CN210194034U - 一种电蚀刻机的蚀刻台结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种电蚀刻机的蚀刻台结构，包括蚀刻台台体，蚀刻台台体上表面嵌设有轴承盘，蚀刻台台体上表面位于轴承盘内部套接有多工位旋转台，多工位旋转台上表面中心处开设有中心轴孔，中心轴孔内壁上方处设置有齿轮槽，多工位旋转台上表面开设有方形工位槽，方形工位槽内部对称设置有两个方形夹板，多工位旋转台上表面位于方形工位槽内部中心处开设有圆形工位槽，圆形工位槽内部对称设置有两个圆形夹板。本实用新型适用于工件的蚀刻，该装置可以同时对多个工件进行蚀刻，极大地提升了工件的蚀刻速度，且该装置可以适用于不同型号的工件进行蚀刻，使用范围广。

Description

一种电蚀刻机的蚀刻台结构

技术领域

本实用新型属于蚀刻技术领域，具体为一种电蚀刻机的蚀刻台结构。

背景技术

蚀刻是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。蚀刻技术可以分为湿蚀刻和干蚀刻两类，最早可用来制造铜版、锌版等印刷凹凸版，也广泛地被使用于减轻重量仪器镶板，铭牌及传统加工法难以加工之薄形工件等的加工;经过不断改良和工艺设备发展，亦可以用于航空、机械、化学工业中电子薄片零件精密蚀刻产品的加工，特别在半导体制程上，蚀刻更是不可或缺的技术；

而电蚀刻机的蚀刻台结构是一种用于电蚀刻机的蚀刻台，然而现有的蚀刻台结构简单，只能对同一类型的单个工件进行蚀刻，加工速度慢，效率低，且现有的蚀刻台在蚀刻的过程中稳定性较差，导致易出现蚀刻位置偏差，工件质量下降的缺陷。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种电蚀刻机的蚀刻台结构，具有蚀刻速度快，蚀刻工件质量好，且适用于不同型号的工件进行使用的优点。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种电蚀刻机的蚀刻台结构，包括蚀刻台台体，所述蚀刻台台体上表面嵌设有轴承盘，所述蚀刻台台体上表面位于所述轴承盘内部套接有多工位旋转台，所述多工位旋转台上表面中心处开设有中心轴孔，所述中心轴孔内壁上方处设置有齿轮槽，所述多工位旋转台上表面开设有方形工位槽，所述方形工位槽内部对称设置有两个方形夹板，所述方形夹板与所述方形工位槽内壁之间通过第一弹簧连接，所述多工位旋转台上表面位于所述方形工位槽内部中心处开设有圆形工位槽，所述圆形工位槽内部对称设置有两个圆形夹板，所述圆形夹板与所述圆形工位槽内壁之间通过第二弹簧连接。

进一步的，所述方形工位槽共设置有多个，且多个所述方形工位槽等距分布于所述多工位旋转台的上表面。

进一步的，所述方形夹板的宽度与所述方形工位槽的宽度相一致。

进一步的，所述方形夹板和所述圆形夹板内壁均铺设有夹垫，所述夹垫采用绝缘弹性结构。

进一步的，所述方形夹板远离所述夹垫的一侧中心处设置有连接卡扣，所述连接卡扣上固定有拉线，所述多工位旋转台上表面位于所述方形工位槽的一端位置处开设有线孔，所述线孔采用L形结构，所述线孔的一端延伸至所述方形工位槽内，所述拉线的一端穿过所述线孔并延伸至所述多工位旋转台外侧。

进一步的，所述方形夹板和所述圆形夹板的一侧均开设有弹簧安装孔。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型中，该蚀刻台采用中心可旋转的多工位旋转台，且在多工位旋转台上设置多个方形工位槽，这样的结构设置使得该装置可以同时对多个工件进行蚀刻，极大地提升了工件的蚀刻速度。

2、本实用新型中，方形工位槽可以安装方形的工件进行蚀刻，而该装置通过在多工位旋转台上表面位于方形工位槽内部中心处开设有圆形工位槽，通过圆形工位槽可以对圆形工件进行安装蚀刻，这样的结构设置使得该装置可以对多种不同型号的工件进行蚀刻，提升了该装置的适用范围。

3、本实用新型中，方形工位槽内部设置有两个通过第一弹簧连接的方形夹板，而在圆形工位槽内部设置有两个通过第二弹簧连接的圆形夹板，这样的结构设置使得该装置在对工件进行蚀刻时，方形工位槽内部的方形夹板和圆形工位槽内部的圆形夹板可以对工件进行夹持固定，这样可以保证工件在蚀刻过程中的稳定性，防止蚀刻时工件出现晃动导致蚀刻位置偏差的现象，保证了工件蚀刻的质量。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意简图；

图2为本实用新型中方形工位槽内部结构示意图；

图3为本实用新型中方形夹板结构示意图。

图中标记：1、蚀刻台台体；2、多工位旋转台；3、中心轴孔；4、轴承盘；5、线孔；6、拉线；7、方形工位槽；8、齿轮槽；9、连接卡扣；10、第一弹簧；11、方形夹板；12、圆形工位槽；13、第二弹簧；14、圆形夹板；15、夹垫；16、弹簧安装孔。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

其中相同的零部件用相同的附图标记表示。需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向，词语“底面”和“顶面”、“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。

