载台的第四边缘，以及，所述第一边缘、第二边缘、第三边缘和第四边缘上均贯穿设置有凹槽，所述凹槽与所述承载板的边界连接；

以及，所述夹持组件包括多个第一夹持件，所述第一夹持件可移动安装在所述支撑结构上，且围绕在所述承载板的外周，并且，所述第一夹持件在所述承载板的外周至所述承载板的凹槽之间能够往返移动，以用于夹持放置于所述承载板上的基板或半张基板；

其中，当所述基板放置在所述承载板时，所述基板覆盖所述第一边缘和第三边缘，以及，部分第一夹持件移动至对应于第二边缘和第四边缘的凹槽内，以利用移动至第二边缘和第四边缘凹槽处的第一夹持件，和围绕在承载板外周的第一夹持件夹持所述基板；

当所述半张基板放置在所述第一载台时，所述半张基板覆盖所述第一边缘，部分第一夹持件移动至对应于所述第二边缘和第三边缘的凹槽内，以利用移动至第二边缘和第三边缘凹槽处的第一夹持件，和围绕在第一载台外周的第一夹持件夹持所述半张基板；或者，所述半张基板覆盖所述第二边缘，部分第一夹持件移动至对应于第一边缘的凹槽内，以利用移动至第一边缘凹槽处的第一夹持件，和围绕在第一载台外周的第一夹持件夹持所述半张基板；

当所述半张基板放置在所述第二载台时，所述半张基板覆盖所述第三边缘，以及，部分第一夹持件移动至对应于所述第一边缘和第四边缘的凹槽内，以利用移动至第一边缘和第四边缘凹槽处的第一夹持件，和围绕在第二载台外周的第一夹持件夹持所述半张基板；或者，所述半张基板覆盖所述第四边缘，部分第一夹持件移动至对应于第三边缘的凹槽内，以利用移动至第三边缘凹槽处的第一夹持件，和围绕在第二载台外周的第一夹持件夹持所述半张基板。

可选的，所述装置还包括多个贯穿所述承载板的升降引脚，通过同步控制各个所述升降引脚的升降状态，使得所述升降引脚承载所述基板朝靠近承载板或远离承载板的方向运动，以传送所述基板。

可选的，所述承载板还包括多个吸附孔，用于吸附所述基板。

可选的，所述装置还包括与所述吸附孔连接的抽真空组件。

综上所述，本实用新型提供的基板夹持装置的夹持组件均设置在支撑结构上，如此，所述夹持组件的重量由所述支撑结构承载，无需由所述承载板承载，从而可以减少所述承载板的承重量，使其承重量较轻，避免承载板发生振动，确保了所述基板夹持装置的稳定性。如此，当利用所述装置夹持基板时，可以确保基板不发生振动，则当对所述基板进行测量时，测量精度较高。同时，由于所述夹持组件是围绕设置在所述承载板的外周的，从而无需在承载板上设置容纳夹持组件的通孔，确保了所述承载板表面的平整度，因此，利用本实施例中的装置夹持基板时，可以确保所述基板的表面不会发生倾斜，则当对所述基板进行测量时，可以进一步确保基板的测量精度。

附图说明

图1是本实用新型一实施例的一种基板夹持装置的主视图；

图2是本实用新型一实施例的一种基板夹持装置的俯视图；

图3是本实用新型一实施例的另一种基板夹持装置的俯视图；

图4是本实施例中利用图3的装置夹持基板的结构示意图；

图5和6是本实施例利用图3的装置夹持半张基板的结构示意图；

图7为本实施例的又一种基板夹持装置的结构示意图；

图8是本实施例中利用图7的装置夹持基板的结构示意图；

图9和图10是本实施例利用图7的装置夹持半张基板的结构示意图。

具体实施方式

承如背景技术所述，相关技术的中的夹持组件是全部设置在承载板上的，因此需要在所述承载板表面开设较多通孔来容纳所述夹持组件，则会影响到承载板的面部精度，使得所述承载板的平整度降低，导致放置于所述承载板上的基板的表面发生倾斜，影响测量精度。同时，夹持组件设置在承载板上时，所述承载板需承载所有夹持组件的重量，使得所述承载板的承重较重，易使得承载板发生振动，导致其模态不达标，则当利用承载板承载基板时，会使得所述基板也发生振动，测量时会影响到测量精度。

