CN210073803U - 一种不规则晶圆固定装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于半导体芯片处理技术领域，具体提供了一种不规则晶圆固定装置,包括晶圆基座、移动卡件和限位卡扣组，限位卡扣组与晶圆基座固定连接，移动卡件可滑动的连接在晶圆基座上，且在晶圆基座与移动卡件之间设有弹簧，通过按压移动卡件使其相对限位卡扣组远离便可放置不规则晶圆，按压的同时也挤压弹簧，然后松手，在弹簧的回复力作用下使得移动卡件向限位卡扣组靠近从而将晶圆夹紧。该装置具有安全性能好、定位牢固、取放不规则晶圆便捷、可以长期反复使用，能防止晶圆固定时发生漂移；另一方面，采用压力可调节式固定，解决了传统夹具采用双面导电胶固定晶圆时不牢固、易漂移以及取放片不方便操作而导致晶圆易破损、污染的问题。
Description
技术领域
本实用新型属于半导体芯片处理技术领域，具体涉及一种不规则晶圆固定装置。
背景技术
在半导体器件的生产制造过程中，为保证晶圆正面电路的有效性，会通过匀胶、曝光、显影等系列工序对晶圆正面进行多层次的复杂工艺处理，以提供符合产品要求的芯片，晶圆在工艺生产过程中，时常需要人为分割成不规则形状进行工艺处理，特别是1/4、1/2片晶圆。当晶圆通过工艺流程处理到一定程度后，需要在扫描电子显微镜下测量晶圆正面图形的尺寸及观察晶圆表面的微观形貌，晶圆放入扫描电子显微镜时，不能被简单的放置，而是需要有专门的装置对其进行定位和夹持，以保证拍摄图片的质量。目前业内在扫描电子显微镜下固定不规则晶圆的方式是通过双面导电胶将晶圆背面粘贴在载台上，由于晶圆在扫描电子显微镜真空柱内需要倾斜角度，双面导电胶不能将晶圆完全固定，在重力影响下晶圆很容易发生漂移，导致扫描电子显微镜在拍摄晶圆正面图像时模糊不清、测量尺寸不准的问题。同时，测量完成后将晶圆从载台上取下过程中，由于双面导电胶有一定粘性，加上晶圆特有的物理性状，在取片时很容易导致晶圆破损和污染。
发明内容
本实用新型的目的是克服现有技术中不规则晶圆加工固定不方便的问题。
为此，本实用新型提供了一种
本实用新型的有益效果：本实用新型提供的这种不规则晶圆固定装置,包括晶圆基座、移动卡件和限位卡扣组，限位卡扣组与晶圆基座固定连接，移动卡件可滑动的连接在晶圆基座上，且在晶圆基座与移动卡件之间设有弹簧，通过按压移动卡件使其相对限位卡扣组远离便可放置不规则晶圆，按压的同时也挤压弹簧，然后松手，在弹簧的回复力作用下使得移动卡件向限位卡扣组靠近从而将晶圆夹紧。该装置通过将不规则晶圆夹紧固定在晶圆基座上，方便取放晶圆，且安全性能好、定位牢固、取放不规则晶圆便捷、可以长期反复使用，能防止晶圆固定时发生漂移；另一方面，采用压力可调节式固定，解决了普通晶圆固定夹具采用双面导电胶固定晶圆时不牢固、易漂移以及取放片不方便操作而导致晶圆易破损、污染的问题。
以下将结合附图对本实用新型做进一步详细说明。
附图说明
图1是本实用新型不规则晶圆固定装置的立体示意图；
图2是本实用新型不规则晶圆固定装置的侧面示意图；
图3是实用新型不规则晶圆固定装置的A-A剖视示意图；
图4是实用新型不规则晶圆固定装置的纵向剖视示意图。
附图标记说明：晶圆100，晶圆基座101，滑动卡扣102，限位卡扣组103，滑动板104，弹簧105，螺钉106，导向杆107，定位孔108，螺纹孔109。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征；在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
本实用新型提供了一种不规则晶圆固定装置，包括晶圆基座(101)、移动卡件组及限位卡扣组(103)，所述限位卡扣组(103)与所述晶圆基座(101)固定连接；所述移动卡件组包括滑动卡扣(102)、滑动板(104)、弹簧(105)及导向杆(107)，所述滑动卡扣(102)与所述滑动板(104)通过所述导向杆(107)固定连接，所述导向杆(107)与所述晶圆基座(101)滑动连接，所述滑动板(104)与所述晶圆基座(101)之间通过弹簧连接，所述滑动卡扣(102)上设有与所述限位卡扣组(103)共同将不规则晶圆(100)夹紧的夹紧面。