实施例1，如图1-3所示，一种电蚀刻机的蚀刻台结构，包括蚀刻台台体1，蚀刻台台体1上表面嵌设有轴承盘4，蚀刻台台体1上表面位于轴承盘4内部套接有多工位旋转台2，多工位旋转台2上表面中心处开设有中心轴孔3，中心轴孔3内壁上方处设置有齿轮槽8，多工位旋转台2上表面开设有方形工位槽7，方形工位槽7共设置有多个，且多个方形工位槽7等距分布于多工位旋转台2的上表面。

通过采用上述技术方案：

该蚀刻台采用中心可旋转的多工位旋转台2，且在多工位旋转台2上设置多个方形工位槽7，这样的结构设置使得该装置可以同时对多个工件进行蚀刻，极大地提升了工件的蚀刻速度；

实施例2，如图1-3所示，多工位旋转台2上表面位于方形工位槽7内部中心处开设有圆形工位槽12，圆形工位槽12内部对称设置有两个圆形夹板14，圆形夹板14与圆形工位槽12内壁之间通过第二弹簧13连接，方形工位槽7内部对称设置有两个方形夹板11，方形夹板11与方形工位槽7内壁之间通过第一弹簧10连接，方形夹板11的宽度与方形工位槽7的宽度相一致，方形夹板11和圆形夹板14内壁均铺设有夹垫15，夹垫15采用绝缘弹性结构，方形夹板11和圆形夹板14的一侧均开设有弹簧安装孔16。

通过采用上述技术方案：

方形工位槽7可以安装方形的工件进行蚀刻，而该装置通过在多工位旋转台2上表面位于方形工位槽7内部中心处开设有圆形工位槽12，通过圆形工位槽12可以对圆形工件进行安装蚀刻，这样的结构设置使得该装置可以对多种不同型号的工件进行蚀刻，提升了该装置的适用范围；

方形工位槽7内部设置有两个通过第一弹簧10连接的方形夹板11，而在圆形工位槽12内部设置有两个通过第二弹簧13连接的圆形夹板14，这样的结构设置使得该装置在对工件进行蚀刻时，方形工位槽7内部的方形夹板11和圆形工位槽12内部的圆形夹板14可以对工件进行夹持固定，这样可以保证工件在蚀刻过程中的稳定性，防止蚀刻时工件出现晃动导致蚀刻位置偏差的现象，保证了工件蚀刻的质量。

实施例3，如图1-3所示，方形夹板11远离夹垫15的一侧中心处设置有连接卡扣9，连接卡扣9上固定有拉线6，多工位旋转台2上表面位于方形工位槽7的一端位置处开设有线孔5，线孔5采用L形结构，线孔5的一端延伸至方形工位槽7内，拉线6的一端穿过线孔5并延伸至多工位旋转台2外侧，拉线6的自由端设置有拉环，而拉环的直径大于线孔5的直径，这样在拉线6就不会缩入线孔5内部。

通过采用上述技术方案：

当拉动拉线6的自由端的拉环，使其拉动方形夹板11压缩第一弹簧10，即可使方形夹板11向方形工位槽7两端移动，这样的结构设置使得工件的安装方便。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种电蚀刻机的蚀刻台结构，包括蚀刻台台体（1），其特征在于：所述蚀刻台台体（1）上表面嵌设有轴承盘（4），所述蚀刻台台体（1）上表面位于所述轴承盘（4）内部套接有多工位旋转台（2），所述多工位旋转台（2）上表面中心处开设有中心轴孔（3），所述中心轴孔（3）内壁上方处设置有齿轮槽（8），所述多工位旋转台（2）上表面开设有方形工位槽（7），所述方形工位槽（7）内部对称设置有两个方形夹板（11），所述方形夹板（11）与所述方形工位槽（7）内壁之间通过第一弹簧（10）连接，所述多工位旋转台（2）上表面位于所述方形工位槽（7）内部中心处开设有圆形工位槽（12），所述圆形工位槽（12）内部对称设置有两个圆形夹板（14），所述圆形夹板（14）与所述圆形工位槽（12）内壁之间通过第二弹簧（13）连接。

2.如权利要求1所述的一种电蚀刻机的蚀刻台结构，其特征在于：所述方形工位槽（7）共设置有多个，且多个所述方形工位槽（7）等距分布于所述多工位旋转台（2）的上表面。

3.如权利要求1所述的一种电蚀刻机的蚀刻台结构，其特征在于：所述方形夹板（11）的宽度与所述方形工位槽（7）的宽度相一致。

4.如权利要求1所述的一种电蚀刻机的蚀刻台结构，其特征在于：所述方形夹板（11）和所述圆形夹板（14）内壁均铺设有夹垫（15），所述夹垫（15）采用绝缘弹性结构。

5.如权利要求4所述的一种电蚀刻机的蚀刻台结构，其特征在于：所述方形夹板（11）远离所述夹垫（15）的一侧中心处设置有连接卡扣（9），所述连接卡扣（9）上固定有拉线（6），所述多工位旋转台（2）上表面位于所述方形工位槽（7）的一端位置处开设有线孔（5），所述线孔（5）采用L形结构，所述线孔（5）的一端延伸至所述方形工位槽（7）内，所述拉线（6）的一端穿过所述线孔（5）并延伸至所述多工位旋转台（2）外侧。

6.如权利要求1所述的一种电蚀刻机的蚀刻台结构，其特征在于：所述方形夹板（11）和所述圆形夹板（14）的一侧均开设有弹簧安装孔（16）。

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