CN209866844U - 被清洗工件表面不结冰的干冰雪精密清洗*** - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种被清洗工件表面不结冰的干冰雪精密清洗***，包括推动气源、气管、液态二氧化碳源、液管、同轴喷管、同轴喷嘴和加热管，气管的入口与高压气源的出口连接，液管的入口与液态二氧化碳源的出口连接，气管的出口与液管的出口均与同轴喷管的入口连接，同轴喷管的出口与同轴喷嘴的入口连接；内部设有电加热丝或电加热管的加热管串联安装于气管上。本实用新型通过增加加热管对推动气体进行加热，使同轴喷管内和通过同轴喷嘴喷出的干冰雪的温度提高，加热的推送气体加快干冰雪中的固体二氧化碳升华、气化，气化产生的爆发力使其清洁效果更好；由于温度升高，清洁工件表面不会结冰，提高了清洁效果；同时温度升高能防止喷嘴结冰堵塞。

Description

被清洗工件表面不结冰的干冰雪精密清洗***

技术领域

本实用新型涉及一种干冰雪精密清洗***，尤其涉及一种被清洗工件表面不结冰的干冰雪精密清洗***。

背景技术

干冰雪精密清洗装置广泛用于光纤端面、光学镜头、精密模具、焊接夹具和晶圆等工件的清洁处理，其以液化二氧化碳为原料，用推送气体吹送喷出形成推送雪花状干冰微粒，对工件表面的污垢或灰尘进行清洗，在电学、光学领域中使用广泛。

传统的干冰干冰雪精密清洗装置没有加热功能，其喷出的干冰雪微粒温度很低，会导致工件表面有结冰现象，降低了清洁效果，同时喷嘴也可能因为结冰而堵塞。

专利号为“ZL 201280012621.0”的发明专利公开了一种干冰雪喷射装置，其抑制二氧化碳气体的消耗损失、并且宽度较宽地喷射干冰雪，从而实现高效清洗。所述干冰雪喷射装置具备：用于生成干冰雪的二氧化碳气体供给源；用于供给用于推进干冰雪的整流气体的整流气体供给源；干冰雪精密清洗口；以及夹着上述干冰雪喷射装置口而倾斜对置的第一整流气体喷出口，由此使喷射的干冰雪在整流气体的作用下变得扁平，因此不产生以往那样的干冰雪与喷嘴内表面发生碰撞所带来的损失、颗粒，从而能够防止产生二氧化碳气体的损失、清洗不合格这样的情况。如此，能够抑制二氧化碳气体的消耗损失并且实现高效且高品质的清洗。

但是，上述干冰雪喷射装置没有对推送气体加热，所以喷出的干冰雪微粒温度很低，会导致喷嘴内侧表面和被清洗工件表面结冰，降低了清洁效果。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种被清洗工件表面不结冰的干冰雪精密清洗***。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：

一种被清洗工件表面不结冰的干冰雪精密清洗***，包括推动气源、气管、液态二氧化碳源、液管、同轴喷管和同轴喷嘴，所述气管的入口与所述推动气源的出口连接，所述液管的入口与所述液态二氧化碳源的出口连接，所述气管的出口与所述液管的出口均与所述同轴喷管的入口连接，所述同轴喷管的出口与所述同轴喷嘴的入口连接；所述干冰雪精密清洗***还包括加热管，内部设有电加热丝或电加热管的所述加热管串联安装于所述气管上。这里的同轴喷管和同轴喷嘴是将两种介质即推送气体和液态二氧化碳集成在一起高速喷出的器件；加热管本身是截面积大于气管的空心管，其内设置电加热丝或电加热管(电加热管内装电加热丝)，实现对推送气体的加热。

进一步，所述干冰雪精密清洗***还包括温度传感器和温度控制器，所述温度传感器安装于所述气管上位于所述加热管出口侧的位置并用于检测所述加热管与所述同轴喷管之间的推动气体的温度，所述温度传感器的信号输出端与所述温度控制器的信号输入端连接，所述温度控制器的控制电源输出端与所述加热管的电源输入端连接。

进一步，所述干冰雪精密清洗***还包括串联安装于所述气管上位于所述加热管入口侧位置的调压阀、压力表、流量开关和压力控制开关。

进一步，所述干冰雪精密清洗***还包括串联安装于所述液管上的精密流量阀。

为了减少杂质、提高清洁效果，所述气管上串联安装有气体过滤器，所述液管上串联安装有液体过滤器。

本实用新型的有益效果在于：

本实用新型通过增加加热管对推送气体进行加热，使同轴喷管内和通过同轴喷嘴喷出的干冰雪的温度提高，加热的推送气体加快干冰雪中的固体二氧化碳升华、气化，气化过程产生的爆发力给微粒状污染物提供了更多的能量，清洁效果更好；由于温度升高，清洁工件表面不会结冰，污染物不会被冻结更容易清除，提高了清洁效果；同时温度升高，防止喷嘴结冰堵塞，提高了本***工作稳定性；通过增加温度传感器和温度控制器，使本***能对推送气体精确控温，确保干冰雪在不结冰的前提下降低温度、减少能耗；通过在气管上安装调压阀、压力表、流量开关和压力控制开关，使用户能够随时了解推送气体压力、流量并对其压力、流量进行精确控制，能更好地保护加热管，防止其干烧；通过在液管上安装精密流量阀，能够控制干冰雪浓度，提高清洁效果。