由此可知，如图1至图4所示，限位卡扣组103与晶圆基座101之间通过螺栓连接，滑动卡扣102的下方通过螺钉106与导向杆107固定连接，滑动卡扣102的上方扣在晶圆基座101的表面，这样导向杆107在晶圆基座101的里面滑槽内滑动时便可带动滑动卡扣102一起运动，导向杆107的另一端通过螺钉连接滑动板104，滑动板104扣在晶圆基座101的侧面，且滑动板104的一端与晶圆基座101之间通过弹簧105抵接，这样导向杆107在晶圆基座101内滑动时具有两个极限位置，一边通过滑动卡扣102限位，另一边通过滑动板104限位。在使用过程中，先通过按压滑动板104使得导向杆107滑动并带动滑动卡扣102远离限位卡扣组103运动，这样滑动卡扣102与限位卡扣组103之间的夹持空间变大，然后将不规则晶圆100放入夹持空间处，松开滑动板104，在弹簧105的回复力作用下将滑动板104向外推，滑动板104带动导向杆107及滑动卡扣102运动，从而夹紧不规则晶圆100并固定，当需要取下不规则晶圆100时重复上面的步骤即可，原理相同不再赘述。
优选的方案，所述限位卡扣组(103)包括两个对称设置在所述导向杆(107)两侧的限位卡扣，两个所述限位卡扣之间夹角为90度或180度。由此可知，如图1所示，两个限位卡扣与滑动卡扣102之间形成一个三角定位结构将不规则晶圆100固定。这里的角度还可以是其他的角度，通过不同的安装孔即可实现不同的限位卡扣组103的安装位置。
优选的方案，所述滑动卡扣(102)与所述导向杆(107)之间通过螺钉(106)固定连接。由此可知，如图2和图3所示，螺钉106先穿过滑动卡扣102上的光孔，然后旋转螺钉106与导向杆107上的螺纹孔进行配合，这样便可将滑动卡扣102压紧在导向杆107的端部。同理，滑动板104与导向杆107之间通过同样的原理实现螺钉连接。
优选的方案，所述晶圆基座(101)上设有多个螺栓孔，所述限位卡扣组(103)与所述晶圆基座(101)通过螺栓连接。如图3所示，通过将限位卡扣组103安装在不同的螺栓孔上便可以调节夹紧的空间大小，实现更多大小不同的晶圆100的夹紧固定，这里图中的螺栓孔不仅仅限于上面显示的四个，还可以根据实际需要固定的不规则晶圆的大小和形状来设计更多的螺栓孔。
优选的方案，所述晶圆基座(101)上设有阶梯通孔，所述弹簧(105)一端抵靠在所述阶梯孔上，另一端抵靠在所述滑动板(104)的侧壁上。由此可知，如图3和图4所示，多个弹簧105设在晶圆基座101与滑动板104之间形成挤压状态以夹紧晶圆。
优选的方案，所述导向杆(107)包括多个，各所述导向杆(107)对称布置在所述晶圆基座(101)的对称轴的两侧。由此可知，如图3所示的导向杆107有两根，还可以是更多根，多根能提高滑道的稳定性。
优选的方案，所述弹簧(105)包括多个，各所述导向杆(107)分别贯穿各所述弹簧(105)。由此可知，多个弹簧105提高了回复力的强度，使得不规则晶圆100被夹持的更紧，导向杆107穿过弹簧105可以防止弹簧朝径向偏移。
优选的方案，所述晶圆基座(101)上设有用于与显微镜固定的螺纹孔(108)。由此可知，如图3和图4所示，晶圆基座101的底端中心设有螺纹孔108，当将不规则晶圆100装夹固定在晶圆基座101上后，将晶圆基座101通过第一螺纹孔108固定在扫描电子显微镜载台上，依次测量晶圆正面不同位置的图形尺寸及观察晶圆表面的微观形貌，完成晶圆的扫描和测量。
该固定装置的操作过程原理如下：将晶圆基座101单手放置在手上，同时采用手指将滑动板104按压到最底部后，再将不规则晶圆100正面朝上平放在晶圆基座101的圆形平台上，放置时将不规则晶圆100的圆弧边靠近滑动卡扣102的夹持端，然后缓慢松开手指，使滑动卡扣102在弹簧105的弹力作用下将不规则晶圆100夹紧固定在滑动卡扣102与限位卡扣形成的三角形包围中，此时不规则晶圆100的弧边与滑动卡扣102的弧边相切，直角边分别与两个限位卡扣的直边相切，再将晶圆基座101背面上的第一螺纹孔108对准扫描电子显微镜载台上的螺杆，顺时针将晶圆基座101拧紧固定在扫描电子显微镜载台上，将载台移动到扫描电子显微镜真空柱后，依次测量不规则晶圆正面不同位置的图形尺寸及观察晶圆表面的微观形貌，完成整个不规则晶圆的扫描和测量。