基于此，本实用新型提供了一种基板夹持装置，以解决现有技术中所存在的技术问题。

以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的基板夹持装置作进一步详细说明。根据下面说明书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

本实用新型保护了一种基板夹持装置，包括支撑结构、承载板以及夹持组件。其中，所述支撑结构用于支撑所述承载板；所述承载板用于承载基板；所述夹持组件设置在所述支撑结构上，用于夹持放置于所述承载板上的基板。

其中，需要说明的是，本实施例中提到的基板主要是指未经过切割的基板，即整张基板。但是，需要强调的是，在半导体领域中，通常会对基板进行切割得到半张基板，而对于所述半张基板同样需要进行测量，也即基板夹持装置还需具备夹持半张基板的功能。基于此，本实用新型提供了两种不同类型的基板夹持装置，分别为仅用于夹持基板的装置，以及可以夹持基板，也可以夹持半张基板的装置。以下为详细说明。

实施例一

实施例一中所介绍的为仅用于夹持基板的装置，其中，图1是本实用新型一实施例的一种基板夹持装置的主视图，图2是本实用新型一实施例的一种基板夹持装置的俯视图，如图1和图2所示，所述装置可以包括：支撑结构01、承载板02以及夹持组件03。

所述支撑结构01用于支撑所述承载板02，所述支撑结构01例如可以为大理石支架。所述承载板02用于承载基板，所述夹持组件03设置在所述支撑结构上，用于夹持放置于所述承载板02上的基板。

其中，在实施例一中，所述承载板的宽度尺寸等于所述基板的宽度尺寸(例如可以为1850mm)，以及，需要说明的是，所述承载板的宽度尺寸也可以小于所述基板的宽度尺寸，而本实施例一中以承载板的宽度尺寸等于所述基板的宽度尺寸为例进行说明。

基于此，本实施例一中的所述夹持组件03可以包括多个第一夹持件M，并且，所述多个第一夹持件M可升降安装在所述支撑结构上，并围绕在所述承载板的外周。当所述承载板上放置有基板时，所述第一夹持件M处于上升状态，其顶端高于所述承载板，以便可以夹持所述基板，从而确保所述基板在测量过程中不发生位移。

其中，为了实现对于所述基板的夹持，所述第一夹持件M具体可以滑动设置在所述支撑结构01上，并且，在将所述基板放置于承载板02之前，可以控制所述第一夹持件M移动至所述支撑结构02的边缘，使第一夹持件M与所述承载板02存在一定距离，以预留出一定空间来放置所述基板。当基板放置在所述承载板后，控制各个夹持组件均朝靠近所述承载板02的方向移动，以使各个第一夹持件M均抵触至所述承载板的边缘处，从而利用所述多个第一夹持件M可以夹持放置于所述承载板上的基板。

需要说明的是，本实施例中，在利用第一夹持件M夹持基板之前，通常是利用机械手臂将基板放置于承载板，其中，为了方便所述机械手臂放置基板，所述装置还包括有多个贯穿所述承载板的升降引脚04(参考图2)和与所述升降引脚连接驱动组件(图中未示出)，所述驱动组件可以为气缸或者电机，以用于控制所述升降引脚上升或下降，以通过所述升降引脚04可以传送所述基板。

具体的，在利用机械手臂放置所述基板之前，可以先控制所述升降引脚04处于上升状态，使其顶端高于所述承载板02的表面，再将所述基板放置于所述升降引脚04上，之后，控制所述多个升降引脚04同步下降，以将所述基板传送至承载板02表面。接着，即可控制各个第一夹持件M朝靠近所述承载板的方向运动，以夹持放置于所述承载板上的基板。

然而，还需要说明的是，本实施例中，在将基板放置于所述承载板时，难免会使得基板的放置位置不准确，例如使得基板的一部分位于所述基板之上，另一部分处于悬空状态。基于此，当后续控制各个第一夹持件M朝靠近所述承载板的方向移动时，部分第一夹持件M会先碰触到基板，并且其碰触到基板之后，仍然会朝靠近所述承载板的方向运动，并会推动所述基板一起运动，直至第一夹持件M抵触至承载板的边缘停止。则此时，所述基板的悬空部分会被夹持组件推动至承载板上方，使所述基板被正确放置于承载板上，则在本实施例中，所述第一夹持件M还会起到校正基板的位置的作用。

