CN209544289U - 一种晶圆类产品的识别及搬运一体化装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种晶圆类产品的识别及搬运一体化装置，包括：第一机械臂，其前端设有真空吸盘，用于对晶圆盒中的晶圆进行吸附并搬运；识别模块，设于所述第一机械臂上，用于在所述第一机械臂对晶圆进行搬运过程中的任意时点，对所述吸盘上吸附的晶圆进行识别。本实用新型达到既节省设备的占用空间，又节省了单独读取标识码的读取时间，在空间和时间上都提高了利用率，从而提高了车间的生产效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体行业晶圆自动化制程中晶圆类产品搬运设备技术领域，更具体地，涉及一种晶圆类产品的识别及搬运一体化装置。
背景技术
在半导体行业中，晶圆表面镭射有标识码。当采用机械臂对晶圆进行搬运时，需要采用读码器对晶圆表面的标识码进行读取。
然而，目前机械臂对晶圆的搬运和读码器对晶圆表面标识码的读取是两个动作(步骤)；并且，这两个动作是分开来运行的，而两个分开来执行的动作势必要增加生产运行时间，降低生产效率。
因此，需要设计一种晶圆类产品的识别及搬运一体化装置，实现在搬运中识别晶圆的标识码，以节省时间，提高生产效率。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种晶圆类产品的识别及搬运一体化装置，以节省设备占用空间，且将晶圆上标识码的读取时间节省下来，提高生产节拍。
为实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：
一种晶圆类产品的识别及搬运一体化装置，包括：
第一机械臂，其前端设有真空吸盘，用于对晶圆盒中的晶圆进行吸附并搬运；
识别模块，设于所述第一机械臂上，用于在所述第一机械臂对晶圆进行搬运过程中的任意时点，对所述吸盘上吸附的晶圆进行识别。
进一步地，所述第一机械臂上设有开口，所述识别模块通过所述开口对位于下方的晶圆进行识别。
进一步地，所述开口位于露出于所述吸盘以外的晶圆表面的上方。
进一步地，所述识别模块垂直穿设于所述开口上。
进一步地，所述识别模块为一读码单元，用于读取晶圆表面上设有的标识码。
进一步地，所述读码单元为工业扫码器。
进一步地，还包括：连接所述第一机械臂的第二机械臂，所述第二机械臂上设有升降机构，用于带动所述第一机械臂上下移动。
进一步地，还包括：转动连接所述第二机械臂的第三机械臂，所述第三机械臂连接转动驱动机构。
进一步地，所述转动驱动机构为电机。
进一步地，所述电机为伺服电机。
从上述技术方案可以看出，本实用新型通过将扫码器集成到工业机械臂端，在机械臂搬运晶圆过程中，用扫码器读取晶圆表面的标识码，从而达到既节省设备的占用空间，又节省了读码器单独读取标识码的读取时间，在空间和时间上都提高了利用率，从而提高了车间的生产效率。
附图说明
图1是本实用新型一较佳实施例的一种晶圆类产品的识别及搬运一体化装置结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图，对本实用新型的具体实施方式作进一步的详细说明。
需要说明的是，在下述的具体实施方式中，在详述本实用新型的实施方式时，为了清楚地表示本实用新型的结构以便于说明，特对附图中的结构不依照一般比例绘图，并进行了局部放大、变形及简化处理，因此，应避免以此作为对本实用新型的限定来加以理解。
在以下本实用新型的具体实施方式中，请参考图1，图1是本实用新型一较佳实施例的一种晶圆类产品的识别及搬运一体化装置结构示意图。如图1所示，本实用新型的一种晶圆类产品的识别及搬运一体化装置，包括：设有多个机械臂6-8的工业机器人，以及安装在机器人机械臂端上的识别模块1。
请参考图1。工业机器人上设置有第一机械臂6。在第一机械臂6的前端上设有真空吸盘2；真空吸盘2用于对晶圆盒中的晶圆3进行吸附，并对吸附的晶圆3进行搬运。
识别模块1设置在第一机械臂6上，并可位于第一机械臂6的上表面上。识别模块1用于在第一机械臂6对晶圆3进行搬运过程中的任意时点，对吸盘2上吸附的晶圆3进行识别。
请参考图1。第一机械臂6上可开设有一个开口，识别模块1可通过该开口对位于下方的晶圆3进行识别。具体地，开口可设置在位于露出于吸盘2以外的晶圆3表面的上方位置。然后，将识别模块1垂直穿设于开口上，使识别模块1的工作端口从开口下方露出。