本实用新型的有益效果：本实用新型提供的这种不规则晶圆固定装置,包括晶圆基座、移动卡件和限位卡扣组，限位卡扣组与晶圆基座固定连接，移动卡件可滑动的连接在晶圆基座上，且在晶圆基座与移动卡件之间设有弹簧，通过按压移动卡件使其相对限位卡扣组远离便可放置不规则晶圆，按压的同时也挤压弹簧，然后松手，在弹簧的回复力作用下使得移动卡件向限位卡扣组靠近从而将晶圆夹紧。该装置通过将不规则晶圆夹紧固定在晶圆基座上，方便取放晶圆，且安全性能好、定位牢固、取放不规则晶圆便捷、可以长期反复使用，能防止晶圆固定时发生漂移；另一方面，采用压力可调节式固定，解决了普通晶圆固定夹具采用双面导电胶固定晶圆时不牢固、易漂移以及取放片不方便操作而导致晶圆易破损、污染的问题。
以上例举仅仅是对本实用新型的举例说明，并不构成对本实用新型的保护范围的限制，凡是与本实用新型相同或相似的设计均属于本发明的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种不规则晶圆固定装置，其特征在于：包括晶圆基座(101)、移动卡件组及限位卡扣组(103)，所述限位卡扣组(103)与所述晶圆基座(101)固定连接；
所述移动卡件组包括滑动卡扣(102)、滑动板(104)、弹簧(105)及导向杆(107)，所述滑动卡扣(102)与所述滑动板(104)通过所述导向杆(107)固定连接，所述导向杆(107)与所述晶圆基座(101)滑动连接，所述滑动板(104)与所述晶圆基座(101)之间通过弹簧连接，所述滑动卡扣(102)上设有与所述限位卡扣组(103)共同将不规则晶圆(100)夹紧的夹紧面。
2.根据权利要求1所述的不规则晶圆固定装置，其特征在于：所述限位卡扣组(103)包括两个对称设置在所述导向杆(107)两侧的限位卡扣，两个所述限位卡扣之间夹角为90度或180度。
3.根据权利要求1所述的不规则晶圆固定装置，其特征在于：所述滑动卡扣(102)与所述导向杆(107)之间通过螺钉(106)固定连接。
4.根据权利要求1所述的不规则晶圆固定装置，其特征在于：所述晶圆基座(101)上设有多个螺栓孔，所述限位卡扣组(103)与所述晶圆基座(101)通过螺栓连接。
5.根据权利要求1所述的不规则晶圆固定装置，其特征在于：所述晶圆基座(101)上设有阶梯通孔，所述弹簧(105)一端抵靠在所述阶梯通孔上，另一端抵靠在所述滑动板(104)的侧壁上。
6.根据权利要求1所述的不规则晶圆固定装置，其特征在于：所述导向杆(107)包括多个，各所述导向杆(107)对称布置在所述晶圆基座(101)的对称轴的两侧。
7.根据权利要求6所述的不规则晶圆固定装置，其特征在于：所述弹簧(105)包括多个，各所述导向杆(107)分别贯穿各所述弹簧(105)。
8.根据权利要求1所述的不规则晶圆固定装置，其特征在于：所述晶圆基座(101)上设有用于与显微镜固定的螺纹孔(108)。
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| CN201920618478.9U CN210073803U (zh) | 2019-04-30 | 2019-04-30 | 一种不规则晶圆固定装置 |
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| CN (1) | CN210073803U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115303712A (zh) * | 2022-09-05 | 2022-11-08 | 北京中科科仪股份有限公司 | 晶圆传输装置 |
-
2019
- 2019-04-30 CN CN201920618478.9U patent/CN210073803U/zh active Active
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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