进一步地，所述承载板02表面还可以设置有多个吸附孔(图中未示出)、以及与所述吸附孔连接一抽真空组件(图中未示出)。并且，当利用所述第一夹持件M准确夹持了基板后，可以通过所述抽真空组件抽真空，以利用所述吸附孔将所述基板吸附在所述承载板02表面，确保其不发生位移，进而确保其测量精度。

实施例二

实施例二中所介绍的是一种既可以夹持基板，也可以夹持半张基板的装置，其中，图3是本实用新型一实施例的另一种基板夹持装置的俯视图。如图3所示，所述装置包括支撑结构01、承载板02、夹持组件03、升降引脚04、驱动组件(图中未示出)、吸附孔(图中未示出)以及抽真空组件(图中未示出)，其中，所述支撑结构01、承载板02、升降引脚04、驱动组件、吸附孔以及抽真空组件的设置方式以及位置与实施例一中相同，其具体介绍可以参见实施例一，本实施例在此不做赘述。

以及，在本实施例二中，所述承载板04的宽度尺寸应大于基板的宽度尺寸，其中，所述承载板04的宽度尺寸例如可以为1870mm。同时，参考图3所示，所述承载板02还以其中心线L划分为第一载台021和第二载台022。所述第一载台021及第二载台022分别用于承载半张基板。

其中，所述第一载台021靠近所述第二载台022的一侧为第一载台021的第一边缘A1，所述第一载台021中与所述第一边缘A1相对的一侧为第一载台021的第二边缘A2。所述第二载台022靠近所述第一载台021的一侧为第二载台022的第三边缘A3，所述第二载台022中与所述第三边缘A3相对的一侧为第二载台022的第四边缘A4。

以及，所述第一边缘A1、第二边缘A2、第三边缘A3和第四边缘A4上均设置有至少一个通孔(图3以均开设一个通孔为例进行说明)。并且，所述夹持组件03包括多个第二夹持件B，所述第二夹持件B用于穿过所述通孔以夹持放置于承载板上的基板或半张基板。并且，所述第二夹持件B可以升降安装在所述支撑结构上，当所述第二夹持件B处于上升状态时，所述第二夹持件的顶端高于所述承载板的表面；当所述第二夹持件处于下降状态时，所述第二夹持件的顶端低于所述承载板；以及，所述第二夹持件B还可移动设置在所述支撑结构01上，其还可以在所述通孔中往复移动，以夹持基板。

进一步地，参考图3所示，所述夹持组件03还可以包括多个第一夹持件M，所述多个第一夹持件M可移动安装在所述支撑结构01上，并且，所述多个第一夹持件M围绕在所述承载板02的外周。

其中，通过结合图3所示的第一夹持件M和第二夹持件B即可实现对于基板和半张基板的夹持。具体的，采用图3所示的装置实现夹持基板和半张基板的方法可以为：

首先，图4是本实施例中利用图3的装置夹持基板的结构示意图，结合图3和图4所示，将所述基板S1被放置于所述承载板02上时，对应于所述第一边缘A1和第三边缘A3的第二夹持件B处于下降状态，所述基板S1覆盖所述第一边缘A1和所述第三边缘A3，同时，对应于所述第二边缘A2和第四边缘A4的第二夹持件B处于上升状态，且对应于所述第二边缘A2和第四边缘A4的第二夹持件B均抵触至所述基板S1的边缘，以及，围绕在承载板外周的部分第一夹持件M移动至承载板02的边缘，以抵触至所述基板，从而利用对应于所述第二边缘A2和第四边缘A4的第二夹持件B，和围绕在承载板外周的部分第一夹持件M夹持所述基板S1。

其中，需要说明的是，在本实施例中，具体是使得“沿垂直于承载板中心线L的方向(例如水平方向)排列的第一夹持件M”移动至承载板的边缘，而沿中心线L延伸方向排列的第一夹持件M可以不用移动至承载板的边缘(例如参考图4)。

进一步地，图5和图6均是本实施例中利用图3的装置的第一载台夹持半张基板的结构示意图。其中，结合图3和图5所示，将所述半张基板S2放置于所述第一载台021上时，对应于所述第一边缘A1的第二夹持件B处于下降状态，所述半张基板S2覆盖所述第一边缘A1，同时，对应于所述第二边缘A2和所述第三边缘A3的第二夹持件B均处于上升状态，并且，对应于所述第二边缘A2和所述第三边缘A3的第二夹持件B均抵触至所述半张基板S2的边缘，以及，围绕在第一载台021外周的部分第一夹持件M移动至所述第一载台边缘，以抵触所述半张基板S2，从而利用对应于所述第二边缘A2和第三边缘A3的第二夹持件M，和围绕在第一载台021外周的部分第一夹持件夹持所述半张基板S2。