附图说明

图1是本实用新型所述被清洗工件表面不结冰的干冰雪精密清洗***的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步说明：

如图1所示，本实用新型所述被清洗工件表面不结冰的干冰雪精密清洗***包括推动气源(图中未示)、气管1、液态二氧化碳源(图中未示)、液管10、温度传感器9、温度控制器14、调压阀3、压力表4、流量开关5、压力控制开关6、加热管7、气体过滤器8、液体过滤器11、精密流量阀13、同轴喷管16和同轴喷嘴15，气管1的入口与所述推动气源的出口连接，液管10的入口与所述液态二氧化碳源的出口连接，气管1的出口与液管10的出口均与同轴喷管16的入口连接，同轴喷管16的出口与同轴喷嘴15的入口连接；内部设有电加热丝或电加热管的加热管7串联安装于气管1上，气体过滤器8串联安装于气管1上位于加热管7出口侧的位置，温度传感器9安装于气管1上位于加热管7出口侧的位置并用于检测加热管7与同轴喷管16之间的推动气体的温度，温度传感器9的信号输出端与温度控制器14的信号输入端连接，温度控制器14的控制电源输出端与加热管7的电源输入端连接，第一电磁阀2、调压阀3、压力表4、流量开关5和压力控制开关6串联安装于气管1上位于加热管7入口侧的位置，液体过滤器11、第二电磁阀12和精密流量阀13串联安装于液管10上。

如图1所示，使用时，开启所述推送气源和所述液态二氧化碳源，推送气体通过气管1依次经过第一电磁阀2、调压阀3、压力表4、流量开关5、压力控制开关6、加热管7和气体过滤器8后进入同轴喷管16的外管内，液态二氧化碳通过液管10依次经过液体过滤器11、第二电磁阀12和精密流量阀13后进入同轴喷管16内毛细管中，推送气体将毛细管中液态二氧化碳加热并吹送由同轴喷嘴15喷出形成有固体二氧化碳小颗粒的雪花状的二氧化碳高速运动气流。在此过程中，可以通过温度传感器9随时检测加热后推送气体的温度，通过温度控制器14控制加热管的输出功率，调节加热后推送气体的温度；通过第一电磁阀2控制推送气体的通断，通过调压阀3、流量开关5、压力控制开关6调节推送气体的流量和压力，通过第二电磁阀12控制液态二氧化碳的通断，通过精密流量阀13调节液态二氧化碳的流量。图中箭头表示推送气体和液态二氧化碳源的流向。

上述实施例只是本实用新型的较佳实施例，并不是对本实用新型技术方案的限制，只要是不经过创造性劳动即可在上述实施例的基础上实现的技术方案，均应视为落入本实用新型专利的权利保护范围内。

Claims (5)

1.一种被清洗工件表面不结冰的干冰雪精密清洗***，包括推动气源、气管、液态二氧化碳源、液管、同轴喷管和同轴喷嘴，所述气管的入口与所述推动气源的出口连接，所述液管的入口与所述液态二氧化碳源的出口连接，所述气管的出口与所述液管的出口均与所述同轴喷管的入口连接，所述同轴喷管的出口与所述同轴喷嘴的入口连接；其特征在于：所述干冰雪精密清洗***还包括加热管，内部设有电加热丝或电加热管的所述加热管串联安装于所述气管上。

2.根据权利要求1所述的被清洗工件表面不结冰的干冰雪精密清洗***，其特征在于：所述干冰雪精密清洗***还包括温度传感器和温度控制器，所述温度传感器安装于所述气管上位于所述加热管出口侧的位置并用于检测所述加热管与所述同轴喷管之间的推动气体的温度，所述温度传感器的信号输出端与所述温度控制器的信号输入端连接，所述温度控制器的控制电源输出端与所述加热管的电源输入端连接。

3.根据权利要求1或2所述的被清洗工件表面不结冰的干冰雪精密清洗***，其特征在于：所述干冰雪精密清洗***还包括串联安装于所述气管上位于所述加热管入口侧位置的调压阀、压力表、流量开关和压力控制开关。

4.根据权利要求1或2所述的被清洗工件表面不结冰的干冰雪精密清洗***，其特征在于：所述干冰雪精密清洗***还包括串联安装于所述液管上的精密流量阀。

5.根据权利要求1或2所述的被清洗工件表面不结冰的干冰雪精密清洗***，其特征在于：所述气管上串联安装有气体过滤器，所述液管上串联安装有液体过滤器。