作为一可选的实施方式，识别模块1可以是一个读码单元；读码单元1可用于读取晶圆3表面上设有的标识码。进一步地，读码单元1可采用工业扫码器(读码器)。在晶圆3表面上镭射有标识码，当一边采用机械臂6-8对晶圆3进行搬运时，一边可采用工业扫码器1同时对晶圆3表面的标识码进行读取，从而可节省单独读取标识码的时间，在空间和时间上都可提高利用率，进一步可提高车间的生产效率。
工业机器人上还可设置有第二机械臂7和第三机械臂8。其中，第二机械臂7连接在第一机械臂6的后端，第三机械臂8连接在第二机械臂7的后端。
在第二机械臂7上设有升降机构5；升降机构5用于带动第一机械臂6上下移动。第二机械臂7可通过法兰4连接第一机械臂6。
第三机械臂8可通过转轴转动连接第二机械臂7，第三机械臂8的后端连接转动驱动机构9。
转动驱动机构9可安装在一个固定底座10上。
作为一可选的实施方式，转动驱动机构9可以是电机。进一步地，电机9可以采用伺服电机，以提高转动控制精度。这样，机器人即可以三维运动方式实现对晶圆3的搬运，以及在搬运的同时对晶圆3进行扫码识别，实现了搬运和扫码一体化，而且从整体上节省了设备占用空间，缩短了扫码节拍，从而提高了生产效率。
综上所述，本实用新型通过将扫码器集成到工业机械臂端，在机械臂搬运晶圆过程中，用扫码器读取晶圆表面的标识码，从而达到既节省设备的占用空间，又节省了读码器单独读取标识码的读取时间，在空间和时间上都提高了利用率，从而提高了车间的生产效率。
以上的仅为本实用新型的优选实施例，实施例并非用以限制本实用新型的专利保护范围，因此凡是运用本实用新型的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本实用新型的保护范围内。
Claims (10)
1.一种晶圆类产品的识别及搬运一体化装置，其特征在于，包括：
第一机械臂，其前端设有真空吸盘，用于对晶圆盒中的晶圆进行吸附并搬运；
识别模块，设于所述第一机械臂上，用于在所述第一机械臂对晶圆进行搬运过程中的任意时点，对所述吸盘上吸附的晶圆进行识别。
2.根据权利要求1所述的晶圆类产品的识别及搬运一体化装置，其特征在于，所述第一机械臂上设有开口，所述识别模块通过所述开口对位于下方的晶圆进行识别。
3.根据权利要求2所述的晶圆类产品的识别及搬运一体化装置，其特征在于，所述开口位于露出于所述吸盘以外的晶圆表面的上方。
4.根据权利要求3所述的晶圆类产品的识别及搬运一体化装置，其特征在于，所述识别模块垂直穿设于所述开口上。
5.根据权利要求1-4任一所述的晶圆类产品的识别及搬运一体化装置，其特征在于，所述识别模块为一读码单元，用于读取晶圆表面上设有的标识码。
6.根据权利要求5所述的晶圆类产品的识别及搬运一体化装置，其特征在于，所述读码单元为工业扫码器。
7.根据权利要求1所述的晶圆类产品的识别及搬运一体化装置，其特征在于，还包括：连接所述第一机械臂的第二机械臂，所述第二机械臂上设有升降机构，用于带动所述第一机械臂上下移动。
8.根据权利要求7所述的晶圆类产品的识别及搬运一体化装置，其特征在于，还包括：转动连接所述第二机械臂的第三机械臂，所述第三机械臂连接转动驱动机构。
9.根据权利要求8所述的晶圆类产品的识别及搬运一体化装置，其特征在于，所述转动驱动机构为电机。
10.根据权利要求9所述的晶圆类产品的识别及搬运一体化装置，其特征在于，所述电机为伺服电机。
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Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| CN113555304A (zh) * | 2021-08-06 | 2021-10-26 | 深圳优艾智合机器人科技有限公司 | 晶圆盒搬运装置、设备、***及其搬运方法 |
| CN116045827A (zh) * | 2023-02-22 | 2023-05-02 | 无锡星微科技有限公司 | 一种用于大尺寸晶圆的厚度和弯曲度的检测***和方法 |
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2019
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