其中，本实施例中，可以使得第一载台021外周的“沿垂直于中心线L的方向排列的第一夹持件M”移动至第一载台021的边缘，而第一载台021外周的“沿中心线M延伸方向排列的第一夹持件M”可以不用移动至第一载台的边缘(例如参考图5)。

或者，结合图6和图3所示，当所述半张基板S2放置于第一载台021时，对应于所述第二边缘A2的第二夹持件B处于下降状态，所述半张基板S2覆盖所述第二边缘A2，同时，对应于所述第一边缘A1的第二夹持件B处于上升状态，且对应于所述第一边缘A1的第二夹持件B抵触至所述半张基板的边缘，以及，围绕在第一载台021外周的第一夹持件M均移动至所述第一载台边缘，以抵触所述半张基板S2，从而利用对应于所述第一边缘A1的第二夹持件B，和围绕在第一载台021外周的第一夹持件M夹持所述半张基板S2。

同理的，当所述半张基板放置在所述第二载台时，对应于所述第三边缘A3的第二夹持件B处于下降状态，使得所述半张基板覆盖所述第三边缘A3，同时对应于所述第一边缘A1和所述第四边缘A4的第二夹持件B均处于上升状态，以使得对应于所述第一边缘A1和所述第四边缘A4的第二夹持件B均抵触至所述半张基板的边缘，以及，围绕在第二载台021外周的部分第一夹持件M移动至所述第二载台边缘，以抵触所述半张基板S2，从而利用对应于所述第一边缘和第四边缘的第二夹持件，和围绕在第二载台外周的部分第一夹持件夹持所述半张基板。

其中，在本实施例中，具体可以使得第二载台022外周的“沿垂直于中心线L的方向排列的第一夹持件M”移动至第二载台的边缘，而沿中心线L延伸方向排列的第一夹持件M可以不用移动至第二载台的边缘。

或者，当所述半张基板放置在所述第二载台时，对应于所述第四边缘A4的第二夹持件处于下降状态，使得所述半张基板覆盖所述第四边缘A4，并且，同时，使得对应于所述第三边缘的第二夹持件处于上升状态，且对应于所述第三边缘A3的第二夹持件B抵触至所述半张基板的边缘，以及，使得围绕在第二载台021外周的第一夹持件M均移动至所述第二载台边缘，以抵触所述半张基板S2，从而利用对应于所述第三边缘的第二夹持件，和围绕在第二载台外周的第一夹持件夹持所述半张基板。

如上所述，本实施例中通过第一夹持件M和第二夹持件B可以实现对于基板和半张基板的夹持。

此外，需要说明的是，在实施例二中，应使得对应于第二边缘A2的通孔，与对应于第四边缘A4的通孔之间的距离D(参考图3)等于基板的宽度尺寸，以及，还应使得对应于第一边缘A1的通孔，与所述第二边缘A2远离第一边缘A1一侧的边界之间的距离E等于半张基板的宽度尺寸(例如可以为925mm)，以及，使得对应于第三边缘A3的通孔，与所述第四边缘远离第三边缘一侧的边界之间的距离E也等于半张基板的宽度尺寸，同时，还应使得所述第一边缘、第二边缘、第三边缘、第四边缘的宽度尺寸均相等(例如可以为10mm)，如此可以确保实现对于基板和半张基板的夹持。

由上可知，基于实施例二中的基板夹持装置可以实现半张基板和整张基板的夹持。

实施例三

实施例三中所介绍的同样是一种既可以夹持基板，也可以夹持半张基板的装置，其中，图7是本实用新型一实施例的又一种基板夹持装置的俯视图。所述装置包括支撑结构01、承载板02、夹持组件03、升降引脚04、驱动组件(图中未示出)、吸附孔(图中未示出)以及抽真空组件(图中未示出)，其中，所述支撑结构01、承载板02、夹持组件03、升降引脚04、驱动组件、吸附孔以及抽真空组件的设置方式以及位置与实施例一中相同，其具体介绍参见实施例一，本实施例在此不做赘述。

以及，在本实施例三中，所述承载板04的宽度尺寸大于基板的宽度尺寸，其中，所述承载板04的宽度尺寸例如可以为1870mm。同时，参考图7所示，所述承载板02还以其中心线L划分为第一载台021和第二载台022。所述第一载台021及第二载台022分别用于承载半张基板。

所述第一边缘A1、第二边缘A2、第三边缘A3和第四边缘A4上均垂直贯穿设置有凹槽N，所述凹槽N与所述承载板02的边界连接。具体的，如图7所示，设置在所述第一边缘A1和所述第三边缘A3的凹槽可以分别位于第一边缘和所述第二边缘的两端，以及，设置在所述第二边缘A2和第四边缘A4的凹槽分别侧向贯穿所述第二边缘和第四边缘。

以及，所述夹持组件03具体可以包括多个第一夹持件M，所述第一夹持件M可移动安装在所述支撑结构01上，且围绕在所述承载板02的外周，并且，所述第一夹持件M可以在所述承载板的外周至所述承载板的凹槽N之间往返移动，以用于夹持所述基板或所述半张基板。

具体的，采用图7所示的装置实现夹持基板和半张基板的方法可以为：

图8是本实施例中利用图7的装置夹持基板的结构示意图，结合图7和图8可知，将所述基板S1放置于所述承载板02上，并且，所述基板S1覆盖所述第一边缘A1和第三边缘A3，部分第一夹持件M移动至对应于第二边缘A2和第四边缘A4的凹槽N内，且抵触至所述基板S1的边缘，同时，使得其余的第一夹持件M移动至承载板的垂直于中心线L的边缘处，以抵触所述基板S1，从而利用移动至第二边缘A2和第四边缘A4凹槽处的第一夹持件M，和其余的第一夹持件夹持所述基板S1。

图9和图10是本实施例中利用图7的装置夹持半张基板的结构示意图。其中，结合图7和图9所示，所述半张基板S2放置在所述第二载台022，并且，所述半张基板S2覆盖所述第三边缘A3，以及，部分第一夹持件M移动至对应于所述第一边缘A1和第四边缘A4的凹槽内，且抵触至所述半张基板S2的边缘，同时，其余的第一夹持件M移动至第二承载板022的垂直于中心线L的边缘处，以抵触所述半张基板S2，从而利用移动至第一边缘A1和第四边缘A4凹槽处的第一夹持件M，和围绕在第二载台021外周的第一夹持件M夹持所述半张基板S2。

或者，结合图7和图10所示，所述半张基板S2覆盖所述第四边缘A4，部分第一夹持件M移动至对应于第三边缘A3的凹槽内，且抵触至所述半张基板S2的边缘，同时，其余的第一夹持件M移动至第二承载板022的外周，以抵触所述半张基板S2，从而利用移动至第三边缘A3凹槽处的第一夹持件M，和围绕在第二载台022外周的第一夹持件M夹持所述半张基板S2。

同理的，当所述半张基板放置在所述第一载台时，所述半张基板覆盖所述第一边缘，部分第一夹持件移动至对应于所述第二边缘和第三边缘的凹槽内，且抵触至所述半张基板的边缘，同时，其余的第一夹持件M移动至第一承载板的垂直于中心线L的边缘处，以抵触所述半张基板，从而利用移动至第二边缘和第三边缘凹槽处的第一夹持件，和围绕在第一载台外周的第一夹持件夹持所述半张基板；或者，所述半张基板覆盖所述第二边缘，部分第一夹持件移动至对应于第一边缘的凹槽内，且抵触至所述半张基板S2的边缘，同时，其余的第一夹持件M移动至第一承载板的外周，以抵触所述半张基板S2，从而利用移动至第一边缘凹槽处的第一夹持件，和围绕在第一载台外周的第一夹持件夹持所述半张基板。

此外，需要说明的是，在实施例三中，应使得对应于第二边缘A2的凹槽，与对应于第四边缘A4的凹槽之间的距离D(参考图7)等于基板的宽度尺寸，以及，还应使得对应于第一边缘A1的凹槽，与所述第二边缘A2远离第一边缘A1一侧的边界之间的距离E等于半张基板的宽度尺寸(例如可以为925mm)，以及，使得对应于第三边缘A3的凹槽，与所述第四边缘远离第三边缘一侧的边界之间的距离E也等于半张基板的宽度尺寸，同时，还应使得所述第一边缘、第二边缘、第三边缘、第四边缘的宽度尺寸均相等，如此可以确保实现对于基板和半张基板的夹持。

由上可知，基于实施例三中的基板夹持装置可以实现半张基板和整张基板的夹持。

此外，需要说明的是，针对实施例二和实施例三中的基板夹持装置，可以使得对应于第一载台021的升降引脚04连接一驱动组件，使得对应于第二载台022的升降引脚连接另一驱动组件。并且，当放置半张基板于承载板上时，可以仅开启其中一个驱动组件，以使得对应于第一载台021的升降引脚04处于工作状态，或者仅使得对应于第二载台022的升降引脚处于工作状态，从而可以降低功率，节约成本。

还需要说明的是，针对实施例一至实施例三的装置，其还可以包括于所述承载板相对设置的测量机台，以用于测量夹持在所述承载板上的基板或半张基板。

以及，针对实施例一至实施例三的装置，其中承载板的长度尺寸(即所述承载板在垂直于中心线L的方向上的尺寸)等于所述基板的长度尺寸(例如可以为1500mm)。

综上所述，本实用新型的实施例一至实施例三中分别提供了不同的基板夹持装置，其中，由于本实施例中的夹持组件和升降夹持组件均设置在支撑结构上，因此无需由所述承载板承载夹持组件和升降夹持组件的重量，从而可以减少所述承载板的承重量，使其承重量较轻，避免承载板发生振动，从而使得所述基板夹持装置的稳定性较好，进而当利用所述基板夹持装置夹持基板以测量基板时，可以确保所述基板的测量精度。

进一步地，针对实施例二和实施例三中的装置而言，其虽然需要在承载板上开设凹槽或通孔，但是，其需所需开设的凹槽或通孔的数量相应较小，例如仅需四个凹槽或通孔即可。则对比于相关技术中将全部夹持组件均设置在承载板上而言，本实用新型中实施例二和实施例三中在承载板所开设的凹槽或通孔的数量极少，从而可以确保本实施例中的承载板的面部精度，使其具备较为平整的表面。同时，所述实施例一中也根本无需在所述基板夹持装置中开设通孔，则同样可以确保基板夹持装置具备平整表面，如此，当利用本实用新型中的基板夹持装置夹持基板时，可以确保所述基板的表面不会发生倾斜，则当测量基板时，可以进一步确保基板的测量精度。

此外，由于上述实施例二和实施例三中装置既可以实现对于整张基板的夹持，还可以实现对于半张基板的夹持，还可以降低成本，提高利用率。

上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本实用新型领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。

Claims

1.一种基板夹持装置，其特征在于，包括支撑结构、承载板以及夹持组件；

2.如权利要求1所述的基板夹持装置，其特征在于，所述承载板的宽度尺寸等于基板的宽度尺寸。

3.如权利要求2所述的基板夹持装置，其特征在于，所述夹持组件包括多个第一夹持件，所述第一夹持件可移动安装在所述支撑结构上，并且，所述多个第一夹持件围绕在所述承载板的外周，以在所述基板的外周夹持所述基板；

4.如权利要求1所述的基板夹持装置，其特征在于，所述承载板的宽度尺寸大于基板的宽度尺寸。

5.如权利要求4所述的基板夹持装置，其特征在于，所述承载板还以承载板的中心线划分为第一载台和第二载台，所述第一载台和所述第二载台分别用于承载半张基板；

6.如权利要求5所述的基板夹持装置，其特征在于，所述第二夹持件可升降安装在所述支撑结构上，其中，当所述第二夹持件处于上升状态时，所述第二夹持件的顶端高于所述承载板的表面；当所述第二夹持件处于下降状态时，所述第二夹持件的顶端低于所述承载板；

7.如权利要求4所述的基板夹持装置，其特征在于，所述承载板还以承载板的中心线划分为第一载台和第二载台，所述第一载台和所述第二载台分别用于承载半张基板；

8.如权利要求1至7任一所述的基板夹持装置，其特征在于，所述装置还包括多个贯穿所述承载板的升降引脚，通过同步控制各个所述升降引脚的升降状态，使得所述升降引脚承载所述基板朝靠近承载板或远离承载板的方向运动，以传送所述基板。

9.如权利要求1至7任一所述的基板夹持装置，其特征在于，所述承载板还包括多个吸附孔，用于吸附所述基板。

10.如权利要求9所述的基板夹持装置，其特征在于，所述装置还包括与所述吸附孔连接的抽真空